JP2004342884A - 多層配線基板及び多層配線基板の曲げ成形方法並びにその曲げ成形装置 - Google Patents

多層配線基板及び多層配線基板の曲げ成形方法並びにその曲げ成形装置 Download PDF

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Abstract

【課題】多層配線基板を曲げ成形する場合において導体パターン同士が接触することがないようにする。
【解決手段】多層配線基板14において、積層方向で重なる複数の導体パターン16a、16bの一部16a´、16b´を、一つの層のフィルム15cに、相互に重ならないように並べて形成している。従って、多層配線基板14が曲げ成形される部分Mで曲げ成形されたときには導体パターン16a、16b、16a´、16b´が接触することがない。
【選択図】 図1

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、導体パターンが形成された熱可塑性樹脂フィルムを複数積層して形成される多層配線基板及び多層配線基板の曲げ成形方法並びにその曲げ成形装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、電子機器は小型・高機能化が要求されている。これに対応し、電子部品・プリント基板の小型・高密度化が進んでいる。そして、高密度・高多層化が可能なプリント基板が例えば特許文献1に示されている。
【0003】
さらに電子機器を小型・高密度化する方法として、電子機器の中に複数のプリント基板を畳み込んで入れる方法がある。このときには、複数の基板を接続することが必要となる。特許文献2には、接続ピンを利用したプリント基板接続方法が示されている。また、特許文献3には、プリント基板の一部をフレキシブル化して接続する方法が示されている。
【0004】
しかし、接続ピンを利用したプリント基板接続方法では、「多数の信号を接続する」及び「プリント基板を直角など平行以外の角度で接続する」ことが困難である。
【0005】
また、プリント基板の一部をフレキシブル化して接続する方法では、「接続されたプリント基板が折り畳みこまれた形状を単独では保持できず、組付け性が悪い」、「プリント基板保持部材が増える」及び「一部をフレキシブル化するとコストが増加する」といった問題がある。
【0006】
【特許文献1】
特開2000−200976号公報
【0007】
【特許文献2】
特開平8−23618号公報
【0008】
【特許文献3】
特開平8−330683号公報
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
そこで、折り畳まれた形状のプリント基板を使用すれば、前記の問題は解決する。しかし、曲がったプリント基板は製造が困難である。さらに、プリント基板に電子部品を実装するときは、プリント基板が平面であることが必要である。このため、プリント基板に電子部品を実装した後に曲げることが考えられる。熱可塑性をもったプリント基板であれば、曲げ部を加熱し、必要な形状に曲げ、常温に戻せば、必要な部品が実装されたプリント基板を得ることができる。
【0010】
プリント基板の曲げ加工について、図23及び図24に基づいて説明する。多層配線基板1は、導体パターン2が形成された熱可塑性樹脂フィルム3を複数積層して加熱加圧して構成されており、この多層配線基板1において積層方向で導体パターン2、2が重なっている。そして、この多層配線基板1を曲げ成形する場合、多層配線基板1を加熱溶融しながら曲げて、そのまま常温に戻せば、曲げ状態で固化する。
【0011】
しかしながら、この場合図23に示されるように、曲げ外側の導体パターン2は内側へ偏倚し、内側の導体パターン2は外側へ屈曲するため、導体パターン2、2同士が接触するおそれがあった。
【0012】
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、曲げ成形する場合に導体パターン同士が接触することがない多層配線基板及び多層配線基板の曲げ成形方法並びにその曲げ成形装置を提供するにある。
