JP2006512611A - 光導波路の作製方法 - Google Patents
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Abstract
本発明に係る光導波路デバイスの製造方法には、下部クラッド層(114)を堆積させる工程と;下部クラッド層上にフォトレジスト層(118)を直接コーティングする工程と;フォトレジスト層をパターニングしてチャネル(117)を形成する工程と;コア層(116)を堆積させる工程と、ここで、コア層の第1の部分はチャネルの内部に堆積され、第2の部分はパターニングされたフォトレジスト層上に重畳される;パターニングされたフォトレジスト層と、パターニングされたフォトレジスト層上に重畳されたコア層の第2の部分と、を除去する工程と;上部クラッド層(120)を堆積させる工程と;が含まれる。
Description
本発明は、集積光回路の作製に関し、より特定的には、導波路コアをパターニングするためにエッチングではなくリフトオフを使用する光導波路の新規な作製方法に関する。
いわゆるプレーナー光波回路(PLC)をベースとした製品は、光学素子のコストおよびサイズを著しく削減すると同時に機能を強化する可能性を有する。この分野で注目すべきは、ドープドSiO2ガラスに関する研究である(たとえば、河内正夫(M.Kawachi)著、光および量子エレクトロニクス(Optical and Quantum Electronics)、第22巻(1990年)p.391−416を参照されたい)。これらの低ドープドガラス質導波路構造体は、光導波に対して周知の石英系光ファイバーに類似しており、したがって、類似のモードフィールドを有するので、チップと標準的シングルモードファイバーとの間の結合損失は少ない。
しかしながら、これらの低屈折率コントラストガラス質構造体に固有の欠点は、回路中で許容できる最小曲率半径がかなり大きいことである(典型的には15mm超)。多くの湾曲部分を含むデバイスは非常に大きくなるので、それらはウェーハ上にごく少数配列しうるにすぎず、それほど費用効果的でない。大量生産においてより費用効果的な方法で光学素子を作製するために、デバイス密度を増大させることが望ましい。
図1は、チャネル導波路10を作製するための代表的な従来法の工程を模式的に示している。図1aに示されるように、最初にシリコン基板12を提供し、その上部表面上に下部クラッド層14を堆積させる。図1bでは、クラッド層の上にコア層16を堆積させる。クラッド層14およびコア層16は、火炎加水分解堆積法(FHD)、化学気相堆積法(CVD)、プラズマ増強CVD法(PECVD)、ゾル−ゲル法などのような種々の方法により堆積可能である。プレーナー導波路を作製するための高屈折率コントラスト材料の例は、国際公開第99/54714号パンフレットに見いだしうる。この特許では、SiONおよびSiO2がそれぞれコア層およびクラッド層として使用されている。
他の実施形態は、非ドープド溶融石英基板上のGeドープドSiO2コアのように、適切な屈折率を有する透明材料の基板を構成する下部光クラッドを含む。
次の工程で(図1c)、コア層16をアニーリングする。コア層をアニーリングした後(図1d)、フォトレジストまたはメタルマスク18をコア層16上にコーティングする。フォトリソグラフィー(図1e)および反応性イオンエッチング(RIE)(図1f)を用いて、所望のリッジ構造体を規定する。図1gに示されるようにフォトレジストまたはメタルマスク18を取り除く。最後に、図1hは、上部クラッド層20の堆積を示している。
図1に示されるように、従来のエッチング法は多数の工程を必要とする。特にRIEは、加工に時間がかかる工程である。RIEはまた、得られるチャネル導波路の散乱損失を招くおそれのある壁の粗さを生成する可能性がある。このほか、従来法は、必要な装置および方法を提供するためにかなりの資本投資を必要とする。
伝統的なエッチングには困難が伴うため、集積回路の製造に用いられる他の方法が試みられてきた。しかしながら、これらの方法を光導波路の作製に適用した場合、引裂きや損傷のような問題があった。
