KR20190114798A

KR20190114798A - 스크라이브 장치 및 스크라이브 방법

Info

Publication number: KR20190114798A
Application number: KR1020190032888A
Authority: KR
Inventors: 히로시 소야마
Original assignee: 미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤
Priority date: 2018-03-30
Filing date: 2019-03-22
Publication date: 2019-10-10
Also published as: TW201942080A; JP2019177642A; CN110315650A

Abstract

(과제) 소정의 오프셋량을 변화시켜 스크라이브 라인을 형성할 수 있는 스크라이브 장치 및 스크라이브 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
(해결 수단) 기판(F)의 표면(H)에 스크라이빙 휠(40)로 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 장치(1)로서, 스크라이빙 휠(40)을 보유지지하고, 회전축(53)의 둘레로 회전 가능한 홀더 유닛(30)과, 홀더 유닛(30)을 지지하는 지지부를 개재하여 보유지지하는 스크라이브 헤드(20)와, 스크라이브 방향에 있어서의 기판(F)의 표면(H)과 회전축(53)의 축심(S)이 이루는 각을 조절하기 위한 기울기 조절부(60)를 구비하고, 기판(F)의 표면(H)과 회전축(53)의 축심(S)이 이루는 각을 변화시킴으로써, 스크라이빙 휠(40)이 기판(F)의 표면(H)과 접촉하는 점을 통과하고 또한 회전축(53)의 축심에 평행한 축(R)과, 회전축(53)의 축심(S)의 거리인 실질의 오프셋량을 변화시키는 것을 특징으로 한다.

Description

스크라이브 장치 및 스크라이브 방법{SCRIBING DEVICE AND SCRIBING METHOD}

본 발명은, 기판의 표면에 스크라이브 라인(scribe line)을 형성하는 스크라이브 장치 및, 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 방법에 관한 것이다.

유리 기판 등의 취성 재료 기판(brittle material substrate)의 분단에 있어서, 스크라이브 헤드를 구비한 스크라이브 장치가 이용된다. 취성 재료 기판의 분단 공정은, 기판의 표면에 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 공정과, 형성된 스크라이브 라인을 따라 기판의 표면에 소정의 힘을 부가함으로써 기판을 분단하는 브레이크 공정으로 이루어진다. 스크라이브 공정에서는, 스크라이브 헤드에 형성되어 있는 스크라이빙 휠의 날끝이, 기판의 표면으로 밀어붙여지면서, 소정의 라인을 따라 이동된다.

통상, 스크라이브 헤드는, 스크라이빙 휠(scribing wheel)이 소정의 라인을 따라 진행되기 쉽도록 구성되어 있다. 그와 같은 구성으로서, 예를 들면, 스크라이빙 휠의 중심을 통과하고, 기판의 표면에 수직인 선(중심축으로 함)에 대하여, 홀더 유닛을 회전 가능하게 하는 회전축의 축심이 스크라이브 방향 전방에 위치하도록 구성되어 있는 스크라이브 헤드가 있다. 이 중심축과 축심의 거리는, 「오프셋량(편심량)」이라고 칭해진다. 이와 같이 오프셋량을 형성함으로써, 스크라이브시에 스크라이빙 휠이 스크라이브 헤드에 추종하기 쉬워지는 것이 알려져 있고, 이 효과는 캐스터 효과라고 불리고 있다.

이하의 특허문헌 1에는, 소정의 편심량이 미리 설정되어 있고, 기판 상의 스크라이브 라인에 직선 부분 및 곡률을 갖는 부분이 있는 경우에도, 이 라인을 따라 정확하게 절단할 수 있는 스크라이브 장치가 개시되어 있다. 이 스크라이브 장치는, 스크라이빙 휠과, 스크라이빙 휠을 보유지지하는(holding) 홀더와, 홀더의 상부에 형성되는 베어링과, 베어링에 통과되는 회전축과, 회전축 및 베어링의 상방에 형성되어, 스크라이빙 휠을 구동할 때, 구동원에 의해 가압되는 축 홀더를 구비한다. 이 스크라이브 장치에서는, 회전축의 중심 축선은, 스크라이빙 휠의 중심 축선으로부터 약 1∼1.5㎜ 떨어진 위치에 있고, 스크라이빙 휠의 중심 축선과 축 홀더의 중심 축선이 일치한다. 이와 같이, 회전축의 중심 축선은, 스크라이빙 휠의 중심 축선에 대하여 오프셋된 위치에 있고, 스크라이빙 휠의 중심 축선은 축 홀더의 중심 축선과 일치하기 때문에, 스크라이빙 휠을 스크라이브 라인을 따라 정확하게 구동시킬 수 있다.

일본공표특허공보 2014-503462호

오프셋량은, 형성하는 스크라이브 라인의 형상, 스크라이빙 휠의 재질 및 사이즈, 기판의 종류 등에 따라, 최적의 값으로 설정된다. 그 때문에, 스크라이브 라인을 형성할 때의 조건에 따라, 소정의 오프셋량이 되도록 조정된 스크라이브 헤드를 그때마다, 교환하여 사용할 필요가 있다. 이 점, 특허문헌 1의 스크라이브 장치에서는, 오프셋량이 고정되어 있다. 이 때문에, 이 범위로부터 벗어나는 바와 같은 오프셋량의 스크라이브 라인을 형성하고 싶은 경우, 특허문헌 1의 스크라이브 장치에 있어서도, 소정의 오프셋량이 되도록 조정된 스크라이브 헤드를 그때마다, 교환하여 사용할 필요가 있다.

이와 같은 과제를 감안하여, 본 발명은, 소정의 오프셋량을 변화시켜 스크라이브 라인을 형성할 수 있는 스크라이브 장치 및 스크라이브 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 제1 실시 형태는, 기판의 표면에 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 장치에 관한 것이다. 이 실시 형태에 따른 스크라이브 장치는, 기판의 표면에 스크라이빙 휠로 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 장치로서, 상기 스크라이빙 휠을 보유지지하고, 회전축의 둘레로 회전 가능한 홀더 유닛과, 상기 홀더 유닛을 지지하는 지지부를 통하여 보유지지하는 스크라이브 헤드와, 상기 기판에 대하여 상기 스크라이브 헤드를 이동시키는 이동부와, 스크라이브 방향에 있어서의 상기 기판의 표면과 상기 회전축의 축심이 이루는 각을 조절하기 위한 기울기 조절부를 구비하고, 상기 기판의 표면과 상기 회전축의 축심이 이루는 각을 변화시킴으로써, 상기 스크라이빙 휠이 상기 기판의 표면과 접촉하는 점을 통과하고, 또한 상기 회전축의 축심에 평행한 축과, 상기 회전축의 축심의 거리인 실질의 오프셋량을 변화시키도록 구성되어 있다.

