JP2004287173A - 光導波路の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】本発明は小型化に対応し、かつ微細化コアパターンが作製できる光導波路の製造方法を提供することを目的とするものである。
【解決手段】下部クラッド層2の上にコア層5を形成し、このコア層5の上に少なくとも80wt%以上のタングステンおよびシリコンとを含む材料からなるマスクパターン8を形成し、ドライエッチングによりコアパターン3を形成する光導波路の製造方法であり、タングステンを80wt%以上含むようにすることにより、長時間のドライエッチングにおいてマスクパターン8の周縁部が取り除かれないため、コアパターン3の側壁の垂直性を高めることができ、微細化が実現できる。
【選択図】 図3
【解決手段】下部クラッド層2の上にコア層5を形成し、このコア層5の上に少なくとも80wt%以上のタングステンおよびシリコンとを含む材料からなるマスクパターン8を形成し、ドライエッチングによりコアパターン3を形成する光導波路の製造方法であり、タングステンを80wt%以上含むようにすることにより、長時間のドライエッチングにおいてマスクパターン8の周縁部が取り除かれないため、コアパターン3の側壁の垂直性を高めることができ、微細化が実現できる。
【選択図】 図3
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は光通信システムに用いられる光導波路の製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来の光導波路の製造方法としては、図7に示すものがある。
【0003】
図7(a)〜(g)は従来の光導波路の製造方法を示す断面図である。図7(a)に示すように光導波路のクラッド層に相当する第1のガラス素材11に、図7(b)に示すように光導波路のコア層に相当する第2のガラス素材12を接合し、第2のガラス素材12を所望の厚さとする。そして図7(c)に示すように第2のガラス素材12にフォトレジスト13を塗布し、図7(d)に示すように露光および現像処理される。次に図7(e)に示すようにこのフォトレジスト13により第2のガラス素材12がエッチング処理され、図7(f)に示すようにフォトレジスト13が除去され、所望する光導波路のコアに相当する部分の第2のガラス素材12のみが残存する。そして図7(g)に示すように残存した第2のガラス素材12が露出している面に第3のガラス素材が接続され、図7(f)の第2のガラス素材12が除去された部分に第3のガラス素材14が充填される。
【0004】
なお、この出願の発明に関連する先行技術文献情報としては、例えば特許文献1が知られている。
【0005】
【特許文献1】
特開平8−304652号公報
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
従来の光導波路の製造方法では、多成分ガラス成分からなるコア層をエッチングによりコアパターンを形成する場合、コア層上にマスクパターンを形成し、ドライエッチングによりコアパターンを形成する。しかしながらマスクパターンのエッチングレートに対するコア層のエッチングレートの比である選択比が石英系ガラスよりも低い多成分ガラス材料をコア層に用いる場合、エッチングにおいてマスクパターン全体またはマスクパターンの周縁部がなくなり、作製されたコアパターンの断面形状が台形となる。そのため小型化や隣接するコアパターンの作製を目的としてコアパターンのファイン(微細)化が困難となる。
【0007】
本発明は小型化に対応し、かつ微細化のコアパターンが作製できる光導波路の製造方法を提供することを目的とするものである。
【0008】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を解決するために、以下の構成を有する。
【0009】
本発明の請求項1に記載の発明は、下部クラッド層上にコア層を形成し、このコア層上に少なくとも80wt%以上のダングステンおよびシリコンとを含む材料からなるマスクパターンを形成し、ドライエッチングによりコアパターンを形成する光導波路の製造方法であり、タングステンを80wt%以上含むようにすることにより、長時間のドライエッチングにおいてマスクパターンの周縁部が取り除かれないため、コアパターンの側壁の垂直性を高めることができ、微細化が実現できる。
【0010】
請求項2に記載の発明は、コア層にアルカリ元素成分、アルカリ土類元素成分、遷移元素成分、希土類元素成分の少なくとも1種類以上の元素を含む多成分ガラス材料を用いた請求項1に記載の光導波路の製造方法であり、ガラス軟化温度を低くすることができるため、製造工程が簡素化でき低コストが図れる。
【0011】
請求項3に記載の発明は、コア層にアルカリ元素成分、アルカリ土類元素成分、遷移元素成分、希土類元素成分の少なくとも2種類以上の元素を含む単結晶材料を用いた請求項1に記載の光導波路の製造方法であり、ガラス軟化温度を低くすることができるため、製造工程が簡素化でき低コストが図れる。
【0012】
請求項4に記載の発明は、厚さ3μm以上のマスクパターンを形成する請求項1に記載の光導波路の製造方法であり、タングステンおよびシリコンからなるマスクパターンの層厚を3μm以上とすることにより、長時間のドライエッチングにおいてマスクパターンの周縁部が取り除かれないため、コアパターンの側壁の垂直性を高めることができ、微細化が実現できる。
【0013】
請求項5に記載の発明は、マスクパターンとして、スパッタリングによりマスク層を形成し、このマスク層上に厚みを4μm以上とするレジストパターンを形成し、前記マスク層をドライエッチングにより形成するようにした請求項1に記載の光導波路の製造方法であり、4μm以上のレジストパターンを形成することにより、マスク層から長時間のドライエッチングにも耐えうるマスクパターンを形成することができる。
【0014】
請求項6に記載の発明は、マスク層の形成におけるスパッタリングの圧力を4Pa以上8Pa以下とする請求項1に記載の光導波路の製造方法であり、層厚3μm以上のマスク層を圧力4Pa以上8Pa以下で形成することにより、圧縮応力が低減できると共にマスク層の緻密な膜質が形成できる。
【0015】
請求項7に記載の発明は、アルカリ元素成分、アルカリ土類元素成分、遷移元素成分、希土類元素成分の少なくとも1種類以上の元素を含む多成分ガラス単結材料からなるコア層上に形成するマスク層において、スパッタリングの温度を200℃以下とする請求項1に記載の光導波路の製造方法であり、マスク層のスパッタリング温度を200℃以下で形成することにより、圧縮応力が低減できると共にマスク層の緻密な膜質が形成できる。
【0016】
請求項8に記載の発明は、少なくともニオブ酸リチウムまたはタンタル酸リチウムのいずれかを含む材料からなるコア層上に形成するマスク層において、スパッタリングの温度を200℃以上とする請求項1に記載の光導波路の製造方法であり、マスク層のスパッタリング温度を200℃以下で形成することにより、圧縮応力が低減できると共にマスク層の緻密な膜質が形成できる。
【0017】
請求項9に記載の発明は、チタン酸ジルコン酸、チタン酸ジルコン酸鉛などの少なくとも酸および鉛とを含む結晶材料からなるコア層上に形成するマスク層において、スパッタリングの温度を300℃以上とする請求項1に記載の光導波路の製造方法であり、マスク層のスパッタリング温度を300℃以上で形成することにより、圧縮応力が低減できると共にマスク層の緻密な膜質が形成できる。
【0018】
請求項10に記載の発明は、第1のエッチングのイオン衝撃EIと第2のエッチングのイオン衝撃E2がE1>E2の関係となるようにエッチングする請求項10に記載の光導波路の製造方法であり、膜厚をモニタしながらイオン衝撃が制御できるため、生産性を高めることができる。
【0019】
請求項11に記載の発明は、レーザー光を用いてマスク層の層厚を検知し、この検出結果に基づいて第1のエッチングから第2のエッチングに切り換えてイオン衝撃を制御するようにした請求項5に記載の光導波路の製造方法であり、膜厚をモニタしながらイオン衝撃が制御できるため、生産性を高めることができる。
【0020】
