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Abstract
【解決手段】 陰極基板10に下部電極11、保護絶縁層14、層間膜15を形成し、その上に金属膜下層16と金属膜上層18の積層膜からなる上部バス電極20を有する。下部電極11上に電子下層層となる絶縁層12と上部電極13からなる画素毎の薄膜型電子源の上部電極13が、当該画素の上部バス電極20と隣接画素の上部バス電極(20)との2本のストライプ電極の上層にスパッタで成膜されるとき、上部電極13が当該上部バス電極20を構成する金属膜下層16の後退部16Aと金属膜上層18の庇18Aにより自己整合で分離され、画素毎に分離した薄膜型電子源とする。
【選択図】 図10
Description
また厚い上部バス電極(金属膜下層16、金属膜中間層17、金属膜上層18の積層膜)により大気圧を支持するスペーサからの薄膜型電子源への機械的損傷を防止することができる。
Claims (18)
- 下部電極と上部電極、および前記下部電極と上部電極の間に挟持される電子加速層を有し、前記下部電極と前記上部電極間に電圧を印加することで該上部電極側より電子を放出する薄膜型電子源アレイを有する陰極基板と、前記電子により励起されて発光する蛍光体を形成した蛍光面を有する蛍光面基板とからなる表示パネルと、前記下部電極と前記上部電極を駆動する駆動回路を有し、
前記表示パネルの前記薄膜型電子源アレイをマトリクス状に配置した画像表示領域における前記下部電極と上部電極に給電する上部バス電極の何れか一方がストライプ形状の電極であることを特徴とする画像表示装置。 - 下部電極と上部電極、および前記下部電極と上部電極の間に挟持される電子加速層を有し、前記下部電極と前記上部電極間に電圧を印加することで該上部電極側より電子を放出する薄膜型電子源アレイを有する陰極基板と、前記電子により励起されて発光する蛍光体を形成した蛍光面を有する蛍光面基板とからなる表示パネルと、前記下部電極と前記上部電極を駆動する駆動回路を有し、
前記表示パネルの前記薄膜型電子源アレイをマトリクス状に配置した画像表示領域における前記下部電極と上部電極に給電する上部バス電極の何れか双方がストライプ形状の電極であることを特徴とする画像表示装置。 - 下部電極と上部電極、および前記下部電極と上部電極の間に挟持される電子加速層を有し、前記下部電極と前記上部電極間に電圧を印加することで該上部電極側より電子を放出する薄膜型電子源アレイを有する陰極基板と、前記電子により励起されて発光する蛍光体を形成した蛍光面を有する蛍光面基板とからなる表示パネルと、前記下部電極と前記上部電極を駆動する駆動回路を有し、
前記薄膜型電子源は、隣接する少なくとも画像表示領域ではストライプ形状の上部バス電極の間に設けられ、
前記画像表示領域に成膜された前記上部電極が当該画素の上部バス電極と接続され、かつ隣接する画素の上部バス電極とは分離されることにより、画素分離されていることを特徴とする画像表示装置。 - 下部電極と上部電極、および前記下部電極と上部電極の間に挟持される電子加速層を有し、前記下部電極と前記上部電極間に電圧を印加することで該上部電極側より電子を放出する薄膜型電子源アレイを有する陰極基板と、前記電子により励起されて発光する蛍光体を形成した蛍光面を有する蛍光面基板とからなる表示パネルと、前記下部電極と前記上部電極を駆動する駆動回路を有し、
前記薄膜型電子源は、少なくとも画像表示領域でストライプ形状の隣接する上部バス電極の間に設けられ、
画像表示領域に成膜された上部電極膜が、前記第1の上部バス電極と接続され、かつ前記隣接画素の上部バス電極とは、当該画素の上部バス電極の片側側面に形成された庇構造の段差で分離されて、画素分離されていることを特徴とする画像表示装置。 - 前記ストライプ形状の上部バス電極は画素ピッチ毎に1本づつ形成されており、前記上部電極へ給電する前記上部バス電極としての機能と、前記第1の基板および前記第二の基板の間に介挿されて両基板を支持するスペーサの電位を与える電極の機能とを兼ねていることを特徴とす請求項3乃至4の何れかに記載の画像表示装置。
- 下部電極と上部電極、および前記下部電極と上部電極の間に挟持される電子加速層を有し、前記下部電極と前記上部電極間に電圧を印加することで該上部電極側より電子を放出する薄膜型電子源アレイを有する陰極基板と、前記電子により励起されて発光する蛍光体を形成した蛍光面を有する蛍光面基板とからなる表示パネルと、前記下部電極と前記上部電極を駆動する駆動回路を有し、
前記薄膜型電子源は、少なくとも画像表示領域ではストライプ形状である上部バス電極およびスペーサ電極の間に設けられ、
前記画像表示領域に成膜された前記上部電極は前記上部バス電極と接続されると共に、前記スペーサ電極とは分離され、
前記スペーサ電極および隣接する行(または列)の前記薄膜型電子源の前記上部バス電極とは絶縁されており、