본 실시 형태의 구성이면, 회전축을 소정의 각도 기울이면, 스크라이빙 휠에 있어서 기판에 접촉하는 위치가 바뀐다. 이 때문에, 기판의 표면과 스크라이빙 휠이 접촉한 점을 통과하고 또한 회전축에 평행한 선과 회전축의 축심의 거리가 변화한다. 즉, 오프셋량을 변경할 수 있다. 이와 같이, 회전축을 기울인 상태로 하면, 새롭게 오프셋량을 설정할 수 있다. 따라서, 예를 들면, 스크라이빙 휠의 종류나 사이즈, 또한 스크라이빙 휠의 위치 등을 변경하는 일 없이, 오프셋량을 변경할 수 있다.

본 실시 형태에 따른 스크라이브 장치에 있어서, 상기 기울기 조절부는, 상기 지지부와 접합하는 접합부를 구비하고, 상기 접합부는, 상기 기판의 표면에 수직인 선에 대하여 경사진 가이드와, 상기 가이드에 걸어맞춤하는 걸어맞춤부가 형성되도록 구성될 수 있다.

본 실시 형태의 구성이면, 스크라이브 헤드를 기울임으로써, 스크라이브 방향에 있어서의 기판의 표면과 회전축의 축심이 이루는 각을 바꿀 수 있다. 따라서, 오프셋량을 바꿀 수 있다. 또한, 이 구성이면, 기존의 스크라이브 헤드에 기울기 조절부를 형성하면 되기 때문에, 간단하게 구성할 수 있다.

본 실시 형태에 따른 스크라이브 장치에 있어서, 상기 기울기 조절부는, 상기 스크라이브 헤드에 접속하는 베이스부와, 상기 베이스부에 연결되는 연결부를 구비하고, 상기 베이스부는, 상기 기판의 표면에 수직인 선에 대하여 경사진 가이드와, 상기 가이드에 걸어맞춤하는 걸어맞춤부가 형성되도록 구성될 수 있다.

본 실시 형태의 구성이면, 스크라이브 헤드 전체를 경사시킬 수 있다. 즉, 스크라이브 헤드를 이동부에 고정한 상태에서, 회전축을 기울게 하여, 스크라이브 방향에 있어서의 기판의 표면과 회전축의 축심이 이루는 각을 바꿀 수 있다.

본 발명의 제2의 실시 형태는, 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 방법에 관한 것이다. 이 실시 형태에 따른 스크라이브 방법은, 회전축의 둘레로 회전 가능한 홀더 유닛에 스크라이빙 휠이 보유지지된 스크라이브 헤드를 이용하여 기판의 표면에 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 방법으로서, 스크라이브 조건에 따라, 스크라이브 방향에 있어서의 상기 기판의 표면과 상기 회전축의 축심이 이루는 각을 변경함으로써, 상기 스크라이빙 휠이 상기 기판의 표면과 접촉하는 점을 통과하고 또한 상기 회전축의 축심에 평행한 축과, 상기 회전축의 축심의 거리인 실질의 오프셋량을 변화시켜, 상기 스크라이브 라인을 형성한다.

본 실시 형태이면, 제1 실시 형태와 동일한 효과를 발휘한다.

이상과 같이, 본 발명에 의하면, 소정의 오프셋량을 변화시켜 스크라이브 라인을 형성할 수 있는 스크라이브 장치 및 스크라이브 방법을 제공할 수 있다.

본 발명의 효과 내지 의의는, 이하에 나타내는 실시 형태의 설명에 의해 더욱 명백해질 것이다. 단, 이하에 나타내는 실시 형태는, 어디까지나, 본 발명을 실시화할 때의 하나의 예시이고, 본 발명은, 이하의 실시 형태에 기재된 것에 하등 제한되는 것이 아니다.

도 1은, 실시 형태 1에 따른 스크라이브 장치의 구성을 개략적으로 나타내는 도이다.
도 2(a), (b)는, 각각, 실시 형태 1에 따른 스크라이브 장치에 있어서의 스크라이브 헤드의 측면도 및 정면도이다.
도 3(a), (b)는, 각각, 실시 형태 1에 따른 스크라이브 장치에 있어서의 홀더 유닛의 정면도 및 측면도이다.
도 4(a), (b)는, 실시 형태 1에 따른 스크라이브 장치의 기울기 조절부를 설명하기 위한 개략도이다. 도 4(c)는, 실시 형태 1에 따른 스크라이브 장치에 있어서, 홀더 유닛이 부착된 스크라이브 헤드의 개략도이다.
도 5(a), (b)는, 실시 형태 1에 따른 스크라이브 장치에 있어서, 오프셋량의 변화를 설명하기 위한 도이다.
도 6(a), (b)는, 실시 형태 1에 따른 스크라이브 장치에 있어서, 오프셋량의 변화를 설명하기 위한 도이다.
도 7(a)∼(c)는, 실시 형태 1에 따른 스크라이브 장치에 있어서, 회전축의 기울기와 오프셋량의 관계를 검증한 검증 결과이다.
도 8(a)는, 실시 형태 2에 따른 스크라이브 장치에 있어서의 스크라이브 헤드와 기울기 조절부의 접속을 설명하는 개략도이다. 도 8(b), (c)는, 실시 형태 2에 따른 스크라이브 장치에 있어서, 홀더 유닛이 부착된 스크라이브 헤드의 개략도이다.

(발명을 실시하기 위한 형태)

이하, 본 발명의 실시 형태에 대해서, 도면을 참조하여 설명한다. 또한, 각 도에는, 편의상, 서로 직교하는 X축, Y축 및 Z축이 부기되어 있다. Z축은, 커터 휠의 중심축에 수직이다. 또한, 도 2(a)∼도 7(c) 중의 실선(H)은, 기판(F)의 표면(H)을 나타내고 있다. 또한, 도 5(a)∼도 8(c) 중의 화살표는, 스크라이브 방향을 나타낸다.

