JP2004333476A - 静電容量検出装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 M行N列の行列状に配置されたM本の個別電源線と、N本の個別出力線、及び此等交点に設けられた静電容量検出素子とを具備し、静電容量検出素子は信号検出素子と信号増幅素子とを含み、信号検出素子は容量検出電極と容量検出誘電体膜とを含み、信号増幅素子はゲート電極とゲート絶縁膜と半導体膜とから成る信号増幅用MIS型薄膜半導体装置から成る。
【選択図】 図6
Description
CR=ε0・εR・SR/tR
CT=ε0・εox・ST/tox
にて定義し(ε0は真空の誘電率)、容量検出電極の面積をSD(μm2)、容量検出誘電体膜の厚みをtD(μm)、容量検出誘電体膜の比誘電率をεDとして信号検出素子の素子容量CDを
CD=ε0・εD・SD/tD
と定義した時に(ε0は真空の誘電率)、素子容量CDは、基準コンデンサ容量CRとトランジスタ容量CTとの和であるCR+CTよりも十分に大きい事を特徴とする。十分に大きいとは一般的に10倍程度以上の相違を意味するので、換言すれば素子容量CDは基準コンデンサ容量CRとトランジスタ容量CTとの和であるCR+CTと
CD>10×(CR+CT)
との関係を満たしている事になる。本発明の静電容量検出装置では容量検出誘電体膜が静電容量検出装置の最表面に位置するのが望ましい。対象物が容量検出誘電体膜に接しずに対象物距離tAを以て容量検出誘電体膜から離れて居り、対象物容量CAを真空の誘電率ε0と空気の比誘電率εAと容量検出電極の面積SDとを用いて、
CA=ε0・εA・SD/tA
と定義した時に、先の基準コンデンサ容量CRとトランジスタ容量CTとの和であるCR+CTは此の対象物容量CAよりも十分に大きく成る様に静電容量検出装置を構成づける。前述の如く、10倍程度以上の相違が認められると十分に大きいと言えるので、基準コンデンサ容量CRとトランジスタ容量CTとの和であるCR+CTと対象物容量CAとが
(CR+CT)>10×CA
との関係を満たしている事を特徴と為す。より理想的には、容量検出誘電体膜が静電容量検出装置の最表面に位置し、基準コンデンサの電極面積をSR(μm2)、信号増幅用MIS型薄膜半導体装置のゲート面積をST(μm2)、基準コンデンサ誘電体膜の厚みをtR(μm)、基準コンデンサ誘電体膜の比誘電率をεR、ゲート絶縁膜の厚みをtox(μm)、ゲート絶縁膜の比誘電率をεoxとして、基準コンデンサの容量(基準コンデンサ容量)CRと信号増幅用MIS型薄膜半導体装置のトランジスタ容量CTとを
CR=ε0・εR・SR/tR
CT=ε0・εox・ST/tox
にて定義し(ε0は真空の誘電率)、容量検出電極の面積をSD(μm2)、容量検出誘電体膜の厚みをtD(μm)、容量検出誘電体膜の比誘電率をεDとして信号検出素子の素子容量CDを
CD=ε0・εD・SD/tD
と定義した時に(ε0は真空の誘電率)、素子容量CDは、基準コンデンサ容量CRとトランジスタ容量CTとの和であるCR+CTよりも十分に大きく、且つ対象物が容量検出誘電体膜に接しずに対象物距離tAを以て離れて居る際には、対象物容量CAを真空の誘電率ε0と空気の比誘電率εAと容量検出電極の面積SDとを用いて、
CA=ε0・εA・SD/tA
と定義した時に、基準コンデンサ容量CRとトランジスタ容量CTとの和であるCR+CTが対象物容量CAよりも十分に大きく成る様に静電容量検出装置を構成づける。より具体的には素子容量CDと、基準コンデンサ容量CRとトランジスタ容量CTとの和であるCR+CTと、対象物容量CAとが
