JP2004256391A - スクライブ方法および装置 - Google Patents

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Akira Shimotoyotome
暁 下豊留
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Abstract

【課題】 スクライブ後にワークからの製品取り出しを容易にする。
【解決手段】 閉曲線例えば真円からなる刻線を形成する際に、先端が尖ったカッタ43を押し付けながら高周波振動を付与する。この押付力と振動の方向を、ワーク100の面の法線Nに対して傾斜させる。これにより、連続したクラックが円錐面を構成することになる。
【選択図】 図5

Description

本発明は、板ガラス等の硬質脆性材料のワークの面に閉曲線からなる刻線を形成するスクライブ方法および装置に関する。
板ガラス等のワークを破断する方法として、ワークの面に予め刻線を形成し、この刻線に沿って破断する方法がある。
本発明者が開発した特開平9−278473号公報のスクライブ装置では、先端が尖ったカッタを板バネでワークに押し付け、この板バネを介して振動アクチュエータからの高周波振動をカッタに付与することにより、クラックを発生させる。これと同時に、カッタをワークに対して相対的に直線移動させることにより、連続したクラックからなる刻線を、ワークに形成している。
最近、発明者は、ワークに閉曲線からなる刻線を形成し、この刻線に沿って破断して、刻線を内周縁または外周縁とする製品を生産することを思いついたが、この刻線に沿って容易に破断することが課題として残されていた。
上記課題を解決するため、請求項1の発明は、先端が尖ったカッタをワーク面に押し付けるとともに振動を付与してワークにクラックを発生させながら、このカッタをワークの面に沿って相対的に移動させることにより、ワークに刻線を形成するスクライブ方法において、上記カッタを閉曲線を描くように相対的に移動させることにより、閉曲線からなる刻線を形成し、この刻線の少なくとも一部の形成に際して、上記カッタに付与される振動の方向を、上記ワークの面の法線に対して、カッタの相対的移動方向と交差する方向に傾けるとともに、上記カッタへの押圧力の方向を上記カッタに付与される振動の方向と一致させることにより、ワークに発生するクラックを上記法線に対して傾斜させることを特徴とする。
請求項2の発明は、請求項1のスクライブ方法において、上記カッタを有するスクライブヘッドの自重が、上記カッタのワークに対する押圧力となることを特徴とする。
請求項3の発明は、請求項1または2のスクライブ方法において、上記閉曲線をなす刻線の全長にわたる形成に際して、上記カッタへの押圧力と振動の方向を一定角度で傾けることを特徴とする。
請求項4の発明は、請求項3のスクライブ方法において、上記カッタを真円を描くようにワークに対して相対的に移動させ、上記カッタへの押圧力と振動の方向を、このカッタの相対的移動軌跡の真円の接線方向と直交する方向に傾けることを特徴とする。
請求項5の発明は、請求項4に記載のスクライブ方法において、上記カッタを、同心で半径の異なる2つの真円を描くように、ワークに対して相対的に移動させることにより、2つの真円からなる刻線を形成し、少なくとも小径の真円をなす刻線を形成する際には、上記カッタへの押圧力と振動の方向を、傾けることを特徴とする。
請求項6の発明は、スクライブ装置において、
(イ)ワークを設置するテーブルと、
(ロ)スクライブヘッドと、
(ハ)上記スクライブヘッドをワークの面に沿って相対的に移動させることにより、閉曲線の軌跡を描かせる移動手段と、
を備え、上記スクライブヘッドが、
(i)尖った先端を有し、その先端がワーク面に当たるカッタと、
(ii)上記カッタを保持するホルダと、
(iii)上記ホルダを支持するボデイと、
(iv)上記ボデイの受部と上記ホルダの受部との間に挟持され、ホルダに高周波振動を付与する振動アクチュエータと、を有し、
上記ホルダの振動方向を、ワーク面の法線に対して、スクライブヘッドの相対的移動方向と交差する方向に傾くように、設定することを特徴とする。