＜실시 형태 1＞

［스크라이브 장치의 구성］

도 1은, 실시 형태 1에 따른 스크라이브 장치(1)의 구성을 개략적으로 나타내는 도이다. 스크라이브 장치(1)는, 이동대(10)와, 스크라이브 헤드(20)를 구비하고 있다. 이동대(10)는, 볼 나사(11)와 나사 결합되어 있다. 이동대(10)는, 한 쌍의 안내 레일(12)에 의해 Y축 방향으로 이동 가능하게 지지되어 있다. 모터의 구동에 의해 볼 나사(11)가 회전함으로써, 이동대(10)가, 한 쌍의 안내 레일(12)을 따라 Y축 방향으로 이동한다.

이동대(10)의 상면에는, 모터(13)가 설치되어 있다. 모터(13)는, 상부에 위치하는 재치부(14)를 XY 평면에서 회전시켜 소정 각도에 위치 결정한다. 모터(13)에 의해 수평 회전 가능한 재치부(14)는, 도시하지 않는 진공 흡착 수단을 구비하고 있다. 재치부(14) 상에 올려 놓여진 기판(F)은, 이 진공 흡착 수단에 의해, 재치부(14) 상에 보유지지된다.

기판에는, 예를 들면, 유리 기판, 저온 소성 세라믹스나 고온 소성 세라믹스로 이루어지는 세라믹스 기판, 실리콘 기판, 화합물 반도체 기판, 사파이어 기판, 석영 기판 등이 있다. 또한, 기판(F)은, 기판의 표면 또는 내부에 박막 혹은 반도체 재료를 부착시키거나, 포함시키는 것이라도 좋다. 또한, 기판(F)은, 그의 표면에 취성 재료에 해당하지 않는 박막 등이 부착되어 있어도 좋다.

스크라이브 장치(1)는, 재치부(14)에 올려놓여진 기판(F)의 상방에, 이 기판(F)의 표면(H)에 형성된 얼라이먼트 마크(alignment mark)를 촬상하는 2대의 카메라(15)를 구비하고 있다. 또한, 이동대(10)와 그의 상부의 재치부(14)를 걸치도록, 브리지(16)가 지주(17a, 17b)에 걸쳐 설치되어 있다.

브리지(16)에는, 레일(18)이 부착되어 있다. 레일(18)과 스크라이브 헤드(20)는, 이동부(19)를 통하여 접속되고, 이동부(19)가 레일(18)을 슬라이드 이동함으로써, 스크라이브 헤드(20)는, X축 방향으로 이동하도록 설치되어 있다.

도 2(a), (b)는, 각각, 실시 형태 1에 따른 스크라이브 장치(1)에 있어서의 스크라이브 헤드(20)의 정면도 및 측면도이다. 스크라이브 헤드(20)는, 지지부(21)와, 에어 실린더(22)와, 부착 블록(23)과, 슬라이드 가이드(24)와, 슬라이더(25)와, 홀더 조인트 브래킷(26)과, 지지판(27)을 구비하고 있다. 스크라이빙 휠(40)이 보유지지되어 있는 홀더 유닛(30)은, 지지부(21)를 통하여 스크라이브 헤드(20)에 부착되어 있다. 에어 실린더(22)는, 내부에 원기둥 형상의 공간이 형성되어 있고, 이 공간에 피스톤이 상하 방향으로 이동 가능하게 끼워져 있다. 에어 실린더(22)는, 부착 블록(23)에 삽입 통과되어 있다. 홀더 조인트 브래킷(26)은, 기울기 조절부(60)의 접합부(63)를 통하여 지지부(21)와 접속되어 있다. 지지판(27)에는, 구멍(27a)이 4개 형성되어 있고, 4개의 구멍(27a)에 나사를 통하여, 이동부(19)에 지지판(27)이 부착된다. 기울기 조절부(60)에 관해서는, 추후 도 4에 기초하여 설명한다.

스크라이브 장치(1)를 이용하여 기판(F)에 스크라이브 라인을 형성하는 경우, 우선, 스크라이빙 휠(40)이 부착된 홀더 유닛(30)이 스크라이브 헤드(20)의 지지부(21)에 부착된다.

다음으로, 스크라이브 장치(1)는, 한 쌍의 카메라(15)에 의해 기판(F)의 위치 결정을 행한다. 그리고, 스크라이브 장치(1)는, 스크라이브 헤드(20)를 소정의 위치에 이동시켜, 스크라이빙 휠(40)에 대하여 소정의 하중을 인가하여, 기판(F)의 표면(H)으로 접촉시킨다. 그 후, 스크라이브 장치(1)는, 스크라이브 헤드(20)를 X축 방향으로 이동시킴으로써, 기판(F)의 표면에 소정의 스크라이브 라인을 형성한다. 또한, 스크라이브 장치(1)는, 필요에 따라서 재치부(14)를 회동 내지 Y축 방향으로 이동하고, 상기의 경우와 동일하게 하여 스크라이브 라인을 형성한다.

상기의 실시 형태에 있어서는, 스크라이브 헤드(20)가 X축 방향으로 이동하고, 재치부(14)가 Y축 방향으로 이동함과 함께, 회전하는 스크라이브 장치에 대해서 나타냈는데, 스크라이브 장치(1)는 스크라이브 헤드(20)와 재치부(14)가 상대적으로 이동하는 것이면 좋다. 예를 들면, 스크라이브 헤드(20)가 고정되고, 재치부(14)가 X축, Y축 방향으로 이동하고, 또한 회전하는 스크라이브 장치(1)라도 좋다. 또한, 이 경우, 카메라(15)는 스크라이브 헤드(20)에 고정되어 있어도 좋다.

다음으로, 홀더 유닛(30)의 구성에 대해서, 도 3(a), (b)를 참조하여 설명한다. 도 3(a)는, 홀더 유닛(30)을 X축 정측(正側)으로부터 본 정면도, 도 3(b)는, 홀더 유닛(30)을 Y축 정측으로부터 본 측면도이다.

홀더 유닛(30)은, 스크라이빙 휠(40)과, 홀더(50)와, 2개의 베어링(51a, 51b)과, 회전축(53)이 일체로 되어 구성되어 있다. 회전축(53)은, 홀더(50)의 천면측(天面側)으로부터 연직 방향으로 연장되고, 베어링(51a, 51b)에 삽입 통과되어 있다. 홀더 유닛(30)에 있어서는, 홀더(50)가 회전축(53)에 의해 회전 가능하게 되어 있다.

