JP2004506140A - 二軸式真空ポンプ - Google Patents
二軸式真空ポンプ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004506140A JP2004506140A JP2002517982A JP2002517982A JP2004506140A JP 2004506140 A JP2004506140 A JP 2004506140A JP 2002517982 A JP2002517982 A JP 2002517982A JP 2002517982 A JP2002517982 A JP 2002517982A JP 2004506140 A JP2004506140 A JP 2004506140A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rotor
- shaft
- vacuum pump
- shafts
- shaft vacuum
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C29/00—Component parts, details or accessories of pumps or pumping installations, not provided for in groups F04C18/00 - F04C28/00
- F04C29/04—Heating; Cooling; Heat insulation
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F02—COMBUSTION ENGINES; HOT-GAS OR COMBUSTION-PRODUCT ENGINE PLANTS
- F02B—INTERNAL-COMBUSTION PISTON ENGINES; COMBUSTION ENGINES IN GENERAL
- F02B39/00—Component parts, details, or accessories relating to, driven charging or scavenging pumps, not provided for in groups F02B33/00 - F02B37/00
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C18/08—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing
- F04C18/082—Details specially related to intermeshing engagement type pumps
- F04C18/084—Toothed wheels
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C18/08—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing
- F04C18/12—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type
- F04C18/14—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with toothed rotary pistons
- F04C18/16—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with toothed rotary pistons with helical teeth, e.g. chevron-shaped, screw type
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Abstract
Description
技術分野
本発明は、真空ポンプであって、2つの軸及び該軸に結合されて互いに協働する2つのロータを備えており、該ロータが前記軸によって片持ち支承されている形式のものに関する。
【0002】
背景技術
前記形式のポンプ、特にねじポンプの開発者及び製作者に課せられる目的は、代替可能な製作費をかけて前記形式のポンプを、できるだけ高い回転数及びできるだけ少量のギャップ漏れ量で運転できるようにして、真空形成目的を可能な限り効果的に達成することである。そのための前提条件は、軸受が精確であることと、熱間状態にあってもロータを軸に遊びなく結合することである。支承するに当たって考慮すべき点は、ロータを片持ち支承しなければならないことである。これは通常、それぞれ2つの軸受を用いて行われ、両方の軸受間に駆動モータが介在しているからである。前記支承形式がねじ真空ポンプにとって有利である。それというのは、吸込み側にはシール装置が無く低廉になるという利点が、軸と支承装置に対して課される要求が高くなるという欠点を上回るからである。
【0003】
片持ち式に支承することは、ロータをその軸に遊びなく結合するという問題の要因になる。
【0004】
片持ち式に支承する場合、回転系の重心を、できるだけロータ側軸受の近くに位置させるのが有利であることが知られている。このことを達成するために、可能な限り軽量な素材、例えばアルミニウムがロータのために選ばれる。しかしながらアルミニウムは、片持ち式支承の場合に軸素材として特に適している鋼の熱膨張係数(12×10− 6/K)よりも著しく高い熱膨張係数(約23×10− 6/K)を有している。鋼は高い弾性係数を有しており、従って剛性の軸の製造が可能である。鋼/アルミニウムの材料組合せの場合、あらゆる運転温度(周囲温度と約200℃)においてロータを軸に遊びなく結合することは困難である。確かに膨張問題の点から見れば、より有利な素材、例えば鋼、チタン又はセラミックをロータのために使用することも可能ではある。しかしながら、これらの素材を使用した場合、ロータは著しく重くなり(鋼)、或いは著しくコスト高になる(チタンやセラミック)。またアルミニウムは、低い弾性係数の故に、軸素材としては適していない。
