JP2004165225A - 半導体基板の製造方法、固体撮像装置の製造方法及び固体撮像装置用の選別方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】シリコン基板1に、イオン注入装置のMoの不純物レベルが2.4×109 atoms/cm2 以下である状態でシリコンと同族の元素、好ましくは炭素32をイオン注入して、ゲッタリング用の不純物注入領域34を形成し、前記シリコン基板1の表面にシリコンエピタキシャル層2を形成する工程を有する。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体装置(特に固体撮像装置)を形成する際に適用されるエピタキシャル層を有した半導体基板の製造方法に関する。
また、本発明は、この半導体基板を用いて作成する固体撮像装置の製造方法に関する。
さらに、本発明は、固体撮像装置を作成に際しての、固体撮像装置用基板の選別方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体装置を形成するための半導体基板としては、CZ(Czochralski)法で成長させたCZ基板、MCZ(Magnetic field Czochralski)法で成長させたMCZ基板や、これらのCZ基板又はMCZ基板の表面にエピタキシャル層を形成したエピタキシャル基板等が一般的に多く用いられている。
【0003】
特に、固体撮像装置用としては、半導体基板に導入した不純物の濃度むら、いわゆるドーパント濃度むら(Striation)に起因する、画像コントラストむらを低減するために、エピタキシャル基板や基板が主として使用されている。このうち、エピタキシャル基板は、素子形成層下に埋め込み領域による低抵抗領域を形成したり、又は低抵抗基板を使用することができ、低電圧駆動、低消費電力化として有効であり、今後も用途の拡大が基体される。
【0004】
シリコン基板の表面にエピタキシャル層を有する所謂シリコンエピタキシャル基板では、実用的なエピタキシャル層の形成方法として、CVD(化学気相成長)法が用いられており、以下の主な4種類のソースガスが使用されている。
水素還元法では、ソースガスとしてSiCl4 、SiHCl3 が使用される。
SiCl4 + 2H2 → Si + 4HCl
SiHCl3 + H2 → Si + 3HCl
熱分解法では、ソースガスとしてSiH2 Cl2 、SiH4 が使用される。
SiH2 Cl2 → Si + 2HCl
SiH4 → Si + 2H2
このうち、固体撮像装置としては、SiHCl3 が、安価であること、成長速度が大きく、厚膜エピタキシャル成長用に適していること等から、主に用いられている。
【0005】
しかし、いずれのソースガスを用いてエピタキシャル層を形成したエピタキシャル基板も、エピタキシャル層の形成中に混入する不純物、特に金属不純物が多い。このような金属不純物は、固体撮像装置に適用した場合に、暗電流による白傷欠陥が充分に低減できず、特性や歩留りを悪くする原因となっていた。
【0006】
重金属不純物の発生源としては、エピタキシャル成長装置のベルジャー内のSUS系部材からのもの、ソースガス(原材料ガス)の配管からのもの等が考えられる。ソースガスに塩素(Cl)系が含まれていると、エピタキシャル成長時に分解してHClガスが作られる。このHClガスがベルジャー内のSUS系部材を腐食して、金属の塩化物としてソースガス中に取り込まれ、この金属塩化物がエピタキシャル層中に取り込まれるものと考えられる。また、エピタキシャル報形成前に、シリコン基板表面を軽くエッチオフするために、HClガスを故意に導入する場合もあり、これも腐食の一因となっている。
【0007】
従って、エピタキシャル基板を用いて固体撮像装置を形成する場合は、上記金属不純物を除去するために、何らかのゲッタリング技術が不可欠であり、実際の生産ラインでも幾つかは導入されている。ゲッタリング技術としては、シリコン基板中の酸素を基板内部のみに析出させ、これをゲッターシンクとするイントリンシックゲッタリング(IG)法、基板裏面にポリシリコンや高濃度リン(P)領域等を形成し、シリコンとの歪み応力を利用してゲッターシンクを形成するエクストリンシックゲッタリング(EG)法等が知られている。しかし、いずれも、エピタキシャル基板のゲッタリング法としては、能力が充分でなく、固体撮像装置の暗電流である白傷欠陥を十分に低減できていなかった。
【0008】