請求項12に記載の発明は、検出結果をマスク層全体の膜厚の60%から95%の範囲とする請求項10に記載の光導波路の製造方法であり、膜厚をモニタしながらイオン衝撃が制御できるため、生産性を高めることができる。
【0021】
請求項13に記載の発明は、第2のエッチングのイオン衝撃を圧力またはバイアスパワー密度の少なくともいずれか一方を制御するようにした請求項10に記載の光導波路の製造方法であり、イオン衝撃を圧力またはバイアスパワー密度の少なくともいずれか一方の制御により小さくできる。
【0022】
請求項14に記載の発明は、第1のエッチングをバイアスパワー密度0.2W/cm2以上、第2のエッチングをバイアスパワー密度0.2W/cm2以下とする請求項10に記載の光導波路の製造方法であり、バイアスパワー密度の制御によりイオン衝撃を大きい状態から小さい状態にすることができるため、生産性を高めることができる。
【0023】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【0024】
図1は本発明の実施の形態において製造される光導波路の一例を示す斜視図である。
【0025】
基板1は、例えばシリコン、半導体基板、各種の多成分ガラス、各種単結晶材料である。ここで各種の多成分ガラスは、例えばアルカリ元素成分、アルカリ土類元素成分、希土類元素成分の少なくとも一種類以上の元素を含有するガラスであり、ホウケイクラウンガラス、フッ素クラウンガラスなどのホウケイ酸塩系の多成分ガラスが良く知られている。下部クラッド層2はSiO2や各種の多成分ガラスを用いて、例えばスパッタ、蒸着、FHD(Flame Hydrolysis Deposition)法、あるいはCVD(Chemical Vapor Deposition)法などの堆積処理、あるいは材料どうしの接合、すなわち陽極接合、常温接合、直接接合などを利用して形成される。
【0026】
基板1と下部クラッド層2の線膨張係数が異なる場合、熱応力によりクラックや剥離が生じ易くなるため、両者の線膨張係数は近いほうが望ましい。
【0027】
なお、基板1がSiである場合は、Siを酸化させたSiO2を下部クラッド層2として用いても良い。また基板1と下部クラッド層2が同じ材料であっても良い。
【0028】
コアパターン3は下部クラッド層2の上に形成される光の線路であり、下部クラッド層2よりも僅かに屈折率が大きいものである。なおコアパターン3と下部クラッド層2との線膨張係数が異なる場合、熱応力によりクラックや剥離が生じ易くなるため、両者の線膨張係数は近いほうが望ましい。
【0029】
コアパターン3を形成する材料として、アルカリ元素成分、アルカリ土類元素成分、希土類元素成分の少なくとも一種類以上の元素を含有するガラスであり、ホウケイクラウンガラス、フッ素クラウンガラスなどのホウケイ酸塩系の多成分ガラスが良く知られている。多成分ガラスで光導波路のコアパターン3を形成すると、ガラス組成を適当に変化させることにより、屈折率、熱膨張係数、あるいはガラス転移温度といったガラスの物性値をより広い範囲で自由に設計することができ、製造工程を簡素化できるため、低コスト化が実現できる。
【0030】
なお、コアパターン3は実際に光を閉じ込めて導波させる部分である。したがって、このコアパターン3に機能性ガラスを用いることにより、種々の機能性デバイスが作製できる。機能性ガラスとしては、シリケートガラス、フッ化物ガラスにエルビウム、プラセオジミウム、ツリウムなどの希土類元素を含有させて光アンプ用に用いられるガラス、バリウムクラウンガラスにネオジミウムを含有させたレーザーガラス、ホウ酸塩またはリン酸塩ガラスにテルビウム、プラセオジミウム、セリウムなどを含有させて大きな磁気光学効果を有するガラス、ガリウムまたは鉛を含有させた大きな電気光学効果を有するガラスなどが考えられる。
【0031】
また、ガラス中にCdS,MnS,EuS,CuClなどの半導体微粒子や磁性半導体微粒子、あるいはAuなどの金属微粒子を分散させた複合材料にしたものも考えられる。これらの微粒子を分散させたガラスを光学材料として用いた場合、強度の増大や光電場の集中による光学効果の増大、あるいは光の閉じ込めによる光学効果の増大などが期待でき、非常に優れた材料となる可能性がある。
【0032】
すなわち、ガラスそのものに機能を持たせる場合と結晶材料や金属材料との複合材料を形成して利用する場合とを含め、ガラスの利用方法は多種多様である。
【0033】
アルカリ元素成分、アルカリ土類元素成分、希土類元素成分の少なくとも一種類以上の元素を含有するガラスは、これらの機能性ガラスを総称したものであり、石英ガラス、石英ガラスにGeO2,P2O5,B2O3などをドープした石英ガラス系の材料は含まれない。これらはアルカリ元素成分、アルカリ土類元素成分、希土類元素成分のいずれの元素も含有しないガラスだからである。
【0034】
次に、図1に示した光導波路のコアパターン3を覆うように上部クラッド層4を形成した光導波路について、図を用いて説明する。
【0035】
図2は本発明の実施の形態において製造される光導波路の主要部分を示す斜視図である。
【0036】
下部クラッド層2の上において、コアパターン3を覆うように上部クラッド層4を形成して光導波路を形成する。コアパターン3は図1,図2では一本しか示していないが、このような直線状または曲線状のパターンが複数本形成され、上部クラッド層4はコアパターン3よりも僅かに屈折率が小さい材料である。上部クラッド層4は下部クラッド層2と同じ材料でも良い。また上部クラッド層4の線膨張係数はコアパターン3や下部クラッド層2の線膨張係数と近いほうが望ましく、等しいほうが良い。
【0037】
コアパターン3の屈折率は、下部クラッド層2の屈折率および上部クラッド層4の屈折率よりも大きく、この屈折率の差によって光がコアパターン3に閉じ込められて光が伝搬する。例えばコアパターン3の外周部の表面に凹凸形状があった場合、この凹凸形状によって光が散乱して光伝達損失を生じる。したがって光が伝搬するコアパターン3の外周部の表面も平滑であることが望ましい。
【0038】
コアパターン3が一本のパターンの場合、その断面は必ずしも矩形でなくても良く、台形などでも良い場合がある。すなわち光導波路のコアパターン3の一本のみが独立しているパターンの場合、コアパターン3の側壁の垂直性は高いほうが望ましいが、必ずしも厳密に垂直である必要は無い。
【0039】
しかし、光導波路を用いて方向性結合器などのデバイスを作製する場合、二本以上のコアパターン3が接触はしないが非常に近い間隔で平行に配置されることがある。このような断面形状において側壁の垂直性が極端に低いと、コアパターン3が接触してしまうか、場合によっては所望のデバイスが作製できないことになる。したがってコアパターン3の側壁の垂直性は高いほうが望ましく、できる限り垂直にする必要がある。
【0040】
次に、本発明の実施の形態1における光導波路の製造方法について、図を用いて説明する。
【0041】
図3(a)〜(i)は本発明の実施の形態1における光導波路の製造工程を示す断面図である。
【0042】
図3(a)に示すように基板1を準備し、図3(b)に示すように基板1に下部クラッド層2を重合する。下部クラッド層2は多成分ガラスを用いて、例えばスパッタ、蒸着、FHD(Flame Hydrolysis Deposition)法、あるいはCVD(Chemical Vapor Deposition)法などの堆積処理、あるいは材料間の接合、すなわち陽極接合、常温接合、直接接合などを利用して形成する。なお基板1が下部クラッド層2と同一の材料であっても良く、その場合は図3(b)は省略することができる。
【0043】
次に、図3(c)に示すように下部クラッド層2の表面にコア層5を形成する。このコア層5は多成分ガラスを用いて、例えばスパッタ、蒸着、FHD(Flame Hydrolysis Deposition)法、あるいはCVD(Chemical Vapor Deposition)法などの堆積処理、あるいは材料間の接合、すなわち陽極接合、常温接合、直接接合などを利用して形成する。
【0044】
次に図3(d)に示すように、コア層5の上にマスク層6を形成し、図3(e)に示すように、このマスク層6の上にレジストを塗布してフォトリソグラフィーによりレジストパターン7を形成する。レジストは例えばスピンコートにより塗布する。レジストの膜厚は粘度と回転数により制御することができる。そしてフォトリソグラフィーにより露光および現像してレジストパターン7を形成する。