光導波路を作製するためのより効率的かつより費用効果的な方法に対する要求が依然として存在する。
本発明に係る光導波路デバイスの作製方法に、下部クラッド層を堆積させる工程と;下部クラッド層上にフォトレジスト層を直接コーティングする工程と;フォトレジスト層をパターニングしてチャネルを形成する工程と;コア層を堆積させる工程と、ここで、コア層の第1の一部分はチャネルの内部に堆積され、第2の部分はパターニングされたフォトレジスト層上に重畳される;パターニングされたフォトレジスト層と、パターニングされたフォトレジスト層上に重畳されたコア層の第2の部分と、を除去する工程と;上部クラッド層を堆積させる工程と;が含まれる。
光導波路はシングルモード導波路でありうる。下部光クラッドは、適切な屈折率を有する透明材料の基板を包含しうる。
他の選択肢として、下部クラッド層は、非ドープド溶融石英基板、二酸化ケイ素(SiO2)、フッ化マグネシウム、ダイヤモンド状ガラス(DLG);ポリマー(アクリレート、ポリイミド、シリコン窒化酸化膜(SiON)、およびハイブリッド有機/無機ゾル−ゲル材料またはホウ素もしくはフッ素ドープドSiO2の上にGeドープドSiO2コアを含みうる。光コア層は、0.2マイクロメートル〜10マイクロメートル(両端の値を含む)の厚さを有しうる。また、次の材料、すなわち、チタン、ジルコニウム、ゲルマニウム、タンタル、ハフニウム、エルビウム、リン、銀、窒素でドーピングされた二酸化ケイ素、またはスパッタリングされた多成分ガラスのうちの1つから選択される材料を含みうる。
本発明の一実施形態では、コア層とクラッド層との間の屈折率差は、約0.3%である。光コア層は、約6.5マイクロメートルの厚さおよび約0.5%のコア層とクラッド層との間の屈折率差を有する。
フォトレジスト層をパターニングする工程は、フォトリソグラフィーを含みうる。また、コア層を堆積させる工程は、プラズマ増強化学気相堆積またはスパッタリングを含みうる。他の選択肢として、堆積工程は、次の処理、すなわち、物理気相堆積(PVD)、スパッタリング、蒸発、電子ビーム蒸発、分子ビームエピタキシー、パルスレーザー堆積、火炎加水分解堆積(FHD)、ならびにより好ましくは化学気相堆積(常圧化学気相堆積(APCVD)、低圧化学気相堆積(LPCVD)、およびプラズマ増強化学気相堆積(PECVD)を含む)のうちの1つを含みうる。
このほか、本方法は、フォトレジストをアンダーカッティングするように下部クラッドをエッチングする工程を含みうる。下部クラッドをエッチングする工程は、フォトレジストのパターニング工程の後で等方性または異方性エッチャントを使用する工程を含みうる。
また、本方法は、下部クラッド層を上に堆積させるための基板ベース層を提供する工程を含みうる。基板ベース層は、シリコン、石英、または多成分ガラスを含みうる。本方法はまた、光導波路をアニーリングする工程を含みうる。
特定の一実施形態では、クラッドはSiO2を含み、コアは、Ge、P、Ti、またはNでドーピングされたSiO2を含む。
図2は、チャネル導波路を作製するための本発明に係る代表的な新しい方法の工程を示している。エッチングではなくリフトオフ法を用いて導波路コアをパターニングする。この新しい方法によれば、加工時間および工程を大幅に削減しかつ方法のスループットおよび品質を向上させることにより、チップコストを削減することが可能である。また、この新しい方法は、光集積回路デバイスを作製すべく種々の高屈折率コントラスト材料および低屈折率コントラスト材料の両方に広く適用可能である。
図2gおよび図4は、本発明に従って製造される代表的なチャネル導波路を示している。図2gでは、そのような導波路100は、基板112、下部クラッド層114、コア層116、上部クラッド層120を含む。コア層、下部クラッド層、上部クラッド層、および任意の追加層の適切な組成および厚さは、数値モデリングにより設計可能である。周知の導波路モデリング法の1つは、「伝達行列」法である(たとえば、導波オプトエレクトロニクス(Guided−Wave Optoelectronics)、テオドール・タミール(Theodor Tamir)編、第2版、シュプリンガー・フェアラーク(Springer−Verlag)刊を参照されたい)。