そこで、本出願人は、先にシリコン基板にその一表面から炭素イオンを5×1013cm−2以上注入して炭素注入領域を形成し、この表面にシリコンエピタキシャル層を形成するようにした、炭素ゲッタリングエピタキシャル基板の製造方法を提案した(特許文献1参照)。この製造方法によれば、従来のゲッタリング法を用いたエピタキシャル基板に比べ、固体撮像装置の白傷欠陥を1/5に低減できた。
【0009】
【特許文献1】
特開平6ー338507号公報
【0010】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述の炭素ゲッタリングエピタキシャル基板の製造方法においても、今後の微細化に伴って要求される超高感度な固体撮像装置ではまだ十分なレベルではなく、更なる改善が必要である。その後の調査から、固体撮像装置の暗電流である白傷欠陥を悪化させる金属不純物が炭素ゲッタリングのための炭素のイオン注入工程でも混入している事が判明し、このイオン注入工程での汚染を低減することも必要であることが判った。
【0011】
また、エピタキシャル基板を利用した一般の半導体装置においても、金属不純物や結晶欠陥が活性領域に存在していると、半導体装置の品質及び特性が著しく劣化する。このため、上記の炭素ゲッタリングを適用することができるが、同様に炭素イオン注入工程での汚染を低減する必要がある。
【0012】
本発明は、上述の点に鑑み、炭素ゲッタリングのイオン注入工程で混入する不純物を低減し、有効なゲッタリング能力を有する半導体基板、即ちエピタキシャル基板の製造方法を提供するものである。
また、本発明は、白傷欠陥を低減した固体撮像装置の製造方法を提供するものである。
【0013】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る半導体基板の製造方法は、シリコン基板に、イオン注入装置のMoの不純物レベルが2.4×109 atoms/cm2 以下である状態でシリコンと同族の元素をイオン注入して、ゲッタリング用の不純物注入領域を形成する工程と、シリコン基板の表面にシリコンエピタキシャル層を形成する工程とを有する。
また、本発明に係る半導体基板の製造方法は、 イオン注入装置のMoの不純物レベルが2.4×109 atoms/cm2 以下である状態でシリコンと同族の不純物をイオン注入して、ゲッタリング用の不純物注入領域を形成したシリコン基板を用意し、この不純物注入領域を形成したシリコン基板の表面にシリコンエピタキシャル層を形成する工程を有する。
上記シリコンと同族の不純物は炭素とし、上記ゲッタリング用の不純物注入領域は炭素注入領域とするのが好ましい。
【0014】
本発明の半導体基板の製造方法においては、シリコン基板にゲッタリング用の不純物注入領域を形成するためのシリコンと同族の元素、好ましくは炭素をイオン注入するに際し、イオン注入装置のMoの不純物レベルが2.4×109 atoms/cm2 以下である状態でイオン注入することにより、上記元素イオン注入時の金属汚染が除去され、ゲッタリング能力に強いシリコンエピタキシャル基板が製造される。
【0015】
本発明に係る固体撮像装置の製造方法は、シリコン基板に、イオン注入装置のMoの不純物レベルが2.4×109 atoms/cm2 以下である状態でシリコンと同族の不純物をイオン注入して、ゲッタリング用の不純物注入領域を形成し、シリコン基板の表面にシリコンエピタキシャル層を形成して、半導体基板を形成する工程と、この半導体基板に固体撮像装置を作成する工程とを有する。
また、本発明に係る固体撮像装置の製造方法は、イオン注入装置のMoの不純物レベルが2.4×109 atoms/cm2 以下である状態でシリコンと同族の不純物をイオン注入して、ゲッタリング用の不純物注入領域を形成したシリコン基板を用意し、この不純物注入領域を形成したシリコン基板の表面にシリコンエピタキシャル層を形成して半導体基板を形成する工程と、この半導体基板に固体撮像装置を作成する工程とを有する。
上記シリコンと同族の不純物は炭素とし、上記ゲッタリング用の不純物注入領域は炭素注入領域とするのが好ましい。
【0016】
本発明の固体撮像装置の製造方法においては、シリコン基板にゲッタリング用の不純物注入領域を形成するためのシリコンと同族の元素、好ましくは炭素をイオン注入するに際し、イオン注入装置のMoの不純物レベルが2.4×109 atoms/cm2 以下である状態でイオン注入することにより、上記元素イオン注入時の金属汚染が除去され、ゲッタリング能力に強いシリコンエピタキシャル基板が作成される。このシリコンエピタキシャル基