【0013】
【課題を解決するための手段】
請求項1の多層配線基板においては、積層方向で重なる複数の導体パターンの一部を、一つの層のフィルムに、相互に重ならないように並べて形成したところに特徴がある。これによれば、積層方向で曲げ成形された場合に複数の導体パターンが接触することがなく、曲げ成形に好適する多層配線基板を提供できる。
【0014】
請求項2の多層配線基板は、複数の導体パターンを、個々に上層及び下層のフィルムにわたってジグザグ状をなし相互にずらした形態に形成したところに特徴を有する。これによれば、積層方向で曲げ成形された場合に複数の導体パターンが伸縮して相互に接触することがなく、曲げ成形に好適する多層配線基板を提供できる。
【0015】
請求項3の多層配線基板は、各層フィルムの導体パターンの一部に、複数の細い帯状で且つほぼ蛇行状をなす部分を形成したところに特徴を有する。これによれば、積層方向で曲げ成形された場合に複数の導体パターンが伸縮して相互に接触することがなく、曲げ成形に好適する多層配線基板を提供できる。
【0016】
請求項4の多層配線基板は、積層方向で重なる複数の導体パターンの間に耐熱性絶縁物を介在させたところに特徴を有する。これによれば、曲げ成形時に熱可塑性樹脂フィルムが加熱溶融されても導体パターン間に溶融しない耐熱性絶縁物が介在するから、導体パターン同士が接触することがなく、曲げ成形に好適する多層配線基板を提供できる。
【0017】
請求項5の多層配線基板は、耐熱性絶縁物として、導体パターンの耐熱絶縁性表面処理膜を利用するところに特徴を有する。これによれば、構成が簡単となる。
【0018】
請求項6の多層配線基板の曲げ成形方法は、導体パターンが形成された熱可塑性樹脂フィルムを複数積層して形成される多層配線基板を曲げ成形する方法であって、前記導体パターンを予め曲げ成形がなされる内側の部分に形成し、曲げ外側となる部分を加熱しながら多層配線基板を曲げ成形するところに特徴を有する。これによれば、導体パターンに伸縮歪がかからないようにできる。この場合、請求項7の発明のように、曲げ外側となる部分を加熱し且つ曲げ内側となる部分を冷却しながら多層配線基板を曲げ成形するようにすれば、導体パターンの伸縮歪防止に一層有効である。
【0019】
さらに、請求項8の発明のように多層配線基板において曲げ内側となる部分に冷却用のベタパターンを形成しても良く、このようにすると、多層配線基板内のパターンを利用して冷却効果を上げることができる。
【0020】
この場合、請求項9のように、請求項6ないし8において、曲げの内側と外側とを逆にしても、同様の効果が得られる。
【0021】
請求項10の多層配線基板の曲げ成形装置は、折り曲げ可能に設けられて多層配線基板を折り曲げるためのガイド部材と、このガイド部材における折り曲げ部分の一方に対して斜め方向から近接及び離間可能に設けられ前記多層配線基板の曲げ内側となる部分を押える押さえ部材と、前記多層配線基板の曲げ部分を加熱する加熱手段とを備えてなる。これによれば、ガイド部材と押さえ部材とにより多層配線基板に曲げ力を作用させる。このとき加熱手段により多層配線基板を加熱して変形容易状態とするから、多層配線基板を容易に曲げ成形できる。この場合、曲げ成形後に多層配線基板の曲げ内側に位置する押さえ部材を該多層配線基板から離すことになるが、押さえ部材がガイド部材における折り曲げ部分に対して斜め方向から近接及び離間可能に設けられているから、該押さえ部材を成形後の多層配線基板に摺接することなく離間させることが可能となる。
【0022】
請求項11の発明多層配線基板の曲げ成形装置は、折り曲げ可能に設けられて多層配線基板を折り曲げるためのガイド部材と、このガイド部材における折り曲げ部分の一方に対して斜め方向から近接及び離間可能に設けられ前記多層配線基板の曲げ内側となる部分を押える押さえ部材と、前記多層配線基板の曲げ加熱部分を加熱する加熱手段と、前記多層配線基板の曲げ冷却部分を冷却する冷却手段とを備えてなる。これによれば、多層配線基板の曲げ加熱部分を加熱し且つ曲げ冷却部分を冷却しながら多層配線基板を曲げ成形するから、導体パターンの伸縮歪を防止しながら多層配線基板を曲げ成形できる。
