JP2004297055A5 - - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- UIZLQMLDSWKZGC-UHFFFAOYSA-N cadmium helium Chemical compound [He].[Cd] UIZLQMLDSWKZGC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 claims 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims 1
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 claims 1
- 239000010979 ruby Substances 0.000 claims 1
- 229910001750 ruby Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims 1
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2004064873A JP4481040B2 (ja) | 2003-03-07 | 2004-03-08 | 半導体装置の作製方法 |
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2003061133 | 2003-03-07 | ||
| JP2004064873A JP4481040B2 (ja) | 2003-03-07 | 2004-03-08 | 半導体装置の作製方法 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2004297055A JP2004297055A (ja) | 2004-10-21 |
| JP2004297055A5 true JP2004297055A5 (enExample) | 2006-07-20 |
| JP4481040B2 JP4481040B2 (ja) | 2010-06-16 |
Family
ID=33421404
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2004064873A Expired - Fee Related JP4481040B2 (ja) | 2003-03-07 | 2004-03-08 | 半導体装置の作製方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4481040B2 (enExample) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100565806C (zh) | 2004-07-30 | 2009-12-02 | 株式会社半导体能源研究所 | 激光辐照装置和激光辐照方法 |
| KR101372869B1 (ko) | 2006-09-29 | 2014-03-10 | 후지필름 가부시키가이샤 | 레이저 어닐 기술, 반도체 막, 반도체 장치, 및 전기 광학장치 |
| JP5053610B2 (ja) * | 2006-09-29 | 2012-10-17 | 富士フイルム株式会社 | レーザアニール方法、半導体膜、半導体装置、及び電気光学装置 |
| JP5053609B2 (ja) * | 2006-09-29 | 2012-10-17 | 富士フイルム株式会社 | レーザアニール技術、半導体膜、半導体装置、及び電気光学装置 |
| JP5678333B2 (ja) * | 2010-05-27 | 2015-03-04 | 株式会社ブイ・テクノロジー | レーザアニール方法及び装置 |
| JP5891504B2 (ja) * | 2011-03-08 | 2016-03-23 | 株式会社Joled | 薄膜トランジスタアレイ装置の製造方法 |
| EP2899749A1 (en) * | 2014-01-24 | 2015-07-29 | Excico France | Method for forming polycrystalline silicon by laser irradiation |
Family Cites Families (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5629323A (en) * | 1979-08-17 | 1981-03-24 | Nec Corp | Two-wavelength laser surface treating apparatus |
| JPS57183023A (en) * | 1981-05-02 | 1982-11-11 | Fujitsu Ltd | Laser annealing |
| JPS57183024A (en) * | 1981-05-02 | 1982-11-11 | Fujitsu Ltd | Laser annealing |
| JP2003347237A (ja) * | 2002-05-30 | 2003-12-05 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置の製造方法およびその製造装置 |
| JP2004128421A (ja) * | 2002-10-07 | 2004-04-22 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | レーザ照射方法およびレーザ照射装置、並びに半導体装置の作製方法 |
| JP4364611B2 (ja) * | 2002-11-29 | 2009-11-18 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 結晶性半導体膜の作製方法 |
| JP4283656B2 (ja) * | 2002-12-18 | 2009-06-24 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置の作製方法、半導体装置及び電子機器 |
| JP4969024B2 (ja) * | 2003-01-21 | 2012-07-04 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置の作製方法 |
| JP4364674B2 (ja) * | 2003-02-28 | 2009-11-18 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置の作製方法 |
| JP4515034B2 (ja) * | 2003-02-28 | 2010-07-28 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置の作製方法 |
| JP4799825B2 (ja) * | 2003-03-03 | 2011-10-26 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | レーザ照射方法 |
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2004
- 2004-03-08 JP JP2004064873A patent/JP4481040B2/ja not_active Expired - Fee Related
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