KR101829985B1 - 스크라이브 장치 및 홀더 유닛 - Google Patents

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신타로 카메이
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미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤
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Abstract

[과제] 스크라이빙 휠이 핀 축방향으로 이동함으로써 스크라이브 라인의 형성 위치가 어긋난다는 문제점을 감안하여 이루어진 것으로, 스크라이브 라인의 형성 위치를 안정시켜, 소망의 위치로부터의 어긋남이 생기지 않도록 하는 스크라이브 장치 및 홀더 유닛을 제공한다.
[해결 수단] 스크라이브 장치(1)는, 홀더(60)의 보유부(62a, 62b)에 형성되어 있는 핀 구멍(64a, 64b)이 진행 방향(R)을 따라서 서로 다른 위치에 형성되고, 핀 축(50)이 수평면(H)에 있어서 진행 방향(R)과 직교하는 방향(B)에 대해서 경사지게 배치되는 구성으로 되어 있다. 이 때문에 스크라이브 라인을 형성하면, 스크라이빙 휠(40)의 측면(42a)이 보유벽(65a)에 근접하는 방향으로 이동하여 접촉하게 되고, 핀 축(50)을 따른 이동이 규제된다.

Description

스크라이브 장치 및 홀더 유닛{SCRIBE APPARATUS AND HOLDER UNIT}
본 발명은, 유리 기판 등의 취성 재료 기판의 분단에 있어서, 취성 재료 기판의 표면에 스크라이브 라인을 형성할 때 이용하는 스크라이브 장치 및 홀더 유닛에 관한 것이다.
유리 기판 등의 취성 재료 기판을 원하는 치수로 분단할 때, 일반적으로 스크라이브 장치가 이용된다. 이 스크라이브 장치는, 스크라이빙 휠을 보유하기 위한 홀더에 스크라이빙 휠을 부착해서 사용된다. 또, 이 스크라이빙 휠은, 홀더의 보유부에 형성된 핀 구멍과, 스크라이빙 휠의 측면에 형성된 관통 구멍에, 원기둥 형상의 핀 축을 삽입함으로써, 보유부 사이(보유홈)에 보유된다.
그리고, 홀더에 부착된 스크라이빙 휠은, 회전 가능하게 보유되어 있고, 취성 재료 기판의 표면을 회전하면서 진행함으로써, 취성 재료 기판에 스크라이브 라인을 형성한다. 또, 이러한 스크라이브 장치로서, 예를 들면, 특허문헌 1에 기재되어 있는 바와 같은 스크라이브 장치가 있다.
홀더에 부착된 스크라이빙 휠은, 전술한 바와 같이 스크라이브 라인을 형성하기 위해서 보유홈에서 회전할 필요가 있다. 따라서, 보유홈의 폭은 스크라이빙 휠의 두께보다 약간 넓게 되어 있고, 스크라이빙 휠과 보유부 사이에는 클리어런스(clearance)가 확보되어 있다. 구체적으로는, 스크라이빙 휠의 두께가 0.65㎜인 경우에는, 보유홈의 폭은 0.02㎜ 정도 벌어져 있다. 이와 같이, 스크라이빙 휠과 보유부 사이에 클리어런스가 존재함으로써, 스크라이빙 휠은 회전 가능하게 보유된다.
한편, 이 클리어런스에 의해서, 스크라이빙 휠은, 홀더홈 내에서 핀 축을 따라서 0.02㎜ 정도 이동할 수 있게 되어버린다. 따라서, 스크라이브 라인을 형성할 때에, 스크라이빙 휠이 핀 축방향으로 이동해버림으로써, 스크라이브 라인의 형성 위치가 안정적이지 않게 되어, 종래의 스크라이브 장치에서는, 스크라이브 라인이 원하는 위치로부터 어긋난다는 것이 문제로 되고 있었다.
본 발명은, 전술한 스크라이빙 휠이 핀 축방향으로 이동함으로써 스크라이브 라인의 형성 위치가 어긋난다는 문제점을 감안하여 이루어진 것으로, 스크라이브 라인의 형성 위치를 안정시켜, 원하는 위치로부터의 어긋남이 생기지 않도록 하는 스크라이브 장치 및 홀더 유닛을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위해서, 본 발명의 스크라이브 장치는, 스크라이빙 휠과, 상기 스크라이빙 휠의 관통 구멍에 관통된 핀 축과, 본체부와, 상기 본체부의 아래쪽 측에 형성되어 상기 스크라이빙 휠을 보유하는 1쌍의 보유부와, 상기 보유부에 각각 형성되는 동시에 상기 핀 축이 삽입 통과된 핀 구멍을 가진 홀더를 구비하는 홀더 유닛과, 연직방향으로 뻗는 회전축을 중심으로 상기 홀더 유닛을 회전 가능하게 보유하는 스크라이브 헤드를 포함하는 스크라이브 장치로서, 상기 핀 축이, 수평면에 있어서 상기 스크라이빙 휠의 진행 방향과 직교하는 방향으로부터 경사지게 배치되어 있는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 스크라이브 장치에 따르면, 핀 축이 진행 방향과 직교하는 방향으로부터 경사지게 배치되어 있기 때문에, 스크라이브 라인을 형성하면, 스크라이빙 휠이 한쪽 보유부 측으로 접근하게 된다. 이 때문에, 스크라이빙 휠과 보유부 사이의 클리어런스에 의해서 스크라이빙 휠이 핀 축방향으로 이동하는 것이 규제된다. 따라서, 스크라이브 장치는 스크라이브 라인의 형성 위치를 안정시킬 수 있다.