CD>10×(CR+CT)>100×CA
との関係を満たす様な静電容量検出装置を特徴と為す。
CR=ε0・εox・L1・W/tox
CT=ε0・εox・L2・W/tox
にて定義し(ε0は真空の誘電率)、容量検出電極の面積をSD(μm2)、容量検出誘電体膜の厚みをtD(μm)、容量検出誘電体膜の比誘電率をεDとして信号検出素子の素子容量CDを
CD=ε0・εD・SD/tD
と定義した時に(ε0は真空の誘電率)、此の素子容量CDは先の基準コンデンサ容量CRとトランジスタ容量CTとの和であるCR+CTよりも十分に大きい事を特徴とする。十分に大きいとは一般的に10倍程度以上の相違を意味するので、換言すれば素子容量CDは基準コンデンサ容量CRとトランジスタ容量CTとの和であるCR+CTと
CD>10×(CR+CT)
との関係を満たしている事になる。本発明の静電容量検出装置では容量検出誘電体膜が静電容量検出装置の最表面に位置するのが望ましい。対象物が容量検出誘電体膜に接しずに対象物距離tAを以て容量検出誘電体膜から離れて居り、対象物容量CAを真空の誘電率ε0と空気の比誘電率εAと容量検出電極の面積SDとを用いて、
CA=ε0・εA・SD/tA
と定義した時に、先の基準コンデンサ容量CRとトランジスタ容量CTとの和であるCR+CTは此の対象物容量CAよりも十分に大きく成る様に静電容量検出装置を構成づける。前述の如く、10倍程度以上の相違が認められると十分に大きいと言えるので、基準コンデンサ容量CRとトランジスタ容量CTとの和であるCR+CTと対象物容量CAとが
(CR+CT)>10×CA
との関係を満たしている事を特徴と為す。より理想的には、容量検出誘電体膜が静電容量検出装置の最表面に位置し、信号増幅用MIS型薄膜半導体装置のゲート電極と半導体膜ドレイン領域との重なり部のゲート電極長をL1(μm)、信号増幅用MIS型薄膜半導体装置のゲート電極と半導体膜チャンネル形成領域との重なり部のゲート電極長をL2(μm)、ゲート電極幅をW(μm)、ゲート絶縁膜の厚みをtox(μm)、ゲート絶縁膜の比誘電率をεoxとして基準コンデンサ容量CRとトランジスタ容量CTとを
CR=ε0・εox・L1・W/tox
CT=ε0・εox・L2・W/tox
にて定義し(ε0は真空の誘電率)、容量検出電極面積をSD(μm2)、容量検出誘電体膜の厚みをtD(μm)、容量検出誘電体膜の比誘電率をεDとして信号検出素子の素子容量CDを
CD=ε0・εD・SD/tD
と定義した時に(ε0は真空の誘電率)、素子容量CDは基準コンデンサ容量CRとトランジスタ容量CTとの和であるCR+CTよりも十分に大きく、更に対象物が容量検出誘電体膜に接しずに対象物距離tAを以て離れて居り、対象物容量CAを真空の誘電率ε0と空気の比誘電率εAと容量検出電極面積SDとを用いて、
CA=ε0・εA・SD/tA
と定義した時に、基準コンデンサ容量CRとトランジスタ容量CTとの和であるCR+CTが対象物容量CAよりも十分に大く成る様に静電容量検出装置を構成づける。より具体的には素子容量CDと、基準コンデンサ容量CRとトランジスタ容量CTとの和であるCR+CTと、対象物容量CAとが
CD>10×(CR+CT)>100×CA
との関係を満たす様な静電容量検出装置を特徴と為す。
CR=ε0・εR・SR/tR=ε0・εR・LR・WR/tR
CT=ε0・εox・ST/tox=ε0・εox・LT・WT/tox
