JP2004315361A - 酸化亜鉛単結晶 - Google Patents
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Abstract
【課題】 導電性に優れた高品質の酸化亜鉛(ZnO)単結晶を提供する。
【解決手段】 結晶中の亜鉛以外の金属濃度が以下の式を満たすことを特徴とする酸化亜鉛単結晶。
[−cM]/[+cM]≧3
(式中 Mは亜鉛以外の金属を示し、[−cM]は酸化亜鉛結晶中の−c領域におけるMの濃度を、[+cM]は酸化亜鉛(ZnO)結晶中の+c領域におけるMの濃度を示すものとする。)
更に、亜鉛以外の金属(M)が2価の金属又は3価の金属であることが好ましい。
【選択図】 図3
Description
性質がある。
現在、数多くの機関でZnOのp型化が研究され、これが実現すれば、フォトエレクトロニクス界及びエネルギー界に革命が起こると期待されている。また、青色発光ダイオード(LED)として数年前から実用化されているGaNとは同じ結晶構造で格子定数も近い(格子ミスマッチ:約2%)こと、将来、低価格で製造できる可能性のあることから、現在、主に使用されているサファイヤやSiCに代わるGaNの成膜用基板としても関心を集めている。
非特許文献1には水熱法によるZnOの単結晶の育成が記載されており、この育成法によれば、ZnOの焼結体を結晶の育成容器内の下部に、一方、ZnO種結晶を該育成容器の上部にそれぞれ配置し、次いで、KOH及びLiOHから成るアルカリ水溶液の溶媒(以下、「アルカリ溶媒」という。)を充填する。この状態で、育成容器内を370〜400℃の育成温度、700〜1000kg/cm2 の圧力で運転を行うが、ここで、育成容器内の上部と下部で、下部の温度が上部の温度より10〜15℃高くなるように運転することにより、ZnOの単結晶を育成させる。
されているが、これでは、半導体特性としては依然として低水準に留まっており、未だ改善の余地がある。
「水熱ZnO単結晶の成長の速度論と形態」(坂上 登・和田 正信 窯業協会誌 82[8]1974)
[−cM]/[+cM]≧3
(式中 Mは亜鉛以外の金属を示し、[−cM]はZnO結晶中の−c領域におけるMの濃度を、[+cM]はZnO結晶中の+c領域におけるMの濃度を示すものとする。)
不純物が少なく高純度であり、高品質の本発明のZnO単結晶を再現性よく製造するた
めには、できるだけ不純物の少ない高純度の原料のみを選択すること、製造工程からの不純物の混入をできる限り抑えること、また、適度な速度での結晶育成が行えるような温度、圧力条件を経験的に設定し、更に、この実現を有利に導く反応育成容器の構造となっていることなどを必要とする。
メーター程度のZnO粉末とし、焼結前にZnO粉末を白金製の形枠に入れ、プレス等で圧縮成型するのがよい。これにより、育成時における微結晶の発生が抑制でき、微結晶の発生に伴う原料の無駄が回避できる。
、Al2O3、ZrO2等が例示されるが、コロイダル・シリカが好ましい。
ラライザー)として、LiOHを用いることで達成できる。
成速度が速くなり、ニードルが多発し易いとされている。これは、アルカリ溶媒の濃度が高く、育成容器内壁の腐食を完全に防止できず、結果として、結晶中へ鉄分等の不純物が多量に混入することが考えられる。また、必要に応じて、得られるZnO単結晶を高純度化することを目的として、H2O2を、アルカリ溶媒1リットルに対して、通常0.01〜0.5モル程度共存させることができる。
過飽和度=(結晶育成部の過飽和状態での溶解量)/(結晶育成部の飽和状態での溶解量)
なお、この過飽和度は、ZnO原料の密度、バッフル板の開口率、原料充填部と結晶育成部との温度差等を適宜変更・選定することにより制御できる。
の内壁にも析出物として析出する問題がある。このような場合に、析出物捕集ネットを対流の集束点近傍に設けることにより、種結晶上に析出しきらなかった残余の溶質を頂部内壁によって下方向に反転させた後、輸送流中の微結晶あるいは析出物を捕捉するとともに、この捕集ネット上に選択的に微結晶を析出させることができる。この場合の頂部をドーム状とすることにより、頂部近傍の対流を円滑に反転させる態様も好適に用いることができる。この捕集ネットの材質も、バッフル板や種結晶設置用のワイヤーと同様に白金(Pt)であることが好ましい。
また、結晶育成時の高温高圧時において、上記の育成容器内の圧力とオートクレーブ内の圧力との圧力差を調整できる何らかの手段による圧力調整部を設けることが好ましい。この圧力調整部としては、例えば、育成容器の内部を密封するように取り付けられた伸縮自在のベローズを設けるとよい。