【0005】
ドイツ連邦共和国特許出願公開第19963171A1号明細書により、本明細書冒頭に述べた形式の真空ポンプが公知である。しかしながら、熱間状態においてもロータを軸に遊びなく結合する問題については触れられていない。
【0006】
発明の開示
本発明の課題は、本明細書冒頭に述べた形式の真空ポンプを改良して、真空ポンプの製作者及び開発者に課せられた目的を最適に満たす構成手段を提供することである。
【0007】
前記課題が本発明に基づき特許請求の範囲に記載の構成手段によって解決される。
【0008】
軸が、高い弾性係数を有する素材(例えば、鋼)から成っていることによって、軸の精確な案内、ひいてはロータの精確な案内も保証され、その結果、ロータ自体とそのケーシング周壁との間のギャップを小さく抑えることが可能である。このような作用効果を、軸上へのロータの遊びのない結合を保証するための手段も有している。軸素材に対比して軽量なロータ素材は、ポンプを高い回転数で運転することを可能にする。
【0009】
すべての運転温度で軸におけるロータの遊びのない結合を確保する手段は、種々多様に実施できる。対偶関係にある素材の膨張係数の差が大きい場合に、ロータと軸とが、遊びの無い状態を熱間センタリング、冷間センタリング及び/又は摩擦センタリングによって保証するように構成されていてよい。また、鋼製軸に結合されたアルミニウム製ロータの大きな膨張を阻止する緊締帯を使用することも可能である。継ぎ目部位の温度変化を制限又は阻止する冷却手段を、補助的に又は単独に設けることても可能である。
【0010】
ほぼ同じ膨張係数を有する素材を使用するのが簡単であると考えられる。このために本発明では、粉末冶金法で製作され、この場合に合金中の主成分をCu又はSiとするアルミニウム合金を使用することを提案している。この種の鋼及びアルミニウム合金はほぼ等しい膨張係数(素材の質量密度)を有しているので、慣用方式の焼嵌め若しくは収縮嵌めによって、軸上へのロータの遊びのない結合が、すべての運転温度で保証されている。
【0011】
ロータと軸とから成る各回転系の重心を、高い回転数の達成のためにロータ側軸受のできるだけ近くに位置させるためには、以下に列挙する種々の構成手段を選ぶのが有利である。すなわち:
鋼軸を部分的にのみ係合させる中空孔をロータ内に穿孔すること。冷却液を案内するために必要とされる場合には、低密度(例えばプラスチック素材製)の構成部品を前記中空孔内に収容することも可能である。
【0012】
ロータを短くすること。このことは、周知の形式のねじポンプの場合、ねじリードを適当に変化させることによって、かつ/又は深く切込まれたロータ断面プロフィールによって達成される。
【0013】
軸受側でロータ内に形成された切欠き部内に、ロータ側の軸受を収容すること。
【0014】
両方の軸受を複列外向きに配置すること、及び/又は、軸のロータ側に分離形軸受を配置し、かつロータから離反した側に非分離形軸受を配置すること。
【0015】
次に図面に基づいて本発明の実施例を詳細に説明する。
【0016】
ロータ1,2が片持ち式に支承されていて、軸方向の中空孔を備えており、該中空孔内をロータの軸3,4の自由端部が延びている。該自由端部にロータ1,2が遊びなく固定されている。
【0017】
図1の実施例では、ロータ1が各端面側に中空孔5,6を有しており、中空孔がロータ1のほぼ中央で細い孔7を介して互いに連通されている。組立状態では、中空孔6の吸込み側開口がディスク8によって密閉されており、ディスクが例えば図示のように、ねじ山9によって中空孔の開口内にねじ込み結合されている。
【0018】
軸3が軸受側の中空孔5内で終わっていて、端面側に軸方向へ向けられたカラー11を備えている。中空孔5,6を互いに連通する小径の孔7の領域で内向きに延びるリング状の凸設部12が、軸方向へ向けられたカラー13を備えており、該カラーの方向及び直径が、該カラーを軸3のカラー11の内側に接触させるように選ばれている。軸3が鋼から成り、かつロータ1が鋼よりも大きな膨張係数のアルミニウムから成っている場合には、カラー11,13が周囲温度で互いに遊びなく接触していて、インナーセンタリングを形成しており、該インナーセンタリングが温度の上昇に際しても遊びなく保たれる。
【0019】
ロータ1と軸3との結合のために軸方向のボルト14を設けてあり、該ボルトが中空孔6の方から装着される。ボルトがロータ1の凸設部12を貫通して、軸3のカラー11内にねじ込まれている。有利には、ボルトヘッドに対応してリング15を配置してあり、該リングが軸素材から成っている。これによって、熱間センタリングのほかに摩擦センタリングも得られる。
【0020】
さらに軸3及びロータ1が、温度に起因した問題を避けるために冷却通路系を備えている。このために、軸3が中心孔16を有している。中心孔16内に管区分17を収容してあり、管区分が中空孔6内まで延在していて、冷却媒体の供給のために役立っている。中空孔6内に、管区分17へ取り付けられた中空(肉薄)及び/又は軽量の挿入体18が、半径方向外側のリング通路19を形成しており、リング通路19が殊に、孔7を介して中空孔5の半径方向外側のリング通路21に連通されており、該リング通路21が、軸3と中空孔5の内周壁とによって形成されている。リング通路19,21を介して次いで、軸3内に管区分17と中心孔16の内周壁とによって形成されたリング通路23を介して、冷却媒体が流し戻される。冷却媒体を逆方向に流過させることも可能である。
