JP2004256391A - スクライブ方法および装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 スクライブ後にワークからの製品取り出しを容易にする。
【解決手段】 閉曲線例えば真円からなる刻線を形成する際に、先端が尖ったカッタ４３を押し付けながら高周波振動を付与する。この押付力と振動の方向を、ワーク１００の面の法線Ｎに対して傾斜させる。これにより、連続したクラックが円錐面を構成することになる。
【選択図】 図５

Description

本発明は、板ガラス等の硬質脆性材料のワークの面に閉曲線からなる刻線を形成するスクライブ方法および装置に関する。

板ガラス等のワークを破断する方法として、ワークの面に予め刻線を形成し、この刻線に沿って破断する方法がある。
本発明者が開発した特開平９−２７８４７３号公報のスクライブ装置では、先端が尖ったカッタを板バネでワークに押し付け、この板バネを介して振動アクチュエータからの高周波振動をカッタに付与することにより、クラックを発生させる。これと同時に、カッタをワークに対して相対的に直線移動させることにより、連続したクラックからなる刻線を、ワークに形成している。

最近、発明者は、ワークに閉曲線からなる刻線を形成し、この刻線に沿って破断して、刻線を内周縁または外周縁とする製品を生産することを思いついたが、この刻線に沿って容易に破断することが課題として残されていた。

上記課題を解決するため、請求項１の発明は、先端が尖ったカッタをワーク面に押し付けるとともに振動を付与してワークにクラックを発生させながら、このカッタをワークの面に沿って相対的に移動させることにより、ワークに刻線を形成するスクライブ方法において、上記カッタを閉曲線を描くように相対的に移動させることにより、閉曲線からなる刻線を形成し、この刻線の少なくとも一部の形成に際して、上記カッタに付与される振動の方向を、上記ワークの面の法線に対して、カッタの相対的移動方向と交差する方向に傾けるとともに、上記カッタへの押圧力の方向を上記カッタに付与される振動の方向と一致させることにより、ワークに発生するクラックを上記法線に対して傾斜させることを特徴とする。
請求項２の発明は、請求項１のスクライブ方法において、上記カッタを有するスクライブヘッドの自重が、上記カッタのワークに対する押圧力となることを特徴とする。
請求項３の発明は、請求項１または２のスクライブ方法において、上記閉曲線をなす刻線の全長にわたる形成に際して、上記カッタへの押圧力と振動の方向を一定角度で傾けることを特徴とする。
請求項４の発明は、請求項３のスクライブ方法において、上記カッタを真円を描くようにワークに対して相対的に移動させ、上記カッタへの押圧力と振動の方向を、このカッタの相対的移動軌跡の真円の接線方向と直交する方向に傾けることを特徴とする。
請求項５の発明は、請求項４に記載のスクライブ方法において、上記カッタを、同心で半径の異なる２つの真円を描くように、ワークに対して相対的に移動させることにより、２つの真円からなる刻線を形成し、少なくとも小径の真円をなす刻線を形成する際には、上記カッタへの押圧力と振動の方向を、傾けることを特徴とする。

請求項６の発明は、スクライブ装置において、
（イ）ワークを設置するテーブルと、
（ロ）スクライブヘッドと、
（ハ）上記スクライブヘッドをワークの面に沿って相対的に移動させることにより、閉曲線の軌跡を描かせる移動手段と、
を備え、上記スクライブヘッドが、
（i）尖った先端を有し、その先端がワーク面に当たるカッタと、
（ii）上記カッタを保持するホルダと、
（iii）上記ホルダを支持するボデイと、
（iv）上記ボデイの受部と上記ホルダの受部との間に挟持され、ホルダに高周波振動を付与する振動アクチュエータと、を有し、
上記ホルダの振動方向を、ワーク面の法線に対して、スクライブヘッドの相対的移動方向と交差する方向に傾くように、設定することを特徴とする。