請求項7の発明は、請求項6のスクライブ装置において、さらにスライド支持機構を備え、このスライド機構は、垂直軸に対して傾斜したガイドと、このガイドに上下方向のスライド可能に支持されたスライダとを有し、このスライダに上記スクライブヘッドのボデイが取り付けられており、このスクライブヘッドの自重が上記カッタのワークに対する押圧力となり、上記ホルダの振動方向が、このガイドと平行をなすことを特徴とする。
請求項8の発明は、請求項6のスクライブ装置において、上記移動手段が、上記ワーク設置用テーブルを回転させる回転機構であることを特徴とする。
請求項9の発明は、請求項6のスクライブ装置において、さらに位置決め手段を備え、この位置決め手段は、基台と、ワーク面と平行なX軸方向に移動可能に基台に支持された第1移動体と、ワーク面と平行でX軸と直交するY軸方向に移動可能に第1移動体に支持された第2移動体と、これら第1,第2移動体をそれぞれ移動させる第1,第2の駆動機構とを有し、この第2移動体に上記スクライブヘッドが取り付けられていることを特徴とする。
請求項1の発明によれば、振動方向を傾斜させて傾斜したクラックを形成することにより、閉曲線をなす刻線の内側と外側の部分の分離を容易にすることができる。また、カッタの押圧方向を振動方向と同様に傾斜させることにより、傾斜クラックをより一層効率的に形成することができる。
請求項3の発明によれば、押圧力と振動方向を一定角度に維持するため、複雑な傾き制御が不要となり、しかも閉曲線をなす刻線の全長にわたってクラックを傾斜させることによって、刻線の内側と外側の部分の分離をより一層容易にすることができる。
請求項4の発明によれば、クラックにより円錐面を形成することができ、内側部分と外側部分の分離をより一層容易にすることができ、内周縁または外周縁が真円をなす製品を簡単に製造することができる。
請求項5の発明によれば、内周縁と外周縁が真円をなす製品を製造する際に、穴抜きを容易に行うことができる。
請求項6の発明によれば、カッタに振動アクチュエータの高周波振動を付与し、この振動方向を傾けたことにより、請求項1と同様の効果を得ることができる。しかも、高周波振動がホルダを介して効率良くカッタに伝達され、良好なスクライブを実行することができる。
請求項7の発明によれば、簡単な機構で、カッタへの押圧力方向を傾かせることができる。
請求項8の発明によれば、ワークに回転を付与することにより、スクライブヘッドの姿勢制御をすることなく、真円をなす刻線を形成することができる。
請求項9の発明によれば、位置決め手段により、閉曲線をワークの任意の箇所に形成することができる。
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。図1〜図3に示すように、スクライブ装置は、ベースフレーム1に設けられた回転機構10(移動手段)と、この回転機構10に設けられたテーブル20と、ベースフレーム1において回転機構10の横に設けられたXーYステージ30(位置決め手段)と、このXーYステージ30に設けられたスクライブヘッド40と、を備えている。
上記テーブル20は、ワーク100を水平に設置するためのものである。詳述すると、図3に示すように、テーブル20の上面には、直線的に延びて互いに直交する2つの位置決め用段差21が形成されている。ワーク100は、例えば四角形状をなし、その2辺を上記位置決め用段差21に当てて位置決めした状態で、テーブル20の上面に設置される。テーブル20の上面には、複数の吸引孔22が形成されており、後述するスクライブを実行する際には、これら吸引孔22に接続されるバキューム機構(図示しない)の駆動によって、ワーク100を吸引し、このワーク100を上記位置決め状態で保持するようになっている。上記テーブル20は、回転機構10により水平回転されるようになっている。
上記X−Yステージ30は、図1,図3に示すように、基台31と第1移動体32と第2移動体33とを備えている。基台31の上面には水平なX軸方向に延びる2本のレール34が設けられており、このレール34に沿って第1移動体32がスライド可能に支持されている。第1移動体32の上面にも、Y軸方向に延びる2本のレール35が設けられており、このレール35に沿って第2移動体33がスライド可能に支持されている。なおY軸は水平をなし、X軸と直交している。