【0023】
また、請求項12の発明のように、ガイド部材が、一対の当て板から構成され多層配線基板の板面を押して折り曲げ力を与える構成としても良い。これによれば表面に部品実装のないあるいは少ない多層配線基板の折り曲げに好適する。
【0024】
この場合、請求項13の発明のように、ガイド部材にスライド可能なチャッキング部を設け、このチャッキング部により多層配線基板の一部をチャッキングして該多層配線基板に折り曲げ力を付与する構成としても良く、このようにすると、表面に部品を実装している多層配線基板も折り曲げ可能である。
【0025】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の第1の実施例につき図1ないし図10を参照して説明する。まず、図10には、電子機器における制御ユニット11を示している。この制御ユニット11はケース12内に電子回路13を配設して構成されている。電子回路13は多層配線基板14に種々の電子部品(ICチップ)14aを実装して構成されている。
【0026】
この多層配線基板14の基本的構成及びその製造方法について説明する。図5は多層配線基板の製造工程を示している。製造は、まず絶縁基材である熱可塑性樹脂フィルム15の片面に貼り付けられた導体箔例えば厚さ18μmの銅箔A(アルミ箔でも可)をエッチングにて予め設計した配線パターン通りにパターニングする(工程P1)。各層のパターニングが終了すると、導体パターン16が形成されていない面に保護フィルムBを貼付する。
【0027】
保護フィルムBの貼付後、保護フィルムB側から炭酸ガスレーザまたはエキシマレーザを照射して、所定位置に導体パターン16(銅箔)を底面とする有底ビアホールCを形成する(工程P2)。この工程はドリル加工等の機械加工も可能であるが、微細な穴をあける必要があるため、高い精度を確保する上ではレーザ加工が好ましい。
【0028】
各層についてビアホールCを形成後、ビアホールC内に層間接続材である導電ペースト17(導電材)を充填する(工程P3)。導電ペースト17は、銅、銀、スズなどの金属粒子にバインダ樹脂や有機溶剤を加え混錬してペースト化したものである。導電ペースト17は、メタルマスクを用いたスクリーン印刷機により片面導体フィルムの導体パターン側を下にしてビアホールC内に印刷充填する。充電後、保護フィルムBを剥離する(工程P4)。
【0029】
保護フィルムBの剥離後、片面導体フィルムの導体パターン16側を下にして各層を積層する(工程P5)。なお、チップD(電子部品)を埋め込むためには、チップDの厚さに対応する枚数の樹脂フィルム15の埋設位置に、予めガイドとなる穴を形成しておき、そこに配置する。この場合の穴の形成は、レーザ加工等を用いれば短時間で行うことができ削り屑も出ない。このため、従来のエポキシ基板を加工してチップを埋め込む工程に比べて作業性が飛躍的に向上する。
【0030】
最下層には導体パターン16を覆うようにしてカバーレイヤ(図示せず)を積層する。積層後、真空加圧プレス機により200℃〜350℃、0.1MPa〜10MPaの圧力で加圧成形する(工程P6)。図6は、このときの加圧温度条件を示している。これにより、多層配線基板14が形成される。
【0031】
ここで前記樹脂フィルム15は、例えばポリエーテルエーテルケトン(PEEK)樹脂35〜65重量%と、ポリエーテルイミド(PEI)樹脂35〜65重量%とを含んだ材質からなり、多層配線基板14の大きさに対応した矩形状をなし、厚みが25〜75ミクロンのフィルム状とされている。この樹脂材料は、図6に示すように、例えば200℃付近では軟質となるが、それより低い温度でも高い温度でも硬質となる(さらに高い温度(約400℃)では溶解する)性状を呈し、また、高温から温度低下する際には、200℃付近でも硬質を保つものとなっている。
【0032】