홀더(50)는, 도 3(b)에 나타내는 바와 같이, 하부가 측면에서 보아 하단을 향하여 폭이 좁아지는 사다리꼴 형상이 되어 있다. 또한, 홀더(50)의 사다리꼴 형상 부분에는, 각각 보유지지부(54a, 54b)가 형성되고, 보유지지부(54a, 54b)와의 사이에 보유지지 홈(55)이 형성되어 있다. 보유지지 홈(55)의 서로 대향하는 내측면(56a, 56b)은, 수평면(XY 평면)에 수직이다.

또한, 도 3(a), (b)의 구성에서는, 홀더(50)가, 1개의 기재로 구성되어 있지만, 예를 들면, 보유지지부(54a, 54b)를 각각 갖는 2개의 기재를 고정함으로써 홀더(50)가 형성되어도 좋다.

보유지지부(54a, 54b)에는, 지지축(52)이 삽입되는 구멍(57a, 57b)이, 보유지지 홈(55)을 걸치도록 형성되어 있다. 구멍(57a, 57b)의 지름은, 지지축(52)의 지름보다도 약간 크다. 본 실시 형태에 있어서는, 구멍(57a, 57b)의 중심이 중심축(L) 상에 위치하도록 구멍(57a, 57b)이 형성되어 있다.

스크라이빙 휠(40)이 보유지지 홈(55)에 삽입된 상태에서, 스크라이빙 휠(40)의 관통 구멍(41)과 구멍(57a, 57b)에 지지축(52)이 삽입된다.

보유지지부(54a)의 Y축 정측의 측면에는, 고정쇠(58a)가 나사(59a)로 부착되고, 보유지지부(54b)의 Y축 부측(負側)의 측면에는, 고정쇠(58b)가 나사(59b)로 부착되어, 구멍(57a, 57b)을 폐색한다.

도 1에 나타내는 바와 같이, 홀더 유닛(30)의 베어링(51a, 51b)은 지지부(21)의 개구부(21a)에 삽입되고, 홀더(50)가 스크라이브 헤드(20)의 하단으로부터 노출하도록, 스크라이브 헤드(20)에 부착된다. 이 때, 홀더 유닛(30)은, 회전축(53)을 중심으로 하여 회전 자유롭게 되어 있다.

스크라이빙 휠(40)은, 예를 들면, 소결 다이아몬드나 초경 합금 등으로 형성된, 원판 형상의 부재이다. 스크라이빙 휠(40)에는, 지지축(52)이 삽입되는 관통 구멍(41)이 형성되어 있다. 관통 구멍(41)은, 스크라이빙 휠(40)의 양 측면의 중심을 관통하도록 형성되어 있다. 또한, 스크라이빙 휠(40)에는, 능선을 형성하는 V자 형상의 날이 외주부에 형성되어 있다. 스크라이빙 휠(40)은, 예를 들면, 두께가 0.4∼1.1㎜ 정도, 외경이 1.0∼5.0㎜ 정도이다. 또한, 관통 구멍(41)의 지름은, 예를 들면, 0.4∼1.5㎜ 정도, 날의 날끝각은, 90∼150°정도이다.

홀더(50)는, 스테인리스나 탄소 공구강으로 구성되어 있다. 또한, 지지축(52)은, 예를 들면, 소결 다이아몬드나 초경 합금 등으로 형성된, 원주 형상의 부재이고, 일단 또는 양단이 첨두 형상으로 되어 있다. 지지축(52)의 지름은, 스크라이빙 휠(40)의 관통 구멍(41)의 지름보다도 약간 작다. 지지축(52)의 지름은, 예를 들면, 관통 구멍(41)의 지름이 0.8㎜일 때 0.77㎜ 정도이다. 지지축(52)이 관통 구멍(41)에 삽입된 상태에서는, 지지축(52)과 관통 구멍(41)의 사이에 간극(클리어런스)이 발생한다.

도 3(b)에 있어서, 일점 쇄선은, 회전축(53)의 중심선인 축심(S)을 나타낸다. 이점 쇄선은, 지지축(52)을 통과하고, 회전축(53)에 평행한 방향으로 스크라이빙 휠(40)의 중심축을 통과하는 중심축(L)이다. 또한, 점 A는, 기판(F)의 표면(H)에 스크라이빙 휠(40)이 접촉했을 때의 위치이고, 축심(S)과 기판(F)의 표면(H)이 이루는 각이 90°일 때, 중심축(L) 상에 위치한다. 도 3(b)에 나타낸 홀더 유닛(30)에서는, 축심(S) 및 중심축(L)은, 기판(F)의 표면(H)에 대하여 수직으로 연장되어 있고, 서로 일치하지 않고, 어긋난 위치에 배치되어 있다. 즉, 축심(S)은, 중심축(L)으로부터 거리(D1)만큼 전방으로 오프셋되어 있다. 여기에서, 본 명세서에 있어서, 이 거리(D1)에 대해서, 「중심축(L)과 축심(S)의 오프셋량은 D1이다」, 혹은, 「오프셋량 D1」이라고 표현하는 경우가 있다. 또한, 오프셋량 D1을, 「초기의 오프셋량」이라고 표현하는 경우도 있다.

다음으로, 기울기 조절부(60)에 대해서 설명한다. 도 4(a), (b)는, 실시 형태 1에 따른 스크라이브 장치(1)의 기울기 조절부(60)를 설명하기 위한 개략도이다. 도 4(c)는, 실시 형태 1에 따른 스크라이브 장치(1)에 있어서, 홀더 유닛(30)이 부착된 스크라이브 헤드(20)의 개략도이다. 상기에서 설명했지만, 도 2(a), (b)에 나타내는 바와 같이, 기울기 조절부(60)는, 지지부(21)와 홀더 조인트 브래킷(26)의 사이에 배치되어 있다.

도 4(a), (b)에 나타내는 바와 같이, 기울기 조절부(60)는, 직사각 형상의 부재인 홀더 조인트 브래킷(26)의 정면측에 형성되어 있는 구멍(61) 및 가이드(62)와, 접합부(63)를 구비하고 있다. 구멍(61)은, 홀더 조인트 브래킷(26)에 있어서, X축 정측 또한 Z축 정측에 형성되어 있다. 가이드(62)는, 홀더 조인트 브래킷(26)에 있어서, X축 부측 또한 Z축 부측으로서 구멍(61)과 대향하는 위치에, 기판(F)의 표면(H)으로부터 수직으로 연장되는 선에 대하여 X축 부측에 경사지는 바와 같은 형상으로 형성되어 있는 긴 구멍이다.