と定義する(ε0は真空の誘電率)。図4(A)に示す基準コンデンサと信号増幅素子とが一体形成される場合には、信号増幅用MIS型薄膜半導体装置のゲート電極と半導体膜ドレイン領域との重なり部のゲート電極長をL1(μm)、信号増幅用MIS型薄膜半導体装置のゲート電極と半導体膜チャンネル形成領域との重なり部のゲート電極長をL2(μm)、ゲート電極幅をW(μm)、ゲート絶縁膜の厚みをtox(μm)、ゲート絶縁膜の比誘電率をεoxとして、基準コンデンサ容量CRと信号増幅用MIS型薄膜半導体装置のトランジスタ容量CTを
CR=ε0・εR・SR/tR=ε0・εox・L1・W/tox
CT=ε0・εox・ST/tox=ε0・εox・L2・W/tox
と定義する(ε0は真空の誘電率)。更に、容量検出電極の面積をSD(μm2)、容量検出誘電体膜の厚みをtD(μm)、容量検出誘電体膜の比誘電率をεDとして信号検出素子の素子容量CDを
CD=ε0・εD・SD/tD
と定義する(ε0は真空の誘電率)。対象物表面が素子容量CDの接地電極となり、容量検出電極が容量検出誘電体膜を挟んで他方の電極に相当する。容量検出電極は信号増幅用MIS型薄膜半導体装置のゲート電極と基準コンデンサ第二電極とに接続されて居るので、素子容量CDを持つコンデンサとトランジスタ容量CTを持つコンデンサとが直列に接続され、同時に素子容量CDを持つコンデンサと基準コンデンサ容量CRを持つコンデンサとが直列に接続される事に成る。此等二つの直列コンデンサに電圧Vddが印可されるのである(図5A)。印可電圧は静電容量に応じて分割されるから、この状態にて信号増幅用MIS型薄膜半導体装置のゲート電極に掛かる電圧VGTは
CD>10×(CR+CT)
との関係を満たせば良い。この場合、VGT/Vddは0.1程度以下となり薄膜半導体装置はオン状態には成り得ない。対象物の凸部を確実に検出するには、対象物の凸部が静電容量検出装置に接した時に、信号増幅用MIS型薄膜半導体装置がオフ状態に成る事が重要である。従って電源電圧Vddに正電源を用いる場合には信号増幅用MIS型薄膜半導体装置として、ゲート電圧がゼロ近傍でドレイン電流が流れないエンハンスメント型(ノーマリーオフ型)N型トランジスタを用いるのが好ましい。より理想的には、伝達特性に於けるドレイン電流が最小値となるゲート電圧(最小ゲート電圧)をVminとして、この最小ゲート電圧が
0<0.1×Vdd<Vmin
Vmin<0.1×Vdd<0
CA=ε0・εA・SD/tA
と定義する。斯うして対象物が容量検出誘電体膜から離れた状態では、トランジスタ容量CTと基準コンデンサ容量CRとが並列接続し、これら(CR+CT)と素子容量CDと対象物容量CAとを持つコンデンサーが直列に接続され、此等のコンデンサーに電圧Vddが印可される事になる(図5B)。印可電圧は静電容量に応じて此等のコンデンサー間で分割されるので、この状態にて信号増幅用MIS型薄膜半導体装置のゲート電極に掛かる電圧VGVは
(CR+CT)>10×CA
との関係を満たせば良い。この場合、VGT/Vddは0.91程度以上となり薄膜半導体装置は容易にオン状態と化す。対象物の凹部を確実に検出するには、対象物の凹部が静電容量検出装置に近づいた時に、信号増幅用MIS型薄膜半導体装置がオン状態に成る事が重要である。電源電圧Vddに正電源を用いる場合には信号増幅用MIS型薄膜半導体装置としてエンハンスメント型(ノーマリーオフ型)N型トランジスタを用いており、このトランジスタの閾値電圧VthがVGVよりも小さいのが好ましい。
0<Vth<0.91×Vdd