図3に示すように、上記第1移動体32は、第1駆動機構36により、X軸方向に移動するようになっている。この第1駆動機構36は、X軸方向に延びるねじロッド36aと、このねじロッド36aの一端に連結されたステッピングモータ36bと、ねじロッド36aの他端を回転可能に支持する軸受36cと、第1移動体32の下面に固定されてねじロッド36aに螺合する螺合部材36dとを備えている。上記ステッピングモータ36bが駆動すると、ねじロッド36aが回転し、このねじロッド36aと螺合部材36dの螺合作用を介して、第1移動体32がX軸方向に移動する。
上記第2移動体33は、第2駆動機構37により、Y軸方向に移動するようになっている。この第2駆動機構37は、第1駆動機構36と同様に、ねじロッド37aと、ステッピングモータ37bと、軸受37cと、螺合部材37dとを備えている。
上記第2移動体33には、ブラケット39が取り付けられている。このブラケット39には、スライド機構50を介して、上記スクライブヘッド40が取り付けられている。
上記スライド機構50は、上記ブラケット39に固定された取付板51と、この取付板51に固定されて上下方向に延びるガイド52と、このガイド52にスライド可能に支持されたスライダ53とを備えている。図3に良く示されているように、ガイド52にはガイド溝52aが形成されており、このガイド溝52aにスライダ53の縦長の凸部53aがスライド可能に入り込んでいる。このスライダ53は、ガイド52に設けられたストッパ(図示しない)により下限位置を決定されている。
図1に示すように、上記スライダ53には、上下一対の水平をなす板バネ55a,55bを介して、上記スクライブヘッド40のボデイ41が取り付けられている。詳述すると、スライダ53には、上下にL字形のブラケット56a,56bが1つずつ固定されており、これらブラケット56a,56bに、上記板バネ55a,55bの中央部がそれぞれ固定されている。他方、上記ボデイ41には、上下に一対ずつL字形のブラケット57a,57bが固定されている。上側の一対のブラケット57aは、ブラケット56aを挟みこのブラケット56aから離れて配置されており、上記板バネ55aの両端部に固定されている。同様に、下側の一対のブラケット57bも、ブラケット56bを挟みこのブラケット56bから離れて配置されており、上記板バネ55bの両端部に固定されている。
次に、上記スクライブヘッド40の構成について詳述する。上記スクライブヘッド40は、上記ボデイ41と、このボデイ41に微小量の上下方向スライドを可能にして支持されたホルダ42と、このホルダ42の下端に固定されたカッタ43(当接部材)と、ホルダ42に上下方向の振動を付与するピエゾアクチュエータ44(振動アクチュエータ)と、を備えている。
上記ボデイ41は、中空をなす上部と、平板部をなす下部とを有しており、両者の境の段差41aが、上記ピエゾアクチュエータ44の上端を係止するための受部として提供される。ボデイ41の下部には、ガイド45が固定されている。
上記ホルダ42は、垂直方向に延びるように細長く構成されており、幅の狭い平板形状をなして垂直に延びる主ロッド42aと、この主ロッド42aの上端に連結されて上方に延びる補助ロッド42b(ホルダ42の基端部)と、主ロッド42aの下端に固定されたアタッチメント42c(ホルダ42の先端部)とを備えている。主ロッド42aは、ボデイ41のガイド45によって案内されて上下方向に微少量のスライドが可能になっている。
上記主ロッド42aの長手方向の中間部には受け部材42d(受部)が固定されており、この受け部材42dに上記ピエゾアクチュエータ44の下端が係止されている。その結果、ピエゾアクチュエータ44は、上下方向に対峙した上記段差41aと受部材42dとの間に挟まれるようにして配置されている。ピエゾアクチュエータ44は、高周波交流電圧を受けて上下方向へ周期的に伸縮するものであり、その周期的伸縮によってホルダ42を上下方向に振動させるようになっている。
上記補助ロッド42bは、ボデイ41の上壁を貫通して上方に突出している。ボデイ41の上壁には、ゴムや樹脂等の弾性材料からなるボール46(球形状の弾性部材)と、その上下の球面受座47,48が配置されており、これらを上記補助ロッド22が貫通している。