【0045】
そして、図3(f)に示すように、ドライエッチングによりレジストパターン7をマスクとしてマスク層6を加工してコア層5の上にマスクパターン8を形成する。
【0046】
次に、図3(g)に示すように、マスクパターン8をマスクとして用いてコア層5をドライエッチングにより加工してコアパターン3を形成する。そして図3(h)に示すように、マスクパターン8を除去する。そして図3(i)に示すように、下部クラッド層2の上に形成したコアパターン3を覆うように上部クラッド層4を形成して光導波路を構成する。
【0047】
図3(f)に示すように、コア層5からコアパターン3を形成するためには、コア層5の上にマスクパターン8を設け、ドライエッチングによりコア層5を加工する。この場合マスクパターン8のエッチングレートに対するコア層5のエッチングレートの比としての選択比が高いとマスクパターン8は薄くてもコア層5を十分にエッチングすることができる。この選択比の高いマスク材料として、Cr,Ni,Al,Ta,Wやそれらの合金等が考えられる。マスク材料は高精度に加工される必要がある。そのため選択比が高くかつ加工性に優れたタングステンとシリコンとを含む材料が用いられる。それら二つの合金(以下、W−Siと称する)がよく用いられる。
【0048】
次にマスク層6について説明する。
【0049】
スパッタや蒸着、あるいはCVD(Chemical Vapor Deposition)法などの各種の方法で成膜する。スパッタを利用した場合、安価にマスク層を形成できるため好ましい。スパッタを利用した場合について、以下で詳しく説明する。
【0050】
図4は圧力に対するマスク層の内部応力の特性図である。但し、成膜条件として、バイアスパワー密度を約0.2W/cm2、基板1の加熱温度を100℃とする。
【0051】
図4に示すように、圧力を4Pa以下で成膜した場合、圧縮応力が大きくなり、膜厚3μm以上のW−Siを成膜すると剥離が生じてしまう。また圧力を8Pa以上で成膜した場合は圧縮応力は小さくなるが、緻密な膜を作製することが困難となるため、圧力を4Pa以上8Pa以下とした。
【0052】
なお、バイアスパワー密度が0.2w/cm2よりも低い場合は成膜レートが低くなり生産性が低下するという点で好ましくない。バイアスパワー密度が0.2W/cm2よりも高い場合は成膜レートは高くなり生産性は高くなるが圧縮応力も増加する。そのため、特に0.4W/cm2よりも高い場合は3μm以上の膜厚のW−Siを成膜すると剥離を生じてしまうことが多かった。
【0053】
以上の結果より、バイアスパワー密度は0.2W/cm2よりも高く、0.4W/cm2よりも低い範囲が好ましい。この範囲のバイアスパワー密度においては、成膜時の圧力を変化させて成膜した場合、図4に示す特性とほぼ同じ傾向を示した。すなわちスパッタによってマスク層6を成膜するときにおいて、圧力は4Pa以上8Pa以下の範囲が好ましい。これによりスパッタによるW−Siの成膜において、3μm以上の膜厚を高い歩留まりで形成することができる。
【0054】
なお、基板1の加熱温度は、基板1と下部クラッド層2とコア層5との線膨張係数によって好ましい条件が異なる。実施の形態1では基板1と下部クラッド層2が同一のガラス材料であり、この下部クラッド層2を形成するガラス材料の線膨張係数は約90×10−7K−1であり、コア層5を形成するガラス材料の線膨張係数も約90×10−7K−1である。マスク層6のW−Siの線膨張係数はWの含有量によって多少変化をするが、約50×10−7K−1である。そして成膜時の温度が室温以上であって、成膜後に室温まで冷却されると、W−Siに比べて下部クラッド層2やコア層5のほうが縮むことになり、W−Siには圧縮応力がかかることになる。したがって、基板1の加熱温度を例えば300℃で成膜すると、成膜後の圧縮応力が大きくなり、3μm以上の膜厚のW−Siを成膜すると剥離を生じてしまう。以上の結果により、下部クラッド層2およびコア層5の線膨張係数が約50×10−7K−1よりも大きい場合、基板1の加熱温度は高すぎると好ましくない。この場合、200℃以下が好ましい。
【0055】
なお、多成分ガラスの組成によって線膨張係数は異なるが、例えばホウケイ酸塩ガラスのBK7については、約86×10−7K−1である。多成分ガラスの組成において、SiO2の割合が高いと線膨張係数が小さくなる傾向がある。ガラスの線膨張係数がW−Siの線膨張係数である約50×10−7K−1よりも小さい場合は基板加熱温度を高くすると良い。具体的には300℃で成膜すると良い。成膜時の温度が300℃であって、成膜後に室温まで冷却されると、下部クラッド層2やコア層5に比べてW−Siのほうが縮むことになり、W−Siにかかっていた圧縮応力を低減することが可能になるためである。
【0056】
また、基板1の加熱温度を高くすることによって、コア層5とW−Siとの密着性が高くなるため、剥離が抑制できる。
【0057】
また、ニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウムなどをコア層5の材料として用いた場合、線膨張係数が、約50×10−7K−1よりも大きいため、基板加熱温度は200℃以下が好ましい。チタン酸ジルコン酸ランタン鉛などの、少なくとも鉛と酸素とを含む結晶材料の場合、線膨張係数が約50×10−7K−1よりも小さいため、基板1の加熱温度は高いほうが好ましく、例えば300℃で成膜すると良い。
【0058】
次に、ドライエッチングによりレジストパターン7をマスクとして用いて、間スク層6を加工してマスクパターン8を形成する方法について説明する。
【0059】
マスク層6の上に4μm以上の厚みとするレジストパターン7を形成する。マスクパターン8を形成するためには3μm以上の厚みを有するマスク層6のエッチングが必要になるが、レジストパターン7の膜厚が薄い場合、マスク層6をドライエッチングで加工する際にマスク層6の加工が終わるより前にレジストパターン7が無くなってしまう。そこでレジストパターン7を4μm以上の厚みにすることにより、このことを防ぐことができる。これによりマスクパターン8の側壁の垂直性を高めることが可能となり、その結果コアパターン3の側壁の垂直性を高めることができる。また異方性エッチングが可能なドライエッチング、例えば反応性イオンエッチングによってマスク層6を加工し、マスクパターン8を形成することにより、マスクパターン8の側壁の垂直性を高めることができるため、コアパターン3の側壁の垂直性を高めることができる。
【0060】
W−Siを含む材料からなるマスク層6と多成分ガラスまたは単結晶材料からなるコア層5とは、形状において側壁の垂直性を高めるための最適エッチング条件が一般には異なるため、コア層5の上に形成されているマスク層6のエッチングがコア層5に到達したところでエッチングを一度止めることが望ましい。そのためにマスク層6のドライエッチングによる加工はマスク層6の厚みの60〜95%を加工する第一のエッチングと、残りのマスク層6を加工する第二のエッチングとに分割し、第二のエッチングは第一のエッチングよりもイオン衝撃を小さくする。
【0061】
W−Siを含む材料からなるマスク層6のエッチングに比べてた成分ガラスまたは単結晶材料からなるコア層5のエッチングはマスク層6より大きくイオン衝撃を必要とするため、第二のエッチングのイオン衝撃を小さくすることによりコア層5に到達したところでエッチングを実質的に止めることができる。
【0062】
その結果、マスク層6のエッチングとコア層5のエッチングとを別々に行なうことができ、コア層5の加工条件を最適にすることにより、コアパターン3の形状において、側壁の垂直性を高めることができる。
【0063】
なお、イオン衝撃を小さくしてマスク層6を加工すると、エッチングレートが低く加工時間が大きくなってしまい生産性が悪化する。そのためマスク層6の厚みの60〜95%はイオン衝撃を大きくしてエッチングを行なうことにより、生産性を高めることができる。
【0064】
なお、イオン衝撃を変化させるには、例えば圧力を変化させると良い。圧力を上げることによりイオンの平均自由行程が短くなり、その結果イオン間の衝突が増加するため、エッチングのイオン衝撃を小さくすることができる。
【0065】
また、バイアスパワー密度を下げることによりイオンの引き込みパワーを減少させてイオン衝撃を小さくすることができる。バイアスパワー密度として、例えば第一のエッチングはバイアスパワー密度を0.2W/cm2以上で行ない、次に第二のエッチングはバイアスパワー密度を0.2W/cm2以下で行なう。
【0066】
以下、エッチングについて図を用いて説明する。図5はバイアスパワー密度に対するガラスとW−Siのエッチングレートとの選択比を示す特性図である。
【0067】
マスク層6のW−Siをエッチングしてガラスをエッチングしないようにするため、選択比が小さいほうが良い。例えば選択比が0.01以下の場合、100倍以上のエッチングレートの差があることになる。
【0068】
図5に示すように、0.2W/cm2以下において、二種類のガラスは選択比が0.005以下となり、レートは0.1nm/min以下になっているため、10分間程度余分にエッチングが行なわれたとしてもエッチング量は1nm程度ということになる。したがって第二のエッチングは0.2W/cm2以下のバイアスパワー密度でエッチングを行なうと、ガラスのエッチングの前に停止させることができる。そして第一のエッチングはエッチングレートを高めとして0.2W/cm2以上のバイアスパワー密度でエッチングを行ない、エッチング時間の短縮化が図れる。なお、マスク層6の厚みの60〜95%は第一のエッチングを行ない、残りのマスク層6は第二のエッチングを行う。
【0069】
このマスク層6の厚みの認識方法はいくつかの方法がある。例えばエッチングレートを予め計測し、エッチング量を逆算することによって必要なエッチング時間を求め、エッチング時間によって第1のエッチングと第二のエッチングを切り換える方法が考えられる。またレーザー光をマスク層6にあてることによって、マスク層6の厚みをモニタしながら第一のエッチングと第二のエッチングとの切り換えを行なう方法も考えられる。この方法はマスク層6の厚みをモニタしながら行なうことにより、第一のエッチングでのエッチング量をより高い精度で検知することができるため、第一のエッチングでのエッチング量を大きくすることが可能となり、生産性を高めることができる。
【0070】
次に、コア層5の加工について詳しく説明する。
【0071】
ドライエッチングについて、反応性イオンエッチングを用いて説明する。
【0072】
エッチングガスとしては、CF4,CHF3、またはC4F8などのフッ化炭素を含むガス、SF6などの硫黄化合物系のガス、ArまたはXeなどの不活性ガス、酸素、水素、あるいはそれらを含む混合ガスなどが考えられる。なおマスクパターン8はコア層5をエッチングしてパターン形成する際のマスクである。
【0073】
マスクパターン8のエッチングレートに対するコア層5のエッチングレートの比を選択比とすると、コア層5が多成分ガラスである場合には、コア層5が石英ガラスの場合と比較して選択比が低い。すなわち多成分ガラスは石英ガラスと比較してエッチングが低く、必要なエッチングの深さを確保するためにエッチング時間を長くする必要があり、そのためエッチング中にマスクパターン8が先に無くなってしまう。マスクパターン8の断面を見ると、一般にパターンの周縁部から無くなるため、形成されたコアパターン3の側壁の垂直性が大きく低下する。
【0074】
コアパターンの作製について、図を用いて説明する。
【0075】
図6(a)〜(c)はコアパターンの製造工程を示す断面図である。図6(a)は従来の選択比が高い場合であり、エッチング中でもマスクパターン8が十分残っている。コア層5がエッチングによりコアパターン3が形成されるが、まだ周縁部を含めマスクパターン8は残っているため、形成されたコアパターン3の側壁の垂直性が高い。
【0076】
図6(b)は従来の選択比が低い場合であり、エッチング中にマスクパターン8が大きく加工されていく場合である。マスクパターン8が加工され、マスクパターン8の周縁部から加工され無くなっていく。そのためコア層5がエッチングされコアパターン3が形成されるが、形成されたコアパターン3の側壁の垂直性が低下する。
【0077】
そこで本発明は、タングステンの含有量を80wt%以上とすることによって、この選択比を高めることが可能となる。その結果長時間のエッチングを行ってもマスクパターン8あるいはマスクパターン8が残ることになり、コアパターン3の形状において側壁の垂直性を高めることができる。
【0078】
また、図6(c)に示すように、マスクパターン8の厚みを3μm以上とし、コア層5として多成分ガラスのようにエッチングレートの低い材料を用いた場合は、長時間のエッチングが必要になるが、マスクパターン8の厚みを3μm以上により、長時間のエッチングを行なっても十分にマスクパターン8は残っているためコアパターン3の側壁の垂直性を高めることができる。
【0079】
なお、マスクパターン8はタングステンとシリコンを含有する材料であり、例えば、タングステンを90wt%、シリコンを10wt%含む材料が考えられる。
【0080】
以上、反応性イオンエッチングを例として説明したが、真空装置中でプラズマを発生させて行なう他のエッチング方法も同様である。
【0081】
次に、上部クラッド層4はスパッタ、蒸着、FHD(Flame Hydrolysis Deposition)法、あるいはCVD(Chemical Vapor Deposition)法などの堆積処理、あるいは材料同士の接合、すなわち陽極接合、常温接合、直接接合などを利用して形成される。屈折率を調整した上部クラッド層4を形成することにより、コアパターン3に光を閉じ込めることができ、光伝達損失を小さくすることができる。またコアパターン3が露出することなく覆われるため、信頼性を高めることができる。
【0082】
以上、下部クラッド層2、コア層5、コアパターン3、および上部クラッド層4の材料として多成分ガラスを用いた光導波路の製造方法に関して、その一実施の形態を例として示した。下部クラッド層2、コア層5、コアパターン3、および上部クラッド層4の材料は多成分ガラスに限定されるものではない。
【0083】
なお、以上のようにしてできた光導波路の上部クラッド層4は、図3に示すように覆う場合の他に、空気を上部クラッド層4とみなす場合がある。
【0084】
【発明の効果】
以上のように本発明は、下部クラッド層上にコア層を形成し、このコア層上に少なくとも80wt%以上のタングステンおよびシリコンとを含む材料からなるマスクパターンを形成し、ドライエッチングによりコアパターンを形成する光導波路の製造方法であり、タングステンを80wt%以上含むようにすることにより、長時間のドライエッチングにおいてマスクパターンの周縁部が取り除かれないため、コアパターンの側壁の垂直性を高めることができ、微細化が実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態において製造される光導波路の一例を示す斜視図
【図2】本発明の実施の形態において製造される光導波路の主要部分を示す斜視図
【図3】(a)〜(i)本発明の実施の形態1における光導波路の製造工程を示す断面図
【図4】圧力に対するマスク層の内部応力の特性図
【図5】バイアスパワー密度に対するガラスとW−Siのエッチングレートとの選択比を示す特性図
【図6】(a)〜(c)コアパターンの製造工程を示す断面図
【図7】(a)〜(g)従来の光導波路の製造方法を示す断面図
【符号の説明】
1 基板
2 下部クラッド層
3 コアパターン
4 上部クラッド層
5 コア層
6 マスク層
7 レジストパターン
8 マスクパターン
【発明の属する技術分野】
本発明は光通信システムに用いられる光導波路の製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来の光導波路の製造方法としては、図7に示すものがある。
【0003】
図7(a)〜(g)は従来の光導波路の製造方法を示す断面図である。図7(a)に示すように光導波路のクラッド層に相当する第1のガラス素材11に、図7(b)に示すように光導波路のコア層に相当する第2のガラス素材12を接合し、第2のガラス素材12を所望の厚さとする。そして図7(c)に示すように第2のガラス素材12にフォトレジスト13を塗布し、図7(d)に示すように露光および現像処理される。次に図7(e)に示すようにこのフォトレジスト13により第2のガラス素材12がエッチング処理され、図7(f)に示すようにフォトレジスト13が除去され、所望する光導波路のコアに相当する部分の第2のガラス素材12のみが残存する。そして図7(g)に示すように残存した第2のガラス素材12が露出している面に第3のガラス素材が接続され、図7(f)の第2のガラス素材12が除去された部分に第3のガラス素材14が充填される。
【0004】
なお、この出願の発明に関連する先行技術文献情報としては、例えば特許文献1が知られている。
【0005】
【特許文献1】
特開平8−304652号公報
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
従来の光導波路の製造方法では、多成分ガラス成分からなるコア層をエッチングによりコアパターンを形成する場合、コア層上にマスクパターンを形成し、ドライエッチングによりコアパターンを形成する。しかしながらマスクパターンのエッチングレートに対するコア層のエッチングレートの比である選択比が石英系ガラスよりも低い多成分ガラス材料をコア層に用いる場合、エッチングにおいてマスクパターン全体またはマスクパターンの周縁部がなくなり、作製されたコアパターンの断面形状が台形となる。そのため小型化や隣接するコアパターンの作製を目的としてコアパターンのファイン(微細)化が困難となる。
【0007】
本発明は小型化に対応し、かつ微細化のコアパターンが作製できる光導波路の製造方法を提供することを目的とするものである。
【0008】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を解決するために、以下の構成を有する。
【0009】
本発明の請求項1に記載の発明は、下部クラッド層上にコア層を形成し、このコア層上に少なくとも80wt%以上のダングステンおよびシリコンとを含む材料からなるマスクパターンを形成し、ドライエッチングによりコアパターンを形成する光導波路の製造方法であり、タングステンを80wt%以上含むようにすることにより、長時間のドライエッチングにおいてマスクパターンの周縁部が取り除かれないため、コアパターンの側壁の垂直性を高めることができ、微細化が実現できる。
【0010】
請求項2に記載の発明は、コア層にアルカリ元素成分、アルカリ土類元素成分、遷移元素成分、希土類元素成分の少なくとも1種類以上の元素を含む多成分ガラス材料を用いた請求項1に記載の光導波路の製造方法であり、ガラス軟化温度を低くすることができるため、製造工程が簡素化でき低コストが図れる。
【0011】
請求項3に記載の発明は、コア層にアルカリ元素成分、アルカリ土類元素成分、遷移元素成分、希土類元素成分の少なくとも2種類以上の元素を含む単結晶材料を用いた請求項1に記載の光導波路の製造方法であり、ガラス軟化温度を低くすることができるため、製造工程が簡素化でき低コストが図れる。
【0012】
請求項4に記載の発明は、厚さ3μm以上のマスクパターンを形成する請求項1に記載の光導波路の製造方法であり、タングステンおよびシリコンからなるマスクパターンの層厚を3μm以上とすることにより、長時間のドライエッチングにおいてマスクパターンの周縁部が取り除かれないため、コアパターンの側壁の垂直性を高めることができ、微細化が実現できる。
【0013】
請求項5に記載の発明は、マスクパターンとして、スパッタリングによりマスク層を形成し、このマスク層上に厚みを4μm以上とするレジストパターンを形成し、前記マスク層をドライエッチングにより形成するようにした請求項1に記載の光導波路の製造方法であり、4μm以上のレジストパターンを形成することにより、マスク層から長時間のドライエッチングにも耐えうるマスクパターンを形成することができる。
【0014】
請求項6に記載の発明は、マスク層の形成におけるスパッタリングの圧力を4Pa以上8Pa以下とする請求項1に記載の光導波路の製造方法であり、層厚3μm以上のマスク層を圧力4Pa以上8Pa以下で形成することにより、圧縮応力が低減できると共にマスク層の緻密な膜質が形成できる。
【0015】
請求項7に記載の発明は、アルカリ元素成分、アルカリ土類元素成分、遷移元素成分、希土類元素成分の少なくとも1種類以上の元素を含む多成分ガラス単結材料からなるコア層上に形成するマスク層において、スパッタリングの温度を200℃以下とする請求項1に記載の光導波路の製造方法であり、マスク層のスパッタリング温度を200℃以下で形成することにより、圧縮応力が低減できると共にマスク層の緻密な膜質が形成できる。
【0016】
請求項8に記載の発明は、少なくともニオブ酸リチウムまたはタンタル酸リチウムのいずれかを含む材料からなるコア層上に形成するマスク層において、スパッタリングの温度を200℃以上とする請求項1に記載の光導波路の製造方法であり、マスク層のスパッタリング温度を200℃以下で形成することにより、圧縮応力が低減できると共にマスク層の緻密な膜質が形成できる。
【0017】
請求項9に記載の発明は、チタン酸ジルコン酸、チタン酸ジルコン酸鉛などの少なくとも酸および鉛とを含む結晶材料からなるコア層上に形成するマスク層において、スパッタリングの温度を300℃以上とする請求項1に記載の光導波路の製造方法であり、マスク層のスパッタリング温度を300℃以上で形成することにより、圧縮応力が低減できると共にマスク層の緻密な膜質が形成できる。
【0018】
請求項10に記載の発明は、第1のエッチングのイオン衝撃EIと第2のエッチングのイオン衝撃E2がE1>E2の関係となるようにエッチングする請求項10に記載の光導波路の製造方法であり、膜厚をモニタしながらイオン衝撃が制御できるため、生産性を高めることができる。
【0019】
請求項11に記載の発明は、レーザー光を用いてマスク層の層厚を検知し、この検出結果に基づいて第1のエッチングから第2のエッチングに切り換えてイオン衝撃を制御するようにした請求項5に記載の光導波路の製造方法であり、膜厚をモニタしながらイオン衝撃が制御できるため、生産性を高めることができる。
【0020】
請求項12に記載の発明は、検出結果をマスク層全体の膜厚の60%から95%の範囲とする請求項10に記載の光導波路の製造方法であり、膜厚をモニタしながらイオン衝撃が制御できるため、生産性を高めることができる。
【0021】
請求項13に記載の発明は、第2のエッチングのイオン衝撃を圧力またはバイアスパワー密度の少なくともいずれか一方を制御するようにした請求項10に記載の光導波路の製造方法であり、イオン衝撃を圧力またはバイアスパワー密度の少なくともいずれか一方の制御により小さくできる。
【0022】
請求項14に記載の発明は、第1のエッチングをバイアスパワー密度0.2W/cm2以上、第2のエッチングをバイアスパワー密度0.2W/cm2以下とする請求項10に記載の光導波路の製造方法であり、バイアスパワー密度の制御によりイオン衝撃を大きい状態から小さい状態にすることができるため、生産性を高めることができる。
【0023】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【0024】
図1は本発明の実施の形態において製造される光導波路の一例を示す斜視図である。
【0025】
基板1は、例えばシリコン、半導体基板、各種の多成分ガラス、各種単結晶材料である。ここで各種の多成分ガラスは、例えばアルカリ元素成分、アルカリ土類元素成分、希土類元素成分の少なくとも一種類以上の元素を含有するガラスであり、ホウケイクラウンガラス、フッ素クラウンガラスなどのホウケイ酸塩系の多成分ガラスが良く知られている。下部クラッド層2はSiO2や各種の多成分ガラスを用いて、例えばスパッタ、蒸着、FHD(Flame Hydrolysis Deposition)法、あるいはCVD(Chemical Vapor Deposition)法などの堆積処理、あるいは材料どうしの接合、すなわち陽極接合、常温接合、直接接合などを利用して形成される。
【0026】
基板1と下部クラッド層2の線膨張係数が異なる場合、熱応力によりクラックや剥離が生じ易くなるため、両者の線膨張係数は近いほうが望ましい。
【0027】
なお、基板1がSiである場合は、Siを酸化させたSiO2を下部クラッド層2として用いても良い。また基板1と下部クラッド層2が同じ材料であっても良い。
【0028】
コアパターン3は下部クラッド層2の上に形成される光の線路であり、下部クラッド層2よりも僅かに屈折率が大きいものである。なおコアパターン3と下部クラッド層2との線膨張係数が異なる場合、熱応力によりクラックや剥離が生じ易くなるため、両者の線膨張係数は近いほうが望ましい。
【0029】
コアパターン3を形成する材料として、アルカリ元素成分、アルカリ土類元素成分、希土類元素成分の少なくとも一種類以上の元素を含有するガラスであり、ホウケイクラウンガラス、フッ素クラウンガラスなどのホウケイ酸塩系の多成分ガラスが良く知られている。多成分ガラスで光導波路のコアパターン3を形成すると、ガラス組成を適当に変化させることにより、屈折率、熱膨張係数、あるいはガラス転移温度といったガラスの物性値をより広い範囲で自由に設計することができ、製造工程を簡素化できるため、低コスト化が実現できる。
【0030】
なお、コアパターン3は実際に光を閉じ込めて導波させる部分である。したがって、このコアパターン3に機能性ガラスを用いることにより、種々の機能性デバイスが作製できる。機能性ガラスとしては、シリケートガラス、フッ化物ガラスにエルビウム、プラセオジミウム、ツリウムなどの希土類元素を含有させて光アンプ用に用いられるガラス、バリウムクラウンガラスにネオジミウムを含有させたレーザーガラス、ホウ酸塩またはリン酸塩ガラスにテルビウム、プラセオジミウム、セリウムなどを含有させて大きな磁気光学効果を有するガラス、ガリウムまたは鉛を含有させた大きな電気光学効果を有するガラスなどが考えられる。
【0031】
また、ガラス中にCdS,MnS,EuS,CuClなどの半導体微粒子や磁性半導体微粒子、あるいはAuなどの金属微粒子を分散させた複合材料にしたものも考えられる。これらの微粒子を分散させたガラスを光学材料として用いた場合、強度の増大や光電場の集中による光学効果の増大、あるいは光の閉じ込めによる光学効果の増大などが期待でき、非常に優れた材料となる可能性がある。
【0032】
すなわち、ガラスそのものに機能を持たせる場合と結晶材料や金属材料との複合材料を形成して利用する場合とを含め、ガラスの利用方法は多種多様である。
【0033】
アルカリ元素成分、アルカリ土類元素成分、希土類元素成分の少なくとも一種類以上の元素を含有するガラスは、これらの機能性ガラスを総称したものであり、石英ガラス、石英ガラスにGeO2,P2O5,B2O3などをドープした石英ガラス系の材料は含まれない。これらはアルカリ元素成分、アルカリ土類元素成分、希土類元素成分のいずれの元素も含有しないガラスだからである。
【0034】
次に、図1に示した光導波路のコアパターン3を覆うように上部クラッド層4を形成した光導波路について、図を用いて説明する。
【0035】
図2は本発明の実施の形態において製造される光導波路の主要部分を示す斜視図である。
【0036】
下部クラッド層2の上において、コアパターン3を覆うように上部クラッド層4を形成して光導波路を形成する。コアパターン3は図1,図2では一本しか示していないが、このような直線状または曲線状のパターンが複数本形成され、上部クラッド層4はコアパターン3よりも僅かに屈折率が小さい材料である。上部クラッド層4は下部クラッド層2と同じ材料でも良い。また上部クラッド層4の線膨張係数はコアパターン3や下部クラッド層2の線膨張係数と近いほうが望ましく、等しいほうが良い。
【0037】
コアパターン3の屈折率は、下部クラッド層2の屈折率および上部クラッド層4の屈折率よりも大きく、この屈折率の差によって光がコアパターン3に閉じ込められて光が伝搬する。例えばコアパターン3の外周部の表面に凹凸形状があった場合、この凹凸形状によって光が散乱して光伝達損失を生じる。したがって光が伝搬するコアパターン3の外周部の表面も平滑であることが望ましい。
【0038】
コアパターン3が一本のパターンの場合、その断面は必ずしも矩形でなくても良く、台形などでも良い場合がある。すなわち光導波路のコアパターン3の一本のみが独立しているパターンの場合、コアパターン3の側壁の垂直性は高いほうが望ましいが、必ずしも厳密に垂直である必要は無い。
【0039】
しかし、光導波路を用いて方向性結合器などのデバイスを作製する場合、二本以上のコアパターン3が接触はしないが非常に近い間隔で平行に配置されることがある。このような断面形状において側壁の垂直性が極端に低いと、コアパターン3が接触してしまうか、場合によっては所望のデバイスが作製できないことになる。したがってコアパターン3の側壁の垂直性は高いほうが望ましく、できる限り垂直にする必要がある。
【0040】
次に、本発明の実施の形態1における光導波路の製造方法について、図を用いて説明する。
【0041】
図3(a)〜(i)は本発明の実施の形態1における光導波路の製造工程を示す断面図である。
【0042】
図3(a)に示すように基板1を準備し、図3(b)に示すように基板1に下部クラッド層2を重合する。下部クラッド層2は多成分ガラスを用いて、例えばスパッタ、蒸着、FHD(Flame Hydrolysis Deposition)法、あるいはCVD(Chemical Vapor Deposition)法などの堆積処理、あるいは材料間の接合、すなわち陽極接合、常温接合、直接接合などを利用して形成する。なお基板1が下部クラッド層2と同一の材料であっても良く、その場合は図3(b)は省略することができる。
【0043】
次に、図3(c)に示すように下部クラッド層2の表面にコア層5を形成する。このコア層5は多成分ガラスを用いて、例えばスパッタ、蒸着、FHD(Flame Hydrolysis Deposition)法、あるいはCVD(Chemical Vapor Deposition)法などの堆積処理、あるいは材料間の接合、すなわち陽極接合、常温接合、直接接合などを利用して形成する。
【0044】
次に図3(d)に示すように、コア層5の上にマスク層6を形成し、図3(e)に示すように、このマスク層6の上にレジストを塗布してフォトリソグラフィーによりレジストパターン7を形成する。レジストは例えばスピンコートにより塗布する。レジストの膜厚は粘度と回転数により制御することができる。そしてフォトリソグラフィーにより露光および現像してレジストパターン7を形成する。
【0045】
そして、図3(f)に示すように、ドライエッチングによりレジストパターン7をマスクとしてマスク層6を加工してコア層5の上にマスクパターン8を形成する。
【0046】
次に、図3(g)に示すように、マスクパターン8をマスクとして用いてコア層5をドライエッチングにより加工してコアパターン3を形成する。そして図3(h)に示すように、マスクパターン8を除去する。そして図3(i)に示すように、下部クラッド層2の上に形成したコアパターン3を覆うように上部クラッド層4を形成して光導波路を構成する。
【0047】
図3(f)に示すように、コア層5からコアパターン3を形成するためには、コア層5の上にマスクパターン8を設け、ドライエッチングによりコア層5を加工する。この場合マスクパターン8のエッチングレートに対するコア層5のエッチングレートの比としての選択比が高いとマスクパターン8は薄くてもコア層5を十分にエッチングすることができる。この選択比の高いマスク材料として、Cr,Ni,Al,Ta,Wやそれらの合金等が考えられる。マスク材料は高精度に加工される必要がある。そのため選択比が高くかつ加工性に優れたタングステンとシリコンとを含む材料が用いられる。それら二つの合金(以下、W−Siと称する)がよく用いられる。
【0048】
次にマスク層6について説明する。
【0049】
スパッタや蒸着、あるいはCVD(Chemical Vapor Deposition)法などの各種の方法で成膜する。スパッタを利用した場合、安価にマスク層を形成できるため好ましい。スパッタを利用した場合について、以下で詳しく説明する。
【0050】
図4は圧力に対するマスク層の内部応力の特性図である。但し、成膜条件として、バイアスパワー密度を約0.2W/cm2、基板1の加熱温度を100℃とする。
【0051】
図4に示すように、圧力を4Pa以下で成膜した場合、圧縮応力が大きくなり、膜厚3μm以上のW−Siを成膜すると剥離が生じてしまう。また圧力を8Pa以上で成膜した場合は圧縮応力は小さくなるが、緻密な膜を作製することが困難となるため、圧力を4Pa以上8Pa以下とした。
【0052】
なお、バイアスパワー密度が0.2w/cm2よりも低い場合は成膜レートが低くなり生産性が低下するという点で好ましくない。バイアスパワー密度が0.2W/cm2よりも高い場合は成膜レートは高くなり生産性は高くなるが圧縮応力も増加する。そのため、特に0.4W/cm2よりも高い場合は3μm以上の膜厚のW−Siを成膜すると剥離を生じてしまうことが多かった。
【0053】
以上の結果より、バイアスパワー密度は0.2W/cm2よりも高く、0.4W/cm2よりも低い範囲が好ましい。この範囲のバイアスパワー密度においては、成膜時の圧力を変化させて成膜した場合、図4に示す特性とほぼ同じ傾向を示した。すなわちスパッタによってマスク層6を成膜するときにおいて、圧力は4Pa以上8Pa以下の範囲が好ましい。これによりスパッタによるW−Siの成膜において、3μm以上の膜厚を高い歩留まりで形成することができる。
【0054】
なお、基板1の加熱温度は、基板1と下部クラッド層2とコア層5との線膨張係数によって好ましい条件が異なる。実施の形態1では基板1と下部クラッド層2が同一のガラス材料であり、この下部クラッド層2を形成するガラス材料の線膨張係数は約90×10−7K−1であり、コア層5を形成するガラス材料の線膨張係数も約90×10−7K−1である。マスク層6のW−Siの線膨張係数はWの含有量によって多少変化をするが、約50×10−7K−1である。そして成膜時の温度が室温以上であって、成膜後に室温まで冷却されると、W−Siに比べて下部クラッド層2やコア層5のほうが縮むことになり、W−Siには圧縮応力がかかることになる。したがって、基板1の加熱温度を例えば300℃で成膜すると、成膜後の圧縮応力が大きくなり、3μm以上の膜厚のW−Siを成膜すると剥離を生じてしまう。以上の結果により、下部クラッド層2およびコア層5の線膨張係数が約50×10−7K−1よりも大きい場合、基板1の加熱温度は高すぎると好ましくない。この場合、200℃以下が好ましい。
【0055】
なお、多成分ガラスの組成によって線膨張係数は異なるが、例えばホウケイ酸塩ガラスのBK7については、約86×10−7K−1である。多成分ガラスの組成において、SiO2の割合が高いと線膨張係数が小さくなる傾向がある。ガラスの線膨張係数がW−Siの線膨張係数である約50×10−7K−1よりも小さい場合は基板加熱温度を高くすると良い。具体的には300℃で成膜すると良い。成膜時の温度が300℃であって、成膜後に室温まで冷却されると、下部クラッド層2やコア層5に比べてW−Siのほうが縮むことになり、W−Siにかかっていた圧縮応力を低減することが可能になるためである。
【0056】
また、基板1の加熱温度を高くすることによって、コア層5とW−Siとの密着性が高くなるため、剥離が抑制できる。
【0057】
また、ニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウムなどをコア層5の材料として用いた場合、線膨張係数が、約50×10−7K−1よりも大きいため、基板加熱温度は200℃以下が好ましい。チタン酸ジルコン酸ランタン鉛などの、少なくとも鉛と酸素とを含む結晶材料の場合、線膨張係数が約50×10−7K−1よりも小さいため、基板1の加熱温度は高いほうが好ましく、例えば300℃で成膜すると良い。
【0058】
次に、ドライエッチングによりレジストパターン7をマスクとして用いて、間スク層6を加工してマスクパターン8を形成する方法について説明する。
【0059】
マスク層6の上に4μm以上の厚みとするレジストパターン7を形成する。マスクパターン8を形成するためには3μm以上の厚みを有するマスク層6のエッチングが必要になるが、レジストパターン7の膜厚が薄い場合、マスク層6をドライエッチングで加工する際にマスク層6の加工が終わるより前にレジストパターン7が無くなってしまう。そこでレジストパターン7を4μm以上の厚みにすることにより、このことを防ぐことができる。これによりマスクパターン8の側壁の垂直性を高めることが可能となり、その結果コアパターン3の側壁の垂直性を高めることができる。また異方性エッチングが可能なドライエッチング、例えば反応性イオンエッチングによってマスク層6を加工し、マスクパターン8を形成することにより、マスクパターン8の側壁の垂直性を高めることができるため、コアパターン3の側壁の垂直性を高めることができる。
【0060】
W−Siを含む材料からなるマスク層6と多成分ガラスまたは単結晶材料からなるコア層5とは、形状において側壁の垂直性を高めるための最適エッチング条件が一般には異なるため、コア層5の上に形成されているマスク層6のエッチングがコア層5に到達したところでエッチングを一度止めることが望ましい。そのためにマスク層6のドライエッチングによる加工はマスク層6の厚みの60〜95%を加工する第一のエッチングと、残りのマスク層6を加工する第二のエッチングとに分割し、第二のエッチングは第一のエッチングよりもイオン衝撃を小さくする。
【0061】
W−Siを含む材料からなるマスク層6のエッチングに比べてた成分ガラスまたは単結晶材料からなるコア層5のエッチングはマスク層6より大きくイオン衝撃を必要とするため、第二のエッチングのイオン衝撃を小さくすることによりコア層5に到達したところでエッチングを実質的に止めることができる。
【0062】
その結果、マスク層6のエッチングとコア層5のエッチングとを別々に行なうことができ、コア層5の加工条件を最適にすることにより、コアパターン3の形状において、側壁の垂直性を高めることができる。
【0063】
なお、イオン衝撃を小さくしてマスク層6を加工すると、エッチングレートが低く加工時間が大きくなってしまい生産性が悪化する。そのためマスク層6の厚みの60〜95%はイオン衝撃を大きくしてエッチングを行なうことにより、生産性を高めることができる。
【0064】
なお、イオン衝撃を変化させるには、例えば圧力を変化させると良い。圧力を上げることによりイオンの平均自由行程が短くなり、その結果イオン間の衝突が増加するため、エッチングのイオン衝撃を小さくすることができる。
【0065】
また、バイアスパワー密度を下げることによりイオンの引き込みパワーを減少させてイオン衝撃を小さくすることができる。バイアスパワー密度として、例えば第一のエッチングはバイアスパワー密度を0.2W/cm2以上で行ない、次に第二のエッチングはバイアスパワー密度を0.2W/cm2以下で行なう。
【0066】
以下、エッチングについて図を用いて説明する。図5はバイアスパワー密度に対するガラスとW−Siのエッチングレートとの選択比を示す特性図である。
【0067】
マスク層6のW−Siをエッチングしてガラスをエッチングしないようにするため、選択比が小さいほうが良い。例えば選択比が0.01以下の場合、100倍以上のエッチングレートの差があることになる。
【0068】
図5に示すように、0.2W/cm2以下において、二種類のガラスは選択比が0.005以下となり、レートは0.1nm/min以下になっているため、10分間程度余分にエッチングが行なわれたとしてもエッチング量は1nm程度ということになる。したがって第二のエッチングは0.2W/cm2以下のバイアスパワー密度でエッチングを行なうと、ガラスのエッチングの前に停止させることができる。そして第一のエッチングはエッチングレートを高めとして0.2W/cm2以上のバイアスパワー密度でエッチングを行ない、エッチング時間の短縮化が図れる。なお、マスク層6の厚みの60〜95%は第一のエッチングを行ない、残りのマスク層6は第二のエッチングを行う。
【0069】
このマスク層6の厚みの認識方法はいくつかの方法がある。例えばエッチングレートを予め計測し、エッチング量を逆算することによって必要なエッチング時間を求め、エッチング時間によって第1のエッチングと第二のエッチングを切り換える方法が考えられる。またレーザー光をマスク層6にあてることによって、マスク層6の厚みをモニタしながら第一のエッチングと第二のエッチングとの切り換えを行なう方法も考えられる。この方法はマスク層6の厚みをモニタしながら行なうことにより、第一のエッチングでのエッチング量をより高い精度で検知することができるため、第一のエッチングでのエッチング量を大きくすることが可能となり、生産性を高めることができる。
【0070】
次に、コア層5の加工について詳しく説明する。
【0071】
ドライエッチングについて、反応性イオンエッチングを用いて説明する。
【0072】
エッチングガスとしては、CF4,CHF3、またはC4F8などのフッ化炭素を含むガス、SF6などの硫黄化合物系のガス、ArまたはXeなどの不活性ガス、酸素、水素、あるいはそれらを含む混合ガスなどが考えられる。なおマスクパターン8はコア層5をエッチングしてパターン形成する際のマスクである。
【0073】
マスクパターン8のエッチングレートに対するコア層5のエッチングレートの比を選択比とすると、コア層5が多成分ガラスである場合には、コア層5が石英ガラスの場合と比較して選択比が低い。すなわち多成分ガラスは石英ガラスと比較してエッチングが低く、必要なエッチングの深さを確保するためにエッチング時間を長くする必要があり、そのためエッチング中にマスクパターン8が先に無くなってしまう。マスクパターン8の断面を見ると、一般にパターンの周縁部から無くなるため、形成されたコアパターン3の側壁の垂直性が大きく低下する。
【0074】
コアパターンの作製について、図を用いて説明する。
【0075】
図6(a)〜(c)はコアパターンの製造工程を示す断面図である。図6(a)は従来の選択比が高い場合であり、エッチング中でもマスクパターン8が十分残っている。コア層5がエッチングによりコアパターン3が形成されるが、まだ周縁部を含めマスクパターン8は残っているため、形成されたコアパターン3の側壁の垂直性が高い。
【0076】
図6(b)は従来の選択比が低い場合であり、エッチング中にマスクパターン8が大きく加工されていく場合である。マスクパターン8が加工され、マスクパターン8の周縁部から加工され無くなっていく。そのためコア層5がエッチングされコアパターン3が形成されるが、形成されたコアパターン3の側壁の垂直性が低下する。
【0077】
そこで本発明は、タングステンの含有量を80wt%以上とすることによって、この選択比を高めることが可能となる。その結果長時間のエッチングを行ってもマスクパターン8あるいはマスクパターン8が残ることになり、コアパターン3の形状において側壁の垂直性を高めることができる。
【0078】
また、図6(c)に示すように、マスクパターン8の厚みを3μm以上とし、コア層5として多成分ガラスのようにエッチングレートの低い材料を用いた場合は、長時間のエッチングが必要になるが、マスクパターン8の厚みを3μm以上により、長時間のエッチングを行なっても十分にマスクパターン8は残っているためコアパターン3の側壁の垂直性を高めることができる。
【0079】
なお、マスクパターン8はタングステンとシリコンを含有する材料であり、例えば、タングステンを90wt%、シリコンを10wt%含む材料が考えられる。
【0080】
以上、反応性イオンエッチングを例として説明したが、真空装置中でプラズマを発生させて行なう他のエッチング方法も同様である。
【0081】
次に、上部クラッド層4はスパッタ、蒸着、FHD(Flame Hydrolysis Deposition)法、あるいはCVD(Chemical Vapor Deposition)法などの堆積処理、あるいは材料同士の接合、すなわち陽極接合、常温接合、直接接合などを利用して形成される。屈折率を調整した上部クラッド層4を形成することにより、コアパターン3に光を閉じ込めることができ、光伝達損失を小さくすることができる。またコアパターン3が露出することなく覆われるため、信頼性を高めることができる。
【0082】
以上、下部クラッド層2、コア層5、コアパターン3、および上部クラッド層4の材料として多成分ガラスを用いた光導波路の製造方法に関して、その一実施の形態を例として示した。下部クラッド層2、コア層5、コアパターン3、および上部クラッド層4の材料は多成分ガラスに限定されるものではない。
【0083】
なお、以上のようにしてできた光導波路の上部クラッド層4は、図3に示すように覆う場合の他に、空気を上部クラッド層4とみなす場合がある。
【0084】
【発明の効果】
以上のように本発明は、下部クラッド層上にコア層を形成し、このコア層上に少なくとも80wt%以上のタングステンおよびシリコンとを含む材料からなるマスクパターンを形成し、ドライエッチングによりコアパターンを形成する光導波路の製造方法であり、タングステンを80wt%以上含むようにすることにより、長時間のドライエッチングにおいてマスクパターンの周縁部が取り除かれないため、コアパターンの側壁の垂直性を高めることができ、微細化が実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態において製造される光導波路の一例を示す斜視図
【図2】本発明の実施の形態において製造される光導波路の主要部分を示す斜視図
【図3】(a)〜(i)本発明の実施の形態1における光導波路の製造工程を示す断面図
【図4】圧力に対するマスク層の内部応力の特性図
【図5】バイアスパワー密度に対するガラスとW−Siのエッチングレートとの選択比を示す特性図
【図6】(a)〜(c)コアパターンの製造工程を示す断面図
【図7】(a)〜(g)従来の光導波路の製造方法を示す断面図
【符号の説明】
1 基板
2 下部クラッド層
3 コアパターン
4 上部クラッド層
5 コア層
6 マスク層
7 レジストパターン
8 マスクパターン
Claims (14)
- 下部クラッド層上にコア層を形成し、このコア層上に少なくとも80wt%以上のタングステンおよびシリコンとを含む材料からなるマスクパターンを形成し、ドライエッチングによりコアパターンを形成する光導波路の製造方法。
- コア層にアルカリ元素成分、アルカリ土類元素成分、遷移元素成分、希土類元素成分の少なくとも1種類以上の元素を含む多成分ガラス材料を用いた請求項1に記載の光導波路の製造方法。
- コア層にアルカリ元素成分、アルカリ土類元素成分、遷移元素成分、希土類元素成分の少なくとも2種類以上の元素を含む単結晶材料を用いた請求項1に記載の光導波路の製造方法。
- 厚さ3μm以上のマスクパターンを形成する請求項1に記載の光導波路の製造方法。
- マスクパターンとして、スパッタリングによりマスク層を形成し、このマスク層上に厚みを4μm以上とするレジストパターンを形成し、前記マスク層をドライエッチングにより形成する請求項1に記載の光導波路の製造方法。
- マスク層の形成におけるスパッタリングの圧力を4Pa以上8Pa以下とする請求項2に記載の光導波路の製造方法。
- アルカリ元素成分、アルカリ土類元素成分、遷移元素成分、希土類元素成分の少なくとも1種類以上の元素を含む多成分ガラス単結材料からなるコア層上に形成するマスク層において、スパッタリングの温度を200℃以下とする請求項1に記載の光導波路の製造方法。
- 少なくともニオブ酸リチウムまたはタンタル酸リチウムのいずれかを含む材料からなるコア層上に形成するマスク層において、スパッタリングの温度を200℃以下とする請求項1に記載の光導波路の製造方法。
- チタン酸ジルコン酸、チタン酸ジルコン酸鉛などの少なくとも酸および鉛とを含む結晶材料からなるコア層上に形成するマスク層において、スパッタリングの温度を300℃以上とする請求項1に記載の光導波路の製造方法。
- 第1のエッチングのイオン衝撃EIと第2のエッチングのイオン衝撃E2がE1>E2の関係となるようにエッチングする請求項10に記載の光導波路の製造方法。
- レーザー光を用いてマスク層の膜厚を検知し、この検出結果に基づいて第1のエッチングから第2のエッチングに切り換えてイオン衝撃を制御するようにした請求項5に記載の光導波路の製造方法。
- 検出結果をマスク層全体の膜厚の60%から95%の範囲とする請求項10に記載の光導波路の製造方法。
- 第2のエッチングのイオン衝撃をバイアスパワー密度の少なくともいずれか一方を制御するようにした請求項10に記載の光導波路の製造方法。
- 第1のエッチングをバイアスパワー密度0.2W/cm2以上、第2のエッチングをバイアスパワー密度0.2W/cm2以下とする請求項10に記載の光導波路の製造方法。
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