JP2004215419A - リニアモータ、リニアモータの冷却方法及びステージ装置並びに露光装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】コイル70を有するリニアモータにおいて、コイル70表面に沿って設けられ、コイル70を冷却する冷媒が一方向に流動する第1流路65aと、第1流路65aと平行に設けられ、一方向とは反対方向に冷媒が流動する第2流路65bとを備え、第1流路65aと第2流路65bとはコイル70表面と平行な同一平面上に配列されていることを特徴とする。
【選択図】 図3
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、リニアモータ、リニアモータの冷却方法及びステージ装置並びに露光装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
半導体素子や液晶表示素子等のマイクロデバイスはマスク上に形成されたパターンを基板(感光基板)上に転写するいわゆるフォトリソグラフィの手法により製造される。このフォトリソグラフィ工程で使用される露光装置は、マスクを支持して2次元移動するマスクステージと基板を支持して2次元移動する基板ステージとを有し、マスク上に形成されたパターンをマスクステージ及び基板ステージを逐次移動しながら投影光学系を介して基板に転写するものである。露光装置としては、基板上にマスクのパターン全体を同時に転写する一括型露光装置と、マスクステージと基板ステージとを同期走査しつつマスクのパターンを連続的に基板上に転写する走査型露光装置との2種類が主に知られている。いずれの露光装置においてもマスクと基板との相対位置を高精度に一致させてマスクパターンの転写を行うことが要求されるため、マスクステージ及び基板ステージの位置決め精度は露光装置の最も重要な性能の一つである。
【0003】
従来、上記基板ステージ及びマスクステージ(以下、両者を総称してステージという)の駆動源としては、リニアモータが用いられているが、リニアモータからの発熱はステージ位置決め精度に影響を及ぼす。例えば、リニアモータからの発熱によって周囲の部材が熱変形したり、ステージの位置検出に用いられる光干渉式測長計の光路上における空気温度を変化させて測定値に誤差を生じさせる。従って、リニアモータからの発熱が周囲に伝わるのを防ぐために、リニアモータのコイルをジャケット(キャン)に収容し、このハウジング内部に冷媒を供給する従来技術がある(例えば、特許文献1、2参照)。
【0004】
【特許文献1】
特開2000−253623号公報
【特許文献2】
特開2001−025227号公報
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来技術には以下に述べる問題が生じるようになった。
特許文献1の従来技術は、冷媒の入口及び出口付近のジャケット外部の温度上昇と、表面温度分布の不均一を招く問題がある。特許文献2の従来技術は、複数の冷媒流路を設けたことによりコイルと磁石との間隔が大きくなり、推力の低下を招く問題がある。更に、上記技術においては、冷媒流量の増加を増加させる場合に、冷媒液圧によってジャケットが膨張し、磁石側と接触する恐れがあり、冷媒流量を上げることが難しい問題がある。
【0006】
本発明は、以上のような点を考慮してなされたもので、推力を低下させることなく、ジャケットの表面温度分布を均一にできるリニアモータ、リニアモータの冷却方法及びステージ装置並びに露光装置を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために本発明は、実施の形態を示す図1から図12に対応付けした以下の構成を採用している。
本発明のリニアモータ(20、30、40)は、コイル(70)を有するリニアモータにおいて、コイル(70)表面に沿って設けられ、コイル(70)を冷却する冷媒が一方向に流動する第1流路(65a)と、第1流路(65a)と平行に設けられ、一方向とは反対方向に冷媒が流動する第2流路(65b)とを備え、第1流路(65a)と第2流路(65b)とはコイル(70)表面と平行な同一平面上に配列されていることを特徴とする。従って、本発明のリニアモータでは、コイル(70)の発熱を冷媒が吸収することにより、第1流路(65a)及び第2流路(65b)の出口側付近と入口側付近とにおいて冷媒の温度差が生じるが、第1流路(65a)及び第2流路(65b)の冷媒は、相互に反対方向に流れるので、当該温度差が相殺され、全体としてのコイル(70)表面の温度分布を均一にできると共に、リニアモータからの発熱の周囲への影響を抑制できる。
【0008】
また、本発明のリニアモータ(20、30、40)は、複数のコイル(70)と、複数のコイル(70)を収納すると共にコイル(70)を冷却する冷媒が内部に供給されるジャケット(101)とを備えるリニアモータにおいて、ジャケット(101)は、冷媒が流れる複数の流路(65)を複数のコイル(70)との間で形成する隔壁(64)と、複数の流路(65)の各々に対応して設けられた冷媒供給口(66)とを有することを特徴とする。従って、本発明のリニアモータでは、隔壁(64)を設けたことにより冷媒の流動を整流できる。また、ジャケット(101)の強度が向上し、冷媒の液圧によるジャケット(101)の膨張を抑制し、コイル(70)と磁石(91)との距離を近づけることができ、推力の向上が可能になる。
【0009】
また、本発明のリニアモータの冷却方法は、互いに並行に設けられた複数の流路(65a、65b)に冷媒を流してコイル(70)を冷却するリニアモータ(20、30、40)の冷却方法であって、隣り合う流路(65a、65b)を流れる冷媒の流動方向が、互いに反対方向となるように冷媒を流すことを特徴とする。従って、本発明のリニアモータの冷却方法では、冷媒がコイル(70)の発熱を吸収することにより、流路(65a、65b)の出口側付近と入口側付近とにおいて冷媒の温度差が生じるが、流路(65a、65b)の冷媒は、互いに反対方向に流れるので、当該温度差が相殺され、全体としてのコイル(70)表面の温度分布を均一にできると共に、リニアモータからの発熱の周囲への影響を抑制できる。
【0010】