他の選択肢として、カナダ国オンタリオ州オタワのオプティウェスブ・コーポレーション(OptiWave Corporation,Ottawa,ON,Canada)製のオプティビーピーエム(OptiBPM)をはじめとする市販の導波路モデリングツールを使用することも可能である。図4は、本発明の方法に従って製造されるSiONチャネル導波路を有する代表的な光チップ300を示している。チャネル導波路は、6.5μmの厚さおよび屈折率n=1.48を有するSiO2の下部クラッド314をSi(100)ウェーハ基板312上に含む。コア316は、1.2μmの厚さおよび屈折率n=1.6922のSiONを含む。上部クラッド320は、5.4μmの厚さおよび屈折率n=1.48を有するSiO2を含む。
代表的な製造方法は、図1aに類似した図2aに示されるように開始される。Si(100)のようなシリコン基板ウェーハ112を提供し、シリコン基板112の上部表面上に下部クラッド層114を堆積させる。他の基板材料としては、石英または多成分ガラスが挙げられる。好適なクラッド材料としては、SiON、SiO2、フッ化マグネシウム、ダイヤモンド状ガラス(DLG);ポリマー(アクリレート、ポリイミド;シリコン窒化酸化膜(SiON);およびハイブリッド有機/無機ゾル−ゲル材料またはホウ素もしくはフッ素ドープドSiO2、ならびに当技術分野で公知の他の好適な材料が挙げられる。
クラッド層114は、火炎加水分解堆積(FHD)、化学気相堆積(CVD)、プラズマ増強CVD(PECVD)、ゾル−ゲル、スパッタリング、または真空蒸発のような当技術分野で公知の方法により堆積可能である。
特定の代表的方法では、SiO2を下部クラッドとして使用する。下部クラッド層114は、以下のようなパラメーターを有する反応器(たとえば、英国ブリストルBS49 4APのオックスフォード・インストラメンツ・グループ(Oxford Instruments Group,Bristol BS49 4AP UK)のメンバーであるプラズマ・テクノロジー(Plasma Technology)により製造されてプラズマラボμP(Plasmalab μP)として市販されている反応器)を用いてPECVD法により堆積される。
堆積温度:300℃
SiH4流量:3sccm
N2O流量:100sccm
堆積圧力:50mTorr
RF電力(13.56MHz):200W
堆積温度:300℃
SiH4流量:3sccm
N2O流量:100sccm
堆積圧力:50mTorr
RF電力(13.56MHz):200W
上記のパラメーターは、1.48のクラッド屈折率を達成するように設計されたものである。堆積時間は、下部クラッドに必要とされる厚さに依存して異なりうる。
本発明の代表的な方法の次の工程(図2bで示される)で、フォトレジストの厚い層118をクラッド層上に直接適用する。これは、コア層16を堆積させる図1bに示される伝統的な工程とは対照的である。代表的実施形態では、下部クラッド114を有するシリコンウェーハ112にポジ型シップレイ(Shipley)1818(米国マサチューセッツ州01752マールボロのシップレイ・カンパニー(Shipley Company,Marlborough,MA 01752,USA)から入手可能)のようなフォトレジストをスピンコーティングした。他のフォトレジスト(ポジ型およびネガ型の両方)を本方法で使用してもよい。
露光および現像を介して下部クラッド上にパターニングされたフォトレジストを得るなどの従来の方法により、図2cに示されるようにフォトレジスト層118をパターニングする。パターニングにより、クラッド層114の一部分を露出させたバイア117を形成する。
図2dは、パターニングされたフォトレジスト層118上へのコア層116の堆積を示している。代表的実施形態では、SiONのコア層が、以下のようなパラメーターを用いてPECVD法により、パターニングされたフォトレジスト上に堆積される。
堆積温度:80℃
SiH4流量:8sccm
N2O流量:20sccm
NH3流量:40sccm
堆積圧力:50mTorr
RF電力:200W
堆積温度:80℃
SiH4流量:8sccm
