JP2004504586A5 - - Google Patents

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  1. 映像処理光路と結像光路の間のビームスプリッタとして色選択性フィルタを使用することを特徴とする請求項4に記載の方法。
  2. 映像処理光路と結像光路の間のビームスプリッタとして傾斜又は回転ミラーを使用することを特徴とする請求項4に記載の方法。
  3. 光学的に検出される触覚トレーサ又はそのプローブの自家照明の発生のためにレーザ光を使用することを特徴とする請求項8に記載の方法。
  4. レーザ距離センサの作動方向を交換可能な補助ミラーにより選択的に変更することができることを特徴とする請求項8に記載の方法。
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Families Citing this family (49)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7227647B2 (en) * 2001-07-16 2007-06-05 Werth Messtechnik Gmbh Method for measuring surface properties and co-ordinate measuring device
DE10361870B4 (de) * 2003-12-29 2006-05-04 Faro Technologies Inc., Lake Mary Laserscanner und Verfahren zum optischen Abtasten und Vermessen einer Umgebung des Laserscanners
EP2224204B1 (de) * 2004-12-16 2021-05-26 Werth Messtechnik GmbH Verfahren zum Messen von Werkstückgeometrien mit einem Koordinatenmessgerät
US8711365B2 (en) 2004-12-16 2014-04-29 Werth Messtechnik Gmbh Coordinate measuring device and method for measuring with a coordinate measuring device
NL1028920C2 (nl) * 2005-04-29 2006-10-31 Bosch Gmbh Robert Elektrisch gereedschap voor het bewerken van een object.
DE202006005643U1 (de) * 2006-03-31 2006-07-06 Faro Technologies Inc., Lake Mary Vorrichtung zum dreidimensionalen Erfassen eines Raumbereichs
US20080100850A1 (en) * 2006-10-31 2008-05-01 Mitutoyo Corporation Surface height and focus sensor
US7728961B2 (en) * 2006-10-31 2010-06-01 Mitutoyo Coporation Surface height and focus sensor
DE102007024197B4 (de) * 2007-05-24 2017-01-05 Robert Bosch Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur Formmessung von Freiform-Flächen
US7723657B2 (en) * 2007-11-16 2010-05-25 Mitutoyo Corporation Focus detection apparatus having extended detection range
EP2194357A1 (de) 2008-12-03 2010-06-09 Leica Geosystems AG Optisches Sensorelement für eine Messmaschine, und messmaschinenseitiges Kupplungselement hierfür
DE102009010465B3 (de) * 2009-02-13 2010-05-27 Faro Technologies, Inc., Lake Mary Laserscanner
DE102009015920B4 (de) 2009-03-25 2014-11-20 Faro Technologies, Inc. Vorrichtung zum optischen Abtasten und Vermessen einer Umgebung
US9551575B2 (en) 2009-03-25 2017-01-24 Faro Technologies, Inc. Laser scanner having a multi-color light source and real-time color receiver
DE102009035336B3 (de) 2009-07-22 2010-11-18 Faro Technologies, Inc., Lake Mary Vorrichtung zum optischen Abtasten und Vermessen einer Umgebung
DE102009035337A1 (de) 2009-07-22 2011-01-27 Faro Technologies, Inc., Lake Mary Verfahren zum optischen Abtasten und Vermessen eines Objekts
DE102009057101A1 (de) 2009-11-20 2011-05-26 Faro Technologies, Inc., Lake Mary Vorrichtung zum optischen Abtasten und Vermessen einer Umgebung
DE102009055989B4 (de) 2009-11-20 2017-02-16 Faro Technologies, Inc. Vorrichtung zum optischen Abtasten und Vermessen einer Umgebung
US9529083B2 (en) 2009-11-20 2016-12-27 Faro Technologies, Inc. Three-dimensional scanner with enhanced spectroscopic energy detector
US9210288B2 (en) 2009-11-20 2015-12-08 Faro Technologies, Inc. Three-dimensional scanner with dichroic beam splitters to capture a variety of signals
DE102009055988B3 (de) 2009-11-20 2011-03-17 Faro Technologies, Inc., Lake Mary Vorrichtung zum optischen Abtasten und Vermessen einer Umgebung
