JP2005157146A5 - - Google Patents

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  1. 光源と、
    前記光源からの光が集光される標本の拡大像を出射する対物レンズと、
    前記対物レンズを含む光路上に設けられ、前記対物レンズの前記標本上での焦点位置を前記対物レンズの光軸方向に光学的に可変制御する焦点位置制御手段と、
    前記対物レンズを含む光路上の前記標本の中間像を結像する位置に挿脱可能に設けられ前記焦点位置制御手段を介して入射される光を反射する光反射手段と、
    前記光反射手段で反射される光を検出し、該検出される光量に応じて前記焦点位置制御手段の状態を設定する設定手段とを具備したことを特徴とする光学顕微鏡。
  2. 光源と、
    前記光源からの光が集光される標本の拡大像を出射する対物レンズと、
    前記前記光源からの光を前記標本上で２次元走査する光走査手段と、
    前記対物レンズを含む光路上に設けられ、前記対物レンズの前記標本上での焦点位置を前記対物レンズの光軸方向に光学的に可変制御する焦点位置制御手段と、
    前記対物レンズを含む光路上の前記標本の中間像を結像する位置に挿脱可能に設けられ前記焦点位置制御手段を介して入射される光を反射する光反射手段と、
    前記光反射手段で反射される光を検出し、該検出される光量に応じて前記焦点位置制御手段の状態を設定する設定手段とを具備したことを特徴とする光学顕微鏡。
  3. 前記設定手段は、前記光走査手段の動作によって前記光源からの光を前記光反射手段上で走査させ、前記光反射手段の複数点からの反射光を検出し、該検出される光量に応じて前記焦点位置制御手段の状態を設定することを特徴とする請求項２記載の光学顕微鏡。
  4. 前記設定手段は、前記複数点からの反射光の光量が均一になるように前記焦点位置制御手段の状態を設定することを特徴とする請求項３記載の光学顕微鏡。
  5. 光源と、
    前記光源からの光が集光される標本の拡大像を出射する対物レンズと、
    前記対物レンズを含む光路上に設けられ、前記対物レンズの前記標本上での焦点位置を前記対物レンズの光軸方向に光学的に可変制御する焦点位置制御手段と、
    前記対物レンズを含む光路上の前記標本の中間像を結像する位置に挿脱可能に設けられ前記焦点位置制御手段を介して入射される光を反射する光反射手段と、
    前記光反射手段で反射される光の波面を検出し、該検出される波面収差に応じて前記焦点位置制御手段の状態を設定する設定手段とを具備したことを特徴とする光学顕微鏡。
  6. 前記焦点位置制御手段は、印加電圧に応じて反射面を変形する波面変調器からなり、前記設定手段は、前記光反射手段で反射される光を検出し、該検出信号に応じて前記波面変調器の印加電圧を制御することを特徴とする請求項１〜５に記載の光学顕微鏡。
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US7326899B2 (en) 2005-07-11 2008-02-05 Olympus Corporation Laser scanning microscope and image acquiring method of laser scanning microscope
JP4874012B2 (ja) * 2005-07-11 2012-02-08 オリンパス株式会社 レーザ走査型顕微鏡およびレーザ走査型顕微鏡の画像取得方法
DE102007011305A1 (de) * 2007-03-06 2008-09-11 Leica Microsystems Cms Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur Strahljustage in einem optischen Strahlengang
JP4928351B2 (ja) * 2007-05-25 2012-05-09 オリンパス株式会社 顕微鏡

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11326860A (ja) * 1998-05-18 1999-11-26 Olympus Optical Co Ltd 波面変換素子及びそれを用いたレーザ走査装置
JP4531895B2 (ja) * 1999-12-06 2010-08-25 オリンパス株式会社 レーザ集光光学系及びそれを用いたレーザ走査型顕微鏡
JP3797874B2 (ja) * 2000-12-26 2006-07-19 オリンパス株式会社 走査型光学顕微鏡

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