JP6722917B2 - スクライブヘッドユニット - Google Patents
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Description
本発明はガラス基板やシリコンウエハ等の脆性材料基板をダイヤモンドポイントによってスクライブするためのスクライブヘッドユニットに関するものである。
従来ガラス基板やシリコンウエハをスクライブするために、スクライビングホイールや単結晶ダイヤモンドによるダイヤモンドポイントを用いたスクライビングツールが用いられている。ガラス基板に対しては、主に基板に対して転動させるスクライビングホイールが用いられてきたが、スクライブ後の基板の強度が向上するなどの利点より、固定刃であるダイヤモンドポイントの使用も検討されてきている。特許文献１，２にはサファイアウエハやアルミナウエハ等の硬度の高い基板をスクライブするためのポイントカッターが提案されている。これらの特許文献には、角錐の稜線上にカットポイントを設けたツールや、先端が円錐になったツールが用いられている。
ツールとしてダイヤモンドポイントを用いたスクライビングツールを用いてガラス基板をスクライブする場合、ダイヤモンドポイントの寿命が短く、数十ｍスクライブした段階で損傷してしまうという問題点があった。
本発明は以上のような課題を解決するためになされたものであり、脆性材料基板を分断する際にダイヤモンドポイントを用いたスクライビングツールの耐久性を向上させ、寿命を長くし、交換頻度を少なくすることができるスクライブヘッドユニットを提供することを目的とする。
この課題を解決するために、本発明のスクライブヘッドユニットは、所定の荷重でスクライビングツールのポイントを脆性材料基板に押し付け、相対的に移動させることによってスクライブするスクライブヘッドユニットであって、ダイヤモンドを用いた１つ又は複数のポイントを有するスクライビングツールと、前記スクライビングツールを固定するツールホルダと、上下動自在に設けられた潤滑剤ホルダと、前記潤滑剤ホルダの下端に取付けられ、潤滑剤をスクライブ予定ライン上に塗布する潤滑剤塗布部材と、前記潤滑剤ホルダを前記脆性材料基板に押圧する押圧手段と、を具備し、前記潤滑材塗布部材は、固形潤滑剤で構成されるものである。
ここで前記潤滑剤塗布部材は、軸芯を有する円柱状の固形潤滑ホイールとしてもよい。
ここで前記スクライブヘッドユニットは、スクライブ予定ラインに沿って脆性材料基板の異物除去を行う異物除去手段を有するようにしてもよい。
ここで前記異物除去手段は、異物除去ホルダと、前記異物除去ホルダの下端に設けられた異物除去部材と、を具備するようにしてもよい。
ここで前記押圧手段は、前記潤滑剤ホルダを脆性材料基板に押圧するエア加圧ユニットとしてもよい。
ここで前記押圧手段は、前記潤滑剤ホルダを脆性材料基板に押圧するスプリング加圧ユニットとしてもよい。
このような特徴を有する本発明によれば、まず脆性材料基板のスクライブ予定ラインに潤滑剤を塗布し、ダイヤモンドポイントを有するスクライビングツールでスクライブする。このためダイヤモンドポイントに摩耗が生じにくく、耐久性を大幅に向上させることができるという効果が得られる。特に、潤滑剤として固体潤滑剤を用いているため、スクライブ予定ラインの近傍にのみ、潤滑剤を精度良く塗布することができる。これにより、基板上の不要な箇所への潤滑剤の付着を防止するとともに、後工程における潤滑剤の除去等を容易に行うことができる。又潤滑剤を塗布する前にスクライブ予定ラインをクリーニングする場合には、脆性材料基板に最初から付着している異物、またはスクライブ中に発生する異物が脆性材料基板とスクライビングツールに巻き込まれることがなく、ポイントの損傷を更に少なくすることができるという効果が得られる。