【0021】
図2でロータ1,2の軸受側に備えられたカラー25,26は、軸3,4を外側から包囲している。ロータ素材が軸3,4の素材よりも大きな膨張係数を有している場合には、この形式のアウターセンタリングは、温度上昇に際してロータと軸との間に遊びを生ぜしめることになる。これを回避するためにリング27,28を設けてあり、該リングがカラー25,26を包囲している。リング27,28の素材が、軸3,4の素材の膨張係数に等しいか又はそれよりも小さい膨張係数を有しており、その結果、リング27,28が温度上昇に際してカラー25,26の膨張を阻止し、ひいては不都合な遊びを防止する。
【0022】
図1の冷却系に相当する冷却系が、設けられている。リング通路21,22がカラー25,26の領域内まで延在していて、最大発生運転温度を低下させ、これによって遊びの発生を排除している。
【0023】
リング27,28が外周に環状の溝を備えており、該溝内にピストンリング(図示せず)を配置してある。ピストンリングが、ケーシングに固定されたリング29,30と相俟って、ラビリンスシール31,32を形成しており、ラビリンスシールが、軸受33,34からねじポンプの圧送室35,36内への潤滑剤蒸気の侵入を防止するために役立っている。
【0024】
図3の実施例では摩擦センタリングが実現されている。このためにディスク38を用いてあり、該ディスクは中空孔5の吸込み側の開口の閉鎖のためにも役立っている。ディスク38が、ボルト39,41を介して軸3にも、ロータ1にも堅く結合されている。ロータ素材が、軸3よりも大きな膨張係数を有し、かつディスク38が例えば軸素材から成っている場合には、堅いボルト結合部が温度上昇の際に遊びの発生を防止する。
【0025】
図3に示してあるように、ディスク38が軸方向に向けられたカラー43を備えていてよく、カラーが中空孔5内に係合している。これによって、熱間センタリングも達成される。このためにロータ1、軸3及びディスク38が熱間状態で互いに遊びなく組み立てられる。このような組み立て(結合)は、前述の関係にある膨張係数に基づき、温度降下に際して遊びなく保たれる。このことは、ロータと軸との間の、ディスク38なしの結合にも当てはまる。
【0026】
軸上へのロータの結合が締まりばめ(プレスばめ)によって行われてよい。ロータがアルミニウムから成っており、かつ軸が鋼から成っている場合には、締まりばめを生ぜしめる周囲温度が有利には、ロータ(1,2)の最大温度(二軸式真空ポンプの運転時にロータに生じる最大の温度)にほぼ相当している。このようにして形成された結合部は、二軸式真空ポンプの運転中に発生するすべての運転温度で遊びなく保たれる。
【0027】
さらに図3に示してあるように、カラー43と軸3の端面とが、有利には軸3の半径方向外側の切欠き44内で互いに接触している。カラー43と軸3との互いに向き合わされた接触面間に、調整リング45が配置してある。種々の厚さの単数若しくは複数の調整リング45の挿入によって、若しくは種々の高さのカラー43によっても、軸3に対するロータ1の軸方向位置が規定されてよい。これによって、ロータ1と第2のロータ(図示せず)とのフランク間遊びを調整することが可能である。ディスク38が、不釣合補正のため及び/又はトルク伝達のために(例えば、歯付きディスクとして)も用いられてよい。
【0028】
さらに図3に示してあるように、ロータ側の軸受33をロータ3の軸受側の切欠き47内に配置することが可能である。切欠き47内に、軸方向に延びる軸受支持体48が係合している。冷却系(軸3内の中心孔16、管区分17)が軸受33まで延在していて、軸受温度を低く保つようになっている。
【0029】
所望の高い回転数を確実に達成するために、有利には両方の軸受33,51が、図4に示してあるように複列外向きに配置されている。軸受のこのような配置形式においては、力の作用点が圧力角度に基づきロータ重心の方向に移動している。このような観点から、別の有利な実施例では図5に示してあるように、軸3のロータ側に分離形軸受33を配置し、かつ軸のロータから離反した側に非分離形軸受51を配置してある。力の作用点が軸受中心点に位置している。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に基づく真空ポンプの軸及びこれに結合されたロータの概略的な縦断面図。
【図2】本発明に基づく真空ポンプの実施例の部分的な縦断面図。
【図3】本発明に基づく真空ポンプの別の実施例の部分的な概略断面図。
【図4】本発明に基づく真空ポンプの軸受装置の実施例の概略断面図。
【図5】本発明に基づく真空ポンプの軸受装置の別の実施例の概略断面図。
【符号の説明】
1,2 ロータ、 3,4 軸、 5,6 中空孔、 7 孔、 8 ディスク、 9 ねじ山、 11 カラー、 12 凸設部、 13 カラー、 14 ボルト、 15 リング、 16 中心孔、 17 管区分、 18 内設体、 19,21 リング通路、 23 リング通路、 25,26 カラー、 27,28 リング、 29,30 リング、 31,32 ラビリンスシール、 33,34 軸受、 35,36 圧送室、 38 ディスク、 39,41 ボルト、 43 カラー、 44 切欠き、 45 調整リング、 47 切欠き、 48 軸受支持体、 51 軸受
Claims (18)
- 真空ポンプであって、2つの軸(3,4)及び該軸に結合されて互いに協働する2つのロータ(1,2)を備えており、該ロータが前記軸によって片持ち支承されている形式のものにおいて、軸(3,4)が、弾性係数の高い材料、例えば鋼から成っており、かつロータ(1,2)が密度の低い材料、例えばアルミニウム又はチタン合金から成っており、軸(3,4)上へのロータ(1,2)の遊びのない結合をすべての運転温度で保証する手段が設けられていることを特徴とする、二軸式真空ポンプ。
