JP6727673B2 - スクライブ装置及びホルダユニット - Google Patents
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Description
図1は、本発明の実施形態に係るスクライブ装置1の概略図である。スクライブ装置1は、移動台10を備えている。移動台10は、ボールネジ11と螺合されており、モータの駆動によりこのボールネジ11が回転することで、一対の案内レール12に沿ってy軸方向に移動可能となっている。
次に他の実施形態について図を用いて説明する。図3は上方視におけるホルダユニット130の概念図である。なお、実施形態1のホルダユニット30の同様な構成については、符号とともに説明を省略する。
次に他の実施形態について図を用いて説明する。図4は上面視におけるホルダジョイント221に取り付けられたホルダユニット230の概念図である。なお、実施形態1と同様な構成については、符号とともに説明を省略する。
次に他の実施形態について図を用いて説明する。図5(A)はホルダジョイントに321に取り付けられたホルダユニット330の側面図であり、図5(B)は上面視におけるホルダユニット330の概念図である。
次に他の実施形態について図を用いて説明する。図6(A)はホルダジョイントに421に取り付けられたホルダユニット430の側面図であり、図6(B)は上面視におけるホルダユニット430の概念図である。
10…移動台
11…ボールネジ
12…案内レール
13…モータ
14…テーブル
15…脆性材料基板
16…CCDカメラ
17…ブリッジ
18a、18b…支柱
19…ガイド
20…スクライブヘッド
21、221、321、421…ホルダジョイント
22…取付部
22a…垂直壁
22b…水平壁
23…回転軸
24a、24b…ベアリング
25…ネジ孔
30、130、230、330、430…ホルダユニット
31、131…取付ネジ
40、140、340、440…スクライビングホイール
41…貫通孔
42a、42b、142a、342a、442a…側面
50、150、250、350、450…ピン軸
51…尖頭部
60、160、260、360、460…ホルダ
61、261、361、461…本体部
62a、62b、162a、262b…保持部
63、163…保持溝
64a、64b…ピン孔
65a、65b、165a、365a、465a…保持壁
66…ネジ孔
68a、68b、268b…止め金
69a、69b、269b…ネジ
280…傾斜部材
380…バネ部材
381a、381b…引掛け部
480、481b…磁石
481a…固定部
Claims (3)
- スクライビングホイールと、
前記スクライビングホイールの貫通孔に貫通されたピン軸と、
本体部と、前記本体部の下方側に形成され前記スクライビングホイールを保持する一対の保持部と、前記保持部にそれぞれ形成されるとともに前記ピン軸が挿通されたピン孔と、を有するホルダと、を備えたホルダユニットと、
鉛直方向に伸びる回転軸を中心に前記ホルダユニットを回転自在に保持するスクライブヘッドと、
を備えるスクライブ装置であって、
前記ピン軸が、水平面において前記スクライビングホイールの進行方向と直交する方向から傾いて配置され、
一対の前記保持部との間で形成される保持溝が、前記ピン軸に対して傾く方向に形成されていることを特徴とするスクライブ装置。 - 前記保持溝が、前記スクライビングホイールの進行方向に平行に形成されていることを特徴とする請求項1に記載のスクライブ装置。
- スクライビングホイールと、
前記スクライビングホイールの貫通孔に貫通されたピン軸と、
本体部と、前記本体部の下方側に形成され前記スクライビングホイールを保持する一対の保持部と、前記保持部にそれぞれ形成されるとともに前記ピン軸が挿通されたピン孔と、を有するホルダと、
を備えたホルダユニットであって、
前記ピン軸は、水平面において前記スクライビングホイールの進行方向と直交する方向から傾いて配置され、
一対の前記保持部との間で形成される保持溝が、前記ピン軸に対して傾く方向に形成されていることを特徴とするホルダユニット。
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