US9113023B2 (en) 2009-11-20 2015-08-18 Faro Technologies, Inc. Three-dimensional scanner with spectroscopic energy detector
CN102822618B (zh) 2009-11-26 2017-02-15 沃思测量技术股份有限公司 用于接触‑光学确定测量物体的几何形状的方法和装置
US9607239B2 (en) 2010-01-20 2017-03-28 Faro Technologies, Inc. Articulated arm coordinate measurement machine having a 2D camera and method of obtaining 3D representations
US9879976B2 (en) 2010-01-20 2018-01-30 Faro Technologies, Inc. Articulated arm coordinate measurement machine that uses a 2D camera to determine 3D coordinates of smoothly continuous edge features
US9628775B2 (en) 2010-01-20 2017-04-18 Faro Technologies, Inc. Articulated arm coordinate measurement machine having a 2D camera and method of obtaining 3D representations
US9163922B2 (en) 2010-01-20 2015-10-20 Faro Technologies, Inc. Coordinate measurement machine with distance meter and camera to determine dimensions within camera images
CN102687433A (zh) 2010-01-20 2012-09-19 法罗技术股份有限公司 便携式关节臂坐标测量机和集成电子数据处理系统
DE102010020925B4 (de) 2010-05-10 2014-02-27 Faro Technologies, Inc. Verfahren zum optischen Abtasten und Vermessen einer Umgebung
CN101915555A (zh) * 2010-07-09 2010-12-15 上海理工大学 采用电控变焦透镜作为共焦显微系统轴向扫描方法
DE102010032726B3 (de) 2010-07-26 2011-11-24 Faro Technologies, Inc. Vorrichtung zum optischen Abtasten und Vermessen einer Umgebung
DE102010032725B4 (de) 2010-07-26 2012-04-26 Faro Technologies, Inc. Vorrichtung zum optischen Abtasten und Vermessen einer Umgebung
DE102010032723B3 (de) 2010-07-26 2011-11-24 Faro Technologies, Inc. Vorrichtung zum optischen Abtasten und Vermessen einer Umgebung
DE102010033561B3 (de) 2010-07-29 2011-12-15 Faro Technologies, Inc. Vorrichtung zum optischen Abtasten und Vermessen einer Umgebung
US9168654B2 (en) 2010-11-16 2015-10-27 Faro Technologies, Inc. Coordinate measuring machines with dual layer arm
WO2012159651A1 (en) * 2011-05-20 2012-11-29 Universitat Politècnica De Catalunya Method and device for non-contact measuring surfaces
DE102012100609A1 (de) 2012-01-25 2013-07-25 Faro Technologies, Inc. Vorrichtung zum optischen Abtasten und Vermessen einer Umgebung
US8997362B2 (en) 2012-07-17 2015-04-07 Faro Technologies, Inc. Portable articulated arm coordinate measuring machine with optical communications bus
DE102012107544B3 (de) 2012-08-17 2013-05-23 Faro Technologies, Inc. Vorrichtung zum optischen Abtasten und Vermessen einer Umgebung
DE112013004369T5 (de) 2012-09-06 2015-06-11 Faro Technologies, Inc. Laserscanner mit zusätzlicher Erfassungsvorrichtung
CN104620129A (zh) 2012-09-14 2015-05-13 法罗技术股份有限公司 具有角扫描速度的动态调整的激光扫描仪
US10067231B2 (en) 2012-10-05 2018-09-04 Faro Technologies, Inc. Registration calculation of three-dimensional scanner data performed between scans based on measurements by two-dimensional scanner
US9513107B2 (en) 2012-10-05 2016-12-06 Faro Technologies, Inc. Registration calculation between three-dimensional (3D) scans based on two-dimensional (2D) scan data from a 3D scanner
DE102012109481A1 (de) 2012-10-05 2014-04-10 Faro Technologies, Inc. Vorrichtung zum optischen Abtasten und Vermessen einer Umgebung
DE102014108353A1 (de) 2013-06-13 2014-12-18 Werth Messtechnik Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung von Geometrien an Messobjekten mittels eines kombinierten Sensorsystems