との関係を満たす様な信号増幅用N型MIS薄膜半導体装置を使用する。反対に電源電圧Vddに負電源を用いる場合には信号増幅用MIS型薄膜半導体装置としてエンハンスメント型(ノーマリーオフ型)P型トランジスタを用ており、理想的には信号増幅用P型MIS薄膜半導体装置の閾値電圧VthがVGVよりも大きいのが好ましい。より理想的には、
との関係を満たす信号増幅用P型MIS薄膜半導体装置を使用する事である。斯うする事に依り対象物の凹部が、電流値Iが非常に大きいとの形態にて確実に検出されるに至る。
CD>10×(CR+CT)>100×CA
との関係を満たす様に静電容量検出装置を特徴付ける。又、電源電圧Vddに正電源を用いる場合には信号増幅用MIS型薄膜半導体装置としてエンハンスメント型(ノーマリーオフ型)N型トランジスタを用いるのが好ましく、此のN型トランジスタの最小ゲート電圧Vminは
0<0.1×Vdd<Vmin
又は、
反対に電源電圧Vddに負電源を用いる場合には信号増幅用MIS型薄膜半導体装置としてエンハンスメント型(ノーマリーオフ型)P型トランジスタを用いるのが好ましく、此のP型トランジスタの最小ゲート電圧Vminは
Vmin<0.1×Vdd<0
又は、
CD>10×(CR+CT)>100×CA
との関係を満たす。斯くして電源電圧Vddを3.3Vとすると、指紋の山が静電容量検出装置表面に接した時に信号増幅用MIS薄膜半導体装置のゲート電極に印可される電圧VGTは0.16Vとなり、指紋の谷が来た時に此のゲート電極に印可される電圧VGVは3.22Vとなる。
0<0.1×Vdd<Vmin
との関係を満たさなかったが、VGT=0.16はドレイン電流を1pA(10-12A)以下の小さな値とし、指紋の山の検出を容易とした。一方、閾値電圧Vthは1.47Vで、
0<Vth<0.91×Vdd=3.00V
との関係を満たして居る。この結果、指紋の山が静電容量検出装置表面に接した時に信号増幅素子から出力される電流値は5.6×10-13Aと窮めて微弱となる。反対に指紋の谷が来た時には信号増幅素子から2.4×10-5Aと大きな電流が出力され、指紋等の凹凸情報を精度良く検出するに至った。
Claims (13)
- 対象物との距離に応じて変化する静電容量を検出する事に依り、該対象物の表面形状を読み取る静電容量検出装置に於いて、
該静電容量検出装置はM行N列の行列状に配置されたM本の個別電源線と、N本の個別出力線、及び該個別電源線と該個別出力線との交点に設けられた静電容量検出素子とを具備し、
該静電容量検出素子は信号検出素子と信号増幅素子とを含み、
該信号検出素子は容量検出電極と容量検出誘電体膜と基準コンデンサとを含み、
該基準コンデンサは基準コンデンサ第一電極と基準コンデンサ誘電体膜と基準コンデンサ第二電極とから成り、
該信号増幅素子はゲート電極とゲート絶縁膜と半導体膜とから成る信号増幅用MIS型薄膜半導体装置から成る事を特徴とする静電容量検出装置。 - 前記信号増幅用MIS型薄膜半導体装置のドレイン領域は前記個別電源線と基準コンデンサ第一電極とに電気的に接続され、
前記信号増幅用ゲート電極は前記容量検出電極と基準コンデンサ第二電極とに接続される事を特徴とする請求項1記載の静電容量検出装置。 - 前記基準コンデンサの誘電体膜と前記信号増幅用MIS型薄膜半導体装置のゲート絶縁膜は同一素材にて同一層上に形成されて居る事を特徴とする請求項1至乃2記載の静電容量検出装置。
- 前記基準コンデンサ第一電極と半導体膜ドレイン領域は同一素材にて同一層上に形成されて居る事を特徴とする請求項1至乃3記載の静電容量検出装置。
- 前記基準コンデンサ第二電極と前記ゲート電極とは同一素材にて同一層上に形成されて居る事を特徴とする請求項1至乃4記載の静電容量検出装置。
