JP2004214465A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】上層レジストパターンにSiO2のエッチング保護膜を形成後、下層レジストをエッチングし、パターン倒れのない2層レジストパターンを形成し、このパターンを使用したより正確な寸法を有する半導体装置の製造法を提供する。
【解決手段】基板上に導電性膜下層レジスト、上層レジストを成膜後、上層レジストに第1のパターンを形成後、高圧力の不活性ガス中で第1のパターン表面にSiを析出させ、このパターンをマスクとして酸素を含むガスで下層レジストをエッチングし、第2のパターンを形成、この第1、第2のパターンを使用して半導体装置を製造する。
【選択図】 図1
【解決手段】基板上に導電性膜下層レジスト、上層レジストを成膜後、上層レジストに第1のパターンを形成後、高圧力の不活性ガス中で第1のパターン表面にSiを析出させ、このパターンをマスクとして酸素を含むガスで下層レジストをエッチングし、第2のパターンを形成、この第1、第2のパターンを使用して半導体装置を製造する。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
この発明は、半導体製造プロセスにおいて2層レジストパターンを形成し、その2層レジストパターンを用いた半導体装置の製造方法に係るものである。
【0002】
【従来の技術】
半導体装置の製造プロセスにおいて従来の3層レジストパターンの形成方法では、基板上に下層レジスト膜、SOG膜、上層レジスト膜を形成し、上層レジスト膜をパターニングして上層レジストパターンを形成し、これをマスクにしてSOG膜、下層レジスト膜を順次エッチングすることにより、3層レジストパターンを得ているが、上層レジストをパターニングする際、SOG膜の膜厚変化によって上層レジストパターン寸法が変動するという問題があった。
一方、従来の2層レジストパターンの形成方法は、上層レジストにSiを含ませることにより、下層レジストのエッチングに対する耐性を持たせて、前記3層レジストプロセスにおける寸法変動の問題を解消することが示されている(例えば、特許文献1参照)。
【0003】
【特許文献1】
特開2001−343757号公報(第2頁、右欄[0006])
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら上記従来の2層レジストプロセスでは、上層レジストに十分な下層レジストエッチング耐性を持たせようとしてSiの添加量を上げると、解像性に代表される上層レジストのリソグラフィー性能が損なわれ、その結果、寸法誤差が大きくなるという問題点があった。これを解消しようとして、上記特許文献1では、上層レジストのSi添加量をあげることなく下層レジストの選択性をあげることを目的としているが、(第2頁、右欄[0011])最終形状は上層レジストパターンが反転した形で形成されるため、ホールパターンなどの形成は円柱型に上層レジストパターンを形成する必要があり、パターン倒れが発生するという問題点がある。
この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、解像性を低下させずに高アスペクト比のレジストパターンが得られるとともに、ホール系、配線系を問わないレジストパターンの形成することによってより微細化可能な半導体装置を製造する方法を提供することを目的としている。
【0005】
【課題を解決するための手段】
半導体装置の製造方法であって、導電性膜が設けられた半導体基板上に、下層レジスト膜およびシリコンを含む上層レジスト膜を成膜するステップと、上層レジスト膜を写真製版、ドライエッチングにより、第1のパターンを形成するステップと、高圧力の不活性ガス中で、第1のパターン表面にシリコンを析出させるステップと、第1のパターンをマスクとし、酸素を含む混合ガスを用いて、下層レジスト膜にドライエッチングを施して第2のパターンを形成するステップと、第1、第2のパターンをマスクとして導電性膜をドライエッチングするステップとを有するものである。
【0006】
【発明の実施の形態】
実施の形態1.