- 各軸(3,4)上でのロータ(1,2)の冷間センタリング、熱間センタリング及び/又は摩擦センタリングのための手段が設けられている請求項1記載の二軸式真空ポンプ。
- 熱間センタリングのための手段が、ロータ(1,2)若しくは軸(3,4)の軸方向へ延びるカラー区分(11,13)から成っており、ロータ(1,2)のカラー区分(13)が半径方向内側に位置している請求項2記載の二軸式真空ポンプ。
- 摩擦センタリングのための手段が、ロータ(1,2)と軸(3,4)とを互いに結合する軸方向のボルト(14,39,41)から成っている請求項2記載の二軸式真空ポンプ。
- ロータ(1,2)が中空に穿孔されており、ロータの吸込み側に配置したディスク(38)が設けられている請求項1記載の二軸式真空ポンプ。
- ディスク(38)が、ロータ(1,2)の中空孔(5)内に係合したカラー(43)を備えており、該カラーが冷間センタリングを生ぜしめるようになっている請求項5記載の二軸式真空ポンプ。
- カラー(43)と軸(3)とが、調整リング(45)を介して互いに接触している請求項6記載の二軸式真空ポンプ。
- ロータ(1,2)がカラー(25,26)を備えており、該カラーが軸(3,4)を包囲しており、かつ緊締リング(27,28)を設けてあり、該緊締リングが前記カラー(25,26)を包囲している請求項1記載の二軸式真空ポンプ。
- 軸(3,4)とロータ(1,2)との間の嵌合部位の高さに、冷却系が配置されている請求項1から8までのいずれか1項記載の二軸式真空ポンプ。
- ロータ(1,2)の素材と軸(3,4)の素材の膨張係数がほぼ等しい請求項1記載の二軸式真空ポンプ。
- 軸(3,4)が鋼から成っており、かつロータ(1,2)が、粉末冶金法で製造されて、合金中の主成分をCu又はSiとするアルミニウム合金から成っている請求項10記載の二軸式真空ポンプ。
- ロータ(1,2)が中空室を有しており、軸(3,4)が前記中空室を部分的に貫通している請求項1から11までのいずれか1項記載の二軸式真空ポンプ。
- 軸(3,4)の通っていない中空室内に、軽量の構成部分(18)を配置してあり、該構成部分が冷却媒体流を導くようになっている請求項12記載の二軸式真空ポンプ。
- ロータ(1,2)が軸方向で可能な限り短くされており、かつねじ山が、吸込み側から吐出側へ減少するリードを有している請求項1から13までのいずれか1項記載の二軸式真空ポンプ。
- ロータ側の軸受(33)が、ロータ(1,2)に設けた切欠き(47)内に配置されている請求項1から14までのいずれか1項記載の二軸式真空ポンプ。
- 軸(3,4)の両方の軸受(33,51)が、複列外向きに配置されている請求項1から15までのいずれか1項記載の二軸式真空ポンプ。
- ロータ(1,2)に隣接する軸受(33)が、分離形軸受であり、かつロータ(1,2)から離隔して配置された軸受(51)が非分離形軸受である請求項1から15までのいずれか1項記載の二軸式真空ポンプ。
- 二軸式真空ポンプ用のユニットを製造する方法であって、該ユニットが、中空孔(5)を有するアルミニウム製のロータ(1,2)及び、該ロータの中空孔(5)を少なくとも部分的に貫通する鋼製の軸(3,4)から成っている形式のものにおいて、ロータ(1,2)と軸(3,4)との間に締まりばめを形成し、かつ締まりばめの形成の際の周囲温度を、二軸式真空ポンプの運転時にロータ(1,2)に生じる最大の温度とほぼ同じにすることを特徴とする、二軸式真空ポンプ用のユニットを製造する方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE10039006.4 | 2000-08-10 | ||
DE10039006A DE10039006A1 (de) | 2000-08-10 | 2000-08-10 | Zweiwellenvakuumpumpe |
PCT/EP2001/007739 WO2002012726A1 (de) | 2000-08-10 | 2001-07-06 | -weiwellenvakuumpumpe |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004506140A true JP2004506140A (ja) | 2004-02-26 |
JP4944347B2 JP4944347B2 (ja) | 2012-05-30 |
Family
ID=7651941
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002517982A Expired - Fee Related JP4944347B2 (ja) | 2000-08-10 | 2001-07-06 | 二軸式真空ポンプ |
Country Status (9)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6863511B2 (ja) |
EP (1) | EP1307657B1 (ja) |
JP (1) | JP4944347B2 (ja) |
KR (1) | KR100948988B1 (ja) |
CN (1) | CN1273741C (ja) |
AU (1) | AU2001281962A1 (ja) |
DE (2) | DE10039006A1 (ja) |
TW (1) | TW538199B (ja) |
WO (1) | WO2002012726A1 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2010041445A1 (ja) | 2008-10-10 | 2010-04-15 | 株式会社アルバック | ドライポンプ |