また、本発明のリニアモータの冷却方法は、複数の流路(65)に冷媒を流して複数のコイル(70)を冷却するリニアモータ(20、30、40)の冷却方法であって、複数のコイル(70)のうちから選択されたコイル(70)に対応して複数の流路(65)からいずれかの流路(65)を選択し、当該選択された流路(65)の冷媒の供給量を変更することを特徴とする。従って、本発明のリニアモータの冷却方法では、複数の流路(65)の全てに冷媒を樹供給する必要がなく、選択された流路(65)に対して冷媒を供給することができる。また、冷媒の供給量を変更することにより好適にコイル(70)を冷却できる。
【0011】
また、本発明のステージ装置(1、2)は、平面内を移動可能なステージ(MST、PST)と、ステージ(MST、PST)を駆動する駆動装置とを有するステージ装置において、駆動装置は上記記載されたリニアモータ(20、30、40)であることを特徴とする。従って、本発明のステージ装置では、ステージ装置(1、2)の駆動に伴ってリニアモータ(20、30、40)が発熱しても、リニアモータ(20、30、40)の表面温度を均一にできる。
【0012】
また、本発明の露光装置(EX)は、マスクステージ(MST)に保持されたマスク(M)のパターンを基板ステージ(PST)に保持された基板(P)に露光する露光装置において、マスクステージ(MST)と基板ステージ(PST)との少なくともいずれか一方のステージは、上記記載されたステージであることを特徴とする。従って、本発明の露光装置では、マスクステージ(MST)や基板ステージ(PST)の駆動に伴ってリニアモータ(20、30、40)が発熱しても、リニアモータ(20、30、40)の表面温度を均一にできる。そのため、不均一な温度分布に起因する過度の温度上昇を抑制することができ、干渉計に対する揺らぎ等を防止して正確な計測を実施できる。
【0013】
【発明の実施の形態】
(第1実施形態)
図1は、本発明のリニアモータの第1実施形態を示す概略斜視図である。
図1に示すように、リニアモータ40は、所謂ムービングマグネット型のリニアモータであり、X軸方向を長手方向とするコイルユニットからなる固定子41と、磁石ユニットからなる可動子42とを備えている。このうち固定子41は、X軸方向に複数並んで配置されたコイル70と、これらコイル70を収容するコイルユニット60とを備えている。コイル70には電流量が制御された駆動電流が流れる。一方、可動子42は複数の磁石91を有し、固定子41のコイルユニット60を挟んで設けられたヨーク部90を備えている。
【0014】
図2は図1のA−A断面矢視図である。
図2に示すように、磁石91のそれぞれは永久磁石であってヨーク部90に所定方向に複数並んで取り付けられており、異なる磁極の磁石が交互に並んで配置されている。更に、磁石91はコイルユニット60(固定子41)を挟んで異なる磁極同士が互いに対向して配置されている。ここで、磁石91の大きさはコイル70より小さく(コイル70の大きさ以下に)設定されている。なお、ここではヨーク部90における磁束発生手段として永久磁石91を用いているが、電磁石等他の構成を用いてもよい。
【0015】
図3はコイルユニット60の拡大図である。
図3に示すように、コイルユニット60は、冷却管61と、蓋体62と、芯体63とから構成されている。冷却管61は、芯体63及びコイル70を狭持し、リブ(隔壁)64を備えると共に、リブ64によって区切られた流路65a(第1流路)、65b(第2流路)を複数有している。蓋体62は、流路65a、65bを密閉し、冷媒の漏洩を防止するものである。芯体63は、コイル70を形成するための導線を複数巻回する部材である。流路65a、65bのそれぞれの本数は同数であり、互いに隣接して配置しており、コイル70の表面と平行な同一平面上に配列している。流路65aと流路65bとを同数設けることにより、Y方向の温度勾配発生を抑えることができ、流路65aと流路65bとを互いに隣接して配置することにより、X方向の温度勾配発生を抑えることができる。冷媒は、流路65aによって紙面の裏面側から表面側に流動し、流路65bによって紙面の表面側から裏面側に流動し、即ち、流路65a、65bにおいては、冷媒は互いに反対方向に流動する。
【0016】
図4(a)は図1のB−B断面矢視図である。
図4(a)に示すように、コイルユニット60は、供給口66a、66bと、排出口67a、67bと、分岐マニホールド68a、68bと、集合マニホールド69a、69bとを備えた構成となっている。供給口66a、66bは、コイルユニット60に冷媒を供給し、排出口67a、67bは、コイルユニット60から冷媒を排出するものである。分岐マニホールド68a、68bは、供給口66a、66bに供給された冷媒を流路65a、65bに分流し、集合マニホールド69a、69bは、流路65a、65bを流動する冷媒を排出口67a、67bに集合するものである。また、供給口66a及び排出口67aと、供給口66b及び排出口67bとは、コイルユニット60の対角近傍に配置されている。
【0017】
図4(b)は図4(a)のC−C断面の拡大図である。
図4(b)に示すように、上記構成の供給口66a、66bと、排出口67a、67bと、分岐マニホールド68a、68bと、集合マニホールド69a、69bは、破線Dを軸として上下対称に配置されている。
【0018】
冷却管61、蓋体62及び芯体63の形成材料としては、熱伝導率が高い材料を用いることが好ましく、また、非導電性かつ非磁性材料を用いることが好ましい。これにより、冷媒の流動による冷却効率を高めることができると共に、磁束密度が変化するなどのリニアモータの動作に与える影響を抑えることができる。このような材料としては、合成樹脂あるいはセラミックス材料、あるいはステンレス鋼等の金属が挙げられる。合成樹脂としては、例えば、ポリカーボネート樹脂、ポリフェニレンサルファイド樹脂、ポリエーテルエーテルケトン樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリアセタール樹脂、ガラス繊維充填エポキシ樹脂、ガラス繊維強化熱硬化性プラスチック(GFRP)、炭素繊維強化熱硬化性プラスチック(CFRP)等の合成樹脂が挙げられる。