또한, 본 발명의 스크라이브 장치는, 상기 핀 구멍이 수평면에 있어서 진행 방향을 따라서 서로 다른 위치에 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 스크라이브 장치에 따르면, 홀더의 핀 구멍의 형성 위치를 조정 하는 것만으로 상기 효과를 발휘할 수 있다.
또, 본 발명의 스크라이브 장치는, 상기 1쌍의 보유부 사이에 형성되는 보유홈이 상기 핀 축과 직교하도록 경사지게 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 스크라이브 장치에 따르면, 스크라이빙 휠이 한쪽 보유부 측으로 접근할 때에 스크라이빙 휠과 보유부의 접촉 면적이 증가하므로, 스크라이빙 휠의 측면의 마모를 억제할 수 있다.
또한, 본 발명의 스크라이브 장치는, 상기 스크라이브 헤드가 수평면에 있어서 상기 스크라이빙 휠의 진행 방향과 직교하는 방향으로부터 상기 핀 축을 경사지게 하기 위한 홀더 유닛 경사 수단을 구비하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 스크라이브 장치에 따르면, 스크라이브 헤드가 홀더 유닛 경사 수단을 구비하므로, 홀더 유닛 그 자체에 핀 축을 경사지게 하기 위한 특별한 가공을 행할 필요가 없다. 그 때문에, 스크라이브 장치는, 일반적으로 이용되는 홀더 유닛을 이용해서 상기 효과를 발휘할 수 있다.
또, 본 발명의 스크라이브 장치는, 상기 스크라이브 헤드가, 상기 회전축이 부착된 홀더 조인트를 구비하고 있고, 상기 홀더 유닛 경사 수단은, 상기 홀더 조인트에 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 스크라이브 장치에 따르면, 홀더 유닛이 홀더 조인트를 개재해서 스크라이브 헤드에 부착되는 구성의 스크라이브 장치에도 적용할 수 있다.
또한, 본 발명의 스크라이브 장치는, 상기 홀더 조인트가 수직벽을 구비하고, 상기 홀더 유닛 경사 수단은 상기 수직벽과 상기 홀더 사이에 배치된 경사 부재인 것을 특징으로 한다. 또한, 본 발명의 스크라이브 장치는, 상기 홀더 유닛 경사 수단이 상기 홀더 조인트와 상기 홀더 사이에 배치된 스프링 부재인 것을 특징으로 한다. 또한, 본 발명의 스크라이브 장치는, 상기 홀더 유닛 경사 수단이 상기 홀더 조인트에 부착된 자석인 것을 특징으로 한다.
본 발명의 스크라이브 장치에 따르면, 스크라이브 장치에 적합한 홀더 유닛 경사 수단을 이용할 수 있다.
또한, 본 발명의 홀더 유닛은, 스크라이빙 휠과, 상기 스크라이빙 휠의 관통 구멍에 관통된 핀 축과, 본체부와, 상기 본체부의 아래쪽 측에 형성되어 상기 스크라이빙 휠을 보유하는 1쌍의 보유부와, 상기 보유부에 각각 형성되는 동시에 상기 핀 축이 삽입 통과된 핀 구멍을 가진 홀더를 구비한 홀더 유닛으로서, 상기 핀 구멍이 수평면에 있어서 진행 방향을 따라서 서로 다른 위치에 형성되고, 상기 핀 축은 수평면에 있어서 상기 스크라이빙 휠의 진행 방향과 직교하는 방향으로부터 경사지게 배치되어 있는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 홀더 유닛을 이용해서 스크라이브 장치에 의해 스크라이브 라인을 형성함으로써, 핀 축이 진행 방향과 직교하는 방향으로부터 경사지게 배치되어 있기 때문에, 스크라이빙 휠이 한쪽 보유부 측으로 접근하게 된다. 이 때문에, 스크라이빙 휠과 보유부 사이의 클리어런스에 의해 스크라이빙 휠이 핀 축방향으로 이동하는 것이 규제된다.