N2O流量:20sccm
NH3流量:40sccm
堆積圧力:50mTorr
RF電力:200W
上記のパラメーターの適用は1.2μmの厚さおよび1.6922の屈折率を有するSiON膜コア層116を生成するように設計されている。典型的には、SiONがコア層として選択される。なぜなら、その屈折率は広範にわたり調整可能であり(n=1.46〜2.00)、光集積回路設計において大きい自由度が得られるからである。代替材料としては、高屈折率コントラスト材料、たとえば、Si3N4、TiドープドSiO2、ZrドープドSiO2、HfドープドSiO2、またはTaドープドSiO2、好適な強誘電性材料、チタン、ジルコニウム、ゲルマニウム、タンタル、ハフニウム、エルビウム、リン、銀、窒素でドーピングされた二酸化ケイ素、あるいはスパッタリングされた多成分ガラス、たとえば、ランタン−アルミニウム−ジルコネート系(「LAZ」)が挙げられる。
図2eは、フォトレジスト層118のリフトオフを示している。コア層116の堆積後、フォトレジストストリッパー中などでフォトレジスト118をリフトオフする。リフトオフ法によりフォトレジスト層118上のコア層116の部分を除去し、チャネルバイア117の内部に着座するコア層116の部分だけを残存させる。
伝統的には、光導波路を製造するためにリフトオフ法を使用することは避けられてきた。スパッタリング法により堆積された導波路材料のリフトオフに伝統的なリフトオフ法を適用する試みでは、より厚い導波路材料層を達成するために長時間(数時間または10時間超)を要した。スパッタリング法を長時間適用したときにフォトレジスト層がプラズマにより架橋されるので、下側層に損傷を与えることなくフォトレジスト層を除去することは非常に困難であった。
これとは対照的に、本発明の実施形態では、迅速な堆積(我々の導波路材料の場合、一般的には10〜60分)および低い加工温度が可能であるPECVD法を使用する。これによりフォトレジストの架橋が回避されるので、リフトオフ除去が可能になる。
図5および6に示されるように、異なる導波路リッジ117(2、2.5、3、3.5、4、8.5μmまでペアで、次に15、25、50、100μm)を形成することが可能である。図7は、本発明の方法に従って製造された5μmコアリッジ116のSEM断面を示している。本発明のリフトオフ法により非常に平滑な側壁を達成しうることがわかるであろう。
次に、図2fに示されるようにコア層116をアニーリングすることが可能である。最後に、図2gに示されるように、下端クラッド層114と同一または類似の材料を含む上部クラッド層120を下端クラッド層114およびコア層116の両方の上に堆積させる。特定の実施形態では、上部クラッド120は、SiO2を含み、下部クラッド層114と同一または類似のパラメーターでPECVDにより5.4μmの厚さに堆積される。図8は、本発明に従って製造された5mm導波路チャネルの上部クラッドの成長プロファイルのSEM断面の写真である。
図9は、本発明に従って製造された代表的な6.5μm導波路チャネルのシングルモード出力強度を示している。8.5μm未満のチャネルのコアリッジ幅は、図4に示されるようなSiON導波路構造体では1550nmにおいてシングルモードであり、一方、8.5μm超のリッジ幅は、マルチモード導波路である。伝搬損失を測定したところ、堆積させたままの状態のSiON膜の標準値である2.85dB/cmの近傍であった。
フォトレジストパターンの除去により、堆積されたパターン化層のエッジで引裂きを生じるおそれがある。この問題を克服するために、フォトレジスト層は、その中に「逆ベベル」を有していてもよい。図3は、パターニングするときにフォトレジスト層がアンダーカッティングされる本発明に係る代表的方法の工程を示している。図3a〜3cに示される工程は、図2a〜2cに示される工程に類似している。下部クラッド層214はシリコンウェーハ212上に堆積される。次に、フォトレジスト層218をクラッド層214上に堆積させ、チャネル217を形成するようにパターニングする。