次に本発明の実施の形態について説明する。まず図１は本実施の形態のスクライブヘッドユニットのツールホルダに保持されるスクライビングツールである、マルチポイントダイヤモンドツール（以下、単にダイヤモンドツールという）１０の一例を示す平面図及び側面図である。このダイヤモンドツール１０は一定の厚さで回転対称の任意の数の辺から成る多角形の角柱をベースとする。この実施の形態では、一定厚さの四角柱のベース１１を単結晶ダイヤモンドにより構成し、その中心に貫通孔１２を有している。ベース１１には貫通孔１２を通る軸（図１（ａ）については紙面に垂直な軸）に平行な稜線１３ａ〜１３ｄが四角形の外周面に均等に形成されている。
さて本実施の形態ではベース１１に対して図１に示すように四方の角部分の四角柱の両底面から外周面が交差する稜線へ向けて面取りのように研磨する。即ち図１（ｂ）に示すようにベース１１の右側の底面の４つの角よりベース１１の稜線に向けて研磨して第１の傾斜面１４ａ〜１４ｄを形成する。このときベース１１の底面の稜線を挟む辺と傾斜面との成す角が等しくなるように、即ち傾斜面が稜線の一端を頂点とした二等辺三角形となるように研磨する。このような傾斜面はレーザ加工又は機械加工によって容易に形成することができる。また、レーザ加工の後にさらに機械研磨を行い、さらに精密な研磨面としてもよい。こうすれば各稜線１３ａ〜１３ｄと第１の傾斜面１４ａ〜１４ｄとの交点を頂点として、図１（ｂ）に示すようにベースの側面視において右側に４つのポイントＰ１〜Ｐ４を形成することができる。このときベース１１の傾斜面１４ａ〜１４ｄは天面となる。ここで天面とは、稜線を形成する２つの外周面に接し、稜線の一端を共有する面をいう。
次にベース１１の他方の底面より同様にしてベース１１の外周に向けて研磨して第２の傾斜面１５ａ〜１５ｄを形成する。このとき、第１の傾斜面と第２の傾斜面との間に稜線が残るよう、第１の傾斜面と第２の傾斜面との研磨範囲の合計がベースの厚みを超えないように研磨する。こうすれば各稜線１３ａ〜１３ｄと第２の傾斜面１５ａ〜１５ｄとの交点をポイントとして図１（ｂ）に示すようにベースの側面視において左側に４個のポイントＰ５〜Ｐ８を形成することができる。このように稜線１３ａ〜１３ｄの両端をポイントＰ１〜Ｐ８とすることで、四角形のダイヤモンドツール１０について外周に８箇所のポイントを形成することができる。
次にツールホルダについて説明する。図２はツールホルダの組立てを示す斜視図である。図２に示すようにツールホルダ２０の主要部を構成するツールホルダ本体２１は、直方体状のホルダ保持部２２ａと、その先端に直方体の上半分が切り欠かれた形状を有するツール取付部２２ｂとから成り立っている。ホルダ保持部２２ａは図２に示すようにツールホルダをスクライブヘッドユニットに固定するための取付用の貫通孔２３ａ，２３ｂ及び２４ａ，２４ｂが設けられる。又ツール取付部２２ｂはホルダ保持部２２ａに近い位置で切り欠かれた長手方向に垂直の厚さ調整溝２５を有している。先端部には図２に示すように左右から切り欠かれた傾斜面２６ａ，２６ｂと、下方から切欠かれた傾斜面２６ｃを有している。又ツール取付部２２ｂのほぼ中央部分には中心軸に垂直にねじ溝２７が設けられている。ツール取付部２２ｂの表面にはツールホルダ本体２１の長手方向の中心軸に沿った一定深さのツール保持溝２８がねじ溝２７を通過して形成され、先端部ではツール保持溝２８は外側に向けて約９０°の角度で開放されている。言い換えれば、ツール保持溝２８は先端に向かうにつれて幅が広くなり、溝の内壁の延長線が交わる角度が９０°とされている。厚さ調整溝２５とツール保持溝２８とは同一の深さを有するものとする。ここでツール保持溝２８の９０°に開放されている領域は、前述した四角形のダイヤモンドツール１０を保持し、その先端部分を外部に突出させる保持領域となる。
さてこのツール取付部２２ｂの上部にはホルダ押さえ３０が取付けられる。ホルダ押さえ３０は略直方体状でツール取付部２２ｂの窪みに取付けられて直方体状のツールホルダ２０を構成するものである。ホルダ押さえ３０の先端部左右にはツール取付部２２ｂの傾斜面２６ａ，２６ｂに対応する傾斜面３１ａ，３１ｂが設けられ、上面には傾斜面２６ｃに対応する傾斜面３１ｃが設けられている。又中央部分には貫通孔３２が設けられている。
ダイヤモンドツール１０をツールホルダ２０に保持する場合には、まず厚さ調整部材としてダイヤモンドツール１０の厚さと同一の径を有する厚さ調整ピン３３を厚さ調整溝２５に挿入し、次いでツール保持溝２８にダイヤモンドツール１０を嵌め込んでその一部を突出させた状態で押さえ部材３０を被せ、ねじ３４を締め付けることによって固定する。こうすればホルダ押さえ３０の下面が常にツール取付部２２ｂの面に対して平行に接することとなるため、先端にダイヤモンドツール１０を確実に固定することができる。
図３はダイヤモンドツール１０を有するツールホルダ２０をスクライブヘッドユニットに取付けた状態を示す正面図及び側面図である。スクライブヘッドユニット４０Ａは板状のヘッドプレート４１自体が図示しないスライド機構によって全体に上下動するように構成されている。そしてこのヘッドプレート４１にはスクライブ荷重用のエアシリンダ４２が固定される。エアシリンダ４２の下端はロッド４２ａが伸縮自在に突出している。さて図３（ｂ）に示すようにヘッドプレート４１のロッド４２ａの下方には、ガイド機構４３とスライド部４４が設けられ、所定の荷重でスライド部４４を下方に押圧している。ガイド機構４３はスライド部４４を上下動自在に保持するものである。スライド部４４にはＬ字形のプレート４５が設けられる。プレート４５はスライド部４４と共に上下動するが、ストッパ４６によって下限が規制されている。そしてこのプレート４５にはツールホルダ２０が貫通孔２３ｂ，２４ｂにねじ４７ａ，４７ｂを貫通させて斜め方向に固定されている。そしてスクライブヘッドユニット４０Ａを矢印Ａ方向に移動させることでスクライブすることができる。
さてヘッドプレート４１の右端にはサポートプレート５０上に異物除去ホルダ５１が設けられる。板状のサポートプレート５０は図３（ｂ）に示すように、異物除去ホルダ５１を側面から見てダイヤモンドツールと同一の位置となるようにヘッドプレート４１から左方向に突出させるものである。異物除去ホルダ５１はツールホルダと同様に直方体状でヘッドベース４１に平行に固定され、先端にはスポンジ５２が取付けられている。スポンジ５２はスクライブヘッドユニット４０Ａを矢印Ａ方向に移動させたときに、スクライブする直前に基板に接触してスクライブ予定ラインに付着している異物を除去する異物除去部材である。ここで異物除去ホルダ５１とその先端の柔軟な異物除去部材であるスポンジ５２とは、スクライブヘッドユニット４０Ａに取付けられた異物除去手段を構成している。
次に異物除去ホルダ５１に隣接する潤滑剤ホルダについて説明する。図４は潤滑剤ホルダとその周辺部分のみを抜き出して示した側面図であり、エアシリンダ４２，スライド部４４，プレート４５やダイヤモンドツール１０及びサポートプレート５０と異物除去ホルダ５１等は省略している。さて図４に示すようにヘッドプレート４１にはサポートプレート５０と同様にサポートプレート５３が突出するように取付けられている。サポートプレート５３の左端にはガイド機構５３ａが形成され、このガイド機構５３ａに沿ってスライド部５４及びこれに取付けられたＬ字状ブロック５５が上下動自在に構成される。このＬ字状ブロック５５の下方には潤滑剤ホルダ５６がねじ止めにて取付けられる。潤滑剤ホルダ５６は異物除去ホルダ５１と同様に直方体状で下端に固形潤滑ホイール５７が取付けられている。固形潤滑ホイール５７は円柱状で軸芯が潤滑剤ホルダ５６に回転自在に保持されており、スクライブ方向に移動させることで回転し、スクライブする直前にスクライブ予定ライン上に潤滑剤を塗布する潤滑剤塗布部材である。