또, 본 발명의 홀더 유닛은, 상기 1쌍의 보유부 사이에 형성되는 보유홈이 상기 핀 축과 직교하도록 경사지게 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 홀더 유닛에 따르면, 스크라이빙 휠이 한쪽 보유부 측으로 접근했을 때에 스크라이빙 휠과 보유부의 접촉 면적이 증가하므로, 스크라이빙 휠의 측면의 마모를 억제할 수 있다.
도 1은 실시형태 1의 스크라이브 장치의 개략도;
도 2(A)는 실시형태 1의 홀더 유닛의 정면도이며, 도 2(B)는 홀더 유닛의 측면도이며, 도 2(C)는 위쪽에서 본 홀더 유닛의 개념도;
도 3은 실시형태 2의 홀더 유닛의 위쪽에서 본 개념도;
도 4는 실시형태 3의 홀더 유닛의 위쪽에서 본 개념도;
도 5(A)는 실시형태 4의 홀더 유닛의 측면도이고, 도 5(B)는 위쪽에서 본 홀더 유닛의 개념도;
도 6(A)는 실시형태 5의 홀더 유닛의 측면도이고, 도 6(B)는 위쪽에서 본 홀더 유닛의 개념도.
이하, 본 발명의 실시형태를 도면을 이용해서 설명한다. 단, 이하에 나타낸 실시형태는, 본 발명의 기술사상을 구체화하기 위한 일례를 나타낸 것이며, 본 발명을 이 실시형태로 특정하는 것을 의도하는 것은 아니다. 본 발명은, 청구범위에 포함되는 그 밖의 실시형태에도 적응할 수 있는 것이다.
[실시형태 1]
도 1은, 본 발명의 실시형태에 따른 스크라이브 장치(1)의 개략도이다. 스크라이브 장치(1)는 이동대(10)를 구비하고 있다. 이동대(10)는 볼 나사(11)와 나사결합되어 있고, 모터의 구동에 의해 이 볼 나사(11)가 회전함으로써, 1쌍의 안내 레일(12)을 따라서 y축방향으로 이동 가능하게 되어 있다.
이동대(10)의 상부면에는 모터(13)가 설치되어 있다. 모터(13)는, 상부에 위치하는 테이블(14)을 xy평면에서 회전시켜서 소정 각도에 위치 결정한다. 모터(13)에 의해 수평회전 가능한 테이블(14)은, 도시하지 않은 진공흡착수단을 구비하고 있고, 테이블(14) 상에 놓인 취성 재료 기판(15)을 이 진공흡착수단에 의해서 보유한다.
이 취성 재료 기판(15)은, 유리 기판, 저온 소성 세라믹스나 고온 소성 세라믹스로 이루어진 세라믹 기판, 실리콘 기판, 화합물반도체 기판, 사파이어 기판, 석영기판 등이다. 또한, 취성 재료 기판(15)은, 기판의 표면 또는 내부에 박막 또는 반도체 재료를 부착시키거나, 포함시키거나 한 것이어도 된다. 또한, 취성 재료 기판(15)은, 그 표면에 취성 재료에 해당하지 않는 박막 등이 부착되어 있어도 무방하다.
스크라이브 장치(1)는, 테이블(14)에 놓인 취성 재료 기판(15)의 위쪽에, 이 취성 재료 기판(15)의 표면에 형성된 얼라인먼트 마크(alignment mark)를 촬상하는 2대의 CCD 카메라(16)를 구비하고 있다. 이동대(10)와 그 상부의 테이블(14)에 걸쳐 있도록 브리지(17)가 지주(18a, 18b)에 가설되어 있다.
브리지(17)에는 가이드(19)가 부착되어 있고, 스크라이브 헤드(20)는 이 가이드(19)에 안내되어서 x축방향으로 이동하도록 설치되어 있다. 스크라이브 헤드(20)는 하단에 홀더 조인트(21)를 구비하고 있다. 홀더(60)에 스크라이빙 휠(40)이 보유되어 있는 홀더 유닛(30)이, 홀더 조인트(21)을 개재해서 스크라이브 헤드(20)에 부착되어 있다.
