JP2005274757A - 石英系光導波路素子及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 高さ及び幅が異なるコアを設計値通り再現性よく形成でき、モードフィールド径を効果的に変化させることができる石英系光導波路素子を提供する。
【解決手段】 石英基板2と、その石英基板2上に形成される光信号を伝搬するコア3と、そのコア3を覆うクラッド4とからなる石英系光導波路素子1において、石英基板2の一端部に埋め込み形成され、幅及び高さが光導波路素子1の長さ方向で異なる第1コア5と、その第1コア5上から石英基板2の他端部上まで形成される第2コア6とでコア3を構成したものである。
【選択図】 図1
【解決手段】 石英基板2と、その石英基板2上に形成される光信号を伝搬するコア3と、そのコア3を覆うクラッド4とからなる石英系光導波路素子1において、石英基板2の一端部に埋め込み形成され、幅及び高さが光導波路素子1の長さ方向で異なる第1コア5と、その第1コア5上から石英基板2の他端部上まで形成される第2コア6とでコア3を構成したものである。
【選択図】 図1
Description
本発明は、光通信分野で広く用いられる石英系光導波路素子及びその製造方法に係り、特に、モードフィールド径を変化させるためのコア径変換光導波路素子及びその製造方法に関するものである。
一般に光通信分野において、様々な石英系光導波路素子が用いられているが、特に、モードフィールド径を変化させるための光導波路素子として、コア径が徐々に変化した部分を有するコアが同一平面内に形成されたコア径変換光導波路素子が用いられている。これは、光導波路素子においてモードフィールド径を変化させるために、コア径を変化させることが有効であるためである。
このようなコア径が変化した光導波路素子は、モードフィールド径が異なる部品同士、例えば、モードフィールド径が約2μmのLD(半導体レーザ)と、モードフィールド径が約10μmのシングルモード光ファイバとを光結合するために使用される。
コア径が変化した光導波路素子の一例として、光導波路コアを幅方向にテーパ状に広げた光導波路素子がある。この光導波路素子は、石英系基板上にコア材料を堆積させ、その堆積膜をエッチングしてコアを形成し、その上にクラッド膜を形成することで製造される(例えば、特許文献1参照)。
また、プロトン交換後のアニールを用いて光導波路素子の基板下方向にコア径を拡大する方法が提案されている(例えば、特許文献2参照)。
しかしながら、特許文献1のような光導波路素子は、コアの幅方向をテーパ状に広げることは可能であるが、コアの高さ方向は堆積させるコア膜の厚さで決定されるため、コアの高さ方向のテーパ構造を製作することができない。そのため、光導波路素子のコア形状はコア幅のみしか変化させることができず、モードフィールド径を変化させるのに十分な効果が得られない。
また、特許文献2のような光導波路素子は、基板材料がLiNbx Ta1-x O3 による強誘電体に限定されることや、アニールによる有効屈折率の低下現象を利用したものであるため、光導波路コア形状の正確な制御や再現性が容易ではない。
そこで、本発明の目的は、高さ及び幅が異なるコアを設計値通り再現性よく形成でき、モードフィールド径を効果的に変化させることができる石英系光導波路素子及びその製造方法を提供することにある。
本発明は上記目的を達成するために創案されたものであり、請求項1の発明は、石英基板と、その石英基板上に形成される光信号を伝搬するコアと、そのコアを覆うクラッドとからなる石英系光導波路素子において、上記石英基板の一端部に埋め込み形成され、幅及び高さが上記光導波路素子の長さ方向で異なる第1コアと、その第1コア上から上記石英基板の他端部上まで形成される第2コアとで上記コアを構成した石英系光導波路素子である。
請求項2の発明は、上記第1コアの屈折率nc1と、上記第2コアの屈折率nc2とは、nc1≦nc2である請求項1記載の石英系光導波路素子である。
請求項3の発明は、石英基板と、その石英基板上に形成される光信号を伝搬するコアと、そのコアを覆うクラッドとからなる石英系光導波路素子の製造方法において、上記石英基板の一端部に幅及び高さが上記光導波路素子の長さ方向で異なる第1コアを埋め込み形成し、その第1コア上から上記石英基板の他端部上まで第2コアを形成する石英系光導波路素子の製造方法である。
本発明によれば、高さ及び幅が異なるコアを設計値通り再現性よく形成でき、モードフィールド径を効果的に変化させることができる、という優れた効果を発揮する。
以下、本発明の好適実施の形態を添付図面にしたがって説明する。
図1は、本発明の好適実施の形態を示す石英系光導波路素子の斜視図である。図1では、導波路素子の幅方向、長さ方向、高さ(厚さ)方向をそれぞれx方向、y方向、z方向とする。
図1に示すように、本実施の形態に係る石英系光導波路素子1は、石英基板(下部クラッド、あるいはアンダークラッド)2と、その石英基板2上に長さ方向に沿って形成される光信号を伝搬するコア3と、そのコア3を覆う上部クラッド(オーバークラッド)4とからなる。