又図４に示すようにヘッドプレート４１に横向きに突出するようにサポートプレート５８が設けられ、その先端には下降端ストッパ５９が設けられる。下降端ストッパ５９はＬ字状ブロック５５の一端に当接することによってＬ字状ブロック５５が下がりすぎないように規制するものである。又ヘッドプレート４１にはＬ字状ブロック５５の上方にサポートプレート６０が設けられ、その上部にはエア加圧ユニット６１が設けられる。エア加圧ユニット６１は先端の突出部でＬ字状ブロック５５を下向きに押圧することによって、潤滑剤ホルダ５６の下方の固形潤滑ホイール５７を脆性材料基板に押し付けるものである。サポートプレート６０に保持されているエア加圧ユニット６１は潤滑剤ホルダ５６を押圧する押圧手段を構成している。
固形潤滑ホイール５７を構成する固形潤滑剤としては、ロウ（ワックス）や石油系炭化水素などの常温で固形の潤滑剤が用いられる。又は、固形の潤滑剤と常温で液体の潤滑剤、粉末状の固形潤滑剤又はその他の成分の混合物であってもよい。粉末状の固形潤滑剤としては、例えば黒鉛、二硫化モリブデン、二硫化タングステン等が好適に用いられる。
次に本実施の形態のスクライブヘッドユニット４０Ａを用いて脆性材料基板であるガラス基板を分断する方法について図５のフローチャート、図６のガラス基板の平面図を用いて説明する。まずステップＳ１において平坦な表面ＳＦを有するガラス基板７０を準備する。ガラス基板７０をスクライブする際には、傾けて取付けられているツールホルダ２０のダイヤモンドツール１０の１つのポイントＰ１をガラス基板７０に対して接するように固定して、スクライブヘッドユニット４０Ａをガラス基板７０の一方の辺７０ａの近傍に押し下げて図示の矢印Ａ方向に移動させ、分断予定ラインの他方の辺７０ｂに近い位置まで摺動させる。このようにスクライブヘッドユニット４０Ａを移動させると、異物除去ホルダ５１に取付けられているスポンジ５２でスクライブ予定ラインの異物が除去される。即ち図５のステップＳ２に示すように、スクライブ予定ラインに沿ってクリーニングが行われる。このとき図７（ａ）にスクライブ予定ラインＳＩＬ１の拡大図を示すように、スクライブ予定ラインＳＩＬ１を中央に含むように所定幅のラインに対してクリーニングが行われる。このようにスクライブ予定ラインをクリーニングすることで、スクライブ中に異物がガラス基板７０と刃先の間に巻き込まれることがなくなり、ダイヤモンドツールのポイントの損傷を少なくすることができる。
次に、図７（ｂ）に示すようにスクライブ予定ラインＳＩＬ１に対してクリーニングされた部分には、重ねて潤滑剤ホルダ５６の固形潤滑ホイール５７がガラス面に接触し、上部よりエア加圧ユニット６１で荷重がかけられた状態で移動することにより固形潤滑ホイール５７が転動し、潤滑剤が薄く塗布される（ステップＳ３）。そしてホルダ２０に保持されているスクライブヘッドのダイヤモンドツールでスクライブすることによって、図６に示すようにスクライブ予定ラインＳＩＬ１に沿ってトレンチラインＴＬ１を形成する（ステップＳ４）。このときダイヤモンドツール１０は転動することなく、同じポイントでスクライブを行う。実際にはスクライブヘッドユニット４０Ａを移動させることによってステップＳ２〜Ｓ４がほぼ同時に進行することとなる。こうすれば潤滑剤の潤滑効果によりダイヤモンドツールのポイントの摩耗を大幅に少なくすることができ、長寿命化することができる。例えばダイヤモンドツールのポイントは潤滑剤を塗布していない場合に数十ｍで摩耗していたが、潤滑剤を塗布した場合には、数千ｍに渡って耐久性を保持することができる。さらに、固形潤滑ホイール５７の転動により潤滑剤が塗布されるため、スクライブ予定ライン及びその近傍にのみ、潤滑剤を精度良く塗布することができる。これにより、基板上のスクライブ予定ライン以外の箇所への潤滑剤の付着を抑制するとともに、後工程における潤滑剤の除去等を容易に行うことができる。
トレンチラインとは、図６（ｂ）の円形部分の断面を示す図８（ａ）のように、スクライブによってガラス基板７０の表面ＳＦに塑性変形による溝のみが形成され、厚さ方向にはクラックが生じていないラインである。このため、クラックを生じさせる通常のスクライブラインを形成する場合よりも低い荷重とするなど、より広いスクライブ条件でトレンチライン形成のためのスクライブをすることができる。また、本実施の形態においては辺７０ａがスクライブ上流側、辺７０ｂが下流側となる。
同様にガラス基板７０の表面ＳＦのスクライブ予定ラインＳＩＬ２〜ＳＩＬ６に沿ってスクライブヘッドユニット４０Ａを左から右に移動させる。これによって異物除去ホルダ５１のスポンジ５２でスクライブ予定ラインの異物が除去され、潤滑剤ホルダ５６の固形潤滑ホイール５７により潤滑剤が塗布され、更にダイヤモンドツール１０によってスクライブされる。こうしてトレンチラインＴ１に平行に更に５本のトレンチラインＴＬ２〜ＴＬ６が形成される。
次に図９に示すように、各トレンチラインと交差するようにアシストラインＡＬ１を形成する。アシストラインＡＬ１は各トレンチラインの下流側、即ち辺７０ｂに近い位置に形成することが好ましい。アシストラインＡＬ１は図１に示すように、ダイヤモンドの刃先を持つスクライビングツールを用いてもよく、スクライビングホイールを転動させて形成させてもよい。本実施の形態においては、アシストラインはクラックが形成されたクラックラインとする。
こうしてアシストラインＡＬ１を形成し、アシストラインＡＬ１に沿ってガラス基板７０がアシストラインＡＬ１に沿って分断される。このとき既に形成されているトレンチラインＴＬ１〜ＴＬ６とアシストラインＡＬ１が交差した位置から図８（ｂ）に示すようにクラックが生じ、クラックが各トレンチラインＴＬ１〜ＴＬ６の上流側に伸展する（ステップＳ５）。従ってトレンチラインＴＬ１〜ＴＬ６はその下方にクラックを伴うクラックラインＣＬ１〜ＣＬ６に変化することとなる。
この後図５のステップＳ６において、このクラックラインＣＬ１〜ＣＬ６に沿ってガラス基板７０を分断することによって所望の形状にガラス基板７０を分断することができる。
そして固形潤滑ホイール５７は潤滑剤を塗布すると徐々に摩耗しその直径が小さくなるが、Ｌ字状ブロック５５は上下動自在であり、上部よりエア加圧ユニット６１によってＬ字状ブロック５５が押圧されているため、常に所定の荷重で固形潤滑ホイール５７がガラス面に押圧され、潤滑剤を塗布することができる。
本実施の形態においてはアシストラインを形成し、アシストラインに沿って分離することでクラックが発生するものとしたが、アシストラインの分離を伴わない工程としてもよい。この場合、アシストラインを形成するとトレンチラインに沿ってクラックが形成される。また、アシストラインを形成せずに、トレンチラインの終端においてダイヤモンドツールを逆方向に摺動させることによりクラックを形成する工程、またはトレンチラインを延長してダイヤモンドツールが基板の端部を通過する工程等を行うことによっても、トレンチラインに沿ってクラックを生じさせることができる。
基板に接しているポイントＰ１が摩耗により劣化した場合には、スクライブヘッドユニットからツールホルダを取り外し、１８０°回転させて前後を入れ替えることによりポイントＰ５を用いることができる。あるいは、ダイヤモンドツール１０を一旦ツールホルダ２０から取り外し、９０°回転させて再びツールホルダ２０に固定し、他のポイント、例えばポイントＰ２をガラス基板７０に接触させて同様にしてスクライブ予定ラインのクリーニング、潤滑剤塗布及びスクライブを行う。
