JP2004363557A - 圧電材料とその製造方法並びに非線形圧電素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 移動性の点欠陥を有する圧電材料であって、移動性のある点欠陥がその短範囲秩序の対象性が強誘電相の結晶対称性に一致するように配置されているものとする。
【選択図】図3
Description
〔1〕移動性の点欠陥を有する強誘電体圧電材料であって、移動性の点欠陥が、その短範囲秩序の対称性が強誘電相の結晶対称性に一致するように配置されており、ドメインの電場下での可逆的変換によって非線形圧電効果が発現されることを特徴とする圧電材料。
〔2〕移動性の点欠陥は、化学平衡によって、または添加元素によって導入された強誘電体を構成する元素の空孔であることを特徴とする上記の圧電材料。
〔3〕キュリー温度以下で時効処理されて点欠陥の短範囲秩序の対称性が強誘電相の結晶対称性に一致するように配置されていることを特徴とする上記の圧電材料。
〔4〕単結晶体または多結晶体であることを特徴とする圧電材料。
〔5〕薄膜であることを特徴とする圧電材料。
〔6〕多層膜であることを特徴とする圧電材料。
〔7〕強誘電体がABO3型のものであることを特徴とする圧電材料。
〔8〕強誘電体がBaTiO3(Ba,Sr)TiO3であることを特徴とする圧電材料。
〔9〕強誘電体がPb(Zr,Ti)O3または(Pb,希土類元素)(Zr,Ti)O3であることを特徴とする圧電材料。
〔10〕他元素が添加されていることを特徴とする圧電材料。
〔11〕他元素はアルカリ金属、アルカリ土類金属および遷移金属のうちの1種以上の元素であることを特徴とする圧電材料。
〔12〕他元素が20モル%以下の割合で添加されていることを特徴とする圧電材料。
〔13〕添加される他元素は、Na,K,Mg,Ca,Al,V,Cr,Mn,Fe,Co,Ni,Zn,Ga,Rb,Sr,Y,Zr,Nb,Mo,Ru,Rh,Ag,Sn,Hf,Ta,W,Os,Ir,Pt,Pb,Bi,および希土類元素のうちの1種以上であることを特徴とする圧電材料。
〔14〕ABO3型の強誘電体もしくはそれに他元素が添加された強誘電体の少くとも1種であって、キュリー温度以下で時効処理されていることを特徴とする非線形圧電効果発現性の圧電材料。
〔15〕BaTiO3,(Ba,Sr)TiO3およびそれらにK、FeおよびMnのうちの1種以上が添加された強誘電体の少くとも1種であることを特徴とする非線形圧電効果発現性の圧電材料。
〔16〕(Pb,La)(Zr,Ti)O3強誘電体であることを特徴とする非線形圧電効果発現性の圧電材料。
〔17〕以上いずれかの圧電材料の製造方法であって、強誘電体材料に移動性のある点欠陥を導入する工程と、前記移動性のある点欠陥の短範囲秩序の対称性を強誘電相の結晶対称性に一致するように点欠陥を配置する工程とを施し、前記強誘電体材料中のドメインの電場下での可逆的変換によって非線形圧電効果を発現性可能とする圧電材料の製造方法。
〔18〕ABO3型の強誘電体もしくはそれに他元素が添加された強誘電体の少くとも1種をキュリー温度以下で時効処理することを特徴とする非線形圧電効果発現性の圧電材料の製造方法。
〔19〕BaTiO3,(Ba,Sr)TiO3およびそれらにK、FeおよびMnのうちの1種以上の元素が添加された強誘電体の少くとも1種であることを特徴とする圧電材料の製造方法。
〔20〕(Pb,La)(Zr,Ti)O3強誘電体であることを特徴とする圧電材料の製造方法。
〔21〕上記いずれかの圧電材料が少くともその構成の一部とされていることを特徴とする非線形圧電素子。
〔22〕非線形圧電素子が構成の少くとも一部として組込まれていることを特徴とする電気機器もしくは機械、あるいはそれらの部品。
〔23〕上記いずれかの圧電材料が少くともその構成の一部とされていることを特徴とする電気機器もしくは機械、あるいはそれらの部品。
(Xiaobing Ren and Kazuhiro Otuka PHYSICAL REVIEW LETTERS Vol.85, No.5, 2000 July 31, pp.1016-1019)を踏まえて、前記巨大な電歪効果を得るための手段として、点欠陥の対称性を利用して圧電材料の電気分極方向が異なる領域:ドメインの変換を可逆的なものとしたことにより導かれたものである。すなわち、この出願の発明は、上記のような新しい技術的知見に基づく新規な技術思想として完成されている。
BaTiO3単結晶をフラックス(flux)法により作製し、冷却後にキュリー点以下の温度において時効処理をした。得られた圧電材料の電界−変形特性を図3の曲線dとして示した。なお図3には、前記のとおりの従来の圧電材料の変形特性を曲線a,b,cとして示している。
<実施例2>
Kを少量(0.1−2%)添加した(BaK)TiO3の単結晶をフラックス(flux)法で作製した。
<実施例3>
この出願の発明の圧電材料として次の3種のセラミックス(多結晶体)試料を調製した。
<実施例4>
実施例3におけるMn−BTセラミックスについて、0V,800V,−800V,0Vのサイクル電圧下において、電界−分極特性を測定した。その結果を図5に示した。