JP2010127119A (ja) * | 2008-11-25 | 2010-06-10 | Ebara Corp | ドライ真空ポンプユニット |
US8512016B2 (en) | 2009-08-14 | 2013-08-20 | Ulvac, Inc. | Positive-displacement dry pump |
JP2013545932A (ja) * | 2010-12-14 | 2013-12-26 | ゲーエーベーエル.ベッケル・ゲーエムベーハー | 真空ポンプ |
Families Citing this family (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19963171A1 (de) * | 1999-12-27 | 2001-06-28 | Leybold Vakuum Gmbh | Gekühlte Schraubenvakuumpumpe |
DE10039006A1 (de) | 2000-08-10 | 2002-02-21 | Leybold Vakuum Gmbh | Zweiwellenvakuumpumpe |
EP1784576B2 (en) | 2004-09-02 | 2016-01-13 | Edwards Limited | Cooling of pump rotors |
DE102004058056A1 (de) * | 2004-12-02 | 2006-06-08 | Leybold Vacuum Gmbh | Zahnradanordnung |
US20080121497A1 (en) * | 2006-11-27 | 2008-05-29 | Christopher Esterson | Heated/cool screw conveyor |
KR100900821B1 (ko) * | 2008-02-04 | 2009-06-04 | (주)경인정밀기계 | 감속기어의 백래시 조절장치 |
US8764424B2 (en) | 2010-05-17 | 2014-07-01 | Tuthill Corporation | Screw pump with field refurbishment provisions |
DE102011108092A1 (de) | 2011-07-19 | 2013-01-24 | Multivac Sepp Haggenmüller Gmbh & Co. Kg | Reinigungsverfahren und -system für Vakuumpumpe |
KR101253117B1 (ko) | 2011-12-16 | 2013-04-10 | 주식회사 동방플랜텍 | 진공펌프용 다단식 스크류 |
EP2615307B1 (de) | 2012-01-12 | 2019-08-21 | Vacuubrand Gmbh + Co Kg | Schraubenvakuumpumpe |
KR101333056B1 (ko) | 2012-01-20 | 2013-11-26 | 주식회사 코디박 | 냉각 기능을 갖는 모터 내장형 스크루 로터 타입 진공펌프 |
DE202013010195U1 (de) * | 2013-11-12 | 2015-02-18 | Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh | Vakuumpumpen-Rotoreinrichtung sowie Vakuumpumpe |
EP3085964B1 (de) * | 2015-04-21 | 2019-12-11 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Herstellung eines vakuumpumpen-teils mittels eines metallischen, generativen fertigungsverfahrens |
DE102018115732A1 (de) | 2018-06-29 | 2020-01-02 | Schaeffler Technologies AG & Co. KG | Wälzlager mit integrierter Stromableitfunktion |
CN113474560B (zh) * | 2019-02-13 | 2022-11-29 | 三菱电机株式会社 | 压缩机及空气调节装置 |
TW202037814A (zh) * | 2019-04-10 | 2020-10-16 | 亞台富士精機股份有限公司 | 轉子及魯氏幫浦 |
CN112012931B (zh) * | 2020-09-04 | 2022-05-24 | 浙江思科瑞真空技术有限公司 | 一种泵转子的冷却方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04298696A (ja) * | 1991-03-26 | 1992-10-22 | Mazda Motor Corp | 回転圧縮機 |
JPH08108459A (ja) * | 1994-10-06 | 1996-04-30 | Japan Steel Works Ltd:The | 押出機用口金及びその製造方法 |
JPH10281089A (ja) * | 1997-04-03 | 1998-10-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 真空ポンプ |