前記多層配線基板14において曲げ成形される部分Mは、図1ないし図3に示すように形成されている。すなわち、フィルム15a〜15dが積層されており、積層方向で重なる複数の導体パターン16a、16bの一部16a´、16b´を、一つの層のフィルム15cに、相互に重ならないように並べて形成している。すなわち、フィルム15b、15dのうちフィルム15bの導体パターン16aはその下層のフィルム15cの導体パターン16a´に導電ペースト17を介して接続され、フィルム15dの導体パターン16bはその上層のフィルム15cの導体パターン16b´に導電ペースト17を介して接続されている。
【0033】
上述の多層配線基板14は曲げ成形される部分Mは図7ないし図9に示す曲げ成形装置21により曲げ成形されている。この曲げ成形装置21において、ガイド部材たるガイド板22は当て板23、24がヒンジ25、26により折り曲げ可能に連結されて構成されている。このガイド板22における折り曲げ部分には、押さえ部材たる押さえ棒27は、該ガイド板22の折り曲げ部分の一方(当て板23)に対して斜めのヒンジ27aを介して取り付けられており、もって、斜め方向から(図7に示すように角度α(90度より小さい))近接及び離間可能に設けられている。この押さえ棒27は前記多層配線基板14の曲げ成形しようとする部分Mの内側となる部分を押えるものである。この押さえ棒27は金属製であり、図示しないが内部に電気ヒータ(加熱手段)が配設されている。
【0034】
前記押さえ棒27の基端部27bは、ヒンジ26を逃げるように矩形状に湾曲されている。また前記ガイド板22の当て板23、24のヒンジ25側には溝23a、24aが形成されていると共に、端当て部23b、24bが形成されている。前記溝23a、24aには端押さえ具28、29がスライド可能に設けられている。
【0035】
上述の曲げ成形装置21により多層配線基板14を曲げ成形する場合には、図8、図9に示すように多層配線基板14を、端当て部23b、24b及び端押さえ具28、29により位置決めし、押さえ棒27により、多層配線基板14の曲げ成形しようとする部分Mを押さえ、ガイド板22を折り曲げる。このとき押さえ棒27内の電気ヒータにより多層配線基板14の曲げ成形される部分Mの内側から外側まで加熱溶融される。そして多層配線基板14が例えば90度折り曲げられると、自然冷却により多層配線基板14のフィルム15が固化する。その後、押さえ棒27を多層配線基板14から離間させる。このとき、押さえ棒27は一方の当て板23に対して斜めに離間するから、押さえ棒27が折り曲げ状態の多層配線基板14に摺接することはない。
【0036】
なお、押さえ棒27は、曲げ終了後で多層配線基板14が固化する前に離間することも良い。このようにすると、多層配線基板14の冷却が促進され、短時間で固化する。このときは、曲げ加工された多層配線基板14が変形しないように多層配線基板14を保持する必要がある。
【0037】
上記構成の多層配線基板14においては、積層方向で重なる複数の導体パターン16a、16bの一部を、一つの層のフィルム15cに、相互に重ならないように並べて形成しているから、積層方向で曲げ成形された場合に複数の導体パターン16a、16bが接触することがなく、曲げ成形に好適する多層配線基板14を提供できる。
【0038】
また、前記曲げ成形装置21は、折り曲げ可能に設けられて多層配線基板14を折り曲げるためのガイド板22と、このガイド板22における折り曲げ部分の一方である当て板23に対して斜め方向から近接及び離間可能に設けられた押さえ棒27と、多層配線基板14の曲げ部分を加熱する電気ヒータとを備えてなるから、ガイド板22と押さえ棒27とにより多層配線基板14に曲げ力を作用させることができ、そして電気ヒータにより多層配線基板14を加熱して変形容易状態とするから、多層配線基板14を容易に曲げ成形できる。しかも、この場合、曲げ成形後に多層配線基板14の曲げ内側に位置する押さえ棒27を該多層配線基板14から離すことになるが、押さえ棒27がガイド板22における折り曲げ部分に対して斜め方向から近接及び離間可能に設けられているから、該押さえ棒27を成形後の多層配線基板14に摺接することなく離間させることができる。