上記補助ロッド42bの上端部は雄ネジをなしており、この雄ネジに螺合された上側の球面受座48を締め付けることにより、上記ボール46が球面受座47,48で挟み付けられて弾性変形されている。このボール46の復元力が、ホルダ42をボデイ41に対して上方へ付勢する力となり、ひいてはホルダ42の受部材42dを常時ピエゾアクチュエータ44に押し付ける力となる。
上記ホルダ42のアタッチメント42cには、上記カッタ43が固定されている。このカッタ43は、上下方向に延び、その下端(先端)が円錐または角錐形状をなして尖っている。カッタ43の下端には、角錐形状をなすダイヤモンド粒が固着されている。
さらに、アタッチメント42cには、ガイド板49が取り付けられている。このガイド板49は、バネ材からなり、その平坦な両端部がアタッチメント42cの両側面に取り付けられ、中央部が下に凸に湾曲している。
図4に最も良く示されているように、ガイド板49の中央には穴49aが形成されている。上記カッタ43は、この穴49aを通って、ガイド板49より所定量(数ミクロン)だけ下方に突出している。なお、図においてこの突出量は誇張して示されている。
図2,図3に示すように、上記取付板51には、エアシリンダ60がほぼ垂直に取り付けられている。他方、スクライブヘッド40のボデイ41の上部側面にはL字形のブラケット65が固定されており、このブラケット65には、ほぼ垂直をなす短ロッド66が螺合されている。この短ロッド66は、上記エアシリンダ60のロッド61の真上に位置している。
スクライブ装置はさらに制御ユニット70(制御手段、図3にのみ示す)を備えている。この制御ユニット70は、上記バキューム機構,回転機構20,上記X−Yステージ30のステッピングモータ36b,37b,ピエゾアクチュエータ44,エアシリンダ60等を制御する。
次に、本発明の重要な特徴に係わる構成について説明する。取付板51のスクライブヘッド40側の面は傾斜している。その結果、スライド機構50のガイド51も傾斜しており、スクライブヘッド40も傾斜している。より具体的には、カッタ43の軸線Lが、垂直軸に対して傾いている。すなわち、回転機構10の回転軸線Oおよび前述のようにしてテーブル20に設置された板ガラス100の上面の法線Nに対して傾いている。この傾斜角度Θは、図1,図5では誇張して示すが、0.1°〜5.0°より好ましくは0.2°〜2.0°とする。上記スライダ53のスライド方向,ホルダ42の微小スライド方向は、このカッタ43の軸線Lと平行ないしは一致している。
上記構成をなすスクライブ装置の作用を説明する。前述したように、水平のテーブル20に板ガラス100(ワーク)を位置決めして水平にセットする。初期状態では、スクライブヘッド40のカッタ43は、板ガラス100の縁から水平方向に離れており、テーブル20の上面から微小間隔だけ離れている。この状態で、制御ユニット70のスタートボタンをオンすると、制御ユニット70は、バキューム機構を駆動させて板ガラス100を吸着する。
次に、X−Yステージ30のステッピングモータ37bを駆動させて、第2移動体33をY軸方向に移動させ、これによりスクライブヘッド40を板ガラス100に向かってY軸方向に移動させる。これと同時にピエゾアクチュエータ44に高周波電圧を付与する。
上記スクライブヘッド40がY軸方向に移動すると、ガイド板49の湾曲した部分が、板ガラス100の1辺の縁に当たり、その傾斜によってスクライブヘッド40が押し上げられる。これにより、カッタ43は、板ガラス100の一辺の縁を越えてその上面に円滑に乗り上げることができる。
さらに、第2移動体33をY軸方向に移動させることにより、カッタ43は、図7(A)に示すようにワーク100の4つの辺のすべての縁から離れた点Pまで進む。この過程でのスクライブにより、板ガラス100にY軸方向に延びる直線からなる刻線101が形成される。
上記カッタ43が点Pに位置した時、カッタ43の軸線Lと回転機構10の回転軸線Oが同一の垂直平面上に配置される。換言すれば、カッタ43の軸線Lが回転軸線Oに向かって傾いている。