コア3は、石英基板2の一端部(図1では手前側の部分)の中央に埋め込み形成され、幅及び高さが光導波路素子1の長さ方向で異なる第1のコア(埋め込みコア)5と、その第1コア5上から石英基板2の他端部(図1では奥側の部分)上まで連続して一体形成され、第1コア5と光学的に結合される第2コア(光導波路コア)6とで構成される。
光導波路素子1の一端面1iは光入射側、例えば、LDが光結合される側であり、光導波路素子1の他端面1oは出射側、例えば、シングルモード光ファイバが光結合される側である。
第1コア5は、光導波路素子1の一端面1iでは幅が広くて高さが大きく、光導波路素子1の長さ方向で徐々に幅が狭くて高さが小さくなり、石英基板2の一端部と他端部との境界では第2のコア6と段差なく連続するテーパ状に形成される。また、第1コア5は、その表面が石英基板2の表面と一致するように形成される。
さらに、この第1コア5は、第1コア5の屈折率nc1と、第2コア6の屈折率nc2とがnc1≦nc2を満たすように形成される。
第2コア6の高さは一定である。第2コア6の一端部は、第1コア5の真上に位置して第1コア5に重ね合わせられ、第1コア5のコア幅と同じく、光導波路素子1の一端面1iでは幅が広く、光導波路素子1の長さ方向で徐々に幅が狭くなるテーパ状に形成される。第2コア6の他端部は、石英基板2の一端部と他端部との境界から光導波路素子1の他端面1oまでは一定の幅になるように形成される。すなわち、第2コア6の他端部は慣用のコアに相当する直線導波路である。
本実施の形態では、第2コア6を上述のように形成したが、第2コアとしては、幅の変化しない直線導波路としてもよい。また、第2コアの一端部のコア幅が光導波路素子1の一端面1iに向かって狭くなるテーパ構造としてもよい。これらの場合、第1コア5は上述と同じ形状である。
次に、石英系光導波路素子1の製造方法を図2を用いて説明する。この製造方法は、第1コア5の屈折率nc1と、第2コア6の屈折率nc2とが異なる場合の製造方法である。
まず、図2(a)に示す石英基板2上に、図2(b)に示すようにWSi膜21をスパッタリング法を用いて成膜する。このWSi膜21の一端部の中央に、フォトリソグラフィ技術と反応性イオンエッチングを用いて、図2(c)に示すように埋め込みコアを形成すべく、第1コアパターン22を転写(パターニング)する。このとき、第1コアパターン22を上面から見た場合、図2(c1)に示すように、石英基板2の一端部と他端部との境界から石英基板2の一端面2iに向かって幅が広がるテーパ状(楔形状)にする。
第1コアパターン22を形成した後、WSi膜21をマスク材とし、フロロカーボン系ガスを用いた反応性イオンエッチングを用いて、第1コアパターン22に合わせて図2(d)に示すように石英基板2の一端部の中央を加工して除去し、基板除去部23を形成する。
このとき、反応性イオンエッチングにおける基板温度、プラズマ電力、水素、Ar等の添加ガス等の条件を最適化することにより、第1コアパターン22のパターン幅wが狭い場所ではエッチング深さhが浅く、パターン幅wが広い場所ではエッチング深さhが深くなる形状を形成することができる。これにより、図2(c1)のような幅wのみがテーパ状に形成された楔形状の第1コアパターン22に対して、石英基板2の一端面に向かってエッチング深さhが深くなるような図2(d)に示す幅及び高さがテーパ状に形成された基板除去部23を容易に形成することができる。
基板除去部23を形成した後、反応性イオンエッチングにおいてマスク材となったWSi膜21を図2(e)に示すように剥離し、基板除去部23上及び石英基板2上に、スパッタリング法またはプラズマCVD法などを用いて、図2(f)に示すように第1コア膜24を成膜する。
第1コア膜24を成膜した後、CMP(Chemical Mechanical Polishing)技術を用いて、図2(g)に示すように、第1コア膜24を石英基板2の表面よりも下側に埋め込まれている部分のみを残して平らに研磨し、石英基板2の一端部の中央に第1コア5を埋め込み形成する。
第1コア5を形成した後、第1コア5上及び石英基板2上に、スパッタリング法またはプラズマCVD法などを用いて、図2(h)に示すように第2コア膜25を成膜する。成膜した第2コア膜25上にWSi膜26をスパッタリング法を用いて成膜し、そのWSi膜26に、フォトリソグラフィ技術を用いて光導波路コアを形成すべく、第2コアパターンをパターニングする。
このとき、第2コアパターンを上面から見た場合、図2(h1)に示したWSi膜26と同じ形状、すなわち、楔形形状と、その幅が狭い部分に結合した一定幅の直線とで構成される形状にする。
第2コアパターンを形成した後、WSi膜26をマスク材とし、フロロカーボン系ガスを用いた反応性イオンエッチングを用いて、図2(i)に示すように第2コア膜25を加工し、反応性イオンエッチングにおいてマスク材となったWSi膜26を剥離し、第1コア5上から石英基板2の他端部上まで連続して第2コア6を一体形成する。
最後に、スパッタリング法またはプラズマCVD法などを用いて、図2(j)に示すように第2コア6上及び石英基板2上を上部クラッド4で覆うと、図1に示した石英系光導波路素子1が得られる。