なお、冷却管61及び蓋体62の形成材料として、同じ材料を採用する場合には、冷却管61及び蓋体62を一体形成し、流路65a、65bをドリルによって形成することが好ましい。このような一体形成によって蓋体62を取り付ける作業を削減できるので、組み立て効率が向上する。また、冷却管61と芯体63とを一体に形成した構成であってもよい。この場合、部品点数を減少させることができる。
【0019】
流路65a、65bのピッチ及び流路幅は、冷媒の液圧に対する冷却管61の強度が十分に得られ、かつ、冷却効率を高めるように設定される。例えば、比較的熱伝導率が高く、金属より強度が劣る合成樹脂を冷却管61の形成材料として採用した場合には、冷却管61の強度を得るために、流路65a、65bのピッチを広くし、流路幅を狭めて設定する必要がある。また、比較的熱伝導率が低く、十分な強度を有するセラミクスを冷却管61の形成材料として採用した場合には、冷媒の流動による冷却効率を高めるために、流路65a、65bのピッチを狭めて、流路幅を広く設定する必要がある。
【0020】
分岐マニホールド68a、68bと集合マニホールド69a、69bの径は、流路65a及び65bの径よりも十分に大きいことが好ましい。従って、流路65a、65bにおける冷媒の圧力損失よりも、冷媒が分岐マニホールド68a、68bと集合マニホールド69a、69bにおける冷媒の圧力損失を小さくすることができ、全ての流路65a及び65bの入口側の圧力が略均一になると共に、出口側の圧力が略均一になり、冷媒の流速が均一になり、結果としてコイルユニット60表面温度分布の均一化を図ることができる。
【0021】
冷媒は、液体又は気体であって特に不活性なものが好ましく、ハイドロフルオロエーテル(例えば「ノベックHFE」:住友スリーエム株式会社製)や、フッ素系不活性液体(例えば「フロリナート」:住友スリーエム株式会社製)などが挙げられる。一方、コイル70の導線自体が冷媒に直接触れないようにコイル表面には表面処理が施されていることが好ましい。
【0022】
なお、供給口66a、66bと、排出口67a、67bの位置及びその数は、上記構成に限定することはなく、コイル70の冷却が好適に行う位置及び個数であればよい。また、分岐マニホールド68a及び68bと、集合マニホールド69a及び69bは、上記構成に限定することはなく、コイルユニット60の外部に設けた構成であってもよい。
更に、本実施形態では、コイルユニット60の短手方向(Y方向)に沿って複数の流路65a、65bを設けたが、複数の流路65a、65bをコイルユニット60の長手方向(X方向)に沿って設けてもよい。これにより推力方向となるX方向の温度勾配発生をより効率的に抑えることができる。
【0023】
上記のように構成されたリニアモータ40の動作について説明する。
リニアモータ40の駆動の際には、コイルユニット60に対して温度調整した冷媒が供給され、各コイル70に対して所定電流量の駆動用電流が供給される。各コイル70に発生する電磁力の反力によって可動子42が駆動すると共に、コイル70は発熱し、その熱は冷却管61を介して、蓋体62に伝達し、コイルユニット60の表面温度が上昇する。コイルユニット60に供給された冷媒は、分岐マニホールド68a及び68bによって複数の流路65a及び65bに分岐され、当該流路65a及び65bを流れつつ、コイル70の発熱を吸収し、集合マニホールド69a及び69bに集合し、排出口67a及び67bを介してコイルユニット60から排出される。
【0024】
図5は、コイルユニット60のY軸方向の各箇所における流路65a、65bの冷媒温度と、コイルユニット60の表面温度を示した図である。
図5に示すように、流路65aを流れる冷媒は、コイルユニット60の(−Y)端部付近から(+Y)端部付近に向かって流れる間に、コイル70の発熱を吸収することによって温度上昇する。また、流路65bを流れる冷媒は、コイルユニット60の(+Y)端部付近から(−Y)端部付近に向かって流れる間に、コイル70の発熱を吸収することによって温度上昇する。ここで、流路入口の冷媒温度をT℃、吸熱による上昇温度をdT℃、流路出口の冷媒温度はT+dT℃とすると、流路65a、65bの入口の冷媒温度はT℃となり、流路65a、65bの出口の冷媒温度はT+dT℃となる。冷媒は、流路65a、65bの相互に反対方向に流動するので、(+Y)端部付近では、流路65aの入口の冷媒温度T℃と、流路65bの出口の冷媒温度T+dT℃との温度差が相殺され、T+dT/2℃程度の温度になる。(−Y)端部付近では、流路65bの入口の冷媒温度T℃と、流路65aの出口の冷媒温度T+dT℃との温度差が相殺され、T+dT/2℃程度の温度になる。更に、流路65a、65bは、コイルユニット60の全体に亘って複数形成されているので、コイルユニット60の表面付近は全周に亘ってT+dT/2℃程度の温度となり、温度分布の均一化を図ることができる。これにより、コイル70からの発熱の周囲への伝達が抑えられるので、ステージ装置をはじめとする装置・部材の熱による変形が抑えられ、温度分布の不均一に起因するコイルユニット60の平均温度上昇を抑制することができ、温度上昇により空気揺らぎが生じて干渉計の計測精度が低下することを防止できる。
【0025】
また、流路65a、65bの入口の冷媒温度と、コイルユニット60の表面温度とを比較するとdT/2℃だけ温度上昇することから、冷媒温度を所望の表面温度より予めdT/2℃だけ低く設定することによって、コイルユニット60の表面温度を所望に設定することができる。
【0026】
(第2実施形態)
図6は、本発明のリニアモータの第2の実施形態を示す図である。
この図において、図1から図4に示す第1の実施形態の構成要素と同一の要素については同一符号を付し、その説明を省略する。第1の実施形態と第2の実施形態とにおいては、リニアモータ40のコイルユニット60が相違している。また、第2の実施形態は、複数のコイル70のうちの一部のコイルを励磁し、順次励磁するコイルを切り替える励磁切換式リニアモータを示すものである。
【0027】
図6(a)はコイルユニット60の概略平面図である。
図6(a)に示すように、コイルユニット60は、ジャケット101と、供給口(冷媒供給口)66a、66b…、66hと、排出口67とを具備しており、その内部には、コイル70a、70b…、70hが収容され、複数のリブ64がコイル70の幅間隔に配設されている。リブ64は、コイル70a、70b…、70hが配列する方向(X軸方向)に対して直行する方向(Y軸方向)に設けられ、供給口66a、66b…、66h側の端面から、排出口67側の端面に向かって延在しており、その長さは、ジャケット101のY軸方向の長さより短く設定されている。