여기에서, 스크라이브 장치(1)를 이용해서 취성 재료 기판(15)에 스크라이브 라인을 형성하는 공정의 개략을 설명한다. 우선, 스크라이브 헤드(20)에 부착된 홀더(60)에 스크라이빙 휠(40)을 부착한다. 그리고, 스크라이브 장치(1)는, 1쌍의 CCD 카메라(16)에 의해서 취성 재료 기판(15)의 위치 결정을 행한다. 다음에, 스크라이브 장치(1)는, 스크라이브 헤드(20)를 소정의 위치로 이동시키고, 스크라이빙 휠(40)에 대해서 소정의 하중을 인가해서, 취성 재료 기판(15)에 접촉시킨다. 그리고, 스크라이브 장치(1)는, 스크라이브 헤드(20)를 X축방향으로 이동시킴으로써, 취성 재료 기판(15)의 표면에 소정의 스크라이브 라인을 형성한다. 또, 스크라이브 장치(1)는, 필요에 따라서 테이블(14)을 회동 내지 Y축 방향으로 이동하고, 상기의 경우와 마찬가지로 해서 스크라이브 라인을 형성한다.
다음에, 홀더 유닛(30)의 상세에 대해서 도면을 이용해서 설명한다. 도 2(A)는 홀더 유닛(30)을 횡방향으로 나타낸 정면도이며, 도 2(B)는 홀더 유닛(30)의 측면도이며, 도 2(C)는 도 2(B)의 화살표(A)로 나타낸 위쪽에서 본 홀더 유닛(30)의 개념도이다. 한편, 도 2(A) 및 도 2(B)에는, 홀더 유닛(30)이 직접 부착되는 홀더 조인트(21)가 아울러서 도시되어 있다. 또, 도 2(C)는, 후술하는 수평면(H)에 있어서의 핀 축(50)의 방향을 나타내기 위한 개념도이기 때문에, 홀더 유닛(30)에 대해서 일부 도시를 생략하고 있다.
홀더 유닛(30)은, 스크라이빙 휠(40)과, 핀 축(50)과, 홀더(60)가 일체로 된 것이다. 홀더 유닛(30)은, 도 2(B)에 나타낸 바와 같이 홀더 조인트(21)에 부착 나사(31)에 의해서 부착되어 있다.
여기서, 홀더 조인트(21)는, 수직벽(22a)과 수평벽(22b)으로 이루어지고 단면형상이 역L자 형상의 부착부(22)와, 부착부(22)의 수평벽(22b)의 천정면 측에서 연직방향으로 뻗는 회전축(23)과, 회전축(23)이 삽입 통과된 2개의 베어링(24a, 24b)으로 구성되어 있다.
홀더 조인트(21)에 부착된 홀더 유닛(30)은, 홀더 유닛(30)의 측면이 부착부(22)의 수직벽(22a)과 접촉하고, 홀더 유닛(30)의 표면이 수평벽(22b)과 접촉한다. 또한, 수직벽(22a)에는, 도 2(A)에 나타낸 바와 같이 부착 나사(31)가 삽입되는 나사 구멍(25)이 형성되어 있다.
그리고, 홀더 조인트(21)는, 부착부(22)에 부착된 홀더 유닛(30)을 스크라이브 헤드(20)로부터 노출하도록 해서, 스크라이브 헤드(20)의 내부에 고정된다. 이때, 홀더 조인트(21)에 고정된 홀더 유닛(30)은, 회전축(23)을 중심으로 해서 회전 가능하게 되어 있다. 또, 1점쇄선(S)은, 회전축(23)의 축중심을 나타내고 있다. 또한, 도 2(A)의 파선(H)은 회전축(23)과 직교하는 수평면을 나타내고 있고, 이 수평면(H)은 취성 재료 기판(15)의 표면과 평행한 면이 된다.
또, 스크라이브 장치(1)를 이용해서 취성 재료 기판(15)의 표면에 스크라이브 라인을 형성할 때, 스크라이빙 휠(40)은 도 2 등에서 나타낸 화살표(R) 방향으로 진행하도록 회전한다. 또한, 스크라이브 장치(1)는, 홀더 조인트(21)를 이용하지 않고, 홀더 유닛(30) 자체가 회전축(23)이나 베어링(24a, 24b)을 구비하는 구성이어도 무방하다.
스크라이빙 휠(40)은, 예를 들면 소결 다이아몬드나 초경합금 등으로 형성된, 원판 형상의 부재이다. 또, 스크라이빙 휠(40)에는 핀 축(50)이 관통하기 위한 관통 구멍(41)이 원판의 양측면(42a, 42b)의 중심에 형성되어 있다. 또한, 스크라이빙 휠(40)에는 능선을 형성하는 V자 형상의 날이 외주부에 형성되어 있다. 또한, 본 실시형태의 스크라이빙 휠(40)은, 두께가 약 0.65㎜이며, 외경이 약 2.0㎜, 관통 구멍(41)의 직경이 약 0.8㎜, 날의 칼끝각이 약 130°이다.
핀 축(50)은, 예를 들면 소결 다이아몬드나 초경합금 등으로 형성된, 원기둥 형상의 부재이며, 일단이 첨두(尖頭)형상의 첨두부(51)로 되어 있다. 또한, 본 실시형태의 핀 축(50)의 직경은 약 0.8㎜로 되어 있다.