JP2001193677A (ja) * | 2000-01-11 | 2001-07-17 | Asuka Japan:Kk | スクリュー流体機械 |
Family Cites Families (29)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE413237C (de) | 1924-07-29 | 1925-05-06 | Heinrich Timmer | Verfahren zur Herstellung von hohlen Metallheften aus nahtlos gezogenem Rohr fuer Essbesteck- o. dgl. Klingen |
DE972862C (de) * | 1953-10-27 | 1959-10-15 | Svenska Rotor Maskiner Ab | Drehkolbenmaschine zur Kompression oder Expansion eines Gases |
FR1290239A (fr) * | 1961-02-28 | 1962-04-13 | Alsacienne Constr Meca | Pompe à vide |
DE3124247C1 (de) * | 1981-06-19 | 1983-06-01 | Boge Kompressoren Otto Boge Gmbh & Co Kg, 4800 Bielefeld | Schraubenverdichter |
JPH0121192Y2 (ja) * | 1985-06-07 | 1989-06-23 | ||
JPS63243478A (ja) * | 1987-03-30 | 1988-10-11 | Aisin Seiki Co Ltd | 流体機器用ロ−タ |
JPH0672616B2 (ja) * | 1987-04-21 | 1994-09-14 | 株式会社ゼクセル | 鋼シャフト複合アルミニウム合金ローター |
JPS6466488A (en) * | 1987-09-05 | 1989-03-13 | Daihatsu Motor Co Ltd | Composite rotor for supercharger |
JPH03213688A (ja) | 1990-01-17 | 1991-09-19 | Hitachi Ltd | スクリュー真空ポンプ |
JPH0533815A (ja) * | 1990-09-29 | 1993-02-09 | Mazda Motor Corp | 回転機の回転軸と回転子の結合構造及びその製造法 |
JPH05164076A (ja) * | 1991-12-17 | 1993-06-29 | Hitachi Ltd | スクリュー式ドライ真空ポンプ |
JP2873888B2 (ja) * | 1991-12-27 | 1999-03-24 | 本田技研工業株式会社 | スクリューポンプのロータ |
JP3018720B2 (ja) | 1992-03-19 | 2000-03-13 | 石川島播磨重工業株式会社 | 複合素材回転体及びその製造方法 |
JP3569924B2 (ja) * | 1992-03-19 | 2004-09-29 | 松下電器産業株式会社 | 流体回転装置 |
JPH07301211A (ja) * | 1994-05-06 | 1995-11-14 | Tochigi Fuji Ind Co Ltd | 軸固定装置 |
JPH08261183A (ja) | 1995-03-27 | 1996-10-08 | Tochigi Fuji Ind Co Ltd | スクリュー流体機械の中空ロータ |
EP0834018B2 (de) * | 1995-06-21 | 2006-10-25 | Sterling Industry Consult GmbH | Verfahren zum Kühlen eines mehrstufigen Schraubenspindelverdichters |
DE19522558A1 (de) * | 1995-06-21 | 1997-01-02 | Sihi Ind Consult Gmbh | Verdrängerpumpe für Gase |
DE19522559A1 (de) * | 1995-06-21 | 1997-01-02 | Sihi Ind Consult Gmbh | Verdichter mit axialer Förderrichtung, insbesondere in Schraubenspindel-Bauweise |
JPH09137731A (ja) * | 1995-11-16 | 1997-05-27 | Tochigi Fuji Ind Co Ltd | スクリュ式過給機 |
JP3432679B2 (ja) * | 1996-06-03 | 2003-08-04 | 株式会社荏原製作所 | 容積式真空ポンプ |
DE19745615A1 (de) * | 1997-10-10 | 1999-04-15 | Leybold Vakuum Gmbh | Schraubenvakuumpumpe mit Rotoren |
DE19745616A1 (de) * | 1997-10-10 | 1999-04-15 | Leybold Vakuum Gmbh | Gekühlte Schraubenvakuumpumpe |
DE19817351A1 (de) * | 1998-04-18 | 1999-10-21 | Peter Frieden | Schraubenspindel-Vakuumpumpe mit Gaskühlung |