- 前記基準コンデンサの電極面積をSR(μm2)、前記信号増幅用MIS型薄膜半導体装置のゲート面積をST(μm2)、前記基準コンデンサ誘電体膜の厚みをtR(μm)、前記基準コンデンサ誘電体膜の比誘電率をεR、前記ゲート絶縁膜の厚みをtox(μm)、前記ゲート絶縁膜の比誘電率をεoxとして、前記基準コンデンサの容量(基準コンデンサ容量)CRと前記信号増幅用MIS型薄膜半導体装置のトランジスタ容量CTとを
CR=ε0・εR・SR/tR
CT=ε0・εox・ST/tox
にて定義し(ε0は真空の誘電率)、
前記容量検出電極の面積をSD(μm2)、前記容量検出誘電体膜の厚みをtD(μm)、前記容量検出誘電体膜の比誘電率をεDとして前記信号検出素子の素子容量CDを
CD=ε0・εD・SD/tD
と定義した時に(ε0は真空の誘電率)、
該素子容量CDは、該基準コンデンサ容量CRと該トランジスタ容量CTとの和であるCR+CTよりも十分に大きい事を特徴とする請求項1至乃5記載の静電容量検出装置。 - 前記容量検出誘電体膜は前記静電容量検出装置の最表面に位置する事を特徴とする請求項2記載の静電容量検出装置。
- 前記対象物が前記容量検出誘電体膜に接しずに対象物距離tAを以て離れて居り、対象物容量CAを真空の誘電率ε0と空気の比誘電率εAと前記容量検出電極の面積SDとを用いて、
CA=ε0・εA・SD/tA
と定義した時に、
前記基準コンデンサ容量CRと前記トランジスタ容量CTとの和であるCR+CTは該対象物容量CAよりも十分に大きい事を特徴とする請求項7記載の静電容量検出装置。 - 前記基準コンデンサの電極面積をSR(μm2)、前記信号増幅用MIS型薄膜半導体装置のゲート面積をST(μm2)、前記基準コンデンサ誘電体膜の厚みをtR(μm)、前記基準コンデンサ誘電体膜の比誘電率をεR、前記ゲート絶縁膜の厚みをtox(μm)、前記ゲート絶縁膜の比誘電率をεoxとして、前記基準コンデンサの容量(基準コンデンサ容量)CRと前記信号増幅用MIS型薄膜半導体装置のトランジスタ容量CTとを
CR=ε0・εR・SR/tR
CT=ε0・εox・ST/tox
にて定義し(ε0は真空の誘電率)、
前記容量検出電極の面積をSD(μm2)、前記容量検出誘電体膜の厚みをtD(μm)、前記容量検出誘電体膜の比誘電率をεDとして前記信号検出素子の素子容量CDを
CD=ε0・εD・SD/tD
と定義した時に(ε0は真空の誘電率)、
該素子容量CDは、該基準コンデンサ容量CRと該トランジスタ容量CTとの和であるCR+CTよりも十分に大きく、
且つ前記対象物が前記容量検出誘電体膜に接しずに対象物距離tAを以て離れて居り、対象物容量CAを真空の誘電率ε0と空気の比誘電率εAと前記容量検出電極の面積SDとを用いて、
CA=ε0・εA・SD/tA
と定義した時に、
前記基準コンデンサ容量CRと前記トランジスタ容量CTとの和であるCR+CTは該対象物容量CAよりも十分に大きい事を特徴とする請求項1至乃5記載の静電容量検出装置。 - 対象物との距離に応じて変化する静電容量を検出する事に依り、該対象物の表面形状を読み取る静電容量検出装置に於いて、
該静電容量検出装置はM行N列の行列状に配置されたM本の個別電源線と、N本の個別出力線、及び該個別電源線と該個別出力線との交点に設けられた静電容量検出素子とを具備し、
該静電容量検出素子は信号検出素子と信号増幅素子とを含み、
該信号検出素子は容量検出電極と容量検出誘電体膜と基準コンデンサとを含み、