【0039】
また、この場合、ガイド板22が、一対の当て板23、24から構成されていて、多層配線基板14の板面を押して折り曲げ力を与える構成としているから、表面に部品実装のないあるいは少ない多層配線基板14の折り曲げに好適するものである。
【0040】
図11ないし図13は本発明の第2の実施例を示すものである。この実施例における多層配線基板31は、導体パターン16のうち曲げ成形される部分Mとなる部分の導体パターン16´を該部分Mの内側に形成している。さらに、この導体パターン16´のさらに内側に放熱用(冷却用)のベタパターン32が形成されている。この多層配線基板31は、曲げ成形装置33により、曲げ成形がなされる部分Mの内側の部分を冷却し、曲げ外側となる部分を加熱しながら曲げ成形される(図12参照)。上記曲げ成形装置33について前記曲げ成形装置21と異なる部分について述べる。押さえ部材たる押さえ棒34には加熱手段たる電気ヒータは内蔵されておらず、これに代わる加熱手段として、多層配線基板31の曲げ成形がなされる部分Mの外側部分に対応して、電気ヒータ35及び熱反射板36からなる加熱装置37が設けてられている。さらに上記部分Mの内側部分に対応して冷却手段たる冷却装置38が設けられている。この冷却装置38は内側へ吐出口39aを形成して冷却風を供給する冷却ダクト39を備えた構成である。
【0041】
このような構成の曲げ成形装置33により、多層配線基板31は、その曲げ外側となる部分が加熱され且つ曲げ内側となる部分が冷却されながら曲げ成形される。このような曲げ成形方法によると、導体パターン16´を予め曲げ成形がなされる内側の部分に形成し、多層配線基板31の曲げ外側となる部分を加熱し且つ曲げ内側となる部分を冷却しながら曲げ成形するから、導体パターン16´に伸縮歪がかからないように曲げ成形できる。また、内側のベタパターン32は冷却フィンとして作用し、多層配線基板31内のパターンを利用して冷却性の向上を図ることができる。
【0042】
なお、冷却手段は必ずしも必要ではなく、自然放熱でもよい。この場合、上述のベタパターン32に自然放熱作用が期待できる。
【0043】
また、上述の曲げ成形装置33によれば、多層配線基板31の曲げ外側となる部分を加熱し且つ曲げ内側となる部分を冷却しながら多層配線基板31を曲げ成形するから、導体パターン16´の伸縮歪を防止しながら多層配線基板を曲げ成形できる。
【0044】
図14及び図15は本発明の第3の実施例を示すものである。図14は図15の矢印P−P線に沿う横断面図であり、図15は図14の矢印Q−Q線に沿う縦断側面図である。この実施例における多層配線基板41は、複数例えば2つの導体パターン16a、16bを、個々に上層及び下層のフィルム15a、15bにわたってジグザグ状をなし相互にずらした形態に形成したところに特徴がある。これによれば、積層方向で曲げ成形された場合に導体パターン16a、16bが伸縮して相互に接触することがなく、曲げ成形に好適する。
【0045】
図16及び図17は本発明の第4の実施例を示すものである。図16の矢印R−R線に沿う横断面図であり、図15は図14の矢印S−S線に沿う縦断側面図である。この実施例における多層配線基板51は、導体パターン16a、16bの一部に、複数の細い帯状で且つほぼ蛇行状をなす部分16a´、16b´を形成したところに特徴を有する。これによれば、積層方向で曲げ成形された場合に複数の導体パターン16a、16bが伸縮して相互に接触することがなく、曲げ成形に好適する。
【0046】
図18は本発明の第5の実施例を示しており、この第5の実施例における曲げ成形装置61は、図7ないし図9に示した曲げ成形装置21とはガイド部材62の構成が異なる。すなわちガイド部材62は、一対のガイドアーム62a、62bを図示しないヒンジにて回動可能に連結して有し、さらに、図示しないがこのガイドアーム62a、62bと左右対称構成の別の一対のガイドアームを有し、ガイドアーム62a、62bと図示しないガイドアームとをスライド可能な連結部材63a、63bにて連結し、この連結部材63a、63bにチャッキング部64a、64bが設けられている。このチャッキング部64a、64bは、ねじ65a、65bにより締められて、多層配線基板71の一部例えば端部をチャッキングする。このチャッキング部64a、64bは連結部材64a、64bと共にスライド可能である。この実施例においては、平板状の多層配線基板71に電子部品(ICチップ)72をリフローにて実装した後、多層配線基板71を曲げ成形できる。