請求項７の発明は、請求項６のスクライブ装置において、さらにスライド支持機構を備え、このスライド機構は、垂直軸に対して傾斜したガイドと、このガイドに上下方向のスライド可能に支持されたスライダとを有し、このスライダに上記スクライブヘッドのボデイが取り付けられており、このスクライブヘッドの自重が上記カッタのワークに対する押圧力となり、上記ホルダの振動方向が、このガイドと平行をなすことを特徴とする。
請求項８の発明は、請求項６のスクライブ装置において、上記移動手段が、上記ワーク設置用テーブルを回転させる回転機構であることを特徴とする。
請求項９の発明は、請求項６のスクライブ装置において、さらに位置決め手段を備え、この位置決め手段は、基台と、ワーク面と平行なＸ軸方向に移動可能に基台に支持された第１移動体と、ワーク面と平行でＸ軸と直交するＹ軸方向に移動可能に第１移動体に支持された第２移動体と、これら第１，第２移動体をそれぞれ移動させる第１，第２の駆動機構とを有し、この第２移動体に上記スクライブヘッドが取り付けられていることを特徴とする。

請求項１の発明によれば、振動方向を傾斜させて傾斜したクラックを形成することにより、閉曲線をなす刻線の内側と外側の部分の分離を容易にすることができる。また、カッタの押圧方向を振動方向と同様に傾斜させることにより、傾斜クラックをより一層効率的に形成することができる。
請求項３の発明によれば、押圧力と振動方向を一定角度に維持するため、複雑な傾き制御が不要となり、しかも閉曲線をなす刻線の全長にわたってクラックを傾斜させることによって、刻線の内側と外側の部分の分離をより一層容易にすることができる。
請求項４の発明によれば、クラックにより円錐面を形成することができ、内側部分と外側部分の分離をより一層容易にすることができ、内周縁または外周縁が真円をなす製品を簡単に製造することができる。
請求項５の発明によれば、内周縁と外周縁が真円をなす製品を製造する際に、穴抜きを容易に行うことができる。

請求項６の発明によれば、カッタに振動アクチュエータの高周波振動を付与し、この振動方向を傾けたことにより、請求項１と同様の効果を得ることができる。しかも、高周波振動がホルダを介して効率良くカッタに伝達され、良好なスクライブを実行することができる。
請求項７の発明によれば、簡単な機構で、カッタへの押圧力方向を傾かせることができる。
請求項８の発明によれば、ワークに回転を付与することにより、スクライブヘッドの姿勢制御をすることなく、真円をなす刻線を形成することができる。
請求項９の発明によれば、位置決め手段により、閉曲線をワークの任意の箇所に形成することができる。

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。図１〜図３に示すように、スクライブ装置は、ベースフレーム１に設けられた回転機構１０（移動手段）と、この回転機構１０に設けられたテーブル２０と、ベースフレーム１において回転機構１０の横に設けられたＸーＹステージ３０（位置決め手段）と、このＸーＹステージ３０に設けられたスクライブヘッド４０と、を備えている。

上記テーブル２０は、ワーク１００を水平に設置するためのものである。詳述すると、図３に示すように、テーブル２０の上面には、直線的に延びて互いに直交する２つの位置決め用段差２１が形成されている。ワーク１００は、例えば四角形状をなし、その２辺を上記位置決め用段差２１に当てて位置決めした状態で、テーブル２０の上面に設置される。テーブル２０の上面には、複数の吸引孔２２が形成されており、後述するスクライブを実行する際には、これら吸引孔２２に接続されるバキューム機構（図示しない）の駆動によって、ワーク１００を吸引し、このワーク１００を上記位置決め状態で保持するようになっている。上記テーブル２０は、回転機構１０により水平回転されるようになっている。

