JP2006107741A - 画像表示装置とその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 金属膜下層16と金属膜中間層17および金属膜上層18の積層配線とした上部バス電極配線を構成する金属膜中間層17に低抵抗材料として電極電位の卑なAlを用い、上層と下層に配置する金属膜下層16と金属膜上層18に耐熱性、耐酸化性の高い、かつAlより電極電位の貴なCrを用いる。AlとCrを選択的にエッチング処理して、金属膜下層16の片方が張り出し、他の片方は金属膜中間層17に対しアンダーカットを形成させる。
【選択図】 図16
Description
Claims (14)
- 電子を放出する電子源アレイと、蛍光面を有する画像表示装置において、電子放出電極へ給電するバス電極はアルミまたはアルミ合金を、アルミまたはアルミ合金より標準電極電位が貴な材料で挟んだ3層膜で形成されていることを特徴とする電子源アレイを用いた画像表示装置。
- 請求項1記載のバス電極は、アルミまたはアルミ合金より標準電極電位が貴な上層材料がアルミまたはアルミ合金配線より幅狭であり、アルミまたはアルミ合金より標準電極電位が貴な下層材料がバス電極側面の片側側面ではアルミまたはアルミ合金より張り出して電子放出電極と接続され、反対側の側面では、アルミまたはアルミ合金に対しアンダーカットを形成しており、電子放出電極をバス電極毎に分離していることを特徴とする画像表示装置。
- 請求項1乃至2記載のアルミまたはアルミ合金より標準電極電位が貴な上層材料は、下層材料より膜厚が厚いことを特徴とする画像表示装置。
- 請求項1乃至2記載のアルミまたはアルミ合金より標準電極電位が貴な材料は、クロムまたはクロム合金であることを特徴とする電子源アレイを用いた画像表示装置。
- 請求項4記載のクロム合金はクロム含有量が10wt%以上であることを特徴とする電子源アレイを用いた画像表示装置。
- 請求項1乃至5記載の電子源アレイは、下部電極と上部電極、その間に挟持される電子加速層を有し、該下部電極と該上部電極間に電圧を印加することで該上部電極側より電子を放出する薄膜材料を積層した電子源アレイを用いることを特徴とする画像表示装置。
- 請求項1乃至5記載の電子源アレイは、隣接する電極間に電界を印加して電子を放出する電子源アレイを用いることを特徴とする画像表示装置。
- 電子を放出する電子源アレイと、蛍光面を有する画像表示装置の製造方法であって、電子放出電極に給電するバス電極を電極電位が卑な金属膜中間層を電極電位の貴な金属膜上層と金属膜下層で挟んだ3層構造で形成し、
前記電極電位が卑な金属膜中間層をマスクに、前記電極電位の貴な金属膜下層をウェットエッチングすることにより、局部電池作用により前記金属膜下層のサイドエッチを途中で停止させることで必要なサイドエッチ量を確保することを特徴とする画像表示装置の製造方法。 - 前記金属膜上層に被覆されない前記金属膜中間層の露出幅を規定することにより、必要なサイドエッチ量を確保することを特徴とする請求項8に記載の画像表示装置の製造方法。
- 前記金属膜中間層の露出幅は、前記金属膜中間層が金属膜上層から露出する幅と当該金属膜中間層の側面における厚みの合計値であることを特徴とする請求項9に記載の画像表示装置の製造方法。
- 電子を放出する電子源アレイと、蛍光面を有する画像表示装置において、電子放出電極へ給電するバス電極はアルミまたはアルミ合金を、アルミまたはアルミ合金より標準電極電位が貴な材料で挟んだ3層膜の上に導電性酸化物を積層し、さらにスクリーン印刷等形成された厚膜電極が積層されていることを特徴とする電子源アレイを用いた画像表示装置。
- 請求項11記載の厚膜電極はスペーサを固定する電極を兼ねていることを特徴とする画像表示装置。
- 請求項11記載の厚膜電極は銀、または金を主材料として印刷電極であることを特徴とする画像表示装置。
- 請求項1乃至13記載のバス電極は、マトリクス駆動する際の走査線として用いられることを特徴とする画像表示装置。
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