図3dに示されるように、この実施形態は、アンダーカッティングされたチャネル219がエッチングによりクラッド層214中に形成される点が異なる。一般的には、アンダーカッティングされたフォトレジストパターンを達成することは困難である。なぜなら、フォトレジストパターンのエッジは、パターンの下端および上端で丸みを帯びており、一般に、エッジは、アンダーカットカッティングされずにオーバーカッティングされる傾向をもつからである(すなわち、フォトレジストエッジのベベルは、不適切な方向を向くことが多い)。
図10は、図3dに示される概略断面図に対応する写真である。次に、本発明に係る方法のこの工程に使用される代表的なパラメーターを示す。厚さ8μmのSiO2クラッド層214をPECVDによりSiウェーハ212上に堆積させた。シップレイ(Shipley)1818のようなフォトレジストを含むフォトレジスト層218をSiO2クラッド層214上に約1.9μmの厚さになるように4000rpmでコーティングした。105℃でフォトレジスト層218を30分間キュアーさせ、次に、メタルマスクを用いて約182mJ/cm2のエネルギー密度を有する光で露光した。MF319現像液中で30秒間現像した後、脱イオン水で十分にすすぎ、フォトレジスト層218のパターニングを達成した。
次に、以下のパラメーターを用いて、下部クラッド層214の露光部分に対して等方性エッチングを行った。
緩衝化HF:1:6(HF:NH4F)
エッチング時間:5分間
エッチング速度:100nm/分
緩衝化HF:1:6(HF:NH4F)
エッチング時間:5分間
エッチング速度:100nm/分
異方性エッチャントを使用してもよい。上記のパラメーターを用いて、エッチング特徴部219をもたせて、SiO2上に0.5μmのエッチング深さを得た(チャネル217参照)。
ここで、図3eを参照する。次に、コア層216をフォトレジスト層218および下部クラッド層214の露光部分の上に堆積させる。図11は、エッチングされた領域217およびフォトレジスト218の上にPECVDにより堆積させた実際の代表的な2.5μmのSiONコア層216の写真である。
図3fに示されるように、フォトレジスト層218は、フォトレジスト層のリッジに重ねられたコア層216の部分と一緒に除去される。図12は、フォトレジストの除去後のSiON導波路コアリッジ216を示している。アンダーカッティングを含むリフトオフ法により厚さ3μm超のコア層を作製しうることが首尾よく実証された。かくして、この方法を低屈折率コントラスト材料に適用することが可能である。
最後に、図3hに示されるように、上部クラッド層220をコアリッジ216および下部クラッド層214の両方の上に堆積させる。図13は、PECVD法によりコア層上に堆積された実際の代表的な8μmの上部クラッドを示している。下部および上部クラッド214および220のいずれの屈折率も1.46であり、一方、コアリッジ216の屈折率は1.55である。本発明のPECVD法により非常に良好なSiO2段差被覆が達成されることがわかるであろう。
本発明の方法は、さまざまな光導波路の製造に使用可能である。図14〜16に示されるさらに他の代表的実施形態では、シリコン基板312を使用した。3μmの熱酸化SiO2クラッド層314を基板312上に堆積させた。AZ4400(ニュージャージー州08876サマヴィル・70マイスター・アベニューのクラリアント・コーポレーション・ビジネス・ユニット・エレクトロニック・マテリアルズ(Clariant Corporation,Business Unit Electronic Materials,70 Meister Avenue,Somerville,NJ 08876))のような好適なフォトレジストを含むフォトレジスト層318を約4.5μmの厚さになるようにSiO2クラッド層314上に4000rpmでコーティングした。110℃でフォトレジスト層318を200秒間キュアーさせ、次に、メタルマスクを用いて約280mJ/cm2のエネルギー密度を有する光で露光した。AZ 400K(ニュージャージー州08876サマヴィル・70マイスター・アベニューのクラリアント・コーポレーション・ビジネス・ユニット・エレクトロニック・マテリアルズ(Clariant Corporation,Business Unit Electronic Materials,70 Meister Avenue,Somerville,NJ 08876))のような現像液中で60秒間現像した後、脱イオン水で十分にすすぎ、図示されているフォトレジスト層のパターニングを達成した。
