JPH11199259A - スクライブ用カッタ及びその製造方法並びにスクライブ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 刻線を深く形成できるにも拘わらず屑の発生
を最小限に抑えることができるとともに安価に製造でき
るスクライブ用カッタを提供する。 【解決手段】 カッタは同一形状をなすベース３１Ａ，
３１Ｂを備えている。ベース３１Ａ，３１Ｂは、平坦面
３５と、この平坦面３５と９０°未満の交差角度で交差
する押圧面３６とを有している。これら平坦面３５を当
接するようにしてベース３１Ａ，３１Ｂが連結されてい
る。第１ベース３１Ａの平坦面にはダイヤモンド薄膜３
７が形成されている。このダイヤモンド薄膜３７は、押
圧面３６から微少量突出している。スクライブ時には、
この薄膜３７の突出端３７ａでワーク１００の面に傷１
０５ａを付け、この傷１０５ａの両側の部位をベース３
１Ａ，３１Ｂの押圧面３６で押して振動を付与すること
により、傷１０５ａを起点とする垂直クラック１０５ｂ
を形成し、ひいては刻線１０５を形成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、板ガラス等の硬
質材料のワークの面に刻線を形成するためのスクライブ
用カッタおよびスクライブ装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】本出願人は、カッタに高周波振動を付与
しながら移動させることにより、ワークに刻線を形成す
る技術を開発している。このカッタは、先細のベース
と、その先端に取り付けられたダイヤモンドの粒子とを
備えている。このダイヤモンド粒子は、四角錐または三
角錐形状をなしており、その頂点をワークの面に当てる
ようにして、刻線を形成する。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記のように
角錐形状のダイヤモンド粒子は高精度の加工によって得
るため、カッタの製造コストを押し上げる要因になって
いた。また、単結晶のダイヤモンド粒子は衝撃に対する
強度を高めるために結晶方位を特定の方向にする必要が
あり、この点でも製造コストが高かった。さらに、ダイ
ヤモンド粒子が割れた時には、カッタを交換する必要が
あり、使用寿命が短かった。

【０００４】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、スク
ライブ用カッタにおいて、互いに連結される第１，第２
のベースを備え、これらベースは、互いに当接する接合
面と、この接合面と交差するとともにワーク面に当たる
押圧面とをそれぞれ有し、上記第１ベースの接合面には
硬質皮膜が形成されていて、第１，第２のベースによっ
て挟まれていることを特徴とする。請求項２の発明は、
請求項１に記載のスクライブ用カッタにおいて、上記硬
質皮膜が、上記第１，第２のベースの押圧面から微少量
突出していることを特徴とする。請求項３の発明は、請
求項２に記載のスクライブ用カッタにおいて、上記第
１，第２のベースにおいて、上記押圧面と接合面の交差
角度が互いに等しく、９０°未満であることを特徴とす
る。請求項４の発明は、請求項３に記載のスクライブ用
カッタにおいて、上記押圧面と接合面の交差角度が６０
°〜８５°であることを特徴とする。請求項５の発明
は、請求項１〜４のいずれかに記載のスクライブ用カッ
タにおいて、上記硬質皮膜がダイヤモンド薄膜からなる
ことを特徴とする。

【０００５】請求項６の発明は、請求項１〜５に記載の
スクライブ用カッタを製造する方法において、上記第１
ベースを多数接するように並べ、これら多数の第１ベー
スの上記接合面を面一にして露出させ、この状態で、接
合面に硬質皮膜を蒸着し、その後で、第１ベースをこれ
と同形状の第２ベースに接合したことを特徴とする。請
求項７の発明は、請求項６に記載のスクライブ用カッタ
の製造方法において、上記第１ベースを、その接合面を
上にして設置台に載せ、接合面と押圧面をそれぞれ面一
にして露出させ、この状態で接合面と押圧面に硬質皮膜
を蒸着し、その後で押圧面の硬質皮膜を削ることを特徴
とする。請求項８の発明は、請求項１〜５のいずれかに
記載のカッタと、このカッタをワーク面に押し付けた状
態でワーク面と交差する第１方向に振動を付与する押
圧，振動付与手段と、上記カッタを、ワーク面に沿うと
ともに上記硬質皮膜と平行をなす第２方向に、ワークに
対して相対的に移動させる移動機構と、を備えたことを
特徴とするスクライブ装置。

【０００６】

【発明の実施の形態】以下、この発明の第１の実施形態
を図１〜図７に基づいて説明する。図１（Ａ），（Ｂ）
に示すように、スクライブ装置は、移動台１（支持台）
と、この移動台１を水平方向（第２方向）に移動させる
移動機構２と、この移動台１にスライド支持機構３を介
して垂直方向（第１方向）に移動可能に取り付けられた
ボデイ１０と、このボデイ１０に微小量の垂直方向往復
動を可能にして支持されたホルダ２０と、このホルダ２
０の下端に固定されたカッタ３０と、ホルダ２０に垂直
方向の振動を付与するピエゾアクチュエータ４０（振動
アクチュエータ，振動付与手段）と、を備えている。

【０００７】以下、各構成要素について詳述する。上記
移動機構２は、移動台１を、図１（Ａ）において紙面と
直交する方向に水平に移動するようになっている。上記
スライド支持機構３は、ガイド４とスライダ５とを備え
ている。ガイド４は、取付板６を介して移動台１に固定
されている。ガイド４は、垂直方向に延びるガイド溝４
ａを有している。このガイド４に縦長のスライダ５がガ
イド溝４ａに入り込むようにして垂直方向にスライド可
能に支持されている。なお、このスライダ５は、ガイド
４に設けられたストッパ（図示しない）により下限位置
を決定されている。

【０００８】上記スライダ５には、上下一対の水平をな
す板バネ７ａ，７ｂを介して上記ボデイ１０が取り付け
られている。詳述すると、スライダ５には、上下にブラ
ケット８ａ，８ｂが１つずつ固定されており、これらブ
ラケット８ａ，８ｂに、上記板バネ７ａ，７ｂの中央が
それぞれ固定されている。他方、上記ボデイ１０には、
上下に一対ずつＬ字形のブラケット９ａ，９ｂが固定さ
れている。上側の一対のブラケット９ａは、ブラケット
８ａから離れてこのブラケット８ａの両側に配置されて
おり、上記板バネ７ａの両端に固定されている。同様
に、下側の一対のブラケット９ｂも、ブラケット８ｂか
ら離れてこのブラケット８ｂの両側に配置されており、
上記板バネ７ｂの両端に固定されている。

【０００９】上記ボデイ１０は、中空をなす上部と、平
板部をなす下部とを有しており、両者の境の段差１１
が、上記ピエゾアクチュエータ４０のための受部として
提供される。ボデイ１０の下部には、ガイド１２が固定
されている。

【００１０】上記ホルダ２０は、垂直方向に延びるよう
に細長く構成されており、幅の狭い平板形状をなして垂
直に延びる主ロッド２１と、この主ロッド２１の上端に
回動可能に連結されて垂直に上方に延びる補助ロッド２
２（ホルダ２０の基端部）と、主ロッド２１の下端に固
定されたアタッチメント２３（ホルダ２０の先端部）と
を備えている。主ロッド２１は、ボデイ１０のガイド１
２によって案内されて垂直方向に微少量のスライドが可
能になっている。

【００１１】上記主ロッド２１の長手方向の中間部には
受部材２４（受部）が固定されている。上記ピエゾアク
チュエータ４０は、垂直方向に細長い形状をなし、その
上端はボデイ１０の段差１１に固定され、その下端はホ
ルダ２０の受部材２４で受けられている。換言すれば、
ピエゾアクチュエータ４０は、垂直方向に対峙した上記
段差１１と受部材２４との間に挟まれるようにして配置
されている。ピエゾアクチュエータ４０は、高周波交流
電圧を受けて垂直方向へ周期的に伸縮するものであり、
その周期的伸縮によってホルダ２０を垂直方向に振動さ
せるようになっている。なお、ピエゾアクチュエータ４
０の下端には、凸球面をなす当接部材４５が固定されて
おり、この当接部材４５は、受部材２４に形成されて球
面をなす受座面２４ａに面接触している。

【００１２】上記補助ロッド２２は、ボデイ１０の上壁
を貫通して上方に突出している。ボデイ１０の上壁に
は、ゴムや樹脂等の弾性材料からなるボール２５（球形
状の弾性部材）と、その上下の球面受座２６，２７が配
置されており、これらは、上記補助ロッド２２に貫通さ
れた状態で支持されている。上記補助ロッド２２の上端
部には、雄ネジ２２ａが形成されており、この雄ネジ２
２ａに螺合されたナット２８を締め付けることにより、
受座２６，２７がナット２８の下面，ボデイ１０の上壁
にそれぞれ当たった状態で、上記ボール２５を挟み付け
て若干量弾性変形させる。このボール２５の復元力が、
ホルダ２０をボデイ１０に対して上方へ付勢する力とな
り、ひいてはホルダ２０の受部材２４を介して常時ピエ
ゾアクチュエータ４０に付与される弾性力となる。

【００１３】上述したように、ホルダ２０は、ボール２
５の弾性により上方に付勢され、この付勢力をもって受
部材２４がピエゾアクチュエータ４０に当たっているの
で、ボデイ１０に対して安定して支持されている。ただ
し、ホルダ２０は、このボール２５の弾性変形可能な範
囲で垂直方向に移動可能である。上述した「微少量の往
復動可能」は、このことを意味している。

【００１４】上記カッタ３０の上部は、補助アタッチメ
ント２９に挿入固定されており、この補助アタッチメン
ト２９は、上記ホルダ２０のアタッチメント２３に着脱
可能に固定されている。

【００１５】次に、本発明の特徴部であるカッタ３０に
ついて詳述する。図２，図３に示すように、このカッタ
３０は、同一形状をなす第１，第２のベース３１Ａ，３
１Ｂを備えている。これらベース３１Ａ，３１Ｂは同一
形状をなし、偏平な直方体をなす基部３２（装着状態で
の上部）と、先細形状、すなわち截頭四角錐形状をなす
先部３３（装着状態での下部）とを有している。ベース
３１Ａ，３１Ｂの基部３２には穴３４が形成されてお
り、この穴３４を通るボルトとナット（いずれも図示せ
ず）により、ベース３１Ａ，３１Ｂが連結されている。

【００１６】ベース３１Ａ，３１Ｂは、基部３２から先
部３３にわたって連続する平坦な接合面３５を有してい
る。この接合面３５が互いに当接した状態（対峙した状
態）で、ベース３１Ａ，３１Ｂが連結されている。な
お、これらベース３１Ａ，３１Ｂの接合面３５は、単に
接するだけでなく、接着剤等を用いて接着するのが好ま
しい。ベース３１Ａ，３１Ｂの先端（装着状態での下
端）には、接合面３５と交差する押圧面３６が形成され
ている。図４に示すように、この押圧面３６と接合面３
５の交差角度Θは、９０°未満であり、より好ましくは
６０〜８５°である。交差角度Θは、ベース３１Ａ，３
１Ｂで互いに等しい。したがって、ベース３１Ａ，３１
Ｂの押圧面３６同士の交差角は、１２０〜１７０°とな
る。

【００１７】図５に最もよく示されているように、上記
第１ベース３１Ａの接合面３５の全域には、ダイヤモン
ド薄膜３７（硬質皮膜）が、例えばプラズマＣＶＤ法
（気相合成法）により、蒸着されている。ダイヤモンド
薄膜３７は、ダイヤモンドの多結晶体、すなわちダイヤ
モンド微粒子の集積によって構成されている。上記ダイ
ヤモンド薄膜３７は、ベース３１Ａ，３１Ｂの接合面３
５に挟まれることになる。ダイヤモンド薄膜３７の厚さ
Ｗは、例えば３〜１０μｍである。ダイヤモンド薄膜３
７は、ベース３１Ａ，３１Ｂの押圧面３６から下方に微
少量突出している。この突出量Ｔは例えば３〜５μｍで
ある。

【００１８】上記ダイヤモンド薄膜３７を押圧面３６か
ら突出させるための工程の一例について説明する。図６
に示すように、ベース３１Ａ，３１Ｂを連結させた状態
において、最初は、ダイヤモンド薄膜３７の先端３７ａ
は、ベース３１Ａ，３１Ｂの押圧面３６と接合面３５と
の交差線と一致している。この状態で、ベース３１Ａ，
３１Ｂの先端を短時間だけエッチング液に浸して微少量
溶かし、これにより押圧面３６を図６において実線で示
す位置から破線で示す位置まで後退させる。この際、ダ
イヤモンド薄膜３７の先端３７ａは溶けずに残り、その
結果として押圧面３６から突出することになる。上記の
工程を採用するためには、ベース３１Ａ，３１Ｂは、金
属で構成するのが好ましい。例えばベース３１Ａ，３１
Ｂを銅で構成する場合には、エッチング液は硫酸溶液と
なる。

【００１９】上記構成をなすスクライブ装置の作用を説
明する。図４に示すように、水平をなす設置台６０に板
ガラス１００（ワーク）を位置決めして水平にセット
し、カッタ３０の下端を板ガラス１００の上面に載せ
る。この状態で、カッタ３０には板ガラス１００の上面
に対する押圧力が常に付与されている。すなわち、上記
ボデイ１０は、スライド支持機構３を介して移動台１に
スライド可能に支持されており、このボデイ１０，ホル
ダ２０，スライダ５の自重がカッタ３０の板ガラス１０
０への押圧力となる。このスライド支持機構３とボデイ
１０とホルダ２０とで押圧手段を構成し、振動アクチュ
エータ４０と協働して、後述するようにカッタ３０を板
ガラス１００に押し付けながら振動を付与するための押
圧，振動付与手段を構成している。

【００２０】上記のように、ボデイ１０等の自重でカッ
タ３０を板ガラス１００の面に押し付けた状態で、スク
ライブを実行する。詳述すると、移動台１を移動させて
カッタ３０を上記ダイヤモンド薄膜３７と平行に板ガラ
ス１００の面に沿って水平に移動させる。すなわち、図
１（Ａ），図４において紙面と直交する方向に移動させ
る。これと同時に、ピエゾアクチュエータ４０に高周波
電圧を印加させて、ピエゾアクチュエータ４０を周期的
に伸縮させる。すると、この周期的伸縮に伴うホルダ２
０の振動がカッタ３０を介して板ガラス１００に伝達さ
れる。換言すれば、図７に示すように、カッタ３０を介
して板ガラス１００に付与される押圧力Ｐは、上記ボデ
イ１０等の自重に起因する静圧Ｐ１を下限値とし、ピエ
ゾアクチュエータ４０の振動に起因して周期的に変動す
る。したがって押圧力Ｐは、周期的に非常に大きな力と
なり、カッタ３０の尖った下端を介して板ガラス１００
に衝撃を付与することになり、図４に示すように垂直ク
ラックを有する刻線１０５を形成することができる。し
かし、静圧Ｐ１が小さいので、水平クラックの発生をほ
とんど皆無にすることができる。

【００２１】なお、押圧力Ｐの周期、換言すればピエゾ
アクチュエータ４０に印加する高周波電圧の周波数は、
３〜３０ＫＨｚ程度に設定し、ピエゾアクチュエータ４
０の伸縮量、つまり振幅は数μｍ〜２０μｍ程度に設定
する。また、カッタ３０の送り速度は、上の周波数を採
用する場合、１００〜２５０ｍｍ／ｓｅｃ程度に設定す
るのがよい。

【００２２】上記刻線１０５の形成工程において、カッ
タ３０はボデイ１０等の自重に伴う押圧力をもって常に
板ガラス１００の面に接した状態であり、この面から瞬
間的に離れることがないので、刻線１０５の近傍の欠損
をなくし、きれいな刻線１０５を形成することができ
る。

【００２３】特に、本実施形態のカッタ３０を用いるこ
とにより、一層良好なスクライブ機能を発揮することが
できる。詳述すると、ダイヤモンド薄膜３７の突出端３
７ａが板ガラス１００の面に入り込んで僅かな傷１０５
ａを作り、この傷１０５ａを起点として垂直クラック１
０５ｂを形成する。このように、垂直クラック１０５ｂ
の起点となる傷１０５ａは、従来のダイヤモンド粒を用
いる場合に比べて、非常に僅かなものであるので、刻線
１０５の形成に際して屑を最小限にすることができる。
それにも拘わらず、この傷１０５ａの両側に位置する一
対の押圧面３６がガラス板１００を押し付けた状態で振
動するので、深い垂直クラック１０５ｂを形成すること
ができる。

【００２４】上記押圧面３６は、ダイヤモンド薄膜３７
の突出端３７ａによって形成された傷１０５ａを広げる
役割を担うので、接合面３５との交差角度Θは前述した
ように９０°未満とするのが好ましい。傷１０５ａの両
側の部位が互いに離れるように、押圧力を付与するため
である。なお、この交差角度Θは、前述したように６０
°〜８５°とするのが好ましい。ワークが柔らかい場合
には交差角度Θを狭くし、硬い場合には広くする。な
お、交差角度Θが６０°より小さいと、押圧面３６が傷
を形成する役割を担ってしまい、屑が出易くなる。また
交差角度Θが８５°より大きいと、傷１０５ａを起点と
して垂直クラック１０５ｂを形成する機能が低下する。

【００２５】ダイヤモンド薄膜３７の蒸着による形成
は、従来カッタにおけるダイヤモンド粒の加工と装着に
比べて容易であり、カッタ３０の製造コストを低減させ
ることができる。カッタ３０の板ガラス１００に対する
相対的移動方向は、ダイヤモンド薄膜３７と平行をなし
ているので、ダイヤモンド薄膜３７の幅方向が刻線１０
５の方向と一致することになる。そのため、ダイヤモン
ド薄膜３７が幅を有していても、刻線１０５の形成の支
障にならない。

【００２６】上記のようにして刻線１０５が形成された
板ガラス１００は、エア圧を付与することにより、刻線
１０５に沿って破断することができる。この際、刻線１
０５が深い垂直クラック１０５ｂを有しているので、破
断を容易にすることができる。

【００２７】なお、この発明のスクライブ装置は上記の
実施形態に限定されるものでなく、適宜設計変更可能で
ある。例えば、図１において想像線で示すエアシリンダ
５９（押圧手段）を備えていてもよい。このエアシリン
ダ５９は、例えば移動台１に直接または取付板６を介し
て間接的に固定されており、そのロッド先端がスライダ
５に連結または当接されている。このエアシリンダ５９
の駆動により、スライダ５ひいてはボデイ１０をワーク
面に向けて付勢する。このエアシリンダ５９を用いれ
ば、図１に示すボデイ１０，ホルダ２０を水平に倒し、
ワーク面を垂直にした状態でスクライブを行うこともで
きる。

【００２８】また、上記実施形態において、ボデイ１０
を支持する支持台１を水平移動させずに所定位置に固定
し、移動機構２を設置台６０に連結して、この設置台６
０に設置された板ガラス１００を移動させることによ
り、カッタ３０を板ガラス１００に対して相対的に移動
させてもよい。

【００２９】図８，図９は、他の形態をなすカッタ７０
を示す。カッタ７０はほぼ直方体形状で互いに同一形状
をなす第１，第２のベース７１Ａ，７１Ｂを備えてい
る。これらベース７１Ａ，７１Ｂは、図８に想像線で示
すような完全な直方体形状ではなく、一端面が傾斜して
押圧面７６となっており、細長い平坦な面の一つが接合
面７５となっている。

【００３０】上記ベース７１Ａには、図１０，図１１に
示すようにしてダイヤモンド薄膜７７を蒸着する。詳述
すると、多数のベース７１Ａを、接合面７５を上にして
設置台７８に並べる。この際、第１ベース７１Ａの側面
同士を接するようにし、接合面７５を面一にし、押圧面
７６を面一にして露出する。

【００３１】上記の状態で蒸着を行えば、接合面７５
と、押圧面７６と、押圧面の反対側の端面だけに蒸着が
なされ、両側面と、接合面７５の反対側の面（下側の
面）に蒸着がされないので、効率良く蒸着を行うことが
できる。なお、押圧面７６の反対側の端面を位置決め部
材７９（図１０において想像線で示す）に当てて露出を
避けることにより、蒸着効率をより一層向上させてもよ
い。

【００３２】上記蒸着工程の後で、押圧面７６に蒸着さ
れたダイヤモンド薄膜７７をダイヤモンド研削装置で削
り落とし、その後で押圧面７６をエッチングしてダイヤ
モンド薄膜７７を押圧面から微少量突出させる。

【００３３】図１２はさらに他の形態をなすカッタ９０
を示している。このカッタ９０は、円盤形状をなしてホ
ルダ８０に回転可能に支持されている。ホルダ８０を介
してカッタ９０に振動を付与する手段は図示を省略す
る。カッタ９０は、互いに連結された第１，第２のベー
ス９１Ａ，９１Ｂを有している。これらベース９１Ａ，
９１Ｂは同一形状をなし、互いに当接する円形の接合面
９５と、この接合面９５と交差する環状の押圧面９６と
を有している。押圧面９６は、接合面９５に対して６０
〜８５°で交差している。第１のベース９１Ａの接合面
９５にはダイヤモンド薄膜９７が形成されており、この
ダイヤモンド薄膜９７の周縁は、ベース９１Ａ，９１Ｂ
の押圧面９６から微少量突出している。

【００３４】上述した全ての実施形態では、ダイヤモン
ド薄膜を押圧面に対して微少量突出させたが、ダイヤモ
ンド薄膜の先端を押圧面と接合面の交差線と一致させて
もよい。この場合でも、上述した実施形態に比べて性能
が劣るものの、高硬度のダイヤモンド薄膜からワークに
振動エネルギーを付与することができる。また、スクラ
イブを継続して実行することにより、ベースを構成する
金属が微少量溶けて自然にダイヤモンド薄膜が微少量だ
け押圧面から突出することもある。また、第１，第２の
ベースの押圧面が、ダイヤモンド薄膜の近傍において、
面一をなしていてもよい。ベースを構成する金属として
は、超硬合金であってもよい。硬質皮膜は、上述した実
施形態のようにダイヤモンド薄膜が最も好ましいと考え
られるが、他の蒸着皮膜も用いることができる。ワーク
としては、板ガラスに限らず、セラミック製の板，シリ
コンウエハー等であってもよい。

【００３５】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１の発明に
よれば、スクライブ用カッタを安価に製造することがで
きるとともに、使用寿命を長くすることができる。ま
た、硬質皮膜がワーク面に僅かな傷を作り、第１，第２
のベースの押圧面でワークを押すことによりこの傷を起
点とする刻線を形成するので、屑の発生量を最小限にす
ることができるにも拘わらず、深い刻線を形成すること
ができる。請求項２の発明によれば、硬質皮膜を押圧面
から微少量突出させることにより、上記ワーク面への傷
形成を確実に行うことができる。請求項３の発明によれ
ば、押圧面と接合面のなす交差角度を９０°未満とした
ので、刻線をより一層深くすることができる。請求項４
の発明によれば、押圧面と接合面のなす交差角度を６０
°〜８５°としたので、刻線をより一層深くすることが
できるとともに、屑の発生を確実に抑制することができ
る。請求項５の発明によれば、硬質皮膜としてダイヤモ
ンド薄膜を用いたので、ワークに確実に傷を形成し、ひ
いては刻線の形成を確実に行うことができる。請求項６
の発明によれば、第１ベースを接するように多数並べて
面一をなす接合面に硬質皮膜を蒸着することにより、硬
質皮膜を効率良く形成することができる。請求項７の発
明によれば、カッタをワーク面に押し付けながら振動を
付与することにより、上記特徴を有するカッタの機能を
最大限に生かすことができる。また、このカッタのワー
クに対する相対的移動方向を硬質皮膜と平行にしたの
で、硬質皮膜の幅が刻線形成の支障にならない。

【図面の簡単な説明】

【図１】（Ａ）は本発明の一実施形態をなすスクライブ
装置の縦断面図であり、（Ｂ）は（Ａ）図においてＩ方
向から見た要部正面図である。

【図２】同スクライブ装置に用いられるカッタの分解斜
視図である。

【図３】同カッタの斜視図である。

【図４】同カッタと、このカッタによって刻線を形成さ
れた板ガラスとを示す拡大断面図である。

【図５】図４におけるV部をさらに拡大して示す断面図
である。

【図６】カッタの製造方法を示す拡大断面図である。

【図７】カッタの板ガラスに対する押圧力を示す図であ
る。

【図８】本発明の他の実施形態をなすカッタの第１ベー
スの斜視図である。

【図９】同カッタの側面図である。

【図１０】同第１ベースへのダイヤモンド薄膜蒸着の方
法を示す側面図である。

【図１１】同蒸着方法を示す斜視図である。

【図１２】本発明に係わるカッタのさらに他の実施形態
を示し、（Ａ）は正面図、（Ｂ）は側面図である。

【符号の説明】

２ 移動機構 ３０，７０，９０ カッタ ３１Ａ，７１Ａ，９１Ａ 第１ベース ３１Ｂ，７１Ｂ，９１Ｂ 第２ベース ３５，７５，９５ 接合面 ３６，７６，９６ 押圧面 ３７，７７，９７ ダイヤモンド薄膜（硬質皮膜） ４０ ピエゾアクチュエータ（振動付与手段）

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 互いに連結される第１，第２のベースを
   備え、これらベースは、互いに当接する接合面と、この
   接合面と交差するとともにワーク面に当たる押圧面とを
   それぞれ有し、 上記第１ベースの接合面には硬質皮膜が形成されてい
   て、第１，第２のベースによって挟まれていることを特
   徴とするスクライブ用カッタ。
2. 【請求項２】 上記硬質皮膜が、上記第１，第２のベー
   スの押圧面から微少量突出していることを特徴とする請
   求項１に記載のスクライブ用カッタ。
3. 【請求項３】 上記第１，第２のベースにおいて、上記
   押圧面と接合面の交差角度が互いに等しく、９０°未満
   であることを特徴とする請求項２に記載のスクライブ用
   カッタ。
4. 【請求項４】 上記押圧面と接合面の交差角度が６０°
   〜８５°であることを特徴とする請求項３に記載のスク
   ライブ用カッタ。
5. 【請求項５】 上記硬質皮膜がダイヤモンド薄膜からな
   ることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のス
   クライブ用カッタ。
6. 【請求項６】 請求項１〜５に記載のスクライブ用カッ
   タを製造する方法において、上記第１ベースを多数接す
   るように並べ、これら多数の第１ベースの上記接合面を
   面一にして露出させ、この状態で、接合面に硬質皮膜を
   蒸着し、その後で、第１ベースをこれと同形状の第２ベ
   ースに接合したことを特徴とするスクライブ用カッタの
   製造方法。
7. 【請求項７】請求項１〜５のいずれかに記載のカッタ
   と、 このカッタをワーク面に押し付けた状態でワーク面と交
   差する第１方向に振動を付与する押圧，振動付与手段
   と、 上記カッタを、ワーク面に沿うとともに上記硬質皮膜と
   平行をなす第２方向に、ワークに対して相対的に移動さ
   せる移動機構と、 を備えたことを特徴とするスクライブ装置。