前記スペーサ電極上に前記陰極基板と前記蛍光面基板の間を支持するスペーサが配置されていることを特徴とする画像表示装置。 - 下部電極と上部電極、および前記下部電極と上部電極の間に挟持される電子加速層を有し、前記下部電極と前記上部電極間に電圧を印加することで該上部電極側より電子を放出する薄膜型電子源アレイを有する陰極基板と、前記電子により励起されて発光する蛍光体を形成した蛍光面を有する蛍光面基板とからなる表示パネルと、前記下部電極と前記上部電極を駆動する駆動回路を有し、
前記薄膜型電子源は、少なくとも画像表示領域ではストライプ形状である上部バス電極およびスペーサ電極の間に設けられ、
前記画像表示領域に成膜された前記上部電極は、前記上部バス電極と接続されると共に、前記スペーサ電極とは当該スペーサ電極の側面に形成された庇構造の段差で分離されて、
前記スペーサ電極および隣接する行(または列)の薄膜型電子源の前記上部バス電極とは絶縁されており、
前記スペーサ電極の上に薄膜型電子源アレイ基板と蛍光面基板間の間を支持するスペーサが配置されていることを特徴とする画像表示装置。 - 下部電極と上部電極、および前記下部電極と上部電極の間に挟持される電子加速層を有し、前記下部電極と前記上部電極間に電圧を印加することで該上部電極側より電子を放出する薄膜型電子源アレイを有する陰極基板と、前記電子により励起されて発光する蛍光体を形成した蛍光面を有する蛍光面基板とからなる表示パネルと、前記下部電極と前記上部電極を駆動する駆動回路を有し、
前記薄膜型電子源は、少なくとも画像表示領域ではストライプ形状である第1と第2の上部バス電極の間に設けられ、
前記画像表示領域に成膜された上部電極は、前記第1および第2のバス電極で接続され、
さらに、前記第1および第2の上部バス電極と平行して形成された少なくとも前記画像表示領域ではストライプ形状である第3の電極を有しており、
前記上部電極は前記第3の電極の側面に形成された庇構造の段差で分離されて、隣接する行(または列)の前記薄膜型電子源の上部バス電極とは絶縁されており、
前記第3の電極上に前記陰極基板と前記蛍光面基板の間を支持するスペーサが配置されていることを特徴とする画像表示装置。 - 前記上部バス電極は前記画像表示領域の外ではストライプ形状でない部分を含むことを特徴とする請求項1乃至4の何れか、または6乃至8の何れかに記載の画像表示装置
- 前記ストライプ形状の前記上部バス電極および前記スペーサ電極は2層以上の金属薄膜の積層膜構造であることを特徴とする請求項1乃至4の何れか、または6乃至8の何れかに記載の画像表示装置。
- 前記ストライプ形状の上部バス電極およびスペーサ電極は、Cuを他の金属で挟んだ3層以上の金属膜で形成されていることを特徴とする請求項1乃至4の何れか、または6乃至8の何れかに記載の画像表示装置。
- 前記ストライプ形状の上部バス電極およびスペーサ電極は、Cuを他の金属で挟んだ3層以上の金属膜で形成されており、前記3層膜の下層膜および上層膜はAl、Cr、W、Moまたはそれらを含む合金であることを特徴とする請求項1乃至4の何れか、または6乃至8の何れかに記載の画像表示装置。
- 前記ストライプ形状の上部バス電極およびスペーサ電極は、Cuを他の金属で挟んだ3層以上の金属膜で形成されており、前記3層膜の下層膜および上層膜はAl、Cr、W、Moまたはそれらを含む合金であり、前記3層膜の上層の膜厚は、下層の膜厚より厚いことを特徴とする請求項1乃至4の何れか、または6乃至8の何れかに記載の画像表示装置。
- 前記ストライプ形状の上部バス電極および前記スペーサ電極が、前記表示パネルをマトリクス駆動する際の走査線として用いられることを特徴とする請求項1乃至4の何れか、または6乃至8の何れかに記載の画像表示装置。
- 前記ストライプ形状の前記上部バス電極はスパッタで形成した薄膜と印刷で形成した導電性厚膜の積層膜で形成されていることを特徴とする請求項1乃至4の何れか、または6乃至8の何れかに記載の画像表示装置。
- 前記上部バス電極の薄膜部は2層以上の膜で構成され、当該配線の側面の片側で前記上部電極と接続する段々構造を有し、これと反対側の側面では前記上部電極を分離する庇構造を有していることを特徴とする請求項1乃至4の何れか、または6乃至8の何れかに記載の画像表示装置。
- 前記ストライプ形状の前記上部バス電極はスパッタで形成した薄膜と印刷で形成した導電性厚膜の積層膜で形成されており、前記導電性厚膜の厚膜はAgを含む電極であることを特徴とする請求項1乃至4の何れか、または6乃至8の何れかに記載の画像表示装置。
- 前記ストライプ形状の前記上部バス電極はスパッタで形成した薄膜と印刷で形成した導電性厚膜の積層膜で形成され、前記導電性厚膜の厚膜はAgを含む電極であり、前記上部バス電極はマトリクス駆動する際の走査線として用いられることを特徴とする請求項1乃至4の何れか、または6乃至8の何れかに記載の画像表示装置。
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