<実施例5>
0.02原子%のFeを含有するBaTiO3:Fe−BT単結晶を製造し、80℃の温度で5日間時効した。このものの電界−圧電変位(歪)の特性を測定したところ、図7に示したように200V/mmの低電場において0.75%という巨大な可逆変位が得られた。この値は、従来のPZTよりも40倍も大きい電歪である。また最近のPZN−PT単結晶よりも10倍以上である。
1〜4 点欠陥B(サイト0)に近接するサイト
P 平衡時にサイト0(点欠陥B占有)の近傍に他の欠陥が見つかる確率
11,14 点欠陥の短範囲秩序の対称性
12,13 結晶対称性
21 常誘電状態にある強誘電体材料(キュリー温度以上の状態)
22 点欠陥の短範囲秩序の対称性が結晶対称性に一致しないドメインを含 む強誘電体材料
22A,22B:23A,23B ツイン関連ドメイン
23 点欠陥の短範囲秩序の対称性を結晶対称性に一致させたドメインを含 む強誘電体材料
24 強誘電体材料23で示した強誘電体材料に電場が印加された時の状態 図
Claims (23)
- 移動性の点欠陥を有する強誘電体圧電材料であって、移動性の点欠陥が、その短範囲秩序の対称性が強誘電相の結晶対称性に一致するように配置されており、ドメインの電場下での可逆的変換によって非線形圧電効果が発現されることを特徴とする圧電材料。
- 移動性の点欠陥は、化学平衡によって、または添加元素によって導入された強誘電体を構成する元素の空孔であることを特徴とする請求項1の圧電材料。
- キュリー温度以下で時効処理されて点欠陥の短範囲秩序の対称性が強誘電相の結晶対称性に一致するように配置されていることを特徴とする請求項1または2の圧電材料。
- 単結晶体または多結晶体であることを特徴とする請求項1から3のうちのいずれかの圧電材料。
- 薄膜であることを特徴とする請求項1から3のうちのいずれかの圧電材料。
- 多層膜であることを特徴とする請求項5の圧電材料。
- 強誘電体がABO3型のものであることを特徴とする請求項1から6のうちのいずれかの圧電材料。
- 強誘電体がBaTiO3(Ba,Sr)TiO3であることを特徴とする請求項7の圧電材料。
- 強誘電体がPb(Zr,Ti)O3または(Pb,希土類元素)(Zr,Ti)O3であることを特徴とする請求項7の圧電材料。
- 他元素が添加されていることを特徴とする請求項7から9のうちのいずれかの圧電材料。
- 他元素はアルカリ金属、アルカリ土類金属および遷移金属のうちの1種以上の元素であることを特徴とする請求項10の圧電材料。
- 他元素が20モル%以下の割合で添加されていることを特徴とする請求項8または9の圧電材料。
- 添加される他元素は、Na,K,Mg,Ca,Al,V,Cr,Mn,Fe,Co,Ni,Zn,Ga,Rb,Sr,Y,Zr,Nb,Mo,Ru,Rh,Ag,Sn,Hf,Ta,W,Os,Ir,Pt,Pb,Bi,および希土類元素のうちの1種以上であることを特徴とする請求項10から12のうちのいずれかの圧電材料。
- ABO3型の強誘電体もしくはそれに他元素が添加された強誘電体の少くとも1種であって、キュリー温度以下で時効処理されていることを特徴とする非線形圧電効果発現性の圧電材料。
- BaTiO3,(Ba,Sr)TiO3およびそれらにK、FeおよびMnのうちの1種以上が添加された強誘電体の少くとも1種であることを特徴とする請求項14の非線形圧電効果発現性の圧電材料。
- (Pb,La)(Zr,Ti)O3強誘電体であることを特徴とする請求項14の非線形圧電効果発現性の圧電材料。
- 請求項1から13のうちのいずれかの圧電材料の製造方法であって、
(a)強誘電体材料に移動性のある点欠陥を導入する工程と
(b)前記移動性のある点欠陥の短範囲秩序の対称性を強誘電相の結晶対称性に一致するように点欠陥を配置させる工程とを施し、前記強誘電体材料中のドメインの電場下での可逆的変換によって非線形圧電効果が発現されるようにしたことを特徴とする圧電材料の製造方法。 - ABO3型の強誘電体もしくはそれに他元素が添加された強誘電体の少くとも1種をキュリー温度以下で時効処理することを特徴とする非線形圧電効果発現性の圧電材料の製造方法。
- BaTiO3,(Ba,Sr)TiO3およびそれらにK、FeおよびMnのうちの1種以上の元素が添加された強誘電体の少くとも1種であることを特徴とする請求項18の圧電材料の製造方法。
- (Pb,La)(Zr,Ti)O3強誘電体であることを特徴とする請求項18の圧電材料の製造方法。
- 請求項1から16のうちのいずれかの圧電材料が少くともその構成の一部とされていることを特徴とする非線形圧電素子。
- 請求項21の非線形圧電素子が構成の少くとも一部として組込まれていることを特徴とする電気機器もしくは機械、あるいはそれらの部品。
- 請求項1から16のうちのいずれかの圧電材料が少くともその構成の一部とされていることを特徴とする電気機器もしくは機械、あるいはそれらの部品。
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