DE19820523A1 (de) * | 1998-05-08 | 1999-11-11 | Peter Frieden | Schraubenspindel-Vakuumpumpe mit Rotorkühlung |
DE19839501A1 (de) * | 1998-08-29 | 2000-03-02 | Leybold Vakuum Gmbh | Trockenverdichtende Schraubenspindelpumpe |
DE19963171A1 (de) * | 1999-12-27 | 2001-06-28 | Leybold Vakuum Gmbh | Gekühlte Schraubenvakuumpumpe |
DE19963173B4 (de) | 1999-12-27 | 2011-05-19 | Leybold Vakuum Gmbh | Schraubenvakuumpumpe |
DE10039006A1 (de) | 2000-08-10 | 2002-02-21 | Leybold Vakuum Gmbh | Zweiwellenvakuumpumpe |
-
2000
- 2000-08-10 DE DE10039006A patent/DE10039006A1/de not_active Withdrawn
-
2001
- 2001-07-06 DE DE50113380T patent/DE50113380D1/de not_active Expired - Lifetime
- 2001-07-06 KR KR1020037001780A patent/KR100948988B1/ko active IP Right Grant
- 2001-07-06 WO PCT/EP2001/007739 patent/WO2002012726A1/de active IP Right Grant
- 2001-07-06 AU AU2001281962A patent/AU2001281962A1/en not_active Abandoned
- 2001-07-06 CN CNB018139701A patent/CN1273741C/zh not_active Expired - Lifetime
- 2001-07-06 JP JP2002517982A patent/JP4944347B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2001-07-06 US US10/343,958 patent/US6863511B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2001-07-06 EP EP01960473A patent/EP1307657B1/de not_active Expired - Lifetime
- 2001-08-08 TW TW090119355A patent/TW538199B/zh not_active IP Right Cessation
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04298696A (ja) * | 1991-03-26 | 1992-10-22 | Mazda Motor Corp | 回転圧縮機 |
JPH08108459A (ja) * | 1994-10-06 | 1996-04-30 | Japan Steel Works Ltd:The | 押出機用口金及びその製造方法 |
JPH10281089A (ja) * | 1997-04-03 | 1998-10-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 真空ポンプ |
JP2001193677A (ja) * | 2000-01-11 | 2001-07-17 | Asuka Japan:Kk | スクリュー流体機械 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2010041445A1 (ja) | 2008-10-10 | 2010-04-15 | 株式会社アルバック | ドライポンプ |
US8573956B2 (en) | 2008-10-10 | 2013-11-05 | Ulvac, Inc. | Multiple stage dry pump |
JP2010127119A (ja) * | 2008-11-25 | 2010-06-10 | Ebara Corp | ドライ真空ポンプユニット |
US8512016B2 (en) | 2009-08-14 | 2013-08-20 | Ulvac, Inc. | Positive-displacement dry pump |
JP2013545932A (ja) * | 2010-12-14 | 2013-12-26 | ゲーエーベーエル.ベッケル・ゲーエムベーハー | 真空ポンプ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN1446291A (zh) | 2003-10-01 |
US20040091380A1 (en) | 2004-05-13 |
CN1273741C (zh) | 2006-09-06 |
WO2002012726A1 (de) | 2002-02-14 |
KR20030027009A (ko) | 2003-04-03 |
DE10039006A1 (de) | 2002-02-21 |
DE50113380D1 (de) | 2008-01-24 |
TW538199B (en) | 2003-06-21 |
EP1307657B1 (de) | 2007-12-12 |
AU2001281962A1 (en) | 2002-02-18 |