DE102014117978A1 (de) 2013-12-06 2015-06-11 Werth Messtechnik Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur Messung von Werkstücken
US10393505B2 (en) 2013-12-06 2019-08-27 Werth Messtechnik Gmbh Device and method for measuring workpieces
DE102015122844A1 (de) 2015-12-27 2017-06-29 Faro Technologies, Inc. 3D-Messvorrichtung mit Batteriepack
DE102017129221A1 (de) 2017-01-23 2018-07-26 Werth Messtechnik Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung von geometrischen Merkmalen an Werkstücken

Family Cites Families (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2116872A5 (fr) * 1970-12-10 1972-07-21 Compteurs Comp D Perfectionnements aux dispositifs palpeurs optiques
US3847485A (en) * 1972-05-25 1974-11-12 Zygo Corp Optical noncontacting surface sensor for measuring distance and angle of a test surface
DE2611639C3 (de) * 1976-03-19 1982-12-09 Jos. Schneider, Optische Werke, AG, 6550 Bad Kreuznach Steuereinrichtung für Objektive mit veränderbarer Brennweite
US4209252A (en) * 1978-07-03 1980-06-24 Arditty Herve J Optical probe assembly for detecting the position of an object surface and method
FR2548796B1 (fr) * 1983-07-08 1985-11-22 Comp Generale Electricite Dispositif optique pour determiner la position et la forme de la surface d'un objet
JPH0723844B2 (ja) * 1985-03-27 1995-03-15 オリンパス光学工業株式会社 表面形状測定器
US4732485A (en) * 1985-04-17 1988-03-22 Olympus Optical Co., Ltd. Optical surface profile measuring device
US4749259A (en) * 1987-05-15 1988-06-07 Hughes Aircraft Company Liquid crystal image projection with multicolor prepolarizing system
EP0746857A4 (en) * 1992-03-13 2001-01-03 Thermomicroscopes Corp SCANNING PROBE MICROSCOPE
DE4327250C5 (de) * 1992-09-25 2008-11-20 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Verfahren zur Koordinatenmessung an Werkstücken
JPH06160036A (ja) * 1992-11-18 1994-06-07 Toyoda Mach Works Ltd 光学的測定装置
JP3275425B2 (ja) * 1993-03-09 2002-04-15 株式会社日立製作所 欠陥検出装置およびその方法
JP3282331B2 (ja) * 1993-12-20 2002-05-13 ミノルタ株式会社 3次元形状測定装置
JPH07239217A (ja) * 1994-02-28 1995-09-12 Agency Of Ind Science & Technol レーザ追尾式座標測定機
JPH07248213A (ja) * 1994-03-11 1995-09-26 Nikon Corp 三次元形状測定装置
AU4781896A (en) * 1995-03-17 1996-10-08 Heinz Paul Weber Process and device for determining three-dimensional structures in the submicron range
JPH08327332A (ja) * 1995-05-30 1996-12-13 Ando Electric Co Ltd クリームはんだ膜厚測定装置
JPH10160740A (ja) * 1996-12-03 1998-06-19 Olympus Optical Co Ltd 走査型近接場光学顕微鏡
DE19747027A1 (de) * 1997-04-21 1998-10-22 Wegu Messtechnik Multisensor-Tasteinrichtung
DE19724739A1 (de) * 1997-06-12 1998-12-17 Werth Messtechnik Gmbh Taster zur Messung geometrischer Strukturen
DE19816270A1 (de) * 1998-04-11 1999-10-21 Werth Messtechnik Gmbh Verfahren und Anordnung zur Erfassung der Geometrie von Gegenständen mittels eines Koordinatenmeßgeräts
US6441910B1 (en) * 1998-05-29 2002-08-27 Werth Messtechnik Gmbh System for measuring structures of an object
JP2000162318A (ja) * 1998-11-24 2000-06-16 Hamamatsu Photonics Kk 全方位距離検出装置
US20050178841A1 (en) 2002-06-07 2005-08-18 Jones Guilford Ii System and methods for product and document authentication

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