JP2005302504A - 画像表示装置 - Google Patents
画像表示装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005302504A JP2005302504A JP2004116417A JP2004116417A JP2005302504A JP 2005302504 A JP2005302504 A JP 2005302504A JP 2004116417 A JP2004116417 A JP 2004116417A JP 2004116417 A JP2004116417 A JP 2004116417A JP 2005302504 A JP2005302504 A JP 2005302504A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- upper electrode
- display device
- image display
- electron source
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Abstract
【解決手段】 薄膜型電子源の上部電極13の表面を酸化物19で被覆し、電子線照射により蛍光体から発生する硫黄成分が上部電極13に吸着しない構造にした。これにより電子放出効率の低下を防止することができ、信頼性の高い薄膜型電子源を備えた画像表示装置が実現できる。
【選択図】 図1
Description
また、上部電極を構成する金属膜としては、特にIr、Pt、Au、Ag、Rh、Ru、Pd、Os、ReなどのVIII族およびIB族の貴金属膜を上記酸化物層で被覆すると有効である。
(1)第1の構成例:下部電極と上部電極と、これらの間に挟持され電子加速層となる絶縁層とを有し、下部電極と上部電極間に電圧を印加することで上部電極側より電子を真空中に放出する薄膜型電子源が規則的に複数個配列されている(薄膜型電子源アレイと云う)基板と、蛍光面を有する表示パネルとを備えた画像表示装置であって、上記薄膜型電子源の上部電極を構成する金属膜上には、前記金属膜と同等か、もしくは前記金属膜より仕事関数の低い酸化物層が被覆されていることを特徴とする。
(2)第2の構成例:下部電極と上部電極と、これらの間に挟持され電子加速層となる絶縁層とを有し、下部電極と上部電極間に電圧を印加することで上部電極側より電子を真空中に放出する薄膜型電子源が規則的に複数個配列されている(薄膜型電子源アレイと云う)基板と、硫化物蛍光体を用いた蛍光面を有する表示パネルとを備えた画像表示装置であって、上記薄膜型電子源の上部電極を構成する金属膜上には、前記金属膜と同等か、もしくは前記金属膜より仕事関数の低い酸化物層が被覆されていることを特徴とする。
(3)第3の構成例:上記(1)もしくは(2)記載の画像表示装置において、薄膜型電子源を構成する上部電極は、Ir、Pt、Au、Ag、Rh、Ru、Pd、Os、ReなどのVIII族及びIB族の元素群から選択される貴金属単体もしくはそれらの合金からなる単層膜もしくは積層膜からなることを特徴とする。
(4)第4の構成例:上記(1)乃至(3)いずれか一つに記載の画像表示装置において、薄膜型電子源の上部電極を被覆する酸化物は、IA族、IIA族、IIIA族、IIIB族及びIVB族の元素群から選ばれる元素の酸化物のいずれか一つ、またはそれらの複合膜からなる単層膜もしくは積層膜であることを特徴とする。
(5)第5の構成例:上記(1)乃至(3)のいずれか一つに記載の画像表示装置において、上記酸化物は、Mg酸化物、Al酸化物及びSi酸化物の中から選ばれるいずれか一つ、またはそれらの複合膜であることを特徴とする。
上記目的を実現する本発明の第1の実施例として、MIM電子源を例に図1及び図4〜図13により説明する。この実施例では説明しない他の薄膜型電子源でも上部電極に同様の手法を用いることができることは云うまでもない。
図14に本発明の画像表示装置の平面模式図を示す。表示側基板(表示パネル)は説明のため、一部のみ図示している。表示側基板にはガラス板上に、コントラストを上げる目的のブラックマトリクス120、赤色蛍光体111、緑色蛍光体112と青色蛍光体113とが形成されている。
その結果、在来の電子源を組み込んだ比較品の電流減少率は50%であったのに対し、本実施例の電流減少率は20%程度であり、飛躍的な特性向上が見られた。
11…下部電極、
12…絶縁層(電子加速層)、
13…上部電極、
14…保護絶縁層、
15…層間絶縁膜、
16…金属膜下層、
16'… 金属膜下層16のアンダーカット部、
16”…金属膜下層16の突き出し部、
17…金属膜上層、
18…厚膜電極(走査線)、
19…酸化物、
20…硫黄、
21…真空、
25…レジスト膜、
30…スペーサ、
50…下部電極駆動回路(信号回路)、
60…上部電極駆動回路(走査回路)、
111…赤色蛍光体、
112…緑色蛍光体、
113…青色蛍光体、
120…ブラックマトリクス、
φ…仕事関数、
e-…放出電子。
Claims (5)
- 下部電極と上部電極と、これらの間に挟持され電子加速層となる絶縁層とを有し、下部電極と上部電極間に電圧を印加することで上部電極側より電子を真空中に放出する薄膜型電子源が規則的に複数個配列されている基板と、蛍光面を有する表示パネルとを備えた画像表示装置であって、上記薄膜型電子源の上部電極を構成する金属膜上には、前記金属膜と同等か、もしくは前記金属膜より仕事関数の低い酸化物層が被覆されていることを特徴とする画像表示装置。
- 下部電極と上部電極と、これらの間に挟持され電子加速層となる絶縁層とを有し、下部電極と上部電極間に電圧を印加することで上部電極側より電子を真空中に放出する薄膜型電子源が規則的に複数個配列されている基板と、硫化物蛍光体を用いた蛍光面を有する表示パネルとを備えた画像表示装置であって、上記薄膜型電子源の上部電極を構成する金属膜上には、前記金属膜と同等か、もしくは前記金属膜より仕事関数の低い酸化物層が被覆されていることを特徴とする画像表示装置。
- 請求項1もしくは2記載の画像表示装置において、薄膜型電子源の上部電極を構成する金属膜は、Ir、Pt、Au、Ag、Rh、Ru、Pd、Os及びReの元素群から選択されるいずれか一つの貴金属単体もしくはそれらの合金からなる単層膜もしくは積層膜からなることを特徴とする画像表示装置。