次に異物除去や潤滑剤を塗布する機能を有するスクライブヘッドユニットの他の実施の形態について説明する。図１０は第２の実施の形態のスクライブヘッドユニットを示しており、前述した第１の実施の形態と同一部分は同一符号を示している。図１０に示すように、第２の実施の形態のスクライブヘッドユニット４０Ｂにおいては、サポートプレート６０にエア加圧ユニット６１に代えて、スプリングを用いたスプリング加圧ユニット６２を設ける。スプリング加圧ユニット６２はＬ字状ブロック５５を上方より下向きに押圧する押圧手段である。この場合にも固形潤滑ホイール５７をガラス面に押し付けることができ、固形潤滑ホイール５７が摩耗してきた場合であってもスプリングによって加圧するため、常にほぼ同一の圧力でホイールを押圧してガラス面に潤滑剤を塗布することができる。この場合にはエア加圧ユニットよりも簡単な構造で同一の効果を得ることができる。
尚前述した各実施の形態では、図１に示すようにダイヤモンド製の複数のポイントを持つスクライビングツールを用いているが、多角形の外周に板厚方向又は外周方向から研磨して複数のポイントを形成したスクライビングツールを用いてもよく、また四角錐台形や円錐形状のスクライビングツールを用いてもよい。
ここでは図５に示すようにトレンチラインを形成した後、アシストラインを形成しているが、トレンチラインを形成した後にスクライブ予定ラインに塗布した潤滑剤を拭き取り等により除去するステップを含めるようにしてもよい。
又一定距離のスクライブを終えた後に、ダイヤモンドツールのポイント部分をクリーニングするようにしてもよい。クリーニングでは刃先のポイント部分にエアブローを吹き付けてもよく、ポイント部分から空気を吸引してもよい。又ポイント部分を超音波洗浄してもよく、潤滑剤や異物をスポンジ等で取り除いてクリーニングするようにしてもよい。潤滑剤を除去する場合には、基板の端部にマットを設け、スクライビングツールでこのマット上を通過させることによってクリーニングを行うようにしてもよい。
前述した各実施の形態では、異物除去部材としてスポンジを用いているが、これと同様の機能を達する柔軟な部材、例えばフェルト等を用いることができる。
また、前述した実施の形態ではスクライブ前に潤滑剤塗布部材として固形潤滑ホイールを用いて潤滑剤を塗布しているが、潤滑剤塗布部材は固形の潤滑剤であれば形状はホイールに限定されるものではなく、円柱または角柱、円錐または角錐等任意の形状であってもよい。ホイール形状ではない場合、潤滑剤塗布部材は基板上を摺動することにより、潤滑剤を塗布する。
又前述した各実施の形態ではスクライブヘッドユニットを移動させることによって基板をスクライブするようにしているが、スクライブヘッドユニットを固定し基板を移動させることによって異物除去や潤滑剤塗布及びスクライブを行うようにしてもよい。
また、前述した実施の形態では１つのスクライブヘッドユニット４０Ａにツールホルダ、異物除去手段及び潤滑剤塗布手段を設けているが、異物除去手段又は潤滑剤塗布手段をツールホルダが設けられたスクライブヘッドユニットとは異なるスクライブヘッドユニットに設けてもよい。さらに、前述した実施の形態ではスクライブヘッドユニット４０Aを移動させることによってステップＳ２〜Ｓ４がほぼ同時に進行するようにしているが、スクライブ予定ラインに対してステップＳ２〜Ｓ４を段階的に行うようにしてもよい。
本発明はダイヤモンドポイントを有するスクライビングツールによって脆性材料基板をスクライブする場合にダイヤモンドポイントの摩耗を最小限に抑えることができ、ダイヤモンドポイントを用いたスクライブ装置に有効に用いることができる。
１０ マルチポイントダイヤモンドツール