KR100948988B1 (ko) | 2010-03-23 |
EP1307657A1 (de) | 2003-05-07 |
JP4944347B2 (ja) | 2012-05-30 |
US6863511B2 (en) | 2005-03-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2004506140A (ja) | 二軸式真空ポンプ | |
KR100314370B1 (ko) | 원심압축기밸런스피스톤용2편식래버린스시일및그제조방법 | |
EP1084329B1 (en) | A system for delivering pressurized lubricant fluids to an interior of a rotating hollow shaft | |
US7055827B2 (en) | Non-contacting clearance seal for high misalignment applications | |
US8191374B2 (en) | Two-shaft gas turbine | |
JP4664254B2 (ja) | 圧縮機用軸受 | |
JP2006220148A (ja) | ターボ機械、特にターボ過給機 | |
WO2017038334A1 (ja) | スクリュ圧縮機 | |
EP2252804B1 (en) | Bearing system for rotor in rotating machines | |
JPH0656214B2 (ja) | 乾式ガスシール装置 | |
EP3470648B1 (en) | Turbocharger | |
US6688847B2 (en) | Shaft structure and bearing structure for tail end of rotor of gas turbine | |
JP2006518827A (ja) | ロータリー・ピストン・ポンプ | |
KR20060100418A (ko) | 유체 역학적 클러치 | |
JPH09273636A (ja) | メカニカルシール | |
JPS6291688A (ja) | 圧縮機のロ−タ | |
EP3875738B1 (en) | Bearing assembly for a charging apparatus | |
JP2823671B2 (ja) | スクリュー式圧縮/膨張機械のためのケーシング構造 | |
CA3105202A1 (en) | A rotor assembly and the rotor housing of a turbine engine | |
WO2023141263A1 (en) | Carbon face seal | |
JP4690531B2 (ja) | ガスタービンのロータ尾端部の軸構造 | |
CA2481812C (en) | Shaft structure and bearing structure for tail end of rotor of gas turbine |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080325 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100812 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100818 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20101112 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20101119 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20101213 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20101222 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20101228 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20110118 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20110125 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110218 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110902 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20111202 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20111209 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111215 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120203 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120302 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150309 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |