JP6212006B2 - 光導波路の作製方法 - Google Patents
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- 200℃以下の温度条件で、シリコン基板の上にSiO2からなる下部クラッド層を形成する第1工程と、
前記下部クラッド層上にECRプラズマCVD法によって、SiN,SiON,SiOxのいずれかからなるコア形成層を形成する第2工程と、
前記コア形成層の上に有機樹脂からなるレジスト層を形成する第3工程と、
200℃以下の温度条件で前記レジスト層の上に酸化シリコン層を形成する第4工程と、
前記酸化シリコン層の上にマスクパターンを形成する第5工程と、
フッ素を含む化合物からなるエッチングガスを用いた反応性イオンエッチングにより、前記マスクパターンをマスクとして前記酸化シリコン層をエッチングして酸化シリコンマスクパターンを形成する第6工程と、
酸素ガスによる反応性イオンエッチングにより、前記酸化シリコンマスクパターンをマスクとして前記レジスト層をエッチングしてレジストパターンを形成する第7工程と、
前記レジストパターンをマスクとして前記コア形成層をエッチングしてコアを形成する第8工程と、
200℃以下の温度条件で、前記コアの上にSiO2からなる上部クラッド層を形成する第9工程と
を備えることを特徴とする光導波路の作製方法。 - 請求項1記載の光導波路の作製方法において、
前記第2工程では、SiH4,SiD4,SiF4,SiCl4のいずかれ1つのガスと、N2,O2の少なくとも1つのガスとの混合ガスを用たECRプラズマCVD法で、SiN,SiON,SiOxのいずれかを堆積して前記コア形成層を形成する
ことを特徴とする光導波路の作製方法。
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