１１ ベース
１２ 貫通孔
１３ａ〜１３ｄ 稜線
１４ａ〜１４ｄ 第１の傾斜面
１５ａ〜１５ｄ 第２の傾斜面
２０ ツールホルダ
２１ ツールホルダ本体
２２ａ ホルダ保持部
２２ｂ ツール保持部
２３ａ，２３ｂ，２４ａ，２４ｂ 貫通孔
２５ 厚さ調整溝
２６ａ，２６ｂ，２６ｃ，３１ａ，３１ｂ，３１ｃ 傾斜面
２７ ねじ溝
２８ ツール保持溝
３０ ホルダ押さえ
３３ 厚さ調整ピン
３４ ねじ
４０Ａ，４０Ｂ スクライブヘッドユニット
４１ ヘッドプレート
４２ エアシリンダ
４３ ガイド機構
４４ スライド部
４５ プレート
５０，５３ サポートプレート
５１ 異物除去ホルダ
５２ スポンジ
５４ スライド部
５５ Ｌ字状ブロック
５６ 潤滑剤ホルダ
５７ 固形潤滑ホイール
５８，６０ サポートプレート
５９ 下降端ストッパ
６１ エア加圧ユニット
６２ スプリング加圧ユニット
７０ ガラス基板
Ｐ１〜Ｐ８ ポイント
ＳＩＬ１〜ＳＩＬ６ スクライブ予定ライン
ＴＬ１〜ＴＬ６ トレンチライン
ＡＬ アシストライン
ＣＬ１〜ＣＬ６ クラックライン
１１ ベース
１２ 貫通孔
１３ａ〜１３ｄ 稜線
１４ａ〜１４ｄ 第１の傾斜面
１５ａ〜１５ｄ 第２の傾斜面
２０ ツールホルダ
２１ ツールホルダ本体
２２ａ ホルダ保持部
２２ｂ ツール保持部
２３ａ，２３ｂ，２４ａ，２４ｂ 貫通孔
２５ 厚さ調整溝
２６ａ，２６ｂ，２６ｃ，３１ａ，３１ｂ，３１ｃ 傾斜面
２７ ねじ溝
２８ ツール保持溝
３０ ホルダ押さえ
３３ 厚さ調整ピン
３４ ねじ
４０Ａ，４０Ｂ スクライブヘッドユニット
４１ ヘッドプレート
４２ エアシリンダ
４３ ガイド機構
４４ スライド部
４５ プレート
５０，５３ サポートプレート
５１ 異物除去ホルダ
５２ スポンジ
５４ スライド部
５５ Ｌ字状ブロック
５６ 潤滑剤ホルダ
５７ 固形潤滑ホイール
５８，６０ サポートプレート
５９ 下降端ストッパ
６１ エア加圧ユニット
６２ スプリング加圧ユニット
７０ ガラス基板
Ｐ１〜Ｐ８ ポイント
ＳＩＬ１〜ＳＩＬ６ スクライブ予定ライン
ＴＬ１〜ＴＬ６ トレンチライン
ＡＬ アシストライン
ＣＬ１〜ＣＬ６ クラックライン
Claims (6)
- 所定の荷重でスクライビングツールのポイントを脆性材料基板に押し付け、相対的に移動させることによってスクライブするスクライブヘッドユニットであって、
ダイヤモンドを用いた１つ又は複数のポイントを有するスクライビングツールと、
前記スクライビングツールを固定するツールホルダと、
上下動自在に設けられた潤滑剤ホルダと、
前記潤滑剤ホルダの下端に取付けられ、潤滑剤をスクライブ予定ライン上に塗布する潤滑剤塗布部材と、
前記潤滑剤ホルダを前記脆性材料基板に押圧する押圧手段と、を具備し、
前記潤滑材塗布部材は、固形潤滑剤で構成されるスクライブヘッドユニット。 - 前記潤滑剤塗布部材は、軸芯を有する円柱状の固形潤滑ホイールであることを特徴とする請求項１記載のスクライブヘッドユニット。
- 前記スクライブヘッドユニットは、
スクライブ予定ラインに沿って脆性材料基板の異物除去を行う異物除去手段を有する請求項１記載のスクライブヘッドユニット。 - 前記異物除去手段は、
異物除去ホルダと、
前記異物除去ホルダの下端に設けられた異物除去部材と、を具備する請求項３記載のスクライブヘッドユニット。 - 前記押圧手段は、前記潤滑剤ホルダを脆性材料基板に押圧するエア加圧ユニットである請求項１〜３のいずれか１項記載のスクライブヘッドユニット。
- 前記押圧手段は、前記潤滑剤ホルダを脆性材料基板に押圧するスプリング加圧ユニットである請求項１〜３のいずれか１項記載のスクライブヘッドユニット。
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