【0047】
すなわち、このガイド部材62は多層配線基板71の端部(電子部品72のない部分)をチャッキングして、折り曲げ力を付与することができる。この場合、連結部材63a、63b及びチャッキング部は適宜64a、64bはガイドアーム62a、62bを適宜スライドする。この実施例によると、表面に電子部品72を実装している多層配線基板71の折り曲げができる。この結果、平坦な状態の多層配線基板71に対してリフローでの電子部品実装ができるものである。
【0048】
図19は本発明の第6の実施例を示しており、この実施例における多層配線基板73は、積層方向で重なる複数の導体パターン16a、16bの間に耐熱性絶縁物74を介在させたところに特徴を有する。これによれば、曲げ成形時にフィルム15aないし15cが加熱溶融されても導体パターン16a、16b間に溶融しない耐熱性絶縁物74が介在するから、導体パターン16a、16b同士が接触することがない。
【0049】
本発明は上記各実施例に限定されるものではなく、例えば、加熱手段については熱風供給方式でも良いし、冷却手段については冷却液配管でも良い。また、多層配線基板を折り曲げる形態としては多層配線基板の補強のための形態としても良く、例えば本発明の第7ないし第9の実施例として示す図20ないし図22のようにしても良い。図20においては多層配線基板81を2箇所でほぼ直角に折り曲げた形態とし、図21においては多層配線基板82をほぼV字状に折り曲げた形態とし、図22においては、多層配線基板83をV字状折り曲げをクロスさせる形態としている。リフローで基板に部品を実装するためには実装面が平面でないとクリーム半田の塗布ができない。このため、多層配線基板82、83においては、最初に図21、図22で上になる面に部品を実装する。このとき、裏側に補強板を置いてリフローに耐える強度を確保する。次に多層配線基板をV字状折り曲げを形成する。最後に、図21、図22で下になる面に部品を実装する。このときは、V字状折り曲げにより、基板自体でリフローに耐える強度を確保できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施例を示す多層配線基板の縦断側面図
【図2】図1のH−H線に沿う横断平面図
【図3】導体パターン及び導電ペーストの斜視図
【図4】曲げ成形後の多層配線基板の縦断側面図
【図5】多層配線基板の製造工程図
【図6】製造工程における加圧温度条件を示す図
【図7】曲げ成形装置の斜視図
【図8】多層配線基板を曲げ成形している途中状態での曲げ成形装置の斜視図
【図9】曲げ成形装置の縦断側面図
【図10】曲げ成形した多層配線基板を組み込んだ制御ユニットの縦断側面図
【図11】本発明の第2の実施例を示す多層配線基板の縦断側面図
【図12】曲げ成形後の多層配線基板の縦断側面図
【図13】曲げ成形装置の縦断側面図
【図14】本発明の第3の実施例を示す図15のP−P線に沿う多層配線基板の横断面図
【図15】図14のQ−Q線に沿う多層配線基板の縦断側面図
【図16】本発明の第3の実施例を示す図17のR−R線に沿う多層配線基板の横断面図
【図17】図16のS−S線に沿う多層配線基板の縦断側面図
【図18】本発明の第5の実施例を示す曲げ成形装置の縦断側面図
【図19】本発明の第6の実施例を示す多層配線基板の縦断側面図
【図20】本発明の第7の実施例を示す多層配線基板の斜視図
【図21】本発明の第8の実施例を示す多層配線基板の斜視図
【図22】本発明の第9の実施例を示す多層配線基板の斜視図
【図23】従来における多層配線基板の折り曲げ成形を説明するための多層配線基板の縦断側面図