접합부(63)는, 직사각 형상의 부재이다. 접합부(63)의 사이즈는, 접합부(63)를 홀더 조인트 브래킷(26)에 겹친 경우, 홀더 조인트 브래킷(26)의 구멍(61) 및 가이드(62)의 적어도 일부가 접합부(63)의 배면 내에 들어가는 바와 같은 사이즈라면 좋다. 접합부(63)는, X축 정측 또한 Z축 정측에 구멍(64)이 형성되어 있고, 구멍(64)의 대각선상에 구멍(65)이 형성되어 있다. 접합부(63)를 홀더 조인트 브래킷(26)에 접속할 때, 우선, 구멍(61)과 구멍(64)이 연통하도록 하여 접합부(63)를 홀더 조인트 브래킷(26)에 겹치고, 구멍(61) 및 구멍(64)에 나사(66)를 통하여 고정한다. 다음으로, 도 3(b)에 나타내는 바와 같이, 접합부(63)의 구멍(64)을 중심으로 하여, 접합부(63)의 구멍(65)이 가이드(62)를 따르도록 회동시키고, 구멍(65)과 가이드(62)에 걸어맞춤부(67)를 통하여 고정한다. 이와 같이 하여, 홀더 조인트 브래킷(26)에 접합부(63)를 접속한다. 도 3(b)에 나타내는 바와 같이, 접합부(63)는, 구멍(64)을 중심으로 하여 회동 가능하기 때문에, 가이드(62)에 있어서의 걸어맞춤부(67)의 위치에 따라 접합부(63)의 기울기를 바꿀 수 있다. 또한, 걸어맞춤부(67)는, 예를 들면, 나사이다. 이와 같이 하여, 홀더 조인트 브래킷(26)과 접합부(63)가 접속된다.

상기와 같이 구성된 기울기 조절부(60)에 의해, 예를 들면, 도 4(c)에 나타내는 바와 같이, 스크라이브 헤드(20)에, 지지부(21) 및 홀더 유닛(30)을 기울인 상태로 부착할 수 있다.

또한, 상기의 구성에서는, 홀더 조인트 브래킷(26)에 구멍(61) 및 가이드(62)가 형성되어 있지만, 이들을 접합부(63)에 형성해도 좋다. 이 경우, 홀더 조인트 브래킷(26)에, 구멍(64) 및 구멍(65)이 형성된다.

［오프셋량에 관한 고찰］

다음으로, 상기의 오프셋량에 관하여 본 발명자가 얻은 새로운 인식에 대해서, 이하, 검증 결과를 포함하여 설명한다. 도 5(a), (b) 및 도 6(a), (b)는, 실시 형태 1에 따른 스크라이브 장치(1)에 있어서, 오프셋량의 변화를 설명하기 위한 도이다. 여기에서, 실시 형태 1에 있어서, 「회전축(53)의 축심(S)을 기판(F)의 표면(H)에 대하여 기울인다」를, 「회전축(53)을 기판(F)에 대하여 기울인다」라고 표현하는 경우가 있고, 또한, 「회전축(53)의 축심(S)과 기판(F)의 표면(H)이 이루는 각」은, 「축심(S)과 기판(F)이 이루는 각」이라고 표현하는 경우가 있다.

회전축(53)을 기판(F)에 대하여 기울이는, 즉, 홀더 유닛(30)을 기판(F)에 대하여 기울이면, 스크라이빙 휠(40)은, 기판(F)의 표면(H)과 접촉하는 위치가 바뀐다. 예를 들면, 도 3(b)에 있어서, 점 A는, 홀더 유닛(30)을 기울이기 전, 기판(F)의 표면(H)에 스크라이빙 휠(40)이 접촉했을 때의 위치이다. 이 점 A에 대하여, 도 5(a)에 나타내는 바와 같이, 회전축(53)을 기판(F)에 대하여 기울인 경우, 즉, 축심(S)과 기판(F)이 이루는 각이 85도인 경우, 스크라이빙 휠(40)이 기판(F)의 표면(H)과 접촉하는 위치는, 점 B이다. 도 5(a) 중의 실선은, 점 B를 통과하고 또한 회전축(53)과 평행한 축 R이다. 이와 같이, 회전축(53)을 기판(F)에 대하여 기울인 경우, 스크라이빙 휠(40)에 있어서 기판(F)의 표면(H)과 접촉하는 위치가 변화한다.

상기와 동일하게, 도 5(b)는, 기판(F)과 축심(S)이 이루는 각을 75도로, 도 6(a)는 65도, 도 6(b)는 105도(즉, －75도임)로 설정한 경우를 나타내고 있다. 도 5(a), (b) 및, 도 6(a)에 나타내는 바와 같이, 스크라이브 방향과는 반대 방향으로 회전축(53)을 기울이면, 점 B의 위치는 스크라이브 방향과 반대 방향으로 시프트하여, 축(R)과 축심(S)의 거리는, D1에 비하여 커진다. 한편, 도 6(b)에 나타내는 바와 같이, 스크라이브 방향과 동방향으로 회전축(53)을 기울이면, 축(R)과 축심(S)의 거리는, D1에 비하여 작아진다. 도 5(a)∼도 6(b)에 있어서 D2, D3, D4, D5는, 각각, 축심(S)과 축(R)의 거리이다. 또한, 오프셋량이 0보다 작은(축(R)이 축심(S)보다도 스크라이브 방향 전방에 위치함) 경우에는, 캐스터 효과를 얻을 수 없게 되어, 스크라이빙 휠(40)의 자세가 안정되기 어려워진다.

상기한 바와 같이, 오프셋량은, 「스크라이빙 휠(40)과 기판(F)의 표면(H)과 접촉하는 점을 통과하고 또한 축심(S)에 평행한 축과, 축심(S)의 거리」이다. 이로부터, 본 발명자는, 회전축(53)을 기울임으로써, 스크라이빙 휠(40)과 기판(F)의 표면(H)과 접촉하는 점은 변화하기 때문에, 오프셋량도 변화하는 것은 아닐까 예측하여, 스크라이빙 휠, 홀더 유닛 및, 지지부를 확대한 모형을 제작하여, 이하와 같은 검증을 행했다.