次に、以下のパラメーターを用いてクラッド層を等方的にエッチングした。
緩衝化HF:1:6(HF:NH4F)
エッチング時間:20分間
エッチング速度:75nm/分
緩衝化HF:1:6(HF:NH4F)
エッチング時間:20分間
エッチング速度:75nm/分
上記のパラメーターを用いて、SiO2の1.5μmのエッチング深さを得た。図15を参照する。Siを用いて市販の平行平板容量結合プラズマ反応器(フロリダ州セントピータースバーグのプラズマサーム・インコーポレーテッド(PlasmaTherm,Inc.of St.Petersburg,Florida)から市販されている)により、ダイヤモンド状ガラス(DLG)の5μm層316を図2に示されるエッチングされた領域およびフォトレジストの上に堆積させた。堆積時、ウェーハを給電電極上に配置し、次の条件下でDLGを堆積させた。
テトラメチルシラン(Tetramethlysilane)流量:50sccm
O2流量:200sccm
堆積圧力:97mTorr
RF電力(13.56MHz) 600ワット
堆積時間:100分間
テトラメチルシラン(Tetramethlysilane)流量:50sccm
O2流量:200sccm
堆積圧力:97mTorr
RF電力(13.56MHz) 600ワット
堆積時間:100分間
指向性堆積法を使用したので、DLG材料がフォトレジストの側壁上に有意に堆積しなかったことがわかるであろう。
図16は、フォトレジストの除去後のDLG導波路コアリッジ316を示している。アンダーカッティングを含む本発明のリフトオフ法を用いて、厚さ5μm超のコア層を作製することが可能である。より深いコアリッジを形成することができるので、本発明の方法を低屈折率コントラスト材料で使用することができる。
本発明の方法は、伝統的方法よりも削減された工程および短縮された製造時間を提供する。本発明を用いれば、光導波路のスループットおよび品質が有意に向上して、デバイスコストが削減され、コストの影響を受けやすい用途で導波路デバイスが利用できるようになる可能性がある。
本発明に従って製造される導波路は、マッハ・ツェンダー干渉計、熱光学スイッチ、アレイ型導波路格子、方向性結合器、または導波路ブラッグ格子フィルターのようなさまざまな光回路で使用可能である。他の用途としては、電気光学材料から作製される導波路を含む能動導波路デバイスが挙げられる。代表的な電気光学材料としては、電気分極ガラスが挙げられる。
当業者であれば、本発明が多種多様な光学構造体の作製に使用可能であることはわかるであろう。代表的な好ましい実施形態を参照して本発明について説明してきたが、本発明の範囲から逸脱することなく他の特定の形態で本発明を具体化することも可能である。したがって、当然のことながら、本明細書中で説明および例示された実施形態は単なる例にすぎず、本発明の範囲を限定しようとするものではない。本発明の範囲に準拠して他の変更および修正を加えることも可能である。
Claims (25)
- a.下部クラッド層を堆積させる工程と;
b.該下部クラッド層上にフォトレジスト層を直接コーティングする工程と;
c.該フォトレジスト層をパターニングしてチャネルを形成する工程と;
d.コア層を堆積させる工程と、ここで、該コア層の第1の部分は該チャネルの内部に堆積され、第2の部分はパターニングされた該フォトレジスト層上に重畳される;
e.パターニングされた該フォトレジスト層と、パターニングされた該フォトレジスト層上に重畳された該コア層の第2の部分と、を除去する工程と;
f.上部クラッド層を堆積させる工程と;
が順次含まれる、光導波路デバイスの製造方法。 - 前記光導波路がシングルモード導波路である、請求項1に記載の方法。
- 前記下部光クラッドが、適切な屈折率を有する透明材料の基板を構成する、請求項1に記載の方法。