홀더(60)는, 스테인리스나 탄소공구강으로 이루어진 본체부(61)로 이루어진다. 본체부(61)는, 도 2(B)에 나타낸 바와 같이 아래쪽 측이 측면에서 보아서 하단을 향해서 폭이 좁아지는 사다리꼴 형상으로 되어 있다. 또한, 본체부(61)의 사다리꼴 형상 부분에는, 각각 보유부(62a, 62b)가 형성되어 있고, 보유부(62a, 62b) 사이에 보유홈(63)이 형성된다. 또, 홀더(60)는 본체부(61)를 하나의 기재로 구성하고 있지만, 예를 들면, 보유부(62a, 62b)를 각각 가진 2개의 기재를 고정함으로써 본체부(61)를 형성한 것이라도 무방하다.
보유부(62a, 62b)에는, 핀 축(50)이 삽입 통과되는 핀 구멍(64a, 64b)이 형성되어 있다. 또, 핀 구멍(64a, 64b)이 형성되어 있는 위치에 대해서 상세를 더 후술한다. 스크라이빙 휠(40)의 측면(42a)은 보유부(62a)와 대향하고, 측면(42b)은 보유부(62b)와 대향한다. 측면(42a)과 대향하는 보유부(62a)의 대향면은 보유벽(65a)이 되고, 측면(42b)과 대향하는 보유부(62b)의 대향면은 보유벽(65b)이 된다.
본체부(61)의 상부에는, 부착 나사(31)가 삽입되는 나사 구멍(66)이 형성되어 있다. 또한, 보유부(62a) 측에는 멈춤쇠(68a)가 나사(69a)에 의해 부착되어 있고, 보유부(62b) 측에는 멈춤쇠(68b)가 나사(69b)에 의해 부착되어 있다. 이 멈춤쇠(68a, 68b)는 핀 구멍(64a, 64b)을 폐쇄하기 위한 것이다.
이상과 같은 스크라이브 장치(1)는, 스크라이빙 휠(40)과, 스크라이빙 휠(40)의 관통 구멍(41)에 관통된 핀 축(50)과, 본체부(61)의 아래쪽 측의 보유부(62a, 62b)에 형성된 핀 구멍(64a, 64b)에 핀 축(50)이 삽입 통과된 홀더(60)를 구비한 홀더 유닛(30)과, 회전축(23)을 중심으로 홀더 유닛(30)을 회전 가능하게 보유하는 동시에 스크라이브 헤드(20) 내부에 고정되는 홀더 조인트(21)를 구비하고 있다.
또, 이 스크라이브 장치(1)는, 수평면(H)에 있어서, 도 2(C)에 나타낸 바와 같이 진행 방향(R)과 직교하는 방향(B)에 대해서 경사지게 핀 축(50)을 배치하고 있다. 구체적으로는, 홀더(60)의 보유부(62a, 62b)에 형성되어 있는 핀 구멍(64a, 64b)이, 일반적으로는 진행 방향(R)을 따라서 동일한 위치에 대면하도록 해서 형성되어 있지만, 본 실시형태에서는 도 2(C)에 나타낸 바와 같이 진행 방향(R)을 따라서 서로 다른 위치에 형성되어 있다.
따라서, 핀 구멍(64a, 64b)에 삽입 통과된 핀 축(50)은, 진행 방향(R)과 직교하는 방향(B)에 대해서 경사지게 배치되게 된다.
그리고, 이러한 스크라이브 장치(1)를 이용해서 취성 재료 기판(15)의 표면에 스크라이브 라인을 형성하면, 취성 재료 기판(15)으로부터 받는 반력에 의해서, 스크라이빙 휠(40)의 측면(42a) 측이 보유벽(65a)에 근접하는 방향으로 이동하여, 보유벽(65a)에 접촉한다.
이 때문에, 스크라이빙 휠(40)의 측면(42a)과 보유벽(65a)의 클리어런스가 제로(zero)가 된다. 따라서, 스크라이빙 휠(40)은, 스크라이브 라인을 형성할 때에, 핀 축(50)을 따른 이동을 규제되게 된다. 그리고, 스크라이브 장치(1)는 스크라이브 라인의 형성 위치가 안정하게 되고, 소망의 위치에 스크라이브 라인을 형성할 수 있다.
[실시형태 2]
다음에 다른 실시형태에 대해서 도면을 이용해서 설명한다. 도 3은 위쪽에서 본 홀더 유닛(130)의 개념도이다. 또, 실시형태 1의 홀더 유닛(30)의 마찬가지 구성에 대해서는, 부호와 함께 설명을 생략한다.