以下、この発明の実施の形態1を図に基づいて説明する。
図1は、本発明の実施の形態1に係る2層構造のレジストパターン10の形成およびそのパターン10を使用した半導体装置の製造方法を順に示す断面図である。まず、図1(A)に示すように、導電性膜6等が設けられている半導体基板3上に下層レジスト膜1、シリコンを含む上層レジスト膜2を順に成膜する。この際、下層レジスト膜1に含まれるCの重量%は50%を越えるものである。次に図1(B)に示すように、前記上層レジスト膜2を通常の写真製版技術およびドライエッチングによってパターニングを行い、第1のレジストパターン2Aを形成する。次に図1(C)に示すように、前記第1のレジストパターン2Aの表面にシリコン4を析出させる。このシリコン4の表面析出法は、窒素やアルゴン等の不活性ガスの高圧力下で前記第1のレジストパターン2Aに応力を印加するという物理的作用によって行うものである。前記圧力とその印加時間は、レジスト膜材や第1のレジストパターン2Aのアスペクト比等によって決定されるものである。
次に図1(D)に示すように、前記レジストパターン2Aをマスクとしてドライエッチングを行い、前記下層レジスト膜1に前記レジストパターン2Aを転写する。この時のエッチングガスは酸素を含み、かつ対SiO2選択比が2以上の条件で行うものであり、例えばCl2O2Arの混合ガスが用いられる。このような条件下では、前記第1のレジストパターン2A表面に析出しているシリコン4がSiO25となってエッチング保護膜として機能し、高選択にて前記下層レジスト膜1をエッチングすることが可能となり、前記第1のレジストパターン2Aの寸法変化が生じることなく、第1のレジストパターン2Aおよび第2のレジストパターン1Aを有した2層構造のレジストパターン10が得られる。この後、前記レジストパターン10をマスクとして、前記基板3上に設けられている例えば、ポリシリコンやタングステン、アルミ等の下地導電性膜6のドライエッチングを行い、より正確に微細化された半導体装置を製造する。
なお、前記第1のレジストパターン2Aの表面にシリコン4を析出させるのに物理的に応力印加する方法を示したが、第1のレジストパターン2A表面との置換反応を促進させる溶剤に浸す化学的作用によって行ってもよい。
【0007】
このようにこの実施の形態1による半導体装置の製造方法によれば、第1のレジストパターン2Aの解像性を低下させることがないので、高アスペクト比の2層構造のレジストパターン10が得られ、このパターンを使用した半導体装置の製造方法であるので、より正確な微細寸法を有する半導体装置が得られるという効果がある。
【0008】
実施の形態2.
次に、実施の形態2を図に基づいて説明する。
図2は本発明の実施の形態2に係るレジストパターン10の形成およびそのパターンを使用した半導体装置の製造方法を順に示す断面図である。前記実施の形態1と同様に、まず図2(A)に示すように、導電性膜6等が設けられている半導体基板3上に下層レジスト膜1、シリコンを含む上層レジスト膜2を順に成膜する。この際、下層レジスト膜1に含まれるCの重量%は50%を越えるものである。次に図2(B)に示すように、前記上層レジスト膜2を通常の写真製版技術、ドライエッチングによってパターニングを行い、第1のレジストパターン2Aを形成する。
次に図2(C)に示すように、前記第1のレジストパターン2Aの表面に前記実施の形態1と同様な方法にてシリコン4を析出させる。引き続き図2(D)に示すように、前記第1のレジストパターン2A表面に析出したシリコンを酸化させSiO25を形成する。この方法は、酸素雰囲気中でパターン崩れが発生しない温度以下で熱処理を行うものである。次に図2(E)に示すように、前記レジストパターン2Aをマスクとしてエッチングを行い、前記下層レジスト膜1に前記レジストパターン2Aを転写し、第2のレジストパターン1Aを形成する。これにより、第1のレジストパターン2Aに寸法変化の生じることのない2層構造のレジストパターン10が得られる。なお、前記下層レジスト膜1のエッチングに用いるエッチングガスには酸素を含むものを使用する必要はない。
従って、基板3に設けられた下地の、例えばポリシリコン等の導電性膜への選択比を考慮したとき、酸素を含むエッチングガス方法に比較してより有利な方法であると言える。次に前記実施の形態1と同様に、導電性膜6をドライエッチングし、半導体装置を製造する。
【0009】
このようにこの実施の形態2による半導体装置の製造方法によれば、前記に加え第1のレジストパターン2Aの表面に保護膜SiO2を形成した後に下層レジスト膜1をエッチングしているので、下層レジスト1に対する上層レジスト2のエッチング選択比を上げることが可能となるという効果を奏する。