上記Ｘ−Ｙステージ３０は、図１，図３に示すように、基台３１と第１移動体３２と第２移動体３３とを備えている。基台３１の上面には水平なＸ軸方向に延びる２本のレール３４が設けられており、このレール３４に沿って第１移動体３２がスライド可能に支持されている。第１移動体３２の上面にも、Ｙ軸方向に延びる２本のレール３５が設けられており、このレール３５に沿って第２移動体３３がスライド可能に支持されている。なおＹ軸は水平をなし、Ｘ軸と直交している。

図３に示すように、上記第１移動体３２は、第１駆動機構３６により、Ｘ軸方向に移動するようになっている。この第１駆動機構３６は、Ｘ軸方向に延びるねじロッド３６ａと、このねじロッド３６ａの一端に連結されたステッピングモータ３６ｂと、ねじロッド３６ａの他端を回転可能に支持する軸受３６ｃと、第１移動体３２の下面に固定されてねじロッド３６ａに螺合する螺合部材３６ｄとを備えている。上記ステッピングモータ３６ｂが駆動すると、ねじロッド３６ａが回転し、このねじロッド３６ａと螺合部材３６ｄの螺合作用を介して、第１移動体３２がＸ軸方向に移動する。
上記第２移動体３３は、第２駆動機構３７により、Ｙ軸方向に移動するようになっている。この第２駆動機構３７は、第１駆動機構３６と同様に、ねじロッド３７ａと、ステッピングモータ３７ｂと、軸受３７ｃと、螺合部材３７ｄとを備えている。

上記第２移動体３３には、ブラケット３９が取り付けられている。このブラケット３９には、スライド機構５０を介して、上記スクライブヘッド４０が取り付けられている。

上記スライド機構５０は、上記ブラケット３９に固定された取付板５１と、この取付板５１に固定されて上下方向に延びるガイド５２と、このガイド５２にスライド可能に支持されたスライダ５３とを備えている。図３に良く示されているように、ガイド５２にはガイド溝５２ａが形成されており、このガイド溝５２ａにスライダ５３の縦長の凸部５３ａがスライド可能に入り込んでいる。このスライダ５３は、ガイド５２に設けられたストッパ（図示しない）により下限位置を決定されている。

図１に示すように、上記スライダ５３には、上下一対の水平をなす板バネ５５ａ，５５ｂを介して、上記スクライブヘッド４０のボデイ４１が取り付けられている。詳述すると、スライダ５３には、上下にＬ字形のブラケット５６ａ，５６ｂが１つずつ固定されており、これらブラケット５６ａ，５６ｂに、上記板バネ５５ａ，５５ｂの中央部がそれぞれ固定されている。他方、上記ボデイ４１には、上下に一対ずつＬ字形のブラケット５７ａ，５７ｂが固定されている。上側の一対のブラケット５７ａは、ブラケット５６ａを挟みこのブラケット５６ａから離れて配置されており、上記板バネ５５ａの両端部に固定されている。同様に、下側の一対のブラケット５７ｂも、ブラケット５６ｂを挟みこのブラケット５６ｂから離れて配置されており、上記板バネ５５ｂの両端部に固定されている。

次に、上記スクライブヘッド４０の構成について詳述する。上記スクライブヘッド４０は、上記ボデイ４１と、このボデイ４１に微小量の上下方向スライドを可能にして支持されたホルダ４２と、このホルダ４２の下端に固定されたカッタ４３（当接部材）と、ホルダ４２に上下方向の振動を付与するピエゾアクチュエータ４４（振動アクチュエータ）と、を備えている。
上記ボデイ４１は、中空をなす上部と、平板部をなす下部とを有しており、両者の境の段差４１ａが、上記ピエゾアクチュエータ４４の上端を係止するための受部として提供される。ボデイ４１の下部には、ガイド４５が固定されている。

上記ホルダ４２は、垂直方向に延びるように細長く構成されており、幅の狭い平板形状をなして垂直に延びる主ロッド４２ａと、この主ロッド４２ａの上端に連結されて上方に延びる補助ロッド４２ｂ（ホルダ４２の基端部）と、主ロッド４２ａの下端に固定されたアタッチメント４２ｃ（ホルダ４２の先端部）とを備えている。主ロッド４２ａは、ボデイ４１のガイド４５によって案内されて上下方向に微少量のスライドが可能になっている。

上記主ロッド４２ａの長手方向の中間部には受け部材４２ｄ（受部）が固定されており、この受け部材４２ｄに上記ピエゾアクチュエータ４４の下端が係止されている。その結果、ピエゾアクチュエータ４４は、上下方向に対峙した上記段差４１ａと受部材４２ｄとの間に挟まれるようにして配置されている。ピエゾアクチュエータ４４は、高周波交流電圧を受けて上下方向へ周期的に伸縮するものであり、その周期的伸縮によってホルダ４２を上下方向に振動させるようになっている。

上記補助ロッド４２ｂは、ボデイ４１の上壁を貫通して上方に突出している。ボデイ４１の上壁には、ゴムや樹脂等の弾性材料からなるボール４６（球形状の弾性部材）と、その上下の球面受座４７，４８が配置されており、これらを上記補助ロッド２２が貫通している。
上記補助ロッド４２ｂの上端部は雄ネジをなしており、この雄ネジに螺合された上側の球面受座４８を締め付けることにより、上記ボール４６が球面受座４７，４８で挟み付けられて弾性変形されている。このボール４６の復元力が、ホルダ４２をボデイ４１に対して上方へ付勢する力となり、ひいてはホルダ４２の受部材４２ｄを常時ピエゾアクチュエータ４４に押し付ける力となる。

上記ホルダ４２のアタッチメント４２ｃには、上記カッタ４３が固定されている。このカッタ４３は、上下方向に延び、その下端（先端）が円錐または角錐形状をなして尖っている。カッタ４３の下端には、角錐形状をなすダイヤモンド粒が固着されている。

さらに、アタッチメント４２ｃには、ガイド板４９が取り付けられている。このガイド板４９は、バネ材からなり、その平坦な両端部がアタッチメント４２ｃの両側面に取り付けられ、中央部が下に凸に湾曲している。
図４に最も良く示されているように、ガイド板４９の中央には穴４９ａが形成されている。上記カッタ４３は、この穴４９ａを通って、ガイド板４９より所定量（数ミクロン）だけ下方に突出している。なお、図においてこの突出量は誇張して示されている。

図２，図３に示すように、上記取付板５１には、エアシリンダ６０がほぼ垂直に取り付けられている。他方、スクライブヘッド４０のボデイ４１の上部側面にはＬ字形のブラケット６５が固定されており、このブラケット６５には、ほぼ垂直をなす短ロッド６６が螺合されている。この短ロッド６６は、上記エアシリンダ６０のロッド６１の真上に位置している。

スクライブ装置はさらに制御ユニット７０（制御手段、図３にのみ示す）を備えている。この制御ユニット７０は、上記バキューム機構，回転機構２０，上記Ｘ−Ｙステージ３０のステッピングモータ３６ｂ，３７ｂ，ピエゾアクチュエータ４４，エアシリンダ６０等を制御する。

次に、本発明の重要な特徴に係わる構成について説明する。取付板５１のスクライブヘッド４０側の面は傾斜している。その結果、スライド機構５０のガイド５１も傾斜しており、スクライブヘッド４０も傾斜している。より具体的には、カッタ４３の軸線Ｌが、垂直軸に対して傾いている。すなわち、回転機構１０の回転軸線Ｏおよび前述のようにしてテーブル２０に設置された板ガラス１００の上面の法線Ｎに対して傾いている。この傾斜角度Θは、図１，図５では誇張して示すが、０.１°〜５.０°より好ましくは０.２°〜２.０°とする。上記スライダ５３のスライド方向，ホルダ４２の微小スライド方向は、このカッタ４３の軸線Ｌと平行ないしは一致している。

上記構成をなすスクライブ装置の作用を説明する。前述したように、水平のテーブル２０に板ガラス１００（ワーク）を位置決めして水平にセットする。初期状態では、スクライブヘッド４０のカッタ４３は、板ガラス１００の縁から水平方向に離れており、テーブル２０の上面から微小間隔だけ離れている。この状態で、制御ユニット７０のスタートボタンをオンすると、制御ユニット７０は、バキューム機構を駆動させて板ガラス１００を吸着する。

次に、Ｘ−Ｙステージ３０のステッピングモータ３７ｂを駆動させて、第２移動体３３をＹ軸方向に移動させ、これによりスクライブヘッド４０を板ガラス１００に向かってＹ軸方向に移動させる。これと同時にピエゾアクチュエータ４４に高周波電圧を付与する。
上記スクライブヘッド４０がＹ軸方向に移動すると、ガイド板４９の湾曲した部分が、板ガラス１００の１辺の縁に当たり、その傾斜によってスクライブヘッド４０が押し上げられる。これにより、カッタ４３は、板ガラス１００の一辺の縁を越えてその上面に円滑に乗り上げることができる。

さらに、第２移動体３３をＹ軸方向に移動させることにより、カッタ４３は、図７（Ａ）に示すようにワーク１００の４つの辺のすべての縁から離れた点Ｐまで進む。この過程でのスクライブにより、板ガラス１００にＹ軸方向に延びる直線からなる刻線１０１が形成される。
上記カッタ４３が点Ｐに位置した時、カッタ４３の軸線Ｌと回転機構１０の回転軸線Ｏが同一の垂直平面上に配置される。換言すれば、カッタ４３の軸線Ｌが回転軸線Ｏに向かって傾いている。

上記スクライブヘッド４０のカッタ４３が点Ｐまで達した時に、第２移動体３３の移動を停止させる。これによりカッタ４３の点Ｐでの位置決めがなされる。次に、回転機構１０を駆動して、板ガラス１００を１回転させる。これにより、図７（Ｂ）に示すように、カッタ４３はワーク１００に対して真円をなす閉曲線を描き、その過程でのスクライブにより、真円の刻線１０２が形成される。この真円の半径は、回転機構１０の回転軸線Ｏと上記点Ｐまでの距離に等しい。
上記カッタ４３が再び点Ｐに戻った時に、回転機構１０を停止させ、再び第２移動体３２をＹ軸方向に移動させて、カッタ４３を板ガラス１００の他の辺の縁まで移動させる。この過程でのスクライブにより、図７（Ｃ）に示すように、上記刻線１０１と一直線をなして連なる刻線１０３が形成される。

次に、エアシリンダ６０を駆動させて、スクライブヘッド４０を上方に押し上げる。そして、Ｘ−Ｙステージ３０の移動体３２，３３を移動させて、カッタ４３を上記真円の刻線１０２の内側の点Ｑに位置決めする。点Ｑは、上記点Ｐと回転軸線Ｏを結ぶ直線上にある。この点Ｑでの位置決め後に、エアシリンダ５０を逆方向に駆動させて、スクライブヘッド４０を下降させ、カッタ４３を板ガラス１００の上面に乗せる。その後、再び回転機構１０を駆動させる。この過程でのスクライブにより、図７（Ｄ）に示す小さい半径の真円からなる刻線１０４が形成される。
その後、再びエアシリンダ６０を駆動させてスクライブヘッド４０を上方に押し上げ、Ｘ−Ｙステージ３０を制御して、板ガラス１００から離れた初期位置まで戻す。

上記刻線１０１〜１０４の形成のためのスクライブ作用について詳述する。カッタ４３には板ガラス１００の上面に対する押圧力Ｐ１が常に付与されている。すなわち、上記スクライブヘッド４０は、スライド支持機構５０を介してスライド可能に支持されており、このスクライブヘッド４０の自重（主にボデイ４１とホルダ４２の自重）と、スライダ５３の自重がカッタ４３への押圧力となる。

上記のように、スクライブヘッド４０の自重等でカッタ４３を板ガラス１００の面に押し付けた状態で、ピエゾアクチュエータ４４に高周波電圧を印加させて、ピエゾアクチュエータ４４を周期的に伸縮させると、この周期的伸縮に伴うホルダ４２の振動がカッタ４３を介して板ガラス１００に伝達される。換言すれば、図６に示すように、カッタ４３を介して板ガラス１００に付与される押圧力Ｐは、上記ボデイ１０等の自重に起因する押圧力Ｐ１を下限値とし、ピエゾアクチュエータ４４の振動に起因して周期的に変動する。したがって押圧力Ｐは、周期的に非常に大きな力となり、カッタ４３の尖った下端を介して板ガラス１００に衝撃を付与することになり、深いクラックを有する刻線１０１〜１０５を形成することができる。しかし、自重に起因する押圧力Ｐ１は比較的小さいので、従来装置のような水平クラックの発生をほとんど皆無にすることができる。

なお、押圧力Ｐの周期、換言すればピエゾアクチュエータ４４に印加する高周波電圧の周波数は、例えば３〜３０ＫＨｚ程度に設定し、ピエゾアクチュエータ４４の伸縮量、つまり振幅は数μｍ〜２０μｍ程度に設定する。また、カッタ４３の送り速度は、上の周波数を採用する場合、１００〜２５０ｍｍ／ｓｅｃ程度に設定するのがよい。

上記スクライブに際して、カッタ４３はスクライブヘッド４０等の自重に伴う押圧力をもって常に板ガラス１００の面に接した状態であり、この面から瞬間的に離れることがないので、刻線１０１〜１０４の近傍の欠損をなくし、きれいな刻線１０１〜１０４を形成することができる。また、ホルダ４２が剛体でありカッタ４３が弾性体を介在せずに直接ホルダ４２に固定されているので、カッタ４３はホルダ４２と一体となって振動し、ピエゾアクチュエータ４４の振動エネルギーを良好にカッタ４３に伝達することができ、共振の可能性を減じることができ、カッタ４３の跳ね上げの可能性を減じることができる。
しかも、本実施形態では、ボデイ４１とスライダ５３との間に板バネ５５ａ，５５ｂが介在されているので、共振の可能性をより一層減じることができる。

次に、本発明の特徴に係わる重要な作用について説明する。上記真円からなる刻線１０２，１０４の形成に際して、自重に伴う押圧力と振動エネルギーは、図５に示すように、回転機構１０の回転軸線Ｏに向かって傾斜した軸線Ｌに沿って、ワーク１００に伝達される。その結果、図８に示すように、発生するクラックが傾斜し、このクラックが連続して、円錐面の一部（傾斜面）を構成することになる。

図７（Ｄ）に示すように、上記板ガラス１００は、刻線１０１〜１０４により４つの部分１０６〜１０９に区分けされる。すなわち、小径の真円の刻線１０４の内側の円形の部分１０６と、真円の刻線１０２，１０４で挟まれたリング形状の部分１０７と、刻線１０４の外側の２つの部分１０８，１０９とである。まず、外側の２つの部分１０８，１０９を軽く力を加えて分離する。これら部分１０８，１０９は、一直線をなす刻線１０１，１０３によって区分けされているので、容易に分離される。

次に、上記刻線１０２の内側の２つの部分１０６，１０７を、外側の部分１０８に対して下方に押すことにより、分離する。この際、外側の部分１０８がリング形状をなさず、点Ｐにおいて刻線１０２が解放されていること、および刻線１０２を構成するクラックが円錐面をなすことにより、分離が容易である。
次に、部分１０６を部分１０７に対して下方に押すことにより、両者を分離する。この分離も、刻線１０４を構成するクラックが円錐面をなしているので、容易である。
上記のようにして、図７（Ｄ），図９に示すように、刻線１０２を外周縁とし、刻線１０４を内周縁とする部分１０７を得ることができる。この部分１０７は、例えば記憶媒体用ディスクとして用いられる。このディスク１０７は、２つの平行な平坦面１０７ａ，１０７ｂを有するとともに、中央に円形の穴１０７ｃを有している。ディスク１０７は、上記製造工程での説明から明らかなように、円錐面の一部をなし、上記平坦面１０７ａ，１０７ｂに対して傾斜する外周面１０７ｘと内周面１０７ｙとを有している。

なお、本実施例では、上記刻線１０１〜１０４を形成するクラックは、板ガラス１００の上面（一方の平坦面）から下面（他方の平坦面）に達しているため、この刻線１０１〜１０４に沿う破断を非常に軽い力で行うことができ、より一層分離が容易となるが、このクラックが比較的浅い場合には、エア圧ないしは機械的な圧力を用いて破断する。

本発明は上記実施形態に制約されず、種々の形態が可能である。例えば、刻線１０２のクラックが傾斜している場合には、図７（Ｄ）に示す刻線１０１，１０３がなくても、この刻線１０２に沿う破断は比較的容易である。
また、上記刻線１０１，１０３が形成される場合には、図１０に示すように、大径の真円をなす刻線１０２のクラックは、板ガラス１００の面に対して垂直であってもよい。
移動手段を、回転機構と、姿勢制御手段で構成し、スクライブヘッドをこの姿勢制御手段を介して回転機構に取り付けるようにしてもよい。スクライブヘッドは、回転機構の回転軸線から離れており、回転機構の駆動により真円の軌跡を描く。この過程で、スクライブヘッドは姿勢制御され、常にカッタの軸線が回転軸線に向かって傾くようにされる。
刻線は真円ではなく、他の形状、例えば楕円，３つ以上の直線からなる多角形等の閉曲線（環状線）であってもよい。この場合、移動手段は、Ｘ−Ｙステージと姿勢制御手段とで構成される。
カッタは、周縁が尖った円盤形状をなして、ホルダに回転自在に保持されるものであってもよい。この場合、周縁の一部がワークに当接し、尖った先端として機能する。
硬質脆性材料のワークとしては、板ガラスに限らず、セラミック製の板，シリコンウエハー等のであってもよい。

本発明の一実施形態をなすスクライブ装置を一部断面にして示す側面図である。 同スクライブ装置の正面図である。 同スクライブ装置の平面図である。 同装置のスクライブヘッドの要部を一部断面にして示す拡大正面図である。 同スクライブヘッドのカッタの傾きを誇張して示す拡大側面図である。 カッタの板ガラスに対する押圧力を示す図である。 （Ａ）〜（Ｅ）は、記憶媒体用ディスクを製造するためにワークに刻線を形成する過程を順を追って説明する平面図である。 図７（Ｄ）においてVIIIーVIII線に沿うワークの拡大断面図であり、刻線を構成するクラックの傾きとワークの厚みを誇張して示す。 図７（Ｅ）においてIXーIX線に沿う記憶媒体用ディスクの拡大断面図であり、厚みと外周面，内周面の傾きを誇張して示す。 記憶媒体用ディスク製造のためにワークに形成される刻線の他の態様を示す図８相当図である。

符号の説明

１０ ワーク設置用テーブル
２０ 回転機構（移動手段）
３０ ＸーＹステージ（位置決め手段）
３１ 基台
３２ 第１移動体
３３ 第２移動体
３６ 第１駆動機構
３７ 第２駆動機構
４０ スクライブヘッド
４１ ボデイ
４１ａ 段差（受部）
４２ ホルダ
４２ｄ 受け部材（受部）
４３ カッタ（当接部材）
４４ ピエゾアクチュエータ（振動アクチュエータ）
５０ スライド機構
５２ ガイド
５３ スライダ
１００ 板ガラス（ワーク）
１０１〜１０４ 刻線
１０７ 記憶媒体用ディスク
１０７ａ，１０７ｂ 平坦面
１０７ｃ 穴
１０７ｙ 内周面

Claims (9)

1. 先端が尖ったカッタをワーク面に押し付けるとともに振動を付与してワークにクラックを発生させながら、このカッタをワークの面に沿って相対的に移動させることにより、ワークに刻線を形成するスクライブ方法において、
   上記カッタを閉曲線を描くように相対的に移動させることにより、閉曲線からなる刻線を形成し、この刻線の少なくとも一部の形成に際して、上記カッタに付与される振動の方向を、上記ワークの面の法線に対して、カッタの相対的移動方向と交差する方向に傾けるとともに、上記カッタへの押圧力の方向を上記カッタに付与される振動の方向と一致させることにより、ワークに発生するクラックを上記法線に対して傾斜させることを特徴とするスクライブ方法。
2. 上記カッタを有するスクライブヘッドの自重が、上記カッタのワークに対する押圧力となることを特徴とする請求項１に記載のスクライブ方法。
3. 上記閉曲線をなす刻線の全長にわたる形成に際して、上記カッタへの押圧力と振動の方向を一定角度で傾けることを特徴とする請求項１または２に記載のスクライブ方法。
4. 上記カッタを真円を描くようにワークに対して相対的に移動させ、上記カッタへの押圧力と振動の方向を、このカッタの相対的移動軌跡の真円の接線方向と直交する方向に傾けることを特徴とする請求項３に記載のスクライブ方法。
5. 上記カッタを、同心で半径の異なる２つの真円を描くように、ワークに対して相対的に移動させることにより、２つの真円からなる刻線を形成し、少なくとも小径の真円をなす刻線を形成する際には、上記カッタへの押圧力と振動の方向を、傾けることを特徴とする請求項４に記載のスクライブ方法。
6. （イ）ワークを設置するテーブルと、
   （ロ）スクライブヘッドと、
   （ハ）上記スクライブヘッドをワークの面に沿って相対的に移動させることにより、閉曲線の軌跡を描かせる移動手段と、
   を備え、上記スクライブヘッドが、
   （i）尖った先端を有し、その先端がワーク面に当たるカッタと、
   （ii）上記カッタを保持するホルダと、
   （iii）上記ホルダを支持するボデイと、
   （iv）上記ボデイの受部と上記ホルダの受部との間に挟持され、ホルダに高周波振動を付与する振動アクチュエータと、を有し、
   上記ホルダの振動方向を、ワーク面の法線に対して、スクライブヘッドの相対的移動方向と交差する方向に傾くように、設定することを特徴とするスクライブ装置。
7. さらにスライド支持機構を備え、このスライド機構は、垂直軸に対して傾斜したガイドと、このガイドに上下方向のスライド可能に支持されたスライダとを有し、このスライダに上記スクライブヘッドのボデイが取り付けられており、このスクライブヘッドの自重が上記カッタのワークに対する押圧力となり、上記ホルダの振動方向が、このガイドと平行をなすことを特徴とする請求項６に記載のスクライブ装置。
8. 上記移動手段が、上記ワーク設置用テーブルを回転させる回転機構であることを特徴とする請求項６に記載のスクライブ装置。
9. さらに位置決め手段を備え、この位置決め手段は、基台と、ワーク面と平行なＸ軸方向に移動可能に基台に支持された第１移動体と、ワーク面と平行でＸ軸と直交するＹ軸方向に移動可能に第１移動体に支持された第２移動体と、これら第１，第２移動体をそれぞれ移動させる第１，第２の駆動機構とを有し、この第２移動体に上記スクライブヘッドが取り付けられていることを特徴とする請求項８に記載のスクライブ装置。

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