실시형태 1의 홀더 유닛(30)은, 보유홈(63)에 위치하는 핀 축(50)만이 진행 방향(R)과 직교하는 방향(B)에 대해서 경사지게 배치되어 있었다. 한편, 본 실시형태의 홀더 유닛(130)은, 핀 축(150)의 경사에 맞춰서 보유홈(163)도 경사지게 형성되어 있다.
이러한 홀더 유닛(130)을 구비하는 스크라이브 장치(1)를 이용해서 스크라이브 라인을 형성하면, 스크라이빙 휠(140)의 측면(142a) 측이 보유벽(165a)에 근접하는 방향으로 이동했을 때, 스크라이빙 휠(140)의 측면(142a) 측과 보유벽(165a)의 접촉 면적이 증가하게 된다. 또, 보유홈(163)의 경사각도를, 스크라이빙 휠(140)의 측면과 진행 방향(R) 사이의 각도에 맞춤으로써, 스크라이빙 휠(140)의 측면(142a) 측과 보유벽(165a)이 면 접촉하게 된다.
따라서, 스크라이빙 휠(140)의 측면(142a)나, 보유부(162a)의 보유벽(165a)의 마모가 균일하게 진행되게 되어, 부품의 교환 빈도를 억제할 수 있다.
[실시형태 3]
다음에 다른 실시형태에 대해서 도면을 이용해서 설명한다. 도 4는 상부에서 보아서 홀더 조인트(221)에 부착된 홀더 유닛(230)의 개념도이다. 또, 실시형태 1과 마찬가지 구성에 대해서는, 부호와 함께 설명을 생략한다.
본 실시형태에 있어서의 스크라이브 장치(1)는, 수평면(H)에 있어서 진행 방향(R)과 직교하는 방향(B)에 대해서 경사지게 핀 축(250)을 배치하기 위하여, 홀더 조인트(221)가 홀더 유닛 경사 수단을 구비하는 구성으로 되어 있다.
구체적으로는, 홀더 유닛 경사 수단은, 홀더 조인트(221)의 수직벽(222a)과 홀더 유닛(230) 사이에 고정 배치된 경사 부재(280)이다.
이 경사 부재(280)는, 금속제의 부재로 이루어지고, 도 4에 나타낸 바와 같이 진행 방향(R)에 대해서 전방에서 후방을 향해서 서서히 폭이 좁아지는 삼각 형상의 부재이다.
이 경사 부재(280)는, 본체부(261)의 보유부(262b) 측의 측면과 수직벽(222a) 사이로서, 멈춤쇠(268b)와 나사(269b)가 접촉하지 않도록 정면에서 보아서 나사(269b)보다도 위쪽에 배치되어 있다. 또한, 경사 부재(280)는, 나사 구멍(도시 생략)이 형성되고 있고, 수직벽(222a)에 홀더(260)를 부착하는 부착 나사(도시 생략)에 의해서, 고정되어 있다.
이와 같이, 홀더 조인트(221)가 홀더 유닛 경사 수단을 구비하는 구성으로 함으로써, 홀더 유닛(230) 자체에 핀 축(250)을 경사지게 하기 위한 가공을 시행할 필요가 없기 때문에, 일반적인 홀더 유닛(230)을 그대로 이용할 수 있다.
[실시형태 4]
다음에 다른 실시형태에 대해서 도면을 이용해서 설명한다. 도 5(A)는 홀더 조인트(321)에 부착된 홀더 유닛(330)의 측면도이며, 도 5(B)는 상부면에서 볼 때의 홀더 유닛(330)의 개념도이다.
본 실시형태에 있어서의 스크라이브 장치(1)는, 실시형태 3과 마찬가지로 홀더 조인트(321)가 홀더 유닛 경사 수단을 구비하는 구성으로 되어 있다.
한편, 본 실시형태의 홀더 유닛 경사 수단은, 홀더 조인트(321)와 홀더 유닛(330) 사이에 배치된 스프링 부재(380)이다. 구체적으로는, 스프링 부재(380)는, 홀더 조인트(321)의 수평벽(322b)의 전방에 설치된 걸이부(381a)와, 홀더(360)의 본체부(361) 전방에 설치된 걸이부(381b)에, 단부를 각각 걸어서 배치되어 있다. 그리고 걸이부(381a)와 (381b)는, 진행 방향(R)을 따라서 동일선상으로부터 약간만 벗어나도록 설치되어 있다.
따라서, 스프링 부재(380)의 탄성력에 의해서, 도 5(B)에 나타낸 바와 같이 홀더 유닛(330)이 약간 경사지게 된다. 홀더 유닛(330)이 경사짐으로써, 핀 축(350)도 진행 방향(R)과 직교하는 방향(B)에 대해서 경사지게 된다.