また、さらにエッチングガスに酸素を含むものを使用する必要がないので、下地層のポリシリコン等の導電性膜への選択比を考慮したとき、酸素を含むエッチングガス方法に比較して、よりよいエッチング特性が得られるという効果がある。
【0010】
【発明の効果】
この発明は、以上述べたようなステップを有する半導体装置の製造方法であるので、以下のような効果がある。
導電性膜が設けられた半導体基板上に下層レジスト膜、上層レジスト膜を成膜し、上層レジスト膜を写真製版、ドライエッチングにより第1のパターンを形成し、高圧力の不活性ガス中で第1のパターン表面にシリコンを析出させ、第1のパターンをマスクとし、酸素を含む混合ガスを用いて下層レジスト膜をドライエッチングして第2のパターンを形成する2層レジストパターンの形成し、第1、第2のパターンをマスクとして導電性膜をドライエッチングするので、第1のレジストパターンの解像性を低下させることなく、高アスペクト比の2層構造のレジストパターンが得られ、このパターンを使用した半導体装置の製造方法であるので、より正確な微細寸法を有する半導体装置が得られるという優れた効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の実施の形態1による半導体装置の製造方法のステップ順を示す断面図である。
【図2】この発明の実施の形態2による半導体装置の製造方法のステップ順を示す断面図である。
【符号の説明】
1 下層レジスト、1A 第2のレジストパターン、2 上層レジスト、
2A 第1のレジストパターン、3 半導体基板、4 析出シリコン、
5 SiO2、6 導電性膜、10 レジストパターン。
【発明の属する技術分野】
この発明は、半導体製造プロセスにおいて2層レジストパターンを形成し、その2層レジストパターンを用いた半導体装置の製造方法に係るものである。
【0002】
【従来の技術】
半導体装置の製造プロセスにおいて従来の3層レジストパターンの形成方法では、基板上に下層レジスト膜、SOG膜、上層レジスト膜を形成し、上層レジスト膜をパターニングして上層レジストパターンを形成し、これをマスクにしてSOG膜、下層レジスト膜を順次エッチングすることにより、3層レジストパターンを得ているが、上層レジストをパターニングする際、SOG膜の膜厚変化によって上層レジストパターン寸法が変動するという問題があった。
一方、従来の2層レジストパターンの形成方法は、上層レジストにSiを含ませることにより、下層レジストのエッチングに対する耐性を持たせて、前記3層レジストプロセスにおける寸法変動の問題を解消することが示されている(例えば、特許文献1参照)。
【0003】
【特許文献1】
特開2001−343757号公報(第2頁、右欄[0006])
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら上記従来の2層レジストプロセスでは、上層レジストに十分な下層レジストエッチング耐性を持たせようとしてSiの添加量を上げると、解像性に代表される上層レジストのリソグラフィー性能が損なわれ、その結果、寸法誤差が大きくなるという問題点があった。これを解消しようとして、上記特許文献1では、上層レジストのSi添加量をあげることなく下層レジストの選択性をあげることを目的としているが、(第2頁、右欄[0011])最終形状は上層レジストパターンが反転した形で形成されるため、ホールパターンなどの形成は円柱型に上層レジストパターンを形成する必要があり、パターン倒れが発生するという問題点がある。
この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、解像性を低下させずに高アスペクト比のレジストパターンが得られるとともに、ホール系、配線系を問わないレジストパターンの形成することによってより微細化可能な半導体装置を製造する方法を提供することを目的としている。
【0005】
【課題を解決するための手段】
半導体装置の製造方法であって、導電性膜が設けられた半導体基板上に、下層レジスト膜およびシリコンを含む上層レジスト膜を成膜するステップと、上層レジスト膜を写真製版、ドライエッチングにより、第1のパターンを形成するステップと、高圧力の不活性ガス中で、第1のパターン表面にシリコンを析出させるステップと、第1のパターンをマスクとし、酸素を含む混合ガスを用いて、下層レジスト膜にドライエッチングを施して第2のパターンを形成するステップと、第1、第2のパターンをマスクとして導電性膜をドライエッチングするステップとを有するものである。
【0006】
【発明の実施の形態】
実施の形態1.