次に、第1コア5の屈折率nc1と、第2コア6の屈折率nc2とが同じ場合の石英系光導波路素子1の製造方法を図3を用いて説明する。この製造方法では、図3(g)の工程以外、すなわち、図3(a)〜図3(f)の工程、図3(h)〜図3(j)の工程は、図2(a)〜図2(f)の工程、図2(h)〜図2(j)の工程とほぼ同様である。
図3(a)〜図3(f)の工程により第2コア膜25を成膜した後、CMP技術を用いて、図3(g)に示すように光導波路コアを形成すべく、第2コア膜25の上面を平らに研磨する。その後、図3(h)、図3(i)の工程を経て、同じ屈折率の第1コア35と第2コア6とで構成されるコア33が同時に一括形成され、図3(j)の工程において、コア33を有する石英系光導波路素子31が得られる。
本実施の形態の作用を説明する。
モードフィールド径が異なる光部品同士は、光導波路素子1を介して光結合される。例えば、光導波路素子1の光入射側となる一端面1iにはモードフィールド径が約2μmのLDが光結合され、光導波路素子の光出射側となる他端面1oにはモードフィールド径が約10μmのシングルモード光ファイバが光結合される。
光導波路素子1は、石英基板2の一端部に第1コア5を埋め込み形成し、その第1コア上から石英基板2の他端部上まで第2コア6を形成することで、光入射側ではコア3の幅が広くて高さが大きく、光出射側ではコア3の幅が狭くて高さが小さいため、モードフィールド径を十分効果的に変化させることができる。
このように、光導波路素子1の一端面1iに近づくに従い、第1コア5の寸法が大きくなり、さらに第1コア5の屈折率nc1を第2コア6の屈折率nc2以下にすることにより、第1コア5と第2コア6の全体の等価屈折率を小さくすることができ、例えば、LDとシングルモード光ファイバとを接続するときの接続損失を低減することができる。
また、本実施の形態に係る製造方法によれば、石英基板2を適宜加工することで、石英基板2に第1コア5を容易に埋め込み形成できるため、高さ及び幅が異なるコア3を1チップで設計値通り再現性よく形成できる。
上記実施の形態では、第1コア5(あるいは35)上に第2コア6を形成した例で説明したが、第1コア5(あるいは35)と第2コア6間に、例えば上部クラッド4と同じ屈折率を有する材料を挟んだ構造として、入射光を2つに分波する構造とすることで、モードフィールド径を実質的に拡大することも可能である。
1 石英系光導波路素子
2 石英基板
3 コア
4 上部クラッド(クラッド)
5 第1コア
6 第2コア
2 石英基板
3 コア
4 上部クラッド(クラッド)
5 第1コア
6 第2コア
Claims (3)
- 石英基板と、その石英基板上に形成される光信号を伝搬するコアと、そのコアを覆うクラッドとからなる石英系光導波路素子において、上記石英基板の一端部に埋め込み形成され、幅及び高さが上記光導波路素子の長さ方向で異なる第1コアと、その第1コア上から上記石英基板の他端部上まで形成される第2コアとで上記コアを構成した特徴とする石英系光導波路素子。
- 上記第1コアの屈折率nc1と、上記第2コアの屈折率nc2とは、nc1≦nc2である請求項1記載の石英系光導波路素子。
- 石英基板と、その石英基板上に形成される光信号を伝搬するコアと、そのコアを覆うクラッドとからなる石英系光導波路素子の製造方法において、上記石英基板の一端部に幅及び高さが上記光導波路素子の長さ方向で異なる第1コアを埋め込み形成し、その第1コア上から上記石英基板の他端部上まで第2コアを形成することを特徴とする石英系光導波路素子の製造方法。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2004085382A JP2005274757A (ja) | 2004-03-23 | 2004-03-23 | 石英系光導波路素子及びその製造方法 |
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KR20110110248A (ko) * | 2009-01-28 | 2011-10-06 | 히다치 가세고교 가부시끼가이샤 | 광도파로의 제조방법, 광도파로 및 광전기 복합배선판 |
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2004
- 2004-03-23 JP JP2004085382A patent/JP2005274757A/ja active Pending
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KR20110110248A (ko) * | 2009-01-28 | 2011-10-06 | 히다치 가세고교 가부시끼가이샤 | 광도파로의 제조방법, 광도파로 및 광전기 복합배선판 |
KR101665740B1 (ko) | 2009-01-28 | 2016-10-12 | 히타치가세이가부시끼가이샤 | 광도파로의 제조방법, 광도파로 및 광전기 복합배선판 |
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