그리고, 스크라이브 장치(1)를 이용해서 취성 재료 기판(15)의 표면에 스크라이브 라인을 형성하면, 스크라이빙 휠(340)의 측면(342a) 측이 보유벽(365a)에 근접하는 방향으로 이동하고, 보유벽(365a)에 접촉한다. 이 때문에, 스크라이빙 휠(340)은, 측면(342a)과 보유벽(365a)의 클리어런스가 제로로 되고, 스크라이브 라인을 형성할 때에 핀 축(350)을 따른 이동이 규제되게 된다.
[실시형태 5]
다음에 다른 실시형태에 대해서 도면을 이용해서 설명한다. 도 6(A)는 홀더 조인트(421)에 부착된 홀더 유닛(430)의 측면도이며, 도 6(B)는 상부면에서 볼 때의 홀더 유닛(430)의 개념도이다.
본 실시형태에 있어서의 스크라이브 장치(1)는, 실시형태 3, 실시형태 4와 마찬가지로 홀더 조인트(421)가 홀더 유닛 경사 수단을 구비하는 구성으로 되어 있다.
한편, 본 실시형태의 홀더 유닛 경사 수단은, 홀더 조인트(421)에 설치된 자석(480)이다. 구체적으로는, 자석(480)은, 홀더 조인트(421)의 수평벽(422b)의 전방에 설치된 고정부(481a)에 부착되어 있다.
또, 본 실시형태에 있어서 홀더(460)의 본체부(461)는, 예를 들면 오스테나이트(austenite)계 스테인리스와 같은 비자성 재료로 형성되어 있다. 그리고, 홀더(460)의 본체부(461) 전방에 자석(481b)이 내장되어 있다.
따라서, 자석(480)에 홀더 유닛(430)이 구비하는 자석(481b)을 끌어당길 수 있게 됨으로써, 도 6(B)에 나타낸 바와 같이 홀더 유닛(430)이 약간 경사지게 된다. 홀더 유닛(430)이 경사짐으로써, 핀 축(450)도 진행 방향(R)과 직교하는 방향(B)에 대해서 경사지게 된다.
그리고, 스크라이브 장치(1)를 이용해서 취성 재료 기판(15)의 표면에 스크라이브 라인을 형성하면, 스크라이빙 휠(440)의 측면(442a) 측이 보유벽(465a)에 근접하는 방향으로 이동하여, 보유벽(465a)에 접촉한다. 이 때문에, 스크라이빙 휠(440)은, 측면(442a)과 보유벽(465a)의 클리어런스가 제로로 되어, 스크라이브 라인을 형성할 때에 핀 축(450)을 따른 이동이 규제되게 된다.
또한, 실시형태 3 내지 5과 같이, 스크라이브 장치(1)가 홀더 유닛 경사 수단을 구비하는 구성에 의해, 홀더 유닛 자체에 핀 축을 경사지게 하는 가공을 시행할 필요가 없기 때문에, 일반적으로 이용되고 있는 홀더 유닛을 거의 그대로 사용할 수 있다. 또, 실시형태 3 내지 5에 있어서는, 홀더 조인트가 홀더 유닛 경사 수단을 구비하는 구성을 나타냈지만, 예를 들면, 스크라이브 장치(1)가 홀더 조인트를 구비하지 않는 구성일 경우에는, 스크라이브 헤드에 홀더 유닛 경사 수단을 설치하는 구성이라도 무방하다.
1: 스크라이브 장치 10: 이동대
11: 볼 나사 12: 안내 레일
13: 모터 14: 테이블
15: 취성 재료 기판 16: CCD 카메라
17: 브리지 18a, 18b: 지주
19: 가이드 20: 스크라이브 헤드
21, 221, 321, 421: 홀더 조인트 22: 설치부
22a: 수직벽 22b: 수평벽
23: 회전축 24a, 24b: 베어링
25: 나사 구멍 30, 130, 230, 330, 430: 홀더 유닛
31, 131: 부착 나사 40, 140, 340, 440: 스크라이빙 휠
41: 관통 구멍 42a, 42b, 142a, 342a, 442a: 측면
50, 150, 250, 350, 450: 핀 축 51: 첨두부
60, 160, 260, 360, 460: 홀더 61, 261, 361, 461: 본체부
62a, 62b, 162a, 262b: 보유부 63, 163: 보유홈
64a, 64b: 핀 구멍 65a, 65b, 165a, 365a, 465a: 보유벽
66: 나사 구멍 68a, 68b, 268b: 멈춤쇠
69a, 69b, 269b: 나사 280: 경사 부재
380: 스프링 부재 381a, 381b: 걸이부
480, 48lb: 자석 481a: 고정부

Claims (10)

  1. 스크라이브 장치로서,
    스크라이빙 휠과,
    상기 스크라이빙 휠의 관통 구멍에 관통된 핀 축과,
    본체부와, 상기 본체부의 아래쪽 측에 형성되어 상기 스크라이빙 휠을 보유하는 1쌍의 보유부와, 상기 보유부에 각각 형성되는 동시에 상기 핀 축이 삽입 통과된 핀 구멍을 가진 홀더를 구비한 홀더 유닛과,
    연직방향으로 뻗는 회전축을 중심으로 상기 홀더 유닛을 회전 가능하게 보유하는 스크라이브 헤드를 포함하되,
    상기 핀 축이, 수평면에 있어서 상기 스크라이빙 휠의 진행 방향과 직교하는 방향으로부터 경사지게 배치되어 있고,
    상기 핀 구멍이 수평면에 있어서 진행 방향을 따라서 서로 다른 위치에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 스크라이브 장치.