以下、この発明の実施の形態1を図に基づいて説明する。
図1は、本発明の実施の形態1に係る2層構造のレジストパターン10の形成およびそのパターン10を使用した半導体装置の製造方法を順に示す断面図である。まず、図1(A)に示すように、導電性膜6等が設けられている半導体基板3上に下層レジスト膜1、シリコンを含む上層レジスト膜2を順に成膜する。この際、下層レジスト膜1に含まれるCの重量%は50%を越えるものである。次に図1(B)に示すように、前記上層レジスト膜2を通常の写真製版技術およびドライエッチングによってパターニングを行い、第1のレジストパターン2Aを形成する。次に図1(C)に示すように、前記第1のレジストパターン2Aの表面にシリコン4を析出させる。このシリコン4の表面析出法は、窒素やアルゴン等の不活性ガスの高圧力下で前記第1のレジストパターン2Aに応力を印加するという物理的作用によって行うものである。前記圧力とその印加時間は、レジスト膜材や第1のレジストパターン2Aのアスペクト比等によって決定されるものである。
次に図1(D)に示すように、前記レジストパターン2Aをマスクとしてドライエッチングを行い、前記下層レジスト膜1に前記レジストパターン2Aを転写する。この時のエッチングガスは酸素を含み、かつ対SiO2選択比が2以上の条件で行うものであり、例えばCl2O2Arの混合ガスが用いられる。このような条件下では、前記第1のレジストパターン2A表面に析出しているシリコン4がSiO25となってエッチング保護膜として機能し、高選択にて前記下層レジスト膜1をエッチングすることが可能となり、前記第1のレジストパターン2Aの寸法変化が生じることなく、第1のレジストパターン2Aおよび第2のレジストパターン1Aを有した2層構造のレジストパターン10が得られる。この後、前記レジストパターン10をマスクとして、前記基板3上に設けられている例えば、ポリシリコンやタングステン、アルミ等の下地導電性膜6のドライエッチングを行い、より正確に微細化された半導体装置を製造する。
なお、前記第1のレジストパターン2Aの表面にシリコン4を析出させるのに物理的に応力印加する方法を示したが、第1のレジストパターン2A表面との置換反応を促進させる溶剤に浸す化学的作用によって行ってもよい。
【0007】
このようにこの実施の形態1による半導体装置の製造方法によれば、第1のレジストパターン2Aの解像性を低下させることがないので、高アスペクト比の2層構造のレジストパターン10が得られ、このパターンを使用した半導体装置の製造方法であるので、より正確な微細寸法を有する半導体装置が得られるという効果がある。
【0008】
実施の形態2.
次に、実施の形態2を図に基づいて説明する。
図2は本発明の実施の形態2に係るレジストパターン10の形成およびそのパターンを使用した半導体装置の製造方法を順に示す断面図である。前記実施の形態1と同様に、まず図2(A)に示すように、導電性膜6等が設けられている半導体基板3上に下層レジスト膜1、シリコンを含む上層レジスト膜2を順に成膜する。この際、下層レジスト膜1に含まれるCの重量%は50%を越えるものである。次に図2(B)に示すように、前記上層レジスト膜2を通常の写真製版技術、ドライエッチングによってパターニングを行い、第1のレジストパターン2Aを形成する。
次に図2(C)に示すように、前記第1のレジストパターン2Aの表面に前記実施の形態1と同様な方法にてシリコン4を析出させる。引き続き図2(D)に示すように、前記第1のレジストパターン2A表面に析出したシリコンを酸化させSiO25を形成する。この方法は、酸素雰囲気中でパターン崩れが発生しない温度以下で熱処理を行うものである。次に図2(E)に示すように、前記レジストパターン2Aをマスクとしてエッチングを行い、前記下層レジスト膜1に前記レジストパターン2Aを転写し、第2のレジストパターン1Aを形成する。これにより、第1のレジストパターン2Aに寸法変化の生じることのない2層構造のレジストパターン10が得られる。なお、前記下層レジスト膜1のエッチングに用いるエッチングガスには酸素を含むものを使用する必要はない。
従って、基板3に設けられた下地の、例えばポリシリコン等の導電性膜への選択比を考慮したとき、酸素を含むエッチングガス方法に比較してより有利な方法であると言える。次に前記実施の形態1と同様に、導電性膜6をドライエッチングし、半導体装置を製造する。
【0009】
このようにこの実施の形態2による半導体装置の製造方法によれば、前記に加え第1のレジストパターン2Aの表面に保護膜SiO2を形成した後に下層レジスト膜1をエッチングしているので、下層レジスト1に対する上層レジスト2のエッチング選択比を上げることが可能となるという効果を奏する。
また、さらにエッチングガスに酸素を含むものを使用する必要がないので、下地層のポリシリコン等の導電性膜への選択比を考慮したとき、酸素を含むエッチングガス方法に比較して、よりよいエッチング特性が得られるという効果がある。
【0010】
【発明の効果】
この発明は、以上述べたようなステップを有する半導体装置の製造方法であるので、以下のような効果がある。
導電性膜が設けられた半導体基板上に下層レジスト膜、上層レジスト膜を成膜し、上層レジスト膜を写真製版、ドライエッチングにより第1のパターンを形成し、高圧力の不活性ガス中で第1のパターン表面にシリコンを析出させ、第1のパターンをマスクとし、酸素を含む混合ガスを用いて下層レジスト膜をドライエッチングして第2のパターンを形成する2層レジストパターンの形成し、第1、第2のパターンをマスクとして導電性膜をドライエッチングするので、第1のレジストパターンの解像性を低下させることなく、高アスペクト比の2層構造のレジストパターンが得られ、このパターンを使用した半導体装置の製造方法であるので、より正確な微細寸法を有する半導体装置が得られるという優れた効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の実施の形態1による半導体装置の製造方法のステップ順を示す断面図である。