育成温度に関する結晶育成部と原料充填部における詳細については、結晶育成部の温度は300〜360℃、原料充填部温度は340〜400℃とするのが好ましい。そして、この状態のまま30〜200日間定常運転して結晶を育成し、その後、加熱炉を停止して室温に下げ、ZnO単結晶を取り出す。得られた塊状単結晶は、塩酸(HCl)、硝酸(HNO3)等で洗浄することができる。
[−cM]/[+cM]≧3
(式中 Mは亜鉛以外の金属を示し、[−cM]はZnO結晶中の−c領域におけるMの濃度を、[+cM]はZnO結晶中の+c領域におけるMの濃度を示すものとする。)
そして、本発明の好ましい態様は、[−cM]/[+cM]の値範囲は5以上、より好
ましくは10以上、更に好ましくは20以上である。また、[+cM]の値がより小さくなれば、[−cM]/[+cM]の値が著しく大きくなるが、その上限は通常100程度である。
なお、結晶中の金属成分は、通常、ICP−MSやGDMSにより測定を行うことができる。
なお、結晶の育成方法で微量金属成分の分布を安定させることができるため、これを前提とし、原料中に微量金属成分を含ませる方法、あるいは、育成した単結晶を微量金属成分の溶液に浸漬した後、高温で拡散処理する方法などによりドーピングすることにより、所望の微量金属成分を含む組成のものを得ることも可能である。
ZnO単結晶に含まれる金属としては、鉄(Fe)の場合、−c領域の濃度が、通常3〜100ppmであり、好ましくは5〜100ppmであり、より好ましくは10〜100ppmである。同様に+c領域の濃度が、通常0.01〜1.0ppm、好ましくは0.01〜0.5ppmであり、より好ましくは0.01〜0.3ppmである。
また、アルミニウム(Al)の場合、−c領域の濃度が、通常1.5〜10.0ppmであり、好ましくは2〜10ppmであり、より好ましくは2.5〜10ppmである。同様に+c領域の濃度が、通常0.01〜0.5ppm、好ましくは0.01〜0.25ppmであり、より好ましくは0.01〜0.1ppmである。
従って、本発明のZnO単結晶を、種結晶部分を中心として+c領域を切り出した場合、得られた結晶の透明性が高いために、光学材料として有用に用いることができる。逆に−c領域の着色は鉄(Fe)の混入やそれに伴う酸素欠陥が原因と考えられる。
また、結果として、本発明のZnO単結晶では、通常、その赤外吸収分光特性においても特徴的である。即ち、キャリア濃度の低い+c領域の結晶では、赤外領域での吸収が殆どなく、8000〜1500(/cm)の赤外の透過率が、通常80%以上、特に85%
以上である。一方、キャリア濃度の高い−c領域の結晶では、赤外の短波長域である1500(/cm)付近から大きな吸収が見られ、赤外領域においても、+c領域と−c領域で大きな差が認められる。
Ω・cmである。不純物分布から推論すると、+c領域では、不純物として混入したLiがアクセプターとなり基板を高抵抗化させていると思われる。−c領域は、+c領域に比べAlやFeの様な不純物が多く入り酸素欠損密度が高くこれら及び複合体がドナーとなり抵抗率を下げていると推測される。
本発明の酸化亜鉛(ZnO)単結晶のキャリア濃度は、通常5.0×1014〜1.0×1018(/cm3)であるが、特に+c領域では1012〜1016(/cm3)であり、−c領域では1015〜1020(/cm3)である。また、そのモビリティ(移動度)は、通常
120〜4000(cm2/V・sec)である。かかるキャリア濃度と移動度について
は+領域、−領域において、通常、その値は同程度である。
図1の模式図で示される構造の単結晶育成装置装置を用いてZnO単結晶の育成を行った。図1に示す単結晶育成装置11は、水熱合成法によって、ZnOの単結晶を育成する際に必要な温度及び圧力を、その内部に加えることができるオートクレーブ12と、このオートクレーブ12の内部に収容して使用する育成容器20とから構成される。オートクレーブ12は、例えば、鉄を主材とした高張力鋼などによって形成されたオートクレーブ12の容器本体13に、パッキン17を挟んで蓋体14を被せて、固着部15により固着することで、その内部を気密封止するような構造となっている。オートクレーブ12内に収容して使用する育成容器20は、白金(Pt)製であり、その形状は略円筒状の容器である。そして、その上部には圧力調整部として作用するベローズ30が育成容器20の内部を密閉した状態で取り付けられている。
以上のような単結晶育成装置11を使用し、水熱合成法により種結晶からZnOの単結晶の育成を行うことができる。育成容器内20内に不純物の混入が殆どなく、育成日数を用途に応じて選定することにより工業用途に利用できる口径サイズを有するZnOの単結晶を育成することができる。