【図24】曲げ成形後の多層配線基板の縦断側面図
【符号の説明】
11は制御ユニット、14は多層配線基板、14aは電子部品、15、15a〜15dは熱可塑性樹脂フィルム、16、16a、16b、16´、16a´、16b´は導体パターン、17は導電ペースト、21は曲げ成形装置、22はガイド板(ガイド部材)、23、24は当て板、27は押さえ棒(押さえ部材)、31は多層配線基板、32はベタパターン、33は曲げ成形装置、34は押さえ棒、37は加熱装置(加熱手段)、38は冷却装置(冷却手段)、41は多層配線基板、61は曲げ成形装置、62はガイド部材、64a、64bはチャッキング部、71、73、81、82、83は多層配線基板、74は耐熱性絶縁物を示す。

Claims (13)

  1. 導体パターンが形成された熱可塑性樹脂フィルムを複数積層して形成される多層配線基板であって、積層方向で重なる複数の導体パターンの一部を、一つの層のフィルムに、相互に重ならないように並べて形成したことを特徴とする多層配線基板。
  2. 導体パターンが形成された熱可塑性樹脂フィルムを複数積層して形成される多層配線基板であって、複数の導体パターンを、個々に上層及び下層のフィルムにわたってジグザグ状をなし相互にずらした形態に形成したことを特徴とする多層配線基板。
  3. 導体パターンが形成された熱可塑性樹脂フィルムを複数積層して形成される多層配線基板であって、各層フィルムの導体パターンの一部に、複数の細い帯状で且つほぼ蛇行状をなす部分を形成したことを特徴とする多層配線基板。
  4. 導体パターンが形成された熱可塑性樹脂フィルムを複数積層して形成される多層配線基板であって、積層方向で重なる複数の導体パターンの間に耐熱性絶縁物を介在させたことを特徴とする多層配線基板。
  5. 耐熱性絶縁物として、導体パターンの耐熱絶縁性表面処理膜を利用することを特徴とする請求項4記載の多層配線基板。
  6. 導体パターンが形成された熱可塑性樹脂フィルムを複数積層して形成される多層配線基板を曲げ成形する方法であって、前記導体パターンを予め曲げ成形がなされる内側の部分に形成し、曲げ外側となる部分を加熱しながら多層配線基板を曲げ成形することを特徴とする多層配線基板の曲げ成形方法。
  7. 曲げ外側となる部分を加熱し且つ曲げ内側となる部分を冷却しながら多層配線基板を曲げ成形することを特徴とする請求項6記載の多層配線基板の曲げ成形方法。
  8. 曲げ内側となる部分に冷却用のベタパターンが形成されていることを特徴とする請求項6又は7記載の曲げ成形方法。
  9. 曲げの内側と外側とを逆にしたことを特徴とする請求項6ないし8のいずれかに記載の曲げ成形方法。
  10. 折り曲げ可能に設けられて多層配線基板を折り曲げるためのガイド部材と、
    このガイド部材における折り曲げ部分の一方に対して斜め方向から近接及び離間可能に設けられ前記多層配線基板の曲げ内側となる部分を押える押さえ部材と、
    前記多層配線基板の曲げ部分を加熱する加熱手段と
    を備えてなる多層配線基板の曲げ成形装置。
  11. 折り曲げ可能に設けられて多層配線基板を折り曲げるためのガイド部材と、
    このガイド部材における折り曲げ部分に対して斜め方向から近接及び離間可能に設けられ前記多層配線基板の曲げ内側となる部分を押える押さえ部材と、
    前記多層配線基板の曲げ加熱部分を加熱する加熱手段と、
    前記多層配線基板の曲げ冷却部分を冷却する冷却手段と
    を備えてなる多層配線基板の曲げ成形装置。
  12. ガイド部材は、一対の当て板から構成され多層配線基板の板面を押して折り曲げ力を与える構成であることを特徴とする請求項10又は11記載の多層配線基板の曲げ成形装置。
  13. ガイド部材にはスライド可能なチャッキング部が設けられており、このチャッキング部により多層配線基板の一部をチャッキングして該多層配線基板に折り曲げ力を付与することを特徴とする請求項10又は11記載の多層配線基板の曲げ成形装置。
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