  2. 삭제
  3. 스크라이브 장치로서,
    스크라이빙 휠과,
    상기 스크라이빙 휠의 관통 구멍에 관통된 핀 축과,
    본체부와, 상기 본체부의 아래쪽 측에 형성되어 상기 스크라이빙 휠을 보유하는 1쌍의 보유부와, 상기 보유부에 각각 형성되는 동시에 상기 핀 축이 삽입 통과된 핀 구멍을 가진 홀더를 구비한 홀더 유닛과,
    연직방향으로 뻗는 회전축을 중심으로 상기 홀더 유닛을 회전 가능하게 보유하는 스크라이브 헤드를 포함하되,
    상기 핀 축이, 수평면에 있어서 상기 스크라이빙 휠의 진행 방향과 직교하는 방향으로부터 경사지게 배치되어 있고,
    상기 1쌍의 보유부 사이에 형성되는 보유홈이 상기 핀 축과 직교하도록 경사지게 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 스크라이브 장치.
  4. 스크라이브 장치로서,
    스크라이빙 휠과,
    상기 스크라이빙 휠의 관통 구멍에 관통된 핀 축과,
    본체부와, 상기 본체부의 아래쪽 측에 형성되어 상기 스크라이빙 휠을 보유하는 1쌍의 보유부와, 상기 보유부에 각각 형성되는 동시에 상기 핀 축이 삽입 통과된 핀 구멍을 가진 홀더를 구비한 홀더 유닛과,
    연직방향으로 뻗는 회전축을 중심으로 상기 홀더 유닛을 회전 가능하게 보유하는 스크라이브 헤드를 포함하되,
    상기 핀 축이, 수평면에 있어서 상기 스크라이빙 휠의 진행 방향과 직교하는 방향으로부터 경사지게 배치되어 있고,
    상기 스크라이브 헤드는, 수평면에 있어서 상기 스크라이빙 휠의 진행 방향과 직교하는 방향으로부터 상기 핀 축을 경사지게 하기 위한 홀더 유닛 경사 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 스크라이브 장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 스크라이브 헤드는, 상기 회전축이 부착된 홀더 조인트를 구비하고 있고,
    상기 홀더 유닛 경사 수단은, 상기 홀더 조인트에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 스크라이브 장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 홀더 조인트는 수직벽을 구비하고,
    상기 홀더 유닛 경사 수단은, 상기 수직벽과 상기 홀더 사이에 배치된 경사 부재인 것을 특징으로 하는 스크라이브 장치.
  7. 제5항에 있어서, 상기 홀더 유닛 경사 수단은 상기 홀더 조인트와 상기 홀더 사이에 배치된 스프링 부재인 것을 특징으로 하는 스크라이브 장치.
  8. 제5항에 있어서, 상기 홀더 유닛 경사 수단은 상기 홀더 조인트에 부착된 자석인 것을 특징으로 하는 스크라이브 장치.
  9. 홀더 유닛으로서,
    스크라이빙 휠과,
    상기 스크라이빙 휠의 관통 구멍에 관통된 핀 축과,
    본체부와, 상기 본체부의 아래쪽 측에 형성되어 상기 스크라이빙 휠을 보유하는 1쌍의 보유부와, 상기 보유부에 각각 형성되는 동시에 상기 핀 축이 삽입 통과된 핀 구멍을 가진 홀더를 포함하되,
    상기 핀 구멍이, 수평면에 있어서 진행 방향을 따라서 서로 다른 위치에 형성되고,
    상기 핀 축은, 수평면에 있어서 상기 스크라이빙 휠의 진행 방향과 직교하는 방향으로부터 경사지게 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 홀더 유닛.
  10. 제9항에 있어서, 상기 1쌍의 보유부 사이에 형성되는 보유홈이 상기 핀 축과 직교하도록 경사지게 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 홀더 유닛.
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