上記スクライブヘッド40のカッタ43が点Pまで達した時に、第2移動体33の移動を停止させる。これによりカッタ43の点Pでの位置決めがなされる。次に、回転機構10を駆動して、板ガラス100を1回転させる。これにより、図7(B)に示すように、カッタ43はワーク100に対して真円をなす閉曲線を描き、その過程でのスクライブにより、真円の刻線102が形成される。この真円の半径は、回転機構10の回転軸線Oと上記点Pまでの距離に等しい。
上記カッタ43が再び点Pに戻った時に、回転機構10を停止させ、再び第2移動体32をY軸方向に移動させて、カッタ43を板ガラス100の他の辺の縁まで移動させる。この過程でのスクライブにより、図7(C)に示すように、上記刻線101と一直線をなして連なる刻線103が形成される。
次に、エアシリンダ60を駆動させて、スクライブヘッド40を上方に押し上げる。そして、X−Yステージ30の移動体32,33を移動させて、カッタ43を上記真円の刻線102の内側の点Qに位置決めする。点Qは、上記点Pと回転軸線Oを結ぶ直線上にある。この点Qでの位置決め後に、エアシリンダ50を逆方向に駆動させて、スクライブヘッド40を下降させ、カッタ43を板ガラス100の上面に乗せる。その後、再び回転機構10を駆動させる。この過程でのスクライブにより、図7(D)に示す小さい半径の真円からなる刻線104が形成される。
その後、再びエアシリンダ60を駆動させてスクライブヘッド40を上方に押し上げ、X−Yステージ30を制御して、板ガラス100から離れた初期位置まで戻す。
上記刻線101〜104の形成のためのスクライブ作用について詳述する。カッタ43には板ガラス100の上面に対する押圧力P1が常に付与されている。すなわち、上記スクライブヘッド40は、スライド支持機構50を介してスライド可能に支持されており、このスクライブヘッド40の自重(主にボデイ41とホルダ42の自重)と、スライダ53の自重がカッタ43への押圧力となる。
上記のように、スクライブヘッド40の自重等でカッタ43を板ガラス100の面に押し付けた状態で、ピエゾアクチュエータ44に高周波電圧を印加させて、ピエゾアクチュエータ44を周期的に伸縮させると、この周期的伸縮に伴うホルダ42の振動がカッタ43を介して板ガラス100に伝達される。換言すれば、図6に示すように、カッタ43を介して板ガラス100に付与される押圧力Pは、上記ボデイ10等の自重に起因する押圧力P1を下限値とし、ピエゾアクチュエータ44の振動に起因して周期的に変動する。したがって押圧力Pは、周期的に非常に大きな力となり、カッタ43の尖った下端を介して板ガラス100に衝撃を付与することになり、深いクラックを有する刻線101〜105を形成することができる。しかし、自重に起因する押圧力P1は比較的小さいので、従来装置のような水平クラックの発生をほとんど皆無にすることができる。
なお、押圧力Pの周期、換言すればピエゾアクチュエータ44に印加する高周波電圧の周波数は、例えば3〜30KHz程度に設定し、ピエゾアクチュエータ44の伸縮量、つまり振幅は数μm〜20μm程度に設定する。また、カッタ43の送り速度は、上の周波数を採用する場合、100〜250mm/sec程度に設定するのがよい。
上記スクライブに際して、カッタ43はスクライブヘッド40等の自重に伴う押圧力をもって常に板ガラス100の面に接した状態であり、この面から瞬間的に離れることがないので、刻線101〜104の近傍の欠損をなくし、きれいな刻線101〜104を形成することができる。また、ホルダ42が剛体でありカッタ43が弾性体を介在せずに直接ホルダ42に固定されているので、カッタ43はホルダ42と一体となって振動し、ピエゾアクチュエータ44の振動エネルギーを良好にカッタ43に伝達することができ、共振の可能性を減じることができ、カッタ43の跳ね上げの可能性を減じることができる。
しかも、本実施形態では、ボデイ41とスライダ53との間に板バネ55a,55bが介在されているので、共振の可能性をより一層減じることができる。
次に、本発明の特徴に係わる重要な作用について説明する。上記真円からなる刻線102,104の形成に際して、自重に伴う押圧力と振動エネルギーは、図5に示すように、回転機構10の回転軸線Oに向かって傾斜した軸線Lに沿って、ワーク100に伝達される。その結果、図8に示すように、発生するクラックが傾斜し、このクラックが連続して、円錐面の一部(傾斜面)を構成することになる。
図7(D)に示すように、上記板ガラス100は、刻線101〜104により4つの部分106〜109に区分けされる。すなわち、小径の真円の刻線104の内側の円形の部分106と、真円の刻線102,104で挟まれたリング形状の部分107と、刻線104の外側の2つの部分108,109とである。まず、外側の2つの部分108,109を軽く力を加えて分離する。これら部分108,109は、一直線をなす刻線101,103によって区分けされているので、容易に分離される。
次に、上記刻線102の内側の2つの部分106,107を、外側の部分108に対して下方に押すことにより、分離する。この際、外側の部分108がリング形状をなさず、点Pにおいて刻線102が解放されていること、および刻線102を構成するクラックが円錐面をなすことにより、分離が容易である。
次に、部分106を部分107に対して下方に押すことにより、両者を分離する。この分離も、刻線104を構成するクラックが円錐面をなしているので、容易である。
上記のようにして、図7(D),図9に示すように、刻線102を外周縁とし、刻線104を内周縁とする部分107を得ることができる。この部分107は、例えば記憶媒体用ディスクとして用いられる。このディスク107は、2つの平行な平坦面107a,107bを有するとともに、中央に円形の穴107cを有している。ディスク107は、上記製造工程での説明から明らかなように、円錐面の一部をなし、上記平坦面107a,107bに対して傾斜する外周面107xと内周面107yとを有している。
なお、本実施例では、上記刻線101〜104を形成するクラックは、板ガラス100の上面(一方の平坦面)から下面(他方の平坦面)に達しているため、この刻線101〜104に沿う破断を非常に軽い力で行うことができ、より一層分離が容易となるが、このクラックが比較的浅い場合には、エア圧ないしは機械的な圧力を用いて破断する。
本発明は上記実施形態に制約されず、種々の形態が可能である。例えば、刻線102のクラックが傾斜している場合には、図7(D)に示す刻線101,103がなくても、この刻線102に沿う破断は比較的容易である。
また、上記刻線101,103が形成される場合には、図10に示すように、大径の真円をなす刻線102のクラックは、板ガラス100の面に対して垂直であってもよい。
移動手段を、回転機構と、姿勢制御手段で構成し、スクライブヘッドをこの姿勢制御手段を介して回転機構に取り付けるようにしてもよい。スクライブヘッドは、回転機構の回転軸線から離れており、回転機構の駆動により真円の軌跡を描く。この過程で、スクライブヘッドは姿勢制御され、常にカッタの軸線が回転軸線に向かって傾くようにされる。
刻線は真円ではなく、他の形状、例えば楕円,3つ以上の直線からなる多角形等の閉曲線(環状線)であってもよい。この場合、移動手段は、X−Yステージと姿勢制御手段とで構成される。
カッタは、周縁が尖った円盤形状をなして、ホルダに回転自在に保持されるものであってもよい。この場合、周縁の一部がワークに当接し、尖った先端として機能する。
硬質脆性材料のワークとしては、板ガラスに限らず、セラミック製の板,シリコンウエハー等のであってもよい。
本発明の一実施形態をなすスクライブ装置を一部断面にして示す側面図である。 同スクライブ装置の正面図である。 同スクライブ装置の平面図である。 同装置のスクライブヘッドの要部を一部断面にして示す拡大正面図である。 同スクライブヘッドのカッタの傾きを誇張して示す拡大側面図である。 カッタの板ガラスに対する押圧力を示す図である。 (A)〜(E)は、記憶媒体用ディスクを製造するためにワークに刻線を形成する過程を順を追って説明する平面図である。 図7(D)においてVIIIーVIII線に沿うワークの拡大断面図であり、刻線を構成するクラックの傾きとワークの厚みを誇張して示す。 図7(E)においてIXーIX線に沿う記憶媒体用ディスクの拡大断面図であり、厚みと外周面,内周面の傾きを誇張して示す。 記憶媒体用ディスク製造のためにワークに形成される刻線の他の態様を示す図8相当図である。
符号の説明
10 ワーク設置用テーブル
20 回転機構(移動手段)
30 XーYステージ(位置決め手段)
31 基台
32 第1移動体
33 第2移動体
36 第1駆動機構
37 第2駆動機構
40 スクライブヘッド
41 ボデイ
41a 段差(受部)
42 ホルダ
42d 受け部材(受部)
43 カッタ(当接部材)
44 ピエゾアクチュエータ(振動アクチュエータ)
50 スライド機構
52 ガイド
53 スライダ
100 板ガラス(ワーク)
101〜104 刻線
107 記憶媒体用ディスク
107a,107b 平坦面
107c 穴
107y 内周面

Claims (9)

  1. 先端が尖ったカッタをワーク面に押し付けるとともに振動を付与してワークにクラックを発生させながら、このカッタをワークの面に沿って相対的に移動させることにより、ワークに刻線を形成するスクライブ方法において、
    上記カッタを閉曲線を描くように相対的に移動させることにより、閉曲線からなる刻線を形成し、この刻線の少なくとも一部の形成に際して、上記カッタに付与される振動の方向を、上記ワークの面の法線に対して、カッタの相対的移動方向と交差する方向に傾けるとともに、上記カッタへの押圧力の方向を上記カッタに付与される振動の方向と一致させることにより、ワークに発生するクラックを上記法線に対して傾斜させることを特徴とするスクライブ方法。
  2. 上記カッタを有するスクライブヘッドの自重が、上記カッタのワークに対する押圧力となることを特徴とする請求項1に記載のスクライブ方法。
  3. 上記閉曲線をなす刻線の全長にわたる形成に際して、上記カッタへの押圧力と振動の方向を一定角度で傾けることを特徴とする請求項1または2に記載のスクライブ方法。
  4. 上記カッタを真円を描くようにワークに対して相対的に移動させ、上記カッタへの押圧力と振動の方向を、このカッタの相対的移動軌跡の真円の接線方向と直交する方向に傾けることを特徴とする請求項3に記載のスクライブ方法。
  5. 上記カッタを、同心で半径の異なる2つの真円を描くように、ワークに対して相対的に移動させることにより、2つの真円からなる刻線を形成し、少なくとも小径の真円をなす刻線を形成する際には、上記カッタへの押圧力と振動の方向を、傾けることを特徴とする請求項4に記載のスクライブ方法。
  6. (イ)ワークを設置するテーブルと、
    (ロ)スクライブヘッドと、
    (ハ)上記スクライブヘッドをワークの面に沿って相対的に移動させることにより、閉曲線の軌跡を描かせる移動手段と、
    を備え、上記スクライブヘッドが、
    (i)尖った先端を有し、その先端がワーク面に当たるカッタと、
    (ii)上記カッタを保持するホルダと、
    (iii)上記ホルダを支持するボデイと、
    (iv)上記ボデイの受部と上記ホルダの受部との間に挟持され、ホルダに高周波振動を付与する振動アクチュエータと、を有し、
    上記ホルダの振動方向を、ワーク面の法線に対して、スクライブヘッドの相対的移動方向と交差する方向に傾くように、設定することを特徴とするスクライブ装置。
  7. さらにスライド支持機構を備え、このスライド機構は、垂直軸に対して傾斜したガイドと、このガイドに上下方向のスライド可能に支持されたスライダとを有し、このスライダに上記スクライブヘッドのボデイが取り付けられており、このスクライブヘッドの自重が上記カッタのワークに対する押圧力となり、上記ホルダの振動方向が、このガイドと平行をなすことを特徴とする請求項6に記載のスクライブ装置。
  8. 上記移動手段が、上記ワーク設置用テーブルを回転させる回転機構であることを特徴とする請求項6に記載のスクライブ装置。
  9. さらに位置決め手段を備え、この位置決め手段は、基台と、ワーク面と平行なX軸方向に移動可能に基台に支持された第1移動体と、ワーク面と平行でX軸と直交するY軸方向に移動可能に第1移動体に支持された第2移動体と、これら第1,第2移動体をそれぞれ移動させる第1,第2の駆動機構とを有し、この第2移動体に上記スクライブヘッドが取り付けられていることを特徴とする請求項8に記載のスクライブ装置。
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