- 請求項1乃至3のいずれか一つに記載の画像表示装置において、薄膜型電子源の上部電極を構成する金属膜上を被覆する酸化物層は、IA族、IIA族、IIIA族、IIIB族及びIVB族の元素群から選ばれる元素の酸化物のいずれか一つ、またはそれらの複合膜からなる単層膜もしくは積層膜であることを特徴とする画像表示装置。
- 請求項1乃至3のいずれか一つに記載の画像表示装置において、薄膜型電子源の上部電極を構成する金属膜上を被覆する酸化物層は、Mg酸化物、Al酸化物及びSi酸化物の中から選ばれるいずれか一つ、またはそれらの複合膜であることを特徴とする画像表示装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004116417A JP2005302504A (ja) | 2004-04-12 | 2004-04-12 | 画像表示装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004116417A JP2005302504A (ja) | 2004-04-12 | 2004-04-12 | 画像表示装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005302504A true JP2005302504A (ja) | 2005-10-27 |
Family
ID=35333741
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004116417A Pending JP2005302504A (ja) | 2004-04-12 | 2004-04-12 | 画像表示装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2005302504A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008159392A (ja) * | 2006-12-22 | 2008-07-10 | Hitachi Ltd | 画像表示装置とその製造方法 |
CN110364438A (zh) * | 2019-05-29 | 2019-10-22 | 北京华碳元芯电子科技有限责任公司 | 晶体管及其制造方法 |
-
2004
- 2004-04-12 JP JP2004116417A patent/JP2005302504A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008159392A (ja) * | 2006-12-22 | 2008-07-10 | Hitachi Ltd | 画像表示装置とその製造方法 |
CN110364438A (zh) * | 2019-05-29 | 2019-10-22 | 北京华碳元芯电子科技有限责任公司 | 晶体管及其制造方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4865434B2 (ja) | 熱電子放出用の電子放出体、それを備えた電子放出素子、及びそれを備えた平板ディスプレイ装置 | |
JP4644148B2 (ja) | 画像表示装置 | |
WO2005117055A1 (ja) | カソードパネル処理方法、並びに、冷陰極電界電子放出表示装置及びその製造方法 | |
JP2003031150A (ja) | メタルバック付き蛍光面、メタルバック形成用転写フィルムおよび画像表示装置 | |
JP2008124015A (ja) | 電子放出物質及びそれを備えた電子放出表示素子 | |
JP2006107746A (ja) | 画像表示装置 | |
US20060066215A1 (en) | Image display device and method for manufacturing the same | |
JP2005302504A (ja) | 画像表示装置 | |
US7355336B2 (en) | Image display device | |
US7750548B2 (en) | Image display device | |
JP2007005049A (ja) | 画像表示装置 | |
JP2006236590A (ja) | 画像表示装置 | |
US20060284540A1 (en) | Image display device | |
US20070273268A1 (en) | Planar Image Display Device and Manufacturing Method Thereof | |
KR20050096478A (ko) | 전자 방출 표시 장치 및 그 제조 방법 | |
JP2008053057A (ja) | 電子放出素子、電子放出素子の製造方法、及び電子放出素子を有する表示装置 | |
JP2006114403A (ja) | 画像表示装置 | |
JP4561491B2 (ja) | 平面型表示装置用のアノードパネルの製造方法、平面型表示装置の製造方法、及び、平面型表示装置 | |
JP2009076206A (ja) | 画像表示装置及びその製造方法 | |
JP2008258106A (ja) | 画像表示装置の製造方法 | |
JP2012185942A (ja) | 電界放出型発光装置およびその製造方法 | |
JP2004200109A (ja) | 冷陰極電界電子放出表示装置 | |
JP2006126260A (ja) | 画像表示装置 | |
JP2004071316A (ja) | 画像表示装置 | |
JP2007048613A (ja) | 画像表示装置とその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20061013 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20061013 |
|
A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20080613 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080902 |
|
A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20090106 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |