JP4063951B2

JP4063951B2 - スクライブ用カッタ及びその製造方法並びにスクライブ装置

Info

Publication number: JP4063951B2
Application number: JP10396198A
Authority: JP
Inventors: 暁下豊留
Original assignee: THK Co Ltd
Current assignee: THK Co Ltd
Priority date: 1997-11-07
Filing date: 1998-03-31
Publication date: 2008-03-19
Anticipated expiration: 2018-03-31
Also published as: JPH11199259A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、板ガラス等の硬質材料のワークの面に刻線を形成するためのスクライブ用カッタおよびスクライブ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
本出願人は、カッタに高周波振動を付与しながら移動させることにより、ワークに刻線を形成する技術を開発している。このカッタは、先細のベースと、その先端に取り付けられたダイヤモンドの粒子とを備えている。このダイヤモンド粒子は、四角錐または三角錐形状をなしており、その頂点をワークの面に当てるようにして、刻線を形成する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記のように角錐形状のダイヤモンド粒子は高精度の加工によって得るため、カッタの製造コストを押し上げる要因になっていた。
また、単結晶のダイヤモンド粒子は衝撃に対する強度を高めるために結晶方位を特定の方向にする必要があり、この点でも製造コストが高かった。
さらに、ダイヤモンド粒子が割れた時には、カッタを交換する必要があり、使用寿命が短かった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
請求項１の発明は、スクライブ用カッタにおいて、互いに連結される金属製の第１，第２のベースを備え、これらベースは、互いに当接する接合面と、この接合面と交差するとともにワーク面に当たる押圧面とをそれぞれ有し、上記第１，第２のベースにおける押圧面と接合面の交差角度が９０°未満であり、上記第１ベースの接合面には硬質皮膜が蒸着されていて、第１，第２のベースによって挟まれ、上記第１，第２のベースの押圧面では金属面が露出していることを特徴とする。
請求項２の発明は、請求項１に記載のスクライブ用カッタにおいて、上記硬質皮膜が上記第１ベースにのみ蒸着されていることを特徴とする。
請求項３の発明は、請求項１または２に記載のスクライブ用カッタにおいて、上記硬質皮膜の厚さが３〜１０μｍであることを特徴とする。
請求項４の発明は、請求項１〜３のいずれかに記載のスクライブ用カッタにおいて、上記硬質皮膜が、上記第１，第２のベースの押圧面から微少量突出していることを特徴とする。
請求項５の発明は、請求項４に記載のスクライブ用カッタにおいて、上記硬質皮膜の上記押圧面からの突出量が３〜５μｍであることを特徴とする。
請求項６の発明は、請求項１〜４のいずれかに記載のスクライブ用カッタにおいて、上記押圧面と接合面の交差角度が６０°〜８５°であることを特徴とする。
請求項７の発明は、請求項１〜６のいずれかに記載のスクライブ用カッタにおいて、上記硬質皮膜がダイヤモンド薄膜からなることを特徴とする。
【０００５】
請求項８の発明は、請求項２に記載のスクライブ用カッタを製造する方法において、第１ベースの接合面に硬質皮膜を蒸着し、その後で、第１ベースをこれと同形状の硬質皮膜を蒸着していない第２ベースに接合することを特徴とする。
請求項９の発明は、請求項８に記載のスクライブ用カッタの製造方法において、上記第１ベースを多数接するように並べ、これら多数の第１ベースの上記接合面を面一にして露出させ、この状態で、硬質皮膜の蒸着を行うことを特徴とする。
請求項１０の発明は、請求項８に記載のスクライブ用カッタの製造方法上記第１、第２ベースを接合した後に、これら第１、第２ベースの押圧面をエッチングすることにより硬質皮膜の先端から後退させることを特徴とする。
請求項１１の発明は、スクライブ装置において、請求項１〜７のいずれかに記載のカッタと、このカッタをワーク面に押し付けた状態でワーク面と交差する第１方向に振動を付与する押圧，振動付与手段と、上記カッタを、ワーク面に沿うとともに上記硬質皮膜と平行をなす第２方向に、ワークに対して相対的に移動させる移動機構と、を備えたことを特徴とする。
【０００６】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の第１の実施形態を図１〜図７に基づいて説明する。
図１（Ａ），（Ｂ）に示すように、スクライブ装置は、移動台１（支持台）と、この移動台１を水平方向（第２方向）に移動させる移動機構２と、この移動台１にスライド支持機構３を介して垂直方向（第１方向）に移動可能に取り付けられたボデイ１０と、このボデイ１０に微小量の垂直方向往復動を可能にして支持されたホルダ２０と、このホルダ２０の下端に固定されたカッタ３０と、ホルダ２０に垂直方向の振動を付与するピエゾアクチュエータ４０（振動アクチュエータ，振動付与手段）と、を備えている。
【０００７】
以下、各構成要素について詳述する。上記移動機構２は、移動台１を、図１（Ａ）において紙面と直交する方向に水平に移動するようになっている。
上記スライド支持機構３は、ガイド４とスライダ５とを備えている。ガイド４は、取付板６を介して移動台１に固定されている。ガイド４は、垂直方向に延びるガイド溝４ａを有している。このガイド４に縦長のスライダ５がガイド溝４ａに入り込むようにして垂直方向にスライド可能に支持されている。なお、このスライダ５は、ガイド４に設けられたストッパ（図示しない）により下限位置を決定されている。
【０００８】
上記スライダ５には、上下一対の水平をなす板バネ７ａ，７ｂを介して上記ボデイ１０が取り付けられている。詳述すると、スライダ５には、上下にブラケット８ａ，８ｂが１つずつ固定されており、これらブラケット８ａ，８ｂに、上記板バネ７ａ，７ｂの中央がそれぞれ固定されている。他方、上記ボデイ１０には、上下に一対ずつＬ字形のブラケット９ａ，９ｂが固定されている。上側の一対のブラケット９ａは、ブラケット８ａから離れてこのブラケット８ａの両側に配置されており、上記板バネ７ａの両端に固定されている。同様に、下側の一対のブラケット９ｂも、ブラケット８ｂから離れてこのブラケット８ｂの両側に配置されており、上記板バネ７ｂの両端に固定されている。
【０００９】
上記ボデイ１０は、中空をなす上部と、平板部をなす下部とを有しており、両者の境の段差１１が、上記ピエゾアクチュエータ４０のための受部として提供される。ボデイ１０の下部には、ガイド１２が固定されている。
【００１０】
上記ホルダ２０は、垂直方向に延びるように細長く構成されており、幅の狭い平板形状をなして垂直に延びる主ロッド２１と、この主ロッド２１の上端に回動可能に連結されて垂直に上方に延びる補助ロッド２２（ホルダ２０の基端部）と、主ロッド２１の下端に固定されたアタッチメント２３（ホルダ２０の先端部）とを備えている。主ロッド２１は、ボデイ１０のガイド１２によって案内されて垂直方向に微少量のスライドが可能になっている。
【００１１】
上記主ロッド２１の長手方向の中間部には受部材２４（受部）が固定されている。上記ピエゾアクチュエータ４０は、垂直方向に細長い形状をなし、その上端はボデイ１０の段差１１に固定され、その下端はホルダ２０の受部材２４で受けられている。換言すれば、ピエゾアクチュエータ４０は、垂直方向に対峙した上記段差１１と受部材２４との間に挟まれるようにして配置されている。ピエゾアクチュエータ４０は、高周波交流電圧を受けて垂直方向へ周期的に伸縮するものであり、その周期的伸縮によってホルダ２０を垂直方向に振動させるようになっている。なお、ピエゾアクチュエータ４０の下端には、凸球面をなす当接部材４５が固定されており、この当接部材４５は、受部材２４に形成されて球面をなす受座面２４ａに面接触している。
【００１２】
上記補助ロッド２２は、ボデイ１０の上壁を貫通して上方に突出している。ボデイ１０の上壁には、ゴムや樹脂等の弾性材料からなるボール２５（球形状の弾性部材）と、その上下の球面受座２６，２７が配置されており、これらは、上記補助ロッド２２に貫通された状態で支持されている。
上記補助ロッド２２の上端部には、雄ネジ２２ａが形成されており、この雄ネジ２２ａに螺合されたナット２８を締め付けることにより、受座２６，２７がナット２８の下面，ボデイ１０の上壁にそれぞれ当たった状態で、上記ボール２５を挟み付けて若干量弾性変形させる。このボール２５の復元力が、ホルダ２０をボデイ１０に対して上方へ付勢する力となり、ひいてはホルダ２０の受部材２４を介して常時ピエゾアクチュエータ４０に付与される弾性力となる。
【００１３】
上述したように、ホルダ２０は、ボール２５の弾性により上方に付勢され、この付勢力をもって受部材２４がピエゾアクチュエータ４０に当たっているので、ボデイ１０に対して安定して支持されている。ただし、ホルダ２０は、このボール２５の弾性変形可能な範囲で垂直方向に移動可能である。上述した「微少量の往復動可能」は、このことを意味している。
【００１４】
上記カッタ３０の上部は、補助アタッチメント２９に挿入固定されており、この補助アタッチメント２９は、上記ホルダ２０のアタッチメント２３に着脱可能に固定されている。
【００１５】
次に、本発明の特徴部であるカッタ３０について詳述する。図２，図３に示すように、このカッタ３０は、同一形状をなす第１，第２のベース３１Ａ，３１Ｂを備えている。これらベース３１Ａ，３１Ｂは同一形状をなし、偏平な直方体をなす基部３２（装着状態での上部）と、先細形状、すなわち截頭四角錐形状をなす先部３３（装着状態での下部）とを有している。ベース３１Ａ，３１Ｂの基部３２には穴３４が形成されており、この穴３４を通るボルトとナット（いずれも図示せず）により、ベース３１Ａ，３１Ｂが連結されている。
【００１６】
ベース３１Ａ，３１Ｂは、基部３２から先部３３にわたって連続する平坦な接合面３５を有している。この接合面３５が互いに当接した状態（対峙した状態）で、ベース３１Ａ，３１Ｂが連結されている。なお、これらベース３１Ａ，３１Ｂの接合面３５は、単に接するだけでなく、接着剤等を用いて接着するのが好ましい。ベース３１Ａ，３１Ｂの先端（装着状態での下端）には、接合面３５と交差する押圧面３６が形成されている。図４に示すように、この押圧面３６と接合面３５の交差角度Θは、９０°未満であり、より好ましくは６０〜８５°である。交差角度Θは、ベース３１Ａ，３１Ｂで互いに等しい。したがって、ベース３１Ａ，３１Ｂの押圧面３６同士の交差角は、１２０〜１７０°となる。
【００１７】
図５に最もよく示されているように、上記第１ベース３１Ａの接合面３５の全域には、ダイヤモンド薄膜３７（硬質皮膜）が、例えばプラズマＣＶＤ法（気相合成法）により、蒸着されている。ダイヤモンド薄膜３７は、ダイヤモンドの多結晶体、すなわちダイヤモンド微粒子の集積によって構成されている。
上記ダイヤモンド薄膜３７は、ベース３１Ａ，３１Ｂの接合面３５に挟まれることになる。ダイヤモンド薄膜３７の厚さＷは、例えば３〜１０μｍである。
ダイヤモンド薄膜３７は、ベース３１Ａ，３１Ｂの押圧面３６から下方に微少量突出している。この突出量Ｔは例えば３〜５μｍである。
【００１８】
上記ダイヤモンド薄膜３７を押圧面３６から突出させるための工程の一例について説明する。図６に示すように、ベース３１Ａ，３１Ｂを連結させた状態において、最初は、ダイヤモンド薄膜３７の先端３７ａは、ベース３１Ａ，３１Ｂの押圧面３６と接合面３５との交差線と一致している。この状態で、ベース３１Ａ，３１Ｂの先端を短時間だけエッチング液に浸して微少量溶かし、これにより押圧面３６を図６において実線で示す位置から破線で示す位置まで後退させる。この際、ダイヤモンド薄膜３７の先端３７ａは溶けずに残り、その結果として押圧面３６から突出することになる。
上記の工程を採用するためには、ベース３１Ａ，３１Ｂは、金属で構成するのが好ましい。例えばベース３１Ａ，３１Ｂを銅で構成する場合には、エッチング液は硫酸溶液となる。
【００１９】
上記構成をなすスクライブ装置の作用を説明する。図４に示すように、水平をなす設置台６０に板ガラス１００（ワーク）を位置決めして水平にセットし、カッタ３０の下端を板ガラス１００の上面に載せる。この状態で、カッタ３０には板ガラス１００の上面に対する押圧力が常に付与されている。すなわち、上記ボデイ１０は、スライド支持機構３を介して移動台１にスライド可能に支持されており、このボデイ１０，ホルダ２０，スライダ５の自重がカッタ３０の板ガラス１００への押圧力となる。このスライド支持機構３とボデイ１０とホルダ２０とで押圧手段を構成し、振動アクチュエータ４０と協働して、後述するようにカッタ３０を板ガラス１００に押し付けながら振動を付与するための押圧，振動付与手段を構成している。
【００２０】
上記のように、ボデイ１０等の自重でカッタ３０を板ガラス１００の面に押し付けた状態で、スクライブを実行する。詳述すると、移動台１を移動させてカッタ３０を上記ダイヤモンド薄膜３７と平行に板ガラス１００の面に沿って水平に移動させる。すなわち、図１（Ａ），図４において紙面と直交する方向に移動させる。これと同時に、ピエゾアクチュエータ４０に高周波電圧を印加させて、ピエゾアクチュエータ４０を周期的に伸縮させる。すると、この周期的伸縮に伴うホルダ２０の振動がカッタ３０を介して板ガラス１００に伝達される。換言すれば、図７に示すように、カッタ３０を介して板ガラス１００に付与される押圧力Ｐは、上記ボデイ１０等の自重に起因する静圧Ｐ１を下限値とし、ピエゾアクチュエータ４０の振動に起因して周期的に変動する。したがって押圧力Ｐは、周期的に非常に大きな力となり、カッタ３０の尖った下端を介して板ガラス１００に衝撃を付与することになり、図４に示すように垂直クラックを有する刻線１０５を形成することができる。しかし、静圧Ｐ１が小さいので、水平クラックの発生をほとんど皆無にすることができる。
【００２１】
なお、押圧力Ｐの周期、換言すればピエゾアクチュエータ４０に印加する高周波電圧の周波数は、３〜３０ＫＨｚ程度に設定し、ピエゾアクチュエータ４０の伸縮量、つまり振幅は数μｍ〜２０μｍ程度に設定する。また、カッタ３０の送り速度は、上の周波数を採用する場合、１００〜２５０ｍｍ／ｓｅｃ程度に設定するのがよい。
【００２２】
上記刻線１０５の形成工程において、カッタ３０はボデイ１０等の自重に伴う押圧力をもって常に板ガラス１００の面に接した状態であり、この面から瞬間的に離れることがないので、刻線１０５の近傍の欠損をなくし、きれいな刻線１０５を形成することができる。
【００２３】
特に、本実施形態のカッタ３０を用いることにより、一層良好なスクライブ機能を発揮することができる。詳述すると、ダイヤモンド薄膜３７の突出端３７ａが板ガラス１００の面に入り込んで僅かな傷１０５ａを作り、この傷１０５ａを起点として垂直クラック１０５ｂを形成する。
このように、垂直クラック１０５ｂの起点となる傷１０５ａは、従来のダイヤモンド粒を用いる場合に比べて、非常に僅かなものであるので、刻線１０５の形成に際して屑を最小限にすることができる。それにも拘わらず、この傷１０５ａの両側に位置する一対の押圧面３６がガラス板１００を押し付けた状態で振動するので、深い垂直クラック１０５ｂを形成することができる。
【００２４】
上記押圧面３６は、ダイヤモンド薄膜３７の突出端３７ａによって形成された傷１０５ａを広げる役割を担うので、接合面３５との交差角度Θは前述したように９０°未満とするのが好ましい。傷１０５ａの両側の部位が互いに離れるように、押圧力を付与するためである。なお、この交差角度Θは、前述したように６０°〜８５°とするのが好ましい。ワークが柔らかい場合には交差角度Θを狭くし、硬い場合には広くする。なお、交差角度Θが６０°より小さいと、押圧面３６が傷を形成する役割を担ってしまい、屑が出易くなる。また交差角度Θが８５°より大きいと、傷１０５ａを起点として垂直クラック１０５ｂを形成する機能が低下する。
【００２５】
ダイヤモンド薄膜３７の蒸着による形成は、従来カッタにおけるダイヤモンド粒の加工と装着に比べて容易であり、カッタ３０の製造コストを低減させることができる。
カッタ３０の板ガラス１００に対する相対的移動方向は、ダイヤモンド薄膜３７と平行をなしているので、ダイヤモンド薄膜３７の幅方向が刻線１０５の方向と一致することになる。そのため、ダイヤモンド薄膜３７が幅を有していても、刻線１０５の形成の支障にならない。
【００２６】
上記のようにして刻線１０５が形成された板ガラス１００は、エア圧を付与することにより、刻線１０５に沿って破断することができる。この際、刻線１０５が深い垂直クラック１０５ｂを有しているので、破断を容易にすることができる。
【００２７】
なお、この発明のスクライブ装置は上記の実施形態に限定されるものでなく、適宜設計変更可能である。例えば、図１において想像線で示すエアシリンダ５９（押圧手段）を備えていてもよい。このエアシリンダ５９は、例えば移動台１に直接または取付板６を介して間接的に固定されており、そのロッド先端がスライダ５に連結または当接されている。このエアシリンダ５９の駆動により、スライダ５ひいてはボデイ１０をワーク面に向けて付勢する。このエアシリンダ５９を用いれば、図１に示すボデイ１０，ホルダ２０を水平に倒し、ワーク面を垂直にした状態でスクライブを行うこともできる。
【００２８】
また、上記実施形態において、ボデイ１０を支持する支持台１を水平移動させずに所定位置に固定し、移動機構２を設置台６０に連結して、この設置台６０に設置された板ガラス１００を移動させることにより、カッタ３０を板ガラス１００に対して相対的に移動させてもよい。
【００２９】
図８，図９は、他の形態をなすカッタ７０を示す。カッタ７０はほぼ直方体形状で互いに同一形状をなす第１，第２のベース７１Ａ，７１Ｂを備えている。これらベース７１Ａ，７１Ｂは、図８に想像線で示すような完全な直方体形状ではなく、一端面が傾斜して押圧面７６となっており、細長い平坦な面の一つが接合面７５となっている。
【００３０】
上記ベース７１Ａには、図１０，図１１に示すようにしてダイヤモンド薄膜７７を蒸着する。詳述すると、多数のベース７１Ａを、接合面７５を上にして設置台７８に並べる。この際、第１ベース７１Ａの側面同士を接するようにし、接合面７５を面一にし、押圧面７６を面一にして露出する。
【００３１】
上記の状態で蒸着を行えば、接合面７５と、押圧面７６と、押圧面の反対側の端面だけに蒸着がなされ、両側面と、接合面７５の反対側の面（下側の面）に蒸着がされないので、効率良く蒸着を行うことができる。なお、押圧面７６の反対側の端面を位置決め部材７９（図１０において想像線で示す）に当てて露出を避けることにより、蒸着効率をより一層向上させてもよい。
【００３２】
上記蒸着工程の後で、押圧面７６に蒸着されたダイヤモンド薄膜７７をダイヤモンド研削装置で削り落とし、その後で押圧面７６をエッチングしてダイヤモンド薄膜７７を押圧面から微少量突出させる。
【００３３】
図１２はさらに他の形態をなすカッタ９０を示している。このカッタ９０は、円盤形状をなしてホルダ８０に回転可能に支持されている。ホルダ８０を介してカッタ９０に振動を付与する手段は図示を省略する。カッタ９０は、互いに連結された第１，第２のベース９１Ａ，９１Ｂを有している。これらベース９１Ａ，９１Ｂは同一形状をなし、互いに当接する円形の接合面９５と、この接合面９５と交差する環状の押圧面９６とを有している。押圧面９６は、接合面９５に対して６０〜８５°で交差している。第１のベース９１Ａの接合面９５にはダイヤモンド薄膜９７が形成されており、このダイヤモンド薄膜９７の周縁は、ベース９１Ａ，９１Ｂの押圧面９６から微少量突出している。
【００３４】
上述した全ての実施形態では、ダイヤモンド薄膜を押圧面に対して微少量突出させたが、ダイヤモンド薄膜の先端を押圧面と接合面の交差線と一致させてもよい。この場合でも、上述した実施形態に比べて性能が劣るものの、高硬度のダイヤモンド薄膜からワークに振動エネルギーを付与することができる。また、スクライブを継続して実行することにより、ベースを構成する金属が微少量溶けて自然にダイヤモンド薄膜が微少量だけ押圧面から突出することもある。
また、第１，第２のベースの押圧面が、ダイヤモンド薄膜の近傍において、面一をなしていてもよい。
ベースを構成する金属としては、超硬合金であってもよい。
硬質皮膜は、上述した実施形態のようにダイヤモンド薄膜が最も好ましいと考えられるが、他の蒸着皮膜も用いることができる。
ワークとしては、板ガラスに限らず、セラミック製の板，シリコンウエハー等であってもよい。
【００３５】
【発明の効果】
以上説明したように、請求項１の発明によれば、スクライブ用カッタを安価に製造することができるとともに、使用寿命を長くすることができる。また、硬質皮膜がワーク面に僅かな傷を作り、第１，第２のベースの押圧面でワークを押すことによりこの傷を起点とする刻線を形成するので、屑の発生量を最小限にすることができるにも拘わらず、深い刻線を形成することができる。また、押圧面と接合面のなす交差角度を９０°未満としたので、刻線をより一層深くすることができる。
請求項４の発明によれば、硬質皮膜を押圧面から微少量突出させることにより、上記ワーク面への傷形成を確実に行うことができる。
請求項６の発明によれば、押圧面と接合面のなす交差角度を６０°〜８５°としたので、刻線をより一層深くすることができるとともに、屑の発生を確実に抑制することができる。
請求項７の発明によれば、硬質皮膜としてダイヤモンド薄膜を用いたので、ワークに確実に傷を形成し、ひいては刻線の形成を確実に行うことができる。
請求項９の発明によれば、第１ベースを接するように多数並べて面一をなす接合面に硬質皮膜を蒸着することにより、硬質皮膜を効率良く形成することができる。
請求項１１の発明によれば、カッタをワーク面に押し付けながら振動を付与することにより、上記特徴を有するカッタの機能を最大限に生かすことができる。また、このカッタのワークに対する相対的移動方向を硬質皮膜と平行にしたので、硬質皮膜の幅が刻線形成の支障にならない。
【図面の簡単な説明】
【図１】（Ａ）は本発明の一実施形態をなすスクライブ装置の縦断面図であり、（Ｂ）は（Ａ）図においてＩ方向から見た要部正面図である。
【図２】同スクライブ装置に用いられるカッタの分解斜視図である。
【図３】同カッタの斜視図である。
【図４】同カッタと、このカッタによって刻線を形成された板ガラスとを示す拡大断面図である。
【図５】図４におけるV部をさらに拡大して示す断面図である。
【図６】カッタの製造方法を示す拡大断面図である。
【図７】カッタの板ガラスに対する押圧力を示す図である。
【図８】本発明の他の実施形態をなすカッタの第１ベースの斜視図である。
【図９】同カッタの側面図である。
【図１０】同第１ベースへのダイヤモンド薄膜蒸着の方法を示す側面図である。
【図１１】同蒸着方法を示す斜視図である。
【図１２】本発明に係わるカッタのさらに他の実施形態を示し、（Ａ）は正面図、（Ｂ）は側面図である。
【符号の説明】
２移動機構
３０，７０，９０カッタ
３１Ａ，７１Ａ，９１Ａ第１ベース
３１Ｂ，７１Ｂ，９１Ｂ第２ベース
３５，７５，９５接合面
３６，７６，９６押圧面
３７，７７，９７ダイヤモンド薄膜（硬質皮膜）
４０ピエゾアクチュエータ（振動付与手段）

Claims

互いに連結される金属製の第１，第２のベースを備え、これらベースは、互いに当接する接合面と、この接合面と交差するとともにワーク面に当たる押圧面とをそれぞれ有し、
上記第１，第２のベースにおける押圧面と接合面の交差角度が９０°未満であり、
上記第１ベースの接合面には硬質皮膜が蒸着されていて、第１，第２のベースによって挟まれ、
上記第１，第２のベースの押圧面では金属面が露出していることを特徴とするスクライブ用カッタ。
上記硬質皮膜が上記第１ベースにのみ蒸着されていることを特徴とする請求項１に記載のスクライブ用カッタ。
上記硬質皮膜の厚さが３〜１０μｍであることを特徴とする請求項１または２に記載のスクライブ用カッタ。
上記硬質皮膜が、上記第１，第２のベースの押圧面から微少量突出していることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のスクライブ用カッタ。
上記硬質皮膜の上記押圧面からの突出量が３〜５μｍであることを特徴とする請求項４に記載のスクライブ用カッタ。
上記押圧面と接合面の交差角度が６０°〜８５°であることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のスクライブ用カッタ。
上記硬質皮膜がダイヤモンド薄膜からなることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載のスクライブ用カッタ。
請求項２に記載のスクライブ用カッタを製造する方法において、第１ベースの接合面に硬質皮膜を蒸着し、その後で、第１ベースをこれと同形状の硬質皮膜を蒸着していない第２ベースに接合することを特徴とするスクライブ用カッタの製造方法。
上記第１ベースを多数接するように並べ、これら多数の第１ベースの上記接合面を面一にして露出させ、この状態で、硬質皮膜の蒸着を行うことを特徴とする請求項８に記載のスクライブ用カッタの製造方法。
上記第１、第２ベースを接合した後に、これら第１、第２ベースの押圧面をエッチングすることにより硬質皮膜の先端から後退させることを特徴とする請求項８に記載のスクライブ用カッタの製造方法。
請求項１〜７のいずれかに記載のカッタと、
このカッタをワーク面に押し付けた状態でワーク面と交差する第１方向に振動を付与する押圧，振動付与手段と、
上記カッタを、ワーク面に沿うとともに上記硬質皮膜と平行をなす第２方向に、ワークに対して相対的に移動させる移動機構と、
を備えたことを特徴とするスクライブ装置。