＜검증＞

[검증 1]

홀더 유닛의 자세와 스크라이빙 휠의 거동의 관계를 확인하기 위해, 스크라이브 개시 시에 홀더 및 스크라이빙 휠을 스크라이브 방향에 대하여 90°회전시킨 상태로부터 스크라이브 라인을 형성시키고, 스크라이브 라인의 형성 개시시의 스크라이브 라인을 촬상했다. 또한, 검증 1의 홀더 유닛의 자세는, 도 3(b)에 나타난 홀더 유닛과 같이, 홀더 유닛과 기판 표면이 이루는 각이 90°가 되는 자세였다. 또한, 스크라이빙 휠의 모형의 크기는 외경 25㎜, 초기의 오프셋량은 5.3㎜로 했다.

[검증 2]

검증 2는, 홀더 유닛을 기판의 표면에 대하여 75도 기울인 상태로 한 후, 기판에 스크라이브 라인을 형성시켜, 스크라이브 라인의 형성 개시시의 스크라이브 라인을 촬상했다. 그 외의 조건은, 검증 1과 동일하다. 또한, 검증 2의 홀더 유닛의 자세는, 도 5(b)에 나타난 홀더 유닛의 자세였다.

[검증 3]

검증 3은, 홀더 유닛을 기판의 표면에 대하여 105도(－75도) 기울인 상태로 한 후, 기판에 스크라이브 라인을 형성시켜, 스크라이브 라인의 형성 개시시의 스크라이브 라인을 촬상했다. 그 외의 조건은, 검증 1과 동일하다. 또한, 검증 2의 홀더 유닛의 자세는, 도 6(b)에 나타난 홀더 유닛 자세였다.

[검증 1∼3의 결과]

검증 1∼3에 있어서 촬상된 사진을 도 7(a)∼(c)에 나타낸다. 도 7(a)∼(c)의 사진은, 각각, 검증 1∼검증 3에 대응한다. 도 7(a)∼(c)에 나타내는 바와 같이, 스크라이브 라인의 형성 개시시에 있어서는, 완만한 곡선이 유리 기판에 스크라이브되어, 서서히 일직선상으로 되어 있었다. 본 검증에 있어서는, 스크라이브 개시 시에 홀더 및 스크라이빙 휠을 스크라이브 방향에 대하여 90°회전시키고 있다. 스크라이브 개시 후, 스크라이브 헤드의 이동에 수반하여 홀더 유닛이 스크라이브 헤드에 추종하여 완만한 곡선이 스크라이브되고, 서서히 스크라이브 라인이 일직선 형상이 된다. 본 검증에 있어서는, 홀더 유닛의 각도의 효과를 확인하기 위해 의도적으로 홀더 유닛을 회전시켜 스크라이브를 행했지만, 통상의 스크라이브에 있어서도 스크라이빙 휠이 기판에 접촉했을 때, 홀더 유닛의 방향이 스크라이브 방향과 일치하지 않는 경우가 있다. 이 경우에도, 스크라이브 헤드의 이동과 함께 홀더 유닛의 방향이 스크라이브 방향과 일치할 때까지 홀더 유닛이 회전하게 되어, 곡선의 스크라이브 라인이 형성된다. 스크라이브 라인의 형성에 있어서, 스크라이브 라인의 형성 개시 위치와, 스크라이브 라인이 일직선 형상이 된 최초의 위치의 거리는, 일반적으로, 「모방량」이라고 칭해진다. 모방량은, 오프셋량에 따라 변화하는 것이 알려져 있다. 도 7(a)∼(c)에 있어서, 모방량을 각각, d1, d2, d3으로 한다.

도 7(a)∼(c)에 나타내는 바와 같이, 홀더 유닛을 기울인 경우, 모방량이 변화했다. 상기와 같이, 모방량은, 오프셋량에 따라 변화하는 것이 알려져 있다.

따라서, 검증 1∼3의 결과로부터, 홀더 유닛을 기울이는, 즉, 회전축을 기판의 표면에 대하여 기울인 경우, 스크라이빙 휠의 유리 기판과 접촉하는 점이 바뀌기 때문에, 이 점을 통과하고 또한 축심(S)에 평행한 축과 회전축의 축심의 거리야말로, 오프셋량인 것이 판명되었다. 이와 같은 오프셋량을, 당초 설정되어 있던 오프셋량에 대한 오프셋량으로 하여, 「실질의 오프셋량」이라고 칭한다. 도 5(a), (b) 및 도 6(a), (b)에 있어서의 D2∼D5가, 이 실질의 오프셋량에 상당한다. 검증 2 및 3에서는, 실질의 오프셋량은, 검증 2에서는 8.2㎜, 검증 3에서는 2.0㎜였다.

이상으로부터, 예를 들면 외경 2.5㎜의 실제의 스크라이빙 휠을 이용한 경우, 축심(S)을 90°로부터 스크라이브 방향 전후로 15°기울이면, 스크라이브 전후 방향으로 약 0.3㎜ 오프셋량이 변화한다고 추정된다. 실질의 오프셋량에 대해서는, 스크라이빙 휠의 외경에 따라 변화하고, 계산에 의해 구할 수 있다.

또한, 검증 1∼3의 결과에 의하면, 스크라이브 방향과 동일한 방향으로 회전축을 기울인 경우(검증 3), 모방량이 가장 작았다. 따라서, 스크라이브 방향에 대하여 동일 또는 반대의 어느쪽 방향으로 기울이는가에 따라서도, 오프셋량의 변화에 영향을 주는 것을 알았다.

＜실시 형태 1의 효과＞

(1) 도 5(a), 도 6(a), (b) 및 도 7(a)∼(c)에 나타내는 바와 같이, 회전축(53)을 기울이면, 오프셋량을 변화시킬 수 있다. 따라서, 소정의 오프셋량으로 설정되어 있던 스크라이브 장치라도, 회전축(53)의 축심(S)과 기판(F)의 표면(H)이 이루는 각을 조절함으로써, 소망하는 오프셋량으로 변화시킬 수 있다. 이에 따라, 스크라이빙 휠(40)의 재질, 사이즈, 혹은, 기판(F)의 재질 등에 따라서, 오프셋량이 상이한 홀더 유닛을 나누어 사용할 필요가 없어진다.

(2) 도 7(a), (b)에 나타내는 바와 같이, 회전축(53)을 스크라이브 방향과 반대 방향으로 기울인 경우, 회전축(53)을 기울이지 않는 경우에 비하여, 모방량은 컸다. 모방량이 큰 경우, 캐스터 효과가 보다 확실하게 발생하기 때문에, 특히 스크라이브 속도가 고속인 경우에 있어서도 홀더 유닛(30) 및 스크라이빙 휠(40)의 자세가 안정되기 쉬워진다.