- 前記下部クラッド層が非ドープド溶融石英基板上にGeドープドSiO2コアを含む、請求項3に記載の方法。
- 前記コア層と前記クラッド層との間の屈折率差が約0.3%である、請求項1に記載の方法。
- 前記光コア層が0.2マイクロメートル〜10マイクロメートル(両端の値を含む)の厚さを有する、請求項1に記載の方法。
- 前記光コア層が約6.5マイクロメートルの厚さおよび約0.5%の前記コア層と前記クラッド層との間の屈折率差を有する、請求項1に記載の方法。
- 前記フォトレジスト層をパターニングする工程がフォトリソグラフィーを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記コア層を堆積させる工程がプラズマ増強化学気相堆積またはスパッタリングを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記フォトレジストをアンダーカッティングするように前記下部クラッドをエッチングする工程をさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 前記下部クラッドをエッチングする工程が、前記フォトレジストをパターニングする工程の後で異方性エッチャントを使用する工程を含む、請求項10に記載の方法。
- 前記堆積させる工程が、次の処理、すなわち、物理気相堆積(PVD)、スパッタリング、蒸発、電子ビーム蒸発、分子ビームエピタキシー、パルスレーザー堆積、火炎加水分解堆積(FHD)、ならびにより好ましくは化学気相堆積(常圧化学気相堆積(APCVD)、低圧化学気相堆積(LPCVD)、およびプラズマ増強化学気相堆積(PECVD)を含む)のうちの1つを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記下部クラッド層を上に堆積させるための基板ベース層を提供する工程がさらに含まれ、該基板ベース層が、シリコン、石英、または多成分ガラスを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記フォトレジストを除去する工程の後で前記コアおよび前記下部クラッド層をアニーリングする工程がさらに含まれる、請求項1に記載の方法。
- 前記光導波路をアニーリングする工程がさらに含まれる、請求項1に記載の方法。
- 前記下部クラッド層が、次の材料、すなわち、二酸化ケイ素(SiO2)、フッ化マグネシウム、ダイヤモンド状ガラス(DLG);ポリマー(アクリレート、ポリイミド;シリコン窒化酸化膜(SiON);およびハイブリッド有機/無機ゾル−ゲル材料またはホウ素もしくはフッ素ドープドSiO2のうちの1つから選択される材料を含む、請求項1に記載の方法。
- 前記コア層が、次の材料、すなわち、チタン、ジルコニウム、ゲルマニウム、タンタル、ハフニウム、エルビウム、リン、銀、窒素でドーピングされた二酸化ケイ素、またはスパッタリングされた多成分ガラスのうちの1つから選択される材料を含む、請求項1に記載の方法。
- 前記クラッドがSiO2を含み、かつ前記コアが、Ge、P、Ti、またはNでドーピングされたSiO2を含む、請求項1に記載の方法。
- 前記フォトレジストがポジ型フォトレジストまたはネガ型フォトレジストである、請求項1に記載の方法。
- 前記フォトレジストをパターニングする工程が、前記フォトレジスト層にフォトリソグラフィー法を適用することまたはeビームリソグラフィーを使用することを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記フォトレジスト層をパターニングする工程が、光導波路のアレイを収容するための複数のバイアをパターニングすることを含む、請求項1に記載の方法。
- 請求項1に記載の方法に従って製造される光スプリッター。
- 請求項1に記載の方法により作製される導波路を含む光回路。
- 請求項1に記載の方法により導波路中にパターニングされた電気光学材料から作製される導波路を含む能動導波路デバイス。
- 請求項1に記載の方法に従って製造される導波路。
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