JP2013043787A - ガラススクライブ方法及びガラススクライブ装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】厚さ100μm以下のガラス基板40を所要の形状にスクライブするガラススクライブ方法であって、円錐形の尖端を有するガラススクライバ30を、支持部20に取り付けるステップと、ガラス基板40をテーブル面24に載置するステップと、ガラススクライバ30を、テーブル面24に載置された前ガラス基板40に当接させて、該ガラス基板40に対して所定の荷重を負荷するステップと、ガラス基板40の表面上に所要の形状をスクライブするように、ガラススクライバ30の尖端をガラス基板40の表面に当接させながらテーブル面24と支持部20とを相対移動させるステップと、を含む方法によりガラス基板40をスクライブする。
【選択図】図1
Description
厚さ100μm以下のガラス基板を所要の形状にスクライブするガラススクライブ方法であって、
円錐形の尖端を有するガラススクライバを、該ガラススクライバを支持する支持部に取り付けるステップと、
前記ガラス基板をテーブル面に載置するステップと、
前記ガラススクライバを、前記テーブル面に載置された前記ガラス基板に当接させて、該ガラス基板に対して所定の荷重を負荷するステップと、
前記ガラス基板の表面上に所要の形状をスクライブするように、前記ガラススクライバの前記尖端を前記ガラス基板の表面に当接させながら前記テーブル面と前記支持部とを相対移動させるステップと、
を含むガラススクライブ方法を提供する。
厚さ100μm以下のガラス基板を所要の形状にスクライブするガラススクライブ装置であって、
前記ガラス基板を載置するテーブル面と、
円錐形の尖端を有するガラススクライバと、
前記ガラススクライバを支持する支持部と、
前記支持部に支持された前記ガラススクライバの前記尖端を、前記ガラス基板の表面に所定の荷重が加わった状態で当接させながら当該ガラス基板の表面上に所要の形状をスクライブするように、前記テーブル面と前記支持部とを相対移動させる駆動手段と、
を備えるガラススクライブ装置を提供する。
14 上下方向直動機構
16 水平方向直動機構、高精度直動機構
18 荷重調整機構 20 支持部
22 回転テーブル、高精度回転テーブル 24 テーブル面
30 ガラススクライバ 32 軸部
34 尖端 40 ガラス基板
Claims (7)
- 厚さ100μm以下のガラス基板を所要の形状にスクライブするガラススクライブ方法であって、
円錐形の尖端を有するガラススクライバを、該ガラススクライバを支持する支持部に取り付けるステップと、
前記ガラス基板をテーブル面に載置するステップと、
前記ガラススクライバを、前記テーブル面に載置された前記ガラス基板に当接させて、該ガラス基板に対して所定の荷重を負荷するステップと、
前記ガラス基板の表面上に所要の形状をスクライブするように、前記ガラススクライバの前記尖端を前記ガラス基板の表面に当接させながら前記テーブル面と前記支持部とを相対移動させるステップと、
を含むガラススクライブ方法。 - 前記相対移動が、回転中心軸の振れが0.02μm以下で回転面の面振れが0.11μm以下で上面の平面度が4μm以下の高精度回転テーブルによって前記テーブル面を回転駆動しながら、真直度が100mm当り0.5μm以下の高精度直動機構によって前記ガラススクライバを前記テーブル面の回転中心からの半径上で前記回転駆動に同調して直線駆動することによりなされる、請求項1に記載のガラススクライブ方法。
- 前記テーブル面の前記回転速度が毎分1〜20回転の一定の回転速度である請求項2に記載のガラススクライブ方法。
- 前記所定の荷重が100gf以下である、請求項1乃至3のいずれかに記載のガラススクライブ方法。
- 厚さ100μm以下のガラス基板を所要の形状にスクライブするガラススクライブ装置であって、
前記ガラス基板を載置するテーブル面と、
円錐形の尖端を有するガラススクライバと、
前記ガラススクライバを支持する支持部と、
前記支持部に支持された前記ガラススクライバの前記尖端を、前記ガラス基板の表面に所定の荷重が加わった状態で当接させながら当該ガラス基板の表面上に所要の形状をスクライブするように、前記テーブル面と前記支持部とを相対移動させる駆動手段と、
を備えるガラススクライブ装置。 - 前記駆動手段が、前記テーブル面を回転させる高精度回転テーブルであって、回転中心軸の振れが0.02μm以下で回転面の面振れが0.11μm以下でテーブル上面の平面度が4μm以下である高精度回転テーブルと、前記支持部を前記回転駆動手段の回転方向に対する半径方向に駆動する高精度直動機構であって、真直度が100mm当り0.5μm以下である高精度直動機構と、からなる請求項5に記載のガラススクライブ装置。
- 前記ガラススクライバが単結晶ダイアモンドからなり、前記ガラススクライバの前記尖端の開き角が60度から130度の範囲内である請求項5乃至7に記載のガラススクライブ装置。
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Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105196429A (zh) * | 2014-06-30 | 2015-12-30 | 三星钻石工业股份有限公司 | 多点工具、多点工具的定位机构、刻划头及刻划装置 |
KR20160002339A (ko) | 2014-06-30 | 2016-01-07 | 미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤 | 멀티포인트 다이아몬드 툴 |
KR20160088793A (ko) | 2015-01-16 | 2016-07-26 | 미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤 | 멀티 포인트 다이아몬드 툴 |