該基準コンデンサは基準コンデンサ第一電極と基準コンデンサ誘電体膜と基準コンデンサ第二電極とから成り、
該信号増幅素子はゲート電極とゲート絶縁膜と半導体膜とから成る信号増幅用MIS型薄膜半導体装置から成り、
該信号増幅用MIS型薄膜半導体装置のドレイン領域の一部と該ゲート電極の一部とが該ゲート絶縁膜を介して重なり部を形成しており、該重なり部が該基準コンデンサを成す事を特徴とする静電容量検出装置。 - 前記信号増幅用MIS型薄膜半導体装置のゲート電極と半導体膜ドレイン領域との重なり部のゲート電極長をL1(μm)、前記信号増幅用MIS型薄膜半導体装置のゲート電極と半導体膜チャンネル形成領域との重なり部のゲート電極長をL2(μm)、前記ゲート電極幅をW(μm)、前記ゲート絶縁膜の厚みをtox(μm)、ゲート絶縁膜の比誘電率をεoxとして、
前記基準コンデンサの容量(基準コンデンサ容量)CRと前記信号増幅用MIS型薄膜半導体装置のトランジスタ容量CTとを
CR=ε0・εox・L1・W/tox
CT=ε0・εox・L2・W/tox
にて定義し(ε0は真空の誘電率)、
前記容量検出電極の面積をSD(μm2)、前記容量検出誘電体膜の厚みをtD(μm)、前記容量検出誘電体膜の比誘電率をεDとして前記信号検出素子の素子容量CDを
CD=ε0・εD・SD/tD
と定義した時に(ε0は真空の誘電率)、
該素子容量CDは該基準コンデンサ容量CRと該トランジスタ容量CTとの和であるCR+CTよりも十分に大きい事を特徴とする請求項10記載の静電容量検出装置。 - 前記対象物が前記容量検出誘電体膜に接しずに対象物距離tAを以て離れて居り、対象物容量CAを真空の誘電率ε0と空気の比誘電率εAと前記容量検出電極の面積SDとを用いて、
CA=ε0・εA・SD/tA
と定義した時に、
前記基準コンデンサ容量CRと前記トランジスタ容量CTとの和であるCR+CTは該対象物容量CAよりも十分に大きい事を特徴とする請求項10記載の静電容量検出装置。 - 前記容量検出誘電体膜は前記静電容量検出装置の最表面に位置し、
前記信号増幅用MIS型薄膜半導体装置のゲート電極と半導体膜ドレイン領域との重なり部のゲート電極長をL1(μm)、前記信号増幅用MIS型薄膜半導体装置のゲート電極と半導体膜チャンネル形成領域との重なり部のゲート電極長をL2(μm)、前記ゲート電極幅をW(μm)、前記ゲート絶縁膜の厚みをtox(μm)、前記ゲート絶縁膜の比誘電率をεoxとして前記信号増幅用MIS型薄膜半導体装置の基準コンデンサ容量CRとトランジスタ容量CTとを
CR=ε0・εox・L1・W/tox
CT=ε0・εox・L2・W/tox
にて定義し(ε0は真空の誘電率)、
前記容量検出電極の面積をSD(μm2)、前記容量検出誘電体膜の厚みをtD(μm)、前記容量検出誘電体膜の比誘電率をεDとして前記信号検出素子の素子容量CDを
CD=ε0・εD・S/tD
と定義した時に(ε0は真空の誘電率)、
該素子容量CDは、該基準コンデンサ容量CRと該トランジスタ容量CTとの和であるCR+CTよりも十分に大きく、
且つ前記対象物が前記容量検出誘電体膜に接しずに対象物距離tAを以て離れて居り、対象物容量CAを真空の誘電率ε0と空気の比誘電率εAと前記容量検出電極の面積SDと
を用いて、
CA=ε0・εA・SD/tA
と定義した時に、
該基準コンデンサ容量CRと 該トランジスタ容量CTとの和であるCR+CTは該対象物容量CAよりも十分に大きい事を特徴とする請求項10記載の静電容量検出装置。
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