【0028】
図6(b)は図6(a)のE−E断面矢視図である。
図6(b)に示すように、コイルコイル70a、70b…、70hに対応して、流路65a、65b…、65hが設けられており、流路65a、65b…、65hのうち、相互に隣接する流路は、リブ64によって区切られている。図6(a)に戻り、供給口66a、66b…、66hに冷媒が供給された際には、冷媒はリブ64によって整流され、矢印105a、105b…、105hに示す方向に流動する。
【0029】
このようなコイルユニット60には、バルブ(流量調整装置)110a、110b…、110hと、バルブ制御部111と、マニホールド68とが付設されており、これらによってコイルユニット60に冷媒が供給される。バルブ110a、110b…、110hは、冷媒の流量調整が可能な流量可変式バルブであって、供給口66a、66b…、66hにそれぞれ対応して設けられている。バルブ制御装置111は、制御装置CONTに応じて、バルブ110a、110b…、110hのうちいずれかを選択し、当該選択されたバルブを駆動するものである。即ち、流路65a、65b…、65hのうちのいずれかの流路を選択して、冷媒流量を増加することが可能になる。
【0030】
このように構成されたリニアモータ40において、コイルの励磁が行われていない場合には、当該コイルの流路に少量の冷媒が供給された状態となっている。ここでいう、少量とはコイルの励磁が行われた場合の流量より少ない流量を意味する。
次に、リニアモータ40を駆動するに際し、コイル70a、70b、70c、即ち、3つのコイルを同時に励磁する場合を説明する。
まず、コイル70a、70b、70cのみに所定電流量の駆動用電流が供給され、コイル70a、70b、70cは励磁され、電磁力によって可動子42が駆動すると共に、コイル70a、70b、70cは発熱する。ここで、バルブ制御装置111は、バルブ110a、110b、110cを駆動し、当該バルブの冷媒流量が増加する。冷媒は、マニホールド68からバルブ110a、110b、110cを経て、増加した流量で流路65a、65b、65cを流動し、排出口67から排出される。流路65a、65b、65cの内部においては、他の流路よりも冷媒の液圧が高い状態になると共に、冷媒の流動によってコイル70a、70b、70cの発熱を吸収する。
続いて、上記リニアモータ40の状態から励磁切換を行う場合について説明する。従って、コイル70aの励磁を停止し、かつコイル70dを励磁することによって、電磁力の作用が変化して可動子42は駆動し、コイル70b、70c、70dは発熱する。ここで、バルブ制御装置111によって、バルブ110aの冷媒流量が減少し、バルブ110b、110c、110dの冷媒流量が増加する。これに伴って、冷媒が流路65b、65c、65dを増加した流量で流動し、当該コイルの発熱が吸収され、所定の温度に冷却される。
以後、コイル70b、70c、70d、70eの励磁を順次停止し、かつ、コイル70e、70f、70g、70hを順次励磁することにより、リニアモータ40は駆動する。このような励磁切換に対応してバルブ制御装置111がバルブを順次選択し、冷媒流量を増加することにより、リニアモータ70は冷却される。
【0031】
上述したように、本実施形態においては、リブ64を設けたことによって、ジャケット101内部の強度が向上されているので、流路65a、65b…、65hのうちいずれかの流路の液圧が局所的に上昇しても、ジャケット101の膨張を抑制することができる。従って、磁石91と接触する恐れがなくなるので、磁石91とジャケット101とを近づけることが可能になり、推力を向上させることができる。また、流路65a、65b…、65hの断面積を大きくすることが可能になり、冷却効率の向上させることができる。
【0032】
なお、本実施形態においては、リブ64は、コイル70の幅間隔に配設された構成となっているが、当該幅間隔に限定することなく、コイル70の2つ分以上の幅間隔に配設したり、X方向の位置によって幅間隔を変更して配設する等、本発明の主旨から逸脱しない範囲において種々変更可能である。また、バルブ110a、110b…、110hとして、流量可変式バルブを用いたが、これに限定することはなく冷媒を流動状態又は非流動状態に切り替える開閉式バルブを用いてもよい。
【0033】
(第3実施形態)
図7から図9は、第3の実施形態を示しており、本発明のリニアモータが具備するコイルを示す図である。
この図において、図1から図4に示す第1の実施形態、及び、図6に示す第2の実施形態の構成要素と同一の要素については同一符号を付し、その説明を省略する。第2の実施形態と第3の実施形態においては、ジャケット101内部に配置されたコイル70の形状及び配列が相違している。
【0034】
次に、図7から図9を参照しながら、ジャケット101内部に配置されたコイル70の形状、及び配列について説明する。
本実施形態に係るコイルユニット60は、所謂「ドッグボーン型」と呼ばれるコイル70を備えており、このコイルユニット60を構成する第1列のコイル70M及び第2列のコイル70Nは、図7に示すように、角形に巻かれたロ字型のコイル70である。コイルユニット60の、図7中、手前側に配置される第1列のコイル70Mにおいて、その縦方向に延びる部分(以下「極部分」という。)70Mi,70Mjが奥側に折り曲げられている。一方、図7中、奥側に配置される第2列のコイル70Nにおいて、極部分70Ni,70Njが手前側に折り曲げられている。そして、図7の矢印で示すように、第1列のコイル70M、及び第2列のコイル70Nのそれぞれの中空部分に、対向する第2列のコイル70Nの極部分70Ni,70Nj、及び第1列のコイル70Mの極部分70Mi,70Mjが嵌め合わされる。このため、図8に示すように、第1列のコイル70M、及び第2列のコイル70Nにおいて、その極部分70Mi、70Mj、及び70Ni、70Njがコイルユニット60の中央部分で一直線上に整列される。そして、図9に示すように、極部分70Mi、70Mj、及び70Ni、70Njを一直線上に配置した第1列のコイル70M、及び第2列のコイル70Nの両側より、可動子42の磁石91がこれらコイル70M、70Nを挟むように配置される。