또한, 도 7(b), (c)에 나타내는 바와 같이, 회전축(53)을 스크라이브 방향으로 기울인 경우, 회전축(53)을 기울이지 않는 경우에 비하여, 모방량은 작았다. 따라서, 스크라이브 개시로부터 보다 짧은 거리로 스크라이브 라인을 일직선 형상으로 할 수 있다.

(3) 도 4(a)∼(c)에 나타내는 바와 같이, 홀더 유닛(30)은, 기울기 조절부(60)에 의해, 기울기가 조절되고, 홀더 조인트 브래킷(26)에 부착된다. 이와 같이, 간단하게 회전축(53)의 기울기를 조절할 수 있다.

(4) 도 4(a)∼(c)에 나타내는 바와 같이, 스크라이브 헤드(20)에는, 기울기 조절부(60)가 형성된다. 이 때문에, 스크라이브 장치(1)에, 기울기 조절부(60)의 구성을 추가하면, 기존의 홀더 유닛(30)을 기울게 할 수 있어, 회전축(53)의 기울기를 조절할 수 있다. 따라서, 오프셋량을 소망하는 값으로 설정할 수 있다.

＜실시 형태 2＞

상기 실시 형태 1은, 지지부(21)에 홀더 유닛(30)을 부착하고, 지지부(21)와 홀더 조인트 브래킷(26)에 개재하는 기울기 조절부(60)에 의해, 지지부(21) 및 홀더 유닛(30)을 기울이는, 즉, 회전축(53)을 기울여, 오프셋량을 변경했다. 실시 형태 2에서는, 스크라이브 헤드(20)의 지지판(27)의 배면에 기울기 조절부(70)를 형성함으로써, 회전축(53)을 기울이는 것이 가능한 구성으로 한다.

도 8(a)는, 실시 형태 2에 따른 스크라이브 장치(1)에 있어서, 기울기 조절부(70)와 스크라이브 헤드(20)의 접속을 설명하는 개략도이다. 도 8(b), (c)는, 실시 형태 2에 따른 스크라이브 장치에 있어서, 홀더 유닛이 부착된 스크라이브 헤드의 개략도이다. 도 8(a), (b)에 나타내는 바와 같이, 기울기 조절부(70)는, 베이스부(71)와, 연결부(72)를 구비하고 있다. 또한, 도 8(c)에서는, 연결부(72)를 생략하고 있다.

베이스부(71)는, 상단부에 구멍(73)이 형성되어 있고, 도시하지 않은 승강 기구에 나사(74)로 부착된다. 승강 기구는, 이동부(19)에 접속되어, 스크라이브 헤드(20)를 승강시킨다. 베이스부(71)에는, 구멍(75)과 가이드(76)가 형성되어 있다. 구멍(75)은, 베이스부(71)에 있어서, X축 정측 또한 Z축 정측에 형성되어 있다. 가이드(76)는, 베이스부(71)에 있어서, X축 부측 또한 Z축 부측으로서 구멍(75)과 대향하는 위치에, 기판(F)의 표면(H)으로부터 수직으로 연장되는 선에 대하여 X축 부측에 경사지는 바와 같은 형상으로 형성되어 있는 긴 구멍이다.

연결부(72)는, 직사각 형상의 부재이다. 연결부(72)의 사이즈는, 연결부(72)를 베이스부(71)에 겹친 경우, 베이스부(71)의 구멍(75) 및 가이드(76)의 적어도 일부가 연결부(72)의 배면 내에 들어가고, 또한, 지지판(27)의 구멍(27a)에 겹치는 사이즈라면 좋다.

연결부(72)는, X축 정측 또한 Z축 정측에 구멍(77)이 형성되어 있고, 구멍(77)의 대각선 상에 구멍(78)이 형성되어 있다. 연결부(72)를 베이스부(71)에 접속할 때, 우선, 구멍(75)과 구멍(77)이 연통하도록 하여 연결부(72)를 베이스부(71)에 겹치고, 구멍(75) 및 구멍(77)에 나사(79)를 통하여 고정한다. 다음으로, 연결부(72)의 구멍(77)을 중심으로 하여, 연결부(72)의 구멍(78)이 가이드(76)를 따르도록 회동시키고, 구멍(78)과 가이드(76)에 걸어맞춤부(80)를 통해 고정한다. 이와 같이 하여, 베이스부(71)에 연결부(72)를 접속한다. 도 8(a)에 나타내는 바와 같이, 연결부(72)는, 구멍(77)을 중심으로 하여 회동 가능하기 때문에, 가이드(76)에 있어서의 걸어맞춤부(80)의 위치에 따라 연결부(72)의 기울기를 바꿀 수 있다. 또한, 걸어맞춤부(80)는, 예를 들면, 나사이다. 이와 같이, 스크라이브 헤드(20)를 이동부(19)에 고정한 상태에서, 홀더 유닛(30)의 기울기를 바꾸어, 오프셋량을 변경할 수 있다.

상기한 실시 형태 1에서는, 스크라이브 헤드(20)는 이동부(19)에 고정된 상태에서 홀더 유닛(30)을 기울이는 구성으로 했지만, 실시 형태 2에서는, 스크라이브 헤드(20) 전체를 기울이는 구성이다. 이와 같은 구성은, 기울기 조절부(70)를 추가하면 되기 때문에, 기존의 스크라이브 헤드(20)를 실시 형태 2와 같이, 간단하게 구성할 수 있다.

＜그 외＞

(1) 실시 형태 1에 있어서, 홀더 조인트 브래킷(26)에는, 접합부(63)가 회동 가능하도록 가이드(62)를 긴 구멍으로 하는 구성으로 했지만, 복수의 구멍을 배열해도 좋다. 이 경우도, 접합부(63)를 회동시키고, 홀더 조인트 브래킷(26)에 형성되어 있는 구멍 중 적절한 구멍과 접합부(63)의 구멍(65)이 연통하도록 이동부(19)에 접합부(63)를 겹치고, 나사로 고정한다. 이와 같이, 단계적으로 접합부(63)의 기울기를 조절할 수 있어, 회전축(53)의 기울기를 변경할 수 있다. 따라서, 오프셋량을 변경할 수 있다. 또한, 구멍(64)에 대응하는 홀더 조인트 브래킷(26)의 구멍(61)을 대신하여, 긴 구멍 또는 복수의 구멍을 홀더 조인트 브래킷(26)에 형성함으로써, 접합부(63)의 각도를 변경하도록 해도 좋다. 실시 형태 2에 있어서도 동일하다.