KR20160089865A (ko) | 2015-01-20 | 2016-07-28 | 미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤 | 멀티 포인트 다이아몬드 툴 |
JP2016153358A (ja) * | 2014-12-01 | 2016-08-25 | ショット アクチエンゲゼルシャフトSchott AG | 薄板ガラスをスコアリングするための方法及び装置、並びにスコアリングされた薄板ガラス |
KR20170038152A (ko) | 2015-09-29 | 2017-04-06 | 미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤 | 툴 홀더 및 툴 홀더 유닛 |
KR20180003425A (ko) | 2016-06-30 | 2018-01-09 | 미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤 | 멀티포인트 다이아몬드 툴 및 그의 제조 방법 |
KR20180003426A (ko) | 2016-06-30 | 2018-01-09 | 미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤 | 멀티포인트 다이아몬드 툴 및 그의 제조 방법 |
JP2018015945A (ja) * | 2016-07-26 | 2018-02-01 | 三星ダイヤモンド工業株式会社 | ダイヤモンドツール及びそのスクライブ方法 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11263632A (ja) * | 1998-03-16 | 1999-09-28 | Beldex:Kk | スクライブ方法および装置、並びに記憶媒体用ディスク |
-
2011
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Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11263632A (ja) * | 1998-03-16 | 1999-09-28 | Beldex:Kk | スクライブ方法および装置、並びに記憶媒体用ディスク |
Cited By (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105196429A (zh) * | 2014-06-30 | 2015-12-30 | 三星钻石工业股份有限公司 | 多点工具、多点工具的定位机构、刻划头及刻划装置 |
KR20160002340A (ko) | 2014-06-30 | 2016-01-07 | 미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤 | 멀티포인트 툴, 멀티포인트 툴의 위치 결정 기구, 스크라이브 헤드 및 스크라이브 장치 |
KR20160002339A (ko) | 2014-06-30 | 2016-01-07 | 미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤 | 멀티포인트 다이아몬드 툴 |
CN105313232A (zh) * | 2014-06-30 | 2016-02-10 | 三星钻石工业股份有限公司 | 多点钻石工具 |
JP2016153358A (ja) * | 2014-12-01 | 2016-08-25 | ショット アクチエンゲゼルシャフトSchott AG | 薄板ガラスをスコアリングするための方法及び装置、並びにスコアリングされた薄板ガラス |
KR101756549B1 (ko) * | 2014-12-01 | 2017-07-11 | 쇼오트 아게 | 박판 유리를 스코어링하는 방법 및 장치, 및 스코어링 박판 유리 |
TWI606983B (zh) * | 2014-12-01 | 2017-12-01 | 首德公司 | 刻劃薄玻璃之方法及裝置,及經刻劃之薄玻璃 |
US9896372B2 (en) | 2014-12-01 | 2018-02-20 | Schott Ag | Method and apparatus for scoring thin glass and scored thin glass |
KR20160088793A (ko) | 2015-01-16 | 2016-07-26 | 미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤 | 멀티 포인트 다이아몬드 툴 |
KR20160089865A (ko) | 2015-01-20 | 2016-07-28 | 미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤 | 멀티 포인트 다이아몬드 툴 |
KR20170038152A (ko) | 2015-09-29 | 2017-04-06 | 미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤 | 툴 홀더 및 툴 홀더 유닛 |
KR20180003425A (ko) | 2016-06-30 | 2018-01-09 | 미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤 | 멀티포인트 다이아몬드 툴 및 그의 제조 방법 |
KR20180003426A (ko) | 2016-06-30 | 2018-01-09 | 미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤 | 멀티포인트 다이아몬드 툴 및 그의 제조 방법 |
JP2018015945A (ja) * | 2016-07-26 | 2018-02-01 | 三星ダイヤモンド工業株式会社 | ダイヤモンドツール及びそのスクライブ方法 |
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