容器20とべローズの間を溶接し、育成容器内を完全に密封溶接した。また、オートクレーブ12(φ200×300mm)と育成容器20との間に伝熱のために、純水をフリー容積の80%充填した。オートクレーブ12は、容器本体13と蓋体14からなり、パッキン17を挟んで容器本体13と蓋体14を被せて、固着部15により固着して、その内部を気密密封できるようにした。
その後、ヒータ16により、溶解領域と成長領域を加熱した。加熱に際しては、溶解領域の温度を成長領域の温度より15〜50℃高くし、最終的には、溶解領域を360℃、成長領域を310℃程度になるように昇温した。溶解領域で溶けた原料が対流により上昇し、成長領域にある種結晶3付近より析出することで種結晶を成長させ、ZnO単結晶を育成していくことになる。このままの状態で60日間定常運転を行い、c軸方向およびa軸方向共に約0.2mm/日の育成速度で成長させ、その後、系内を室温常圧に戻してから、長径約5cmのZnO単結晶を取り出した。
直なZnOの薄板)を使用した。また、図3は、酸化亜鉛単結晶の中心をc軸に垂直に切
断した断面図に育成領域名を記載したものである。
得られたZnO単結晶を以下の手法により分析した。ZnO単結晶をc軸に垂直方向で1mm間隔でスライスした各サンプルを、希硝酸、蒸留水で表面を洗浄した後、硝酸、塩酸で溶解した。得られた溶液をICP−QMS(横河アナリティカシステムズ HP4500)を用い、標準添加法で定量した。以上のようにして得られたc軸に垂直な方向の各面(No−3〜No+4)における金属含量濃度の測定結果を表1に示す(なお、表1の数値の単位はppmである)。ここでは、含有量の多い4種の金属の分析結果を示した。これによれば、+c領域と−c領域で金属成分の偏在しており、Fe、Alにおいて特にそれが顕著であることがわかる。
なお、上端がベローズ30を介した密封構造ではなく、パッキン17を挟んで容器本体13と蓋体14を被せて、固着部15により固着しただけの構造を有する形式のものを使用して製造したZnO単結晶においては、不純物として混入しやすい微量金属成分の取り込みが避けられず、単結晶の各スライスにおいて、Alが約20ppm程度、Feが1000ppm程度が検出された。また、各スライス同士での金属成分の濃度分布の顕著な差は認められなかった。
更に、結晶の光学特性として、+c領域と−c領域での赤外分光特性を調べた結果を図4に示す。これによれば、+c領域では赤外吸収が殆どなく、逆に、−c領域では赤外吸収が大きいことがわかる。
11 単結晶育成装置
12 オートクレーブ
13 容器本体
14 蓋体
15 固着部
16 ヒータ
17 パッキン
20 育成容器
21 フレーム
22 白金線
24 内部バッフル板
25 外部バッフル板
26 原料
30 ベローズ
Claims (10)
- 結晶中の亜鉛以外の金属濃度が以下の式を満たすことを特徴とする酸化亜鉛単結晶。
[−cM]/[+cM]≧3
(式中 Mは亜鉛以外の金属を示し、[−cM]は酸化亜鉛結晶中の−c領域におけるMの濃度を、[+cM]は酸化亜鉛結晶中の+c領域におけるMの濃度を示すものとする。) - 亜鉛以外の金属(M)が2価の金属又は3価の金属であることを特徴とする請求項1記載の酸化亜鉛単結晶。
- 2価の金属又は3価の金属が鉄(Fe)又はアルミニウム(Al)であることを特徴とする請求項2記載の酸化亜鉛単結晶。
- 酸化亜鉛単結晶において、−c領域における鉄(Fe)の濃度[−cFe]が3〜100ppm、かつ、+c領域における鉄(Fe)濃度[+cFe]が0.01〜1.0ppmであることを特徴とする請求項3記載の酸化亜鉛(ZnO)単結晶。
- 酸化亜鉛単結晶において、−c領域におけるアルミニウム(Al)濃度[−cAl]が1.5〜10ppm、かつ、+c領域における濃度[+cAl]が0.01〜0.5ppmであることを特徴とする請求項3記載の酸化亜鉛(ZnO)単結晶。
- モビリティーが120〜4000(cm2/V・sec)であることを特徴とする請求項
1〜5のいずれかに記載の酸化亜鉛単結晶。 - キャリア濃度が5.0×1014〜1.0×1018(/cm3)であることを特徴とする請
求項1〜6のいずれかに記載の酸化亜鉛単結晶。 - 長径が5cm以上であることを特徴とする請求項1〜9のいずれかに記載の酸化亜鉛単結晶。
- +c領域における8000〜1500(/cm)での赤外の透過率が80%以上であることを特徴とする請求項1〜8のいずれかに記載の酸化亜鉛単結晶。
- 水熱合成法により製造されることを特徴とする請求項1〜9のいずれかに記載の酸化亜鉛単結晶。
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