【図2】この発明の実施の形態2による半導体装置の製造方法のステップ順を示す断面図である。
【符号の説明】
1 下層レジスト、1A 第2のレジストパターン、2 上層レジスト、
2A 第1のレジストパターン、3 半導体基板、4 析出シリコン、
5 SiO2、6 導電性膜、10 レジストパターン。
Claims (4)
- 次のステップを有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
(1)導電性膜が設けられた半導体基板上に、下層レジスト膜およびシリコンを含む上層レジスト膜を成膜するステップ。
(2)前記上層レジスト膜に写真製版、ドライエッチングを施し、第1のパターンを形成するステップ。
(3)高圧力の不活性ガス中で、前記第1のパターン表面にシリコンを析出させるステップ。
(4)前記第1のパターンをマスクとし、酸素を含む混合ガスを用いて前記下層レジスト膜にドライエッチングを施し、第2のパターンを形成するステップ。
(5)前記第1、第2のパターンをマスクとし、前記導電性膜をドライエッチングするステップ。 - 次のステップを有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
(1)導電性膜が設けられた半導体基板上に、下層レジスト膜およびシリコンを含む上層レジスト膜を成膜するステップ。
(2)前記上層レジスト膜に写真製版、ドライエッチングを施し、第1のパターンを形成するステップ。
(3)高圧力の不活性ガス中で、前記第1のパターン表面にシリコンを析出させるステップ。
(4)前記第1のパターン表面に析出したシリコンを酸化して酸化シリコンとするステップ。
(5)前記第1のパターンをマスクとし、前記下層レジスト膜にドライエッチングを施し、第2のパターンを形成するステップ。
(6)前記第1、第2のパターンをマスクとし、前記導電性膜をドライエッチングするステップ。 - ステップ(4)における析出シリコンの酸化が、酸素雰囲気中で行われることを特徴とする請求項2に記載の半導体装置の製造方法。
- ステップ(5)におけるドライエッチングが、酸素を含まないエッチングガスを用いて行われることを特徴とする請求項2に記載の半導体装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003000743A JP2004214465A (ja) | 2003-01-07 | 2003-01-07 | 半導体装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003000743A JP2004214465A (ja) | 2003-01-07 | 2003-01-07 | 半導体装置の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004214465A true JP2004214465A (ja) | 2004-07-29 |
Family
ID=32818943
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003000743A Pending JP2004214465A (ja) | 2003-01-07 | 2003-01-07 | 半導体装置の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2004214465A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007300125A (ja) * | 2006-05-02 | 2007-11-15 | Hynix Semiconductor Inc | 半導体素子の微細パターンの形成方法 |
US8518830B2 (en) | 2011-03-25 | 2013-08-27 | Tokyo Electron Limited | Plasma etching method and storage medium |
US9117769B2 (en) | 2009-08-27 | 2015-08-25 | Tokyo Electron Limited | Plasma etching method |
-
2003
- 2003-01-07 JP JP2003000743A patent/JP2004214465A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007300125A (ja) * | 2006-05-02 | 2007-11-15 | Hynix Semiconductor Inc | 半導体素子の微細パターンの形成方法 |
US9117769B2 (en) | 2009-08-27 | 2015-08-25 | Tokyo Electron Limited | Plasma etching method |
US8518830B2 (en) | 2011-03-25 | 2013-08-27 | Tokyo Electron Limited | Plasma etching method and storage medium |
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RD01 | Notification of change of attorney |
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