(2) 실시 형태 1에 있어서, 도 3(b)에 나타내는 바와 같이, 오프셋량을 D1로 하여 설정되어 있었지만, 오프셋량이 0, 즉, 축심(S)과 중심축(L)을 일치시킨 홀더 유닛(30)을 구성해도 좋다. 이와 같은 경우, 홀더 유닛(30)을 스크라이브 방향 후방으로 기울이면, 스크라이빙 휠(40)에 있어서 기판(F)의 표면(H)과 접촉하는 위치는 바뀌기 때문에, 오프셋량을 바꿀 수 있다. 단, 축심(S)과 중심축(L)이 일치한 상태에서 축심(S)을 스크라이브 방향 전방으로 기울이면, 축(R)이 축심(S)보다도 스크라이브 방향 전방으로 위치하게 된다. 이 경우, 실질의 오프셋량이 0보다도 작아지기 때문에, 캐스터 효과를 얻을 수 없게 되어, 스크라이빙 휠의 자세가 안정되기 어려워진다.

(3) 도 3(b)에 나타내는 바와 같이, 실시 형태 1에 따른 홀더 유닛(30)은, 축심(S)에 대하여 중량이 상위하다. 이 때문에, 회전축(53)을 경사시키면, 홀더 유닛(30)은 회전축(53)을 중심으로 회전하고, 중량이 무거운 쪽이 기판(F)에 가까이 가는 자세를 취한다. 따라서, 스크라이빙 휠(40)을 기판(F)의 표면(H)에 접촉시키면, 홀더 유닛(30)은 회전축(53)을 중심으로 회전하고, 즉시, 자중(自重)에 의해 축심(S)에 대하여 중량이 무거운 쪽이 기판(F)에 가까이 가는 자세를 취한다. 즉, 홀더 유닛(30)은, 스크라이브 방향에 대하여 후방측이 기판(F)의 표면(H)에 가까이 가도록 기울어진다. 이와 같이, 홀더 유닛(30)의 자세가 안정화된다.

따라서, 스크라이브 장치(1)를 이용하여 기판(F)의 표면(H)에 스크라이브 라인을 형성하는 경우, 도 5(a), (b), 도 6(a)에 나타내는 바와 같이, 홀더 유닛(30)을 스크라이브 방향과는 반대 방향으로 경사시키면, 홀더 유닛(30)의 자세가 안정된 상태에서 스크라이브 라인을 형성할 수 있다. 실시 형태 2에 있어서도 동일하다.

(4) 상기 (2)의 경우에도, 홀더 유닛(30)의 중량 밸런스를 중심축(L)에 대하여 상위하도록 구성할 수 있다. 예를 들면, 중심축(L)에 대하여, 한쪽의 측에 추를 형성한다. 이에 따라, 홀더 유닛(30)은, 중심축(L)에 대하여 2개의 부분의 중량이 서로 상위하다. 따라서, 회전축(53)을 경사시키면, 홀더 유닛(30)은 회전축(53)을 중심으로 회전하고, 추를 형성한 쪽이 자중에 의해 기판(F)의 표면(H)에 가까이 가는 자세를 취한다. 따라서, 홀더 유닛(30)의 자세가 안정된다.

또한, 홀더 유닛(30)에 있어서, 지지축(52)의 위치를 중심축(L)과 상위하게 하거나, 홀더(50)를 중심축(L)에 대하여 비대칭인 형상으로 하거나 함으로써 중량을 상위하게 할 수 있다. 이에 따라, 회전축(53)을 경사시키면, 홀더 유닛(30)은 회전축(53)을 중심으로 회전하고, 중량이 무거운 쪽이 자중에 의해 기판(F)의 표면(H)에 가까이 가는 자세를 취한다. 따라서, 홀더 유닛(30)의 자세가 안정된다.

1 : 스크라이브 장치
20 : 스크라이브 헤드
21 : 지지부
30 : 홀더 유닛
40 : 스크라이빙 휠
53 : 회전축
60, 70 : 기울기 조절부
62, 76 : 가이드
63 : 접합부
80 : 걸어맞춤부
71 : 베이스부
72 : 연결부
F : 기판
H : 기판의 표면
L : 중심축
R : 축심(S)과 평행한 축
S : 축심

Claims

기판의 표면에 스크라이빙 휠로 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 장치로서,
상기 스크라이빙 휠을 보유지지하고, 회전축의 둘레로 회전 가능한 홀더 유닛과,
상기 홀더 유닛을 지지하는 지지부를 통하여 보유지지하는 스크라이브 헤드와,
스크라이브 방향에 있어서의 상기 기판의 표면과 상기 회전축의 축심이 이루는 각을 조절하기 위한 기울기 조절부를 구비하고,
상기 기판의 표면과 상기 회전축의 축심이 이루는 각을 변화시킴으로써, 상기 스크라이빙 휠이 상기 기판의 표면과 접촉하는 점을 통과하고 또한 상기 회전축의 축심에 평행한 축과, 상기 회전축의 축심의 거리인 실질의 오프셋량을 변화시키는 것을 특징으로 하는 스크라이브 장치.
제1항에 있어서,
상기 기울기 조절부는, 상기 지지부와 접합하는 접합부를 구비하고,
상기 접합부는, 상기 기판의 표면에 수직인 선에 대하여 경사진 가이드와, 상기 가이드에 걸어맞춤하는 걸어맞춤부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 스크라이브 장치.
제1항에 있어서,
상기 기울기 조절부는, 상기 스크라이브 헤드에 접속하는 베이스부와, 상기 베이스부에 연결되는 연결부를 구비하고,
상기 베이스부는, 상기 기판의 표면에 수직인 선에 대하여 경사진 가이드와, 상기 가이드에 걸어맞춤하는 걸어맞춤부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 스크라이브 장치.
회전축의 둘레로 회전 가능한 홀더 유닛에 스크라이빙 휠이 보유지지된 스크라이브 헤드를 이용하여 기판의 표면에 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 방법으로서,
스크라이브 조건에 따라서, 스크라이브 방향에 있어서의 상기 기판의 표면과 상기 회전축의 축심이 이루는 각을 변경함으로써, 상기 스크라이빙 휠이 상기 기판의 표면과 접촉하는 점을 통과하고 또한 상기 회전축의 축심에 평행한 축과, 상기 회전축의 축심의 거리인 실질의 오프셋량을 변화시켜, 상기 스크라이브 라인을 형성하는 것을 특징으로 하는 스크라이브 방법.