【0035】
上記のように構成されたコイル70M、70Nを備えたリニアモータ40においては、極部分70Mi,70Mj、70Ni,70Njが磁石91の磁極と互いに作用し合い、図9に示す推力Fが発生する。コイル70M、70Nは相互の中空部分に嵌め合わされ、中空部分を有していないので、中空部分を有したコイル70よりも大きな推力を得ることができる。
【0036】
(第4実施形態)
図10は、本発明のステージ装置を示す概略斜視図である。
図10に示すように、ステージ装置1は、マスクを保持するマスクステージMSTと、マスク定盤3上に設けられたマスク粗動ステージ16と、マスク粗動ステージ16上に設けられたマスク微動ステージ18と、マスク定盤3上において粗動ステージ16をY軸方向に所定ストロークで移動可能な一対のYリニアモータ(リニアモータ)20、20と、マスク定盤3の中央部の上部突出部3bの上面に設けられ、Y軸方向に移動する粗動ステージ16を案内する一対のYガイド部24、24と、粗動ステージ16上において微動ステージ18をX軸、Y軸、及びθZ方向に微小移動可能な一対のXボイスコイルモータ17X及び一対のYボイスコイルモータ17Yとを備えている。微動ステージ18の+Y方向の端部にはコーナーキューブからなる一対のY移動鏡25a、25bが固定され、微動ステージ18の−X方向の端部にはY軸方向に延びる平面ミラーからなるX移動鏡26が固定されている。
【0037】
Yリニアモータ20は、先の実施形態に示したリニアモータ40と同様の構成であり、マスク定盤3上においてY軸方向に延びるように設けられた一対の固定子21(41)と、この固定子21に対応して設けられた可動子22(42)とを備えている。
また、可動子22(42)のそれぞれは、連結部材23を介して粗動ステージ16に固定されており、固定子21(41)のそれぞれは、非接触ベアリングである複数のエアベアリング19によりマスク定盤3に対して浮上支持されている。Yガイド部24のそれぞれは、Y軸方向に移動する粗動ステージ16を案内するものであって、マスク定盤3の中央部に形成された上部突出部3bの上面においてY軸方向に延びるように固定されている。また、粗動ステージ16とYガイド部24、24との間には非接触ベアリングである不図示のエアベアリングが設けられており、粗動ステージ16はYガイド部24に対して非接触で支持されている。微動ステージ18は不図示のバキュームチャックを介してマスクを吸着保持する。
【0038】
このように構成されたステージ装置1においては、Y移動鏡25a、25b、X移動鏡26に対して測長ビームを照射する3つのレーザ干渉計(いずれも不図示)が各移動鏡との距離を計測し、マスクステージMSTのX軸、Y軸、及びθZ方向の位置を高精度で検出する。更に、可動子22が固定子21との間の電磁気的相互作用により駆動することで粗動ステージ16(マスクステージMST)がY軸方向に移動する。運動量保存の法則により粗動ステージ16の+Y方向の移動に応じて固定子21が−Y方向に移動し、この固定子21の移動により粗動ステージ16の移動に伴う反力が相殺される。ここで、ステージ装置1は先に記載のリニアモータを備えているので、Yリニアモータ20を駆動しても、Yリニアモータ20の表面温度上昇を低く抑えることができ、Yリニアモータ20の近傍に配置された構成要素、例えば、マスクステージMSTに熱変形等の影響を与えることはない。
【0039】
(第5実施形態)
図11は、本発明のステージ装置の別の実施形態を示す概略斜視図である。
本実施形態においては、先に記載したリニアモータと同一構成には同一符号を付し、説明を省略する。
図11に示すように、ステージ装置2は、基板を保持する基板ステージPSTと、基板ステージPSTをXY平面に沿った2次元方向に移動可能に支持する基板定盤4と、X軸方向に沿った長尺形状を有するXガイドステージ35と、Xガイドステージ35で案内しつつ基板ステージPSTをX軸方向に所定ストロークで移動可能なXリニアモータ(リニアモータ)40と、Xガイドステージ35の長手方向両端に設けられ、このXガイドステージ35を基板ステージPSTとともにY軸方向に移動可能な一対のYリニアモータ(リニアモータ)30、30とを備えている。ここで、基板ステージPSTはXガイドステージ35に対してZ軸方向に所定量のギャップを維持する磁石及びアクチュエータからなる磁気ガイドにより非接触で支持されている。また、基板ステージPSTの−X側の側縁にはY軸方向に沿って延設されたX移動鏡51が設けられ、基板ステージPST上の+Y側の側縁にはX軸方向に沿って延設されたY移動鏡53が設けられ、X移動鏡51に対向する位置にはXレーザ干渉計(不図示)が設けられ、Y移動鏡53に対向する位置にはYレーザ干渉計(不図示)が設けられている。
【0040】
Yリニアモータ30は、先の実施形態に示したリニアモータ40と同様の構成であり、Xガイドステージ35の長手方向両端に設けられた磁石ユニットからなる可動子32(42)と、この可動子32に対応して設けられコイルユニットからなる固定子31(41)とを備えている。また、Yリニアモータ30、30のそれぞれの駆動を調整することでXガイドステージ35はθZ方向にも回転移動可能となっている。従って、このYリニアモータ30、30により基板ステージPSTがXガイドステージ35とほぼ一体的にY軸方向及びθZ方向に移動可能となっている。
【0041】
このように構成されたステージ装置2においては、X移動鏡51、Y移動鏡53に対してXレーザ干渉計及びYレーザ干渉計が側長ビームを照射し、各移動鏡との距離を計測し、基板ステージPSTのX軸、Y軸、及びθZ方向の位置を高精度で検出する。更に、Xリニアモータ40が駆動することにより可動子42が固定子41との間の電磁気的相互作用が生じ、基板ステージPSTはXガイドステージ35に非接触支持された状態でX軸方向に移動する。また、Yリニアモータ30が駆動することにより可動子32が固定子31との間の電磁気的相互作用が生じ、Xガイドステージ35がY軸方向に移動する。ここで、ステージ装置2は先に記載のリニアモータを備えているので、Yリニアモータ20、又はXリニアモータ40を駆動しても、リニアモータ表面の温度上昇及び温度勾配の発生を低く抑えることができ、発熱の周囲への影響を抑えることができるという効果が得られる。
【0042】
なお、第1から第5の実施形態においては、コイル側が固定子であり、磁石側が可動子である所謂ムービングマグネット型のリニアモータとなっているが、固定子側に磁石が設けられ、可動子側にコイルが設けられたムービングコイル型のリニアモータにも適用可能である。この場合、可動子であるコイルユニットがステージPST、MSTに接続し、固定子である磁石ユニットがステージPST、MSTの移動面側(ベース)に設けられる。
【0043】
(第6実施形態)
図12は、本発明のステージ装置を備えた露光装置の実施形態を示す概略構成図である。本実施形態において、先の実施形態に記載したステージ装置には同一符号を付し、説明を省略する。
本実施形態における露光装置EXは、マスクMと感光基板(基板)Pとを同期移動しつつマスクMに設けられているパターンを投影光学系PLを介して感光基板P上に転写する所謂スキャニングステッパである。以下の説明において、投影光学系PLの光軸AXと一致する方向をZ軸方向、Z軸方向に垂直な平面内における前記同期移動方向(走査方向)をY軸方向、Z軸方向及びY軸方向と垂直な方向(非走査方向)をX軸方向とする。更に、X軸まわり、Y軸まわり、及びZ軸まわりの回転方向をそれぞれθX方向、θY方向、及びθZ方向とする。また、ここでいう「感光基板」は半導体ウエハ上にレジストが塗布されたものを含み、「マスク」は感光基板上に縮小投影されるデバイスパターンが形成されたレチクルを含む。
【0044】
図12において、露光装置EXは、マスクMを保持するステージ装置1と、マスクステージMSTに支持されているマスクMを露光光で照明する照明光学系ILと、感光基板Pを保持するステージ装置2と、露光光ELで照明されたマスクMのパターン像を基板ステージPSTに支持されている感光基板Pに投影する投影光学系PLと、ステージ装置1及び投影光学系PLを支持するリアクションフレーム5と、露光装置EXの動作を統括制御する制御装置CONTとを備えている。リアクションフレーム5は床面に水平に載置されたベースプレート6上に設置されており、このリアクションフレーム5の上部側及び下部側には内側に向けて突出する段部5a及び5bがそれぞれ形成されている。
【0045】
照明光学系ILは、リアクションフレーム5の上面に固定された支持コラム7により支持される。照明光学系ILより射出される露光光ELとしては、例えば水銀ランプから射出される紫外域の輝線(g線、h線、i線)及びKrFエキシマレーザ光(波長248nm)等の遠紫外光(DUV光)や、ArFエキシマレーザ光(波長193nm)及びF2 レーザ光(波長157nm)等の真空紫外光(VUV光)などが用いられる。
【0046】
ステージ装置1においては、マスク定盤3は各コーナーにおいてリアクションフレーム5の段部5aに防振ユニット8を介してほぼ水平に支持されており、その中央部にマスクMのパターン像が通過する開口3aを備えている。マスクステージMSTは、その中央部にマスク定盤3の開口3aと連通しマスクMのパターン像が通過する開口Kを備えている。マスクステージMSTの底面には非接触ベアリングである複数のエアベアリング9が設けられており、マスクステージMSTはエアベアリング9によりマスク定盤3に対して所定のクリアランスを介して浮上支持されている。
なお、固定子21は、マスク定盤3に変えてリアクションフレーム5に設けられてもよい。固定子21をリアクションフレーム5に設ける場合にはエアベアリング19を省略し、固定子21をリアクションフレーム5に固定して粗動ステージ16の移動により固定子21に作用する反力をリアクションフレーム5を介して床に逃がしてもよい。
【0047】
投影光学系PLは、複数の光学素子により構成され、これら光学素子は鏡筒で支持されている。投影光学系PLは、例えば1/4又は1/5の投影倍率を有する縮小系である。なお、投影光学系PLとしては等倍系あるいは拡大系のいずれでもよい。投影光学系PLの鏡筒の外周にはこの鏡筒に一体化されたフランジ部10が設けられている。そして、投影光学系PLはリアクションフレーム5の段部5bに防振ユニット11を介してほぼ水平に支持された鏡筒定盤12にフランジ部10を係合している。また、投影光学系PLの鏡筒下端には参照鏡52が設けられている。
【0048】
ステージ装置2においては、感光基板Pを真空吸着保持する基板ホルダPHが基板ステージPST上に設けられており、感光基板Pは基板ホルダPHを介して基板ステージPSTに支持される。また、基板ステージPSTの底面には非接触ベアリングである複数のエアベアリング37が設けられており、これらエアベアリング37により基板ステージPSTは基板定盤4に対して非接触で支持されている。また、X移動鏡51に対向する位置にはXレーザ干渉計50が設けられ、Y移動鏡53に対向する位置にはYレーザ干渉計(不図示)が設けられている。また、基板定盤4はベースプレート6の上方に防振ユニット13を介してほぼ水平に支持されている。固定子31、31はベースプレート6に突設された支持部36、36に設けられている。Xガイドステージ35の+X側には、Xトリムモータ34の可動子34aが取り付けられている。また、Xトリムモータ34の固定子34bはリアクションフレーム5に設けられている。このため、基板ステージPSTをX軸方向に駆動する際の反力は、Xトリムモータ34及びリアクションフレーム5を介してベースプレート6に伝達される。
【0049】
このように構成された露光装置EXの動作について説明する。
まず、ステージ装置1において、レーザ干渉計がY移動鏡25a、25b、X移動鏡26に対して測長ビームを照射してマスクMの位置を検出する。当該検出結果に基づいて、制御装置CONTは、Yリニアモータ20、Xボイスコイルモータ17X、及びYボイスコイルモータ17Yを含む各モータを駆動し、微動ステージ18に支持されているマスクM(マスクステージMST)の位置制御を行う。
【0050】
また、ステージ装置2において、Xレーザ干渉計50がX移動鏡51の反射面と参照鏡52の反射面とのそれぞれに向けてレーザ光(検出光)を照射するとともに、その反射光と入射光との干渉に基づいてX移動鏡51と参照鏡52との相対変位を計測することにより、基板ステージPST、ひいては感光基板PのX軸方向における位置を所定の分解能でリアルタイムに検出する。また、同様に、Yレーザ干渉計と、Y移動鏡53と、参照鏡52とによって、基板ステージPST、ひいては感光基板PのY軸方向における位置を所定の分解能でリアルタイムに検出する。レーザ干渉計の検出結果は制御装置CONTに出力され、制御装置CONTはレーザ干渉計の検出結果に基づいてリニアモータ30、40を介して基板ステージPSTの位置制御を行う。
【0051】
このようにマスクステージMST及び基板ステージPSTの位置制御が行われている状態で、照明光学系ILはマスクMを露光光で照明し、マスクMのパターン像は開口K及び開口3aを通過して投影光学系PLに入射すると共に、所定の投影倍率によって縮小され、感光基板Pに転写される。
上述したように、露光装置EXは、先に記載のステージ装置を備えているので、先に記載のステージ装置と同様の効果が得られる。
【0052】
なお、上記実施形態の感光基板Pとしては、半導体デバイス用の半導体ウエハのみならず、液晶ディスプレイデバイス用のガラス基板や、薄膜磁気ヘッド用のセラミックウエハ、あるいは露光装置で用いられるマスクまたはレチクルの原版(合成石英、シリコンウエハ)等が適用される。
【0053】
また、露光装置EXとしては、マスクMと感光基板Pとを同期移動してマスクMのパターンを走査露光するステップ・アンド・スキャン方式の走査型露光装置の他に、マスクMと基板Pとを静止した状態でマスクMのパターンを露光し、感光基板Pを順次ステップ移動させるステップ・アンド・リピート方式の投影露光装置にも適用することができる。
【0054】
また、露光装置EXの種類としては、ウエハに半導体デバイスパターンを露光する半導体デバイス製造用の露光装置に限られず、角型のガラスプレートに液晶表示素子パターンを露光する液晶表示素子製造用の露光装置や、薄膜磁気ヘッド、撮像素子(CCD)あるいはマスクなどを製造するための露光装置などにも広く適用できる。
【0055】
また、露光用照明光の光源として、超高圧水銀ランプから発生する輝線(g線(436nm)、h線(404.7nm)、i線(365nm))、KrFエキシマレーザ(248nm)、ArFエキシマレーザ(193nm)、F2 レーザ(157nm)のみならず、X線や電子線などの荷電粒子線を用いることができる。例えば、電子線を用いる場合には電子銃として、熱電子放射型のランタンヘキサボライト(LaB6 )、タンタル(Ta)を用いることができる。さらに、電子線を用いる場合は、マスクMを用いる構成としてもよいし、マスクMを用いずに直接ウエハ上にパターンを形成する構成としてもよい。また、YAGレーザや半導体レーザ等の高周波などを用いてもよい。
【0056】
投影光学系PLとしては、エキシマレーザなどの遠紫外線を用いる場合は硝材として石英や蛍石などの遠紫外線を透過する材料を用い、F2 レーザやX線を用いる場合は反射屈折系または屈折系の光学系にし(マスクMも反射型タイプのものを用いる)、また電子線を用いる場合には光学系として電子レンズ及び偏向器からなる電子光学系を用いればよい。なお、電子線が通過する光路は、真空状態にすることはいうまでもない。また、投影光学系PLを用いることなく、マスクMと基板Pとを密接させてマスクMのパターンを露光するプロキシミティ露光装置にも適用可能である。
【0057】
上記実施形態のように基板ステージPSTやマスクステージMSTにリニアモータを用いる場合においてエアベアリングを用いたエア浮上型に限られず、ローレンツ力又はリアクタンス力を用いた磁気浮上型を用いてもよい。また、各ステージPST、MSTは、ガイドに沿って移動するタイプでもよく、ガイドを設けないガイドレスタイプであってもよい。
【0058】
基板ステージPSTの移動により発生する反力は、特開平8−166475号公報に記載されているように、フレーム部材を用いて機械的に床(大地)に逃がしてもよい。また、マスクステージMSTの移動により発生する反力は、特開平8−330224号公報に記載されているように、フレーム部材を用いて機械的に床(大地)に逃がしてもよい。
【0059】
以上のように、本願実施形態の露光装置EXは、本願特許請求の範囲に挙げられた各構成要素を含む各種サブシステムを、所定の機械的精度、電気的精度、光学的精度を保つように、組み立てることで製造される。これら各種精度を確保するために、この組み立ての前後には、各種光学系については光学的精度を達成するための調整、各種機械系については機械的精度を達成するための調整、各種電気系については電気的精度を達成するための調整が行われる。各種サブシステムから露光装置への組み立て工程は、各種サブシステム相互の、機械的接続、電気回路の配線接続、気圧回路の配管接続等が含まれる。この各種サブシステムから露光装置への組み立て工程の前に、各サブシステム個々の組み立て工程があることはいうまでもない。各種サブシステムの露光装置への組み立て工程が終了したら、総合調整が行われ、露光装置全体としての各種精度が確保される。なお、露光装置の製造は温度及びクリーン度等が管理されたクリーンルームで行うことが望ましい。
【0060】
半導体デバイスは、図13に示すように、デバイスの機能・性能設計を行うステップ201、この設計ステップに基づいたマスク(レチクル)を製作するステップ202、デバイスの基材である基板を製造するステップ203、前述した実施形態の露光装置EXによりマスクのパターンを基板に露光する基板処理ステップ204、デバイス組み立てステップ(ダイシング工程、ボンディング工程、パッケージ工程を含む)205、検査ステップ206等を経て製造される。
【0061】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明では推力を低下させることなく、ジャケットの表面温度分布を容易に均一化できるとともに、干渉計に対する揺らぎによる計測精度の低下を防止できるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のリニアモータの第1実施形態を示す概略斜視図である。
【図2】本発明のリニアモータの第1実施形態を示す断面図である。
【図3】本発明のリニアモータの第1実施形態を示す断面拡大図である。
【図4】本発明のリニアモータの第1実施形態を示す断面図である。
【図5】コイルユニットの表面温度分布を示した図である。
【図6】本発明のリニアモータの第2実施形態を示す断面図である。
【図7】本発明のリニアモータの第3実施形態を示すコイルの形状を説明するための概略斜視図である。
【図8】本発明のリニアモータの第3実施形態を示すコイルの配列を説明するための概略斜視図である。
【図9】本発明のリニアモータの第3実施形態を示すコイルと磁石との配置関係を示す図である。
【図10】本発明のステージ装置の一実施形態を示す概略斜視図である。
【図11】本発明のステージ装置の一実施形態を示す概略斜視図である。
【図12】本発明のステージ装置を備えた露光装置の一実施形態を示す概略構成図である。
【図13】半導体デバイスの製造工程の一例を示すフローチャート図である。
【符号の説明】
20、30、40 リニアモータ
70 コイル
65a 第1流路(流路)
65b 第2流路(流路)
65a、65b…、65h 流路
63 芯体
101 ジャケット
64 リブ(隔壁)
66a、66b…、66h 供給口(冷媒供給口)
110a、110b…、110h バルブ(流量調整装置)
MST マスクステージ(ステージ)
PST 基板ステージ(ステージ)
1、2 ステージ装置
M マスク
P 感光基板(基板)
EX 露光装置
Claims (13)
- コイルを有するリニアモータにおいて、
前記コイル表面に沿って設けられ、前記コイルを冷却する冷媒が一方向に流動する第1流路と、
前記第1流路と平行に設けられ、前記一方向とは反対方向に前記冷媒が流動する第2流路とを備え、
前記第1流路と前記第2流路とは前記コイル表面と平行な同一平面上に配列されていることを特徴とするリニアモータ。 - 前記コイルは芯体に導線を複数回巻回して構成され、
前記芯体は前記第1流路及び前記第2流路と同一部材に形成されていることを特徴とする請求項1記載のリニアモータ。 - 前記第1流路と前記第2流路とは、それぞれ複数かつ同数設けられていることを特徴とする請求項1又は請求項2記載のリニアモータ。
- 前記第1流路と前記第2流路とは、互いに隣り合うように交互に配列されていることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか一項記載のリニアモータ。
- 複数のコイルと、前記複数のコイルを収納すると共に前記コイルを冷却する冷媒が内部に供給されるジャケットとを備えるリニアモータにおいて、
前記ジャケットは、前記冷媒が流れる複数の流路を前記複数のコイルとの間で形成する隔壁と、前記複数の流路の各々に対応して設けられた冷媒供給口とを有することを特徴とするリニアモータ。 - 前記隔壁は、前記複数の流路のそれぞれが、少なくとも一つの前記コイルに対応して形成されるように設けられることを特徴とする請求項5記載のリニアモータ。
- 前記複数のコイルは所定の方向に配列され、
前記隔壁は、前記所定方向と直交する方向に設けられることを特徴とする請求項6記載のリニアモータ。 - 前記複数の流路のうちの少なくとも一つを選択し、該選択された前記流路に供給する前記冷媒の流量を調整する流量調整装置を有することを特徴とする請求項5から請求項7のいずれか一項記載のリニアモータ。
- 前記リニアモータは前記複数のコイルの内の一部のコイルを励磁し、順次励磁するコイルを切り替える励磁切替式リニアモータであり、
前記流量調整装置は、前記励磁されたコイルに対応する前記流路に供給する冷媒流量を他の前記流路に供給する冷媒流量よりも増やすことを特徴とする請求項8記載のリニアモータ。 - 互いに並行に設けられた複数の流路に冷媒を流してコイルを冷却するリニアモータの冷却方法であって、
隣り合う前記流路を流れる前記冷媒の流動方向が、互いに反対方向となるように冷媒を流すことを特徴とするリニアモータの冷却方法。 - 複数の流路に冷媒を流して複数のコイルを冷却するリニアモータの冷却方法であって、
前記複数のコイルのうちから選択されたコイルに対応して前記複数の流路からいずれかの流路を選択し、当該選択された流路の前記冷媒の供給量を変更することを特徴とするリニアモータの冷却方法。 - 平面内を移動可能なステージと、該ステージを駆動する駆動装置とを有するステージ装置において、
前記駆動装置は請求項1から請求項9のうちいずれかに記載されたリニアモータであることを特徴とするステージ装置。 - マスクステージに保持されたマスクのパターンを基板ステージに保持された基板に露光する露光装置において、
前記マスクステージと前記基板ステージとの少なくともいずれか一方のステージは、請求項12に記載されたステージであることを特徴とする露光装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003000450A JP2004215419A (ja) | 2003-01-06 | 2003-01-06 | リニアモータ、リニアモータの冷却方法及びステージ装置並びに露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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---|---|---|---|
JP2003000450A JP2004215419A (ja) | 2003-01-06 | 2003-01-06 | リニアモータ、リニアモータの冷却方法及びステージ装置並びに露光装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004215419A true JP2004215419A (ja) | 2004-07-29 |
Family
ID=32818763
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003000450A Pending JP2004215419A (ja) | 2003-01-06 | 2003-01-06 | リニアモータ、リニアモータの冷却方法及びステージ装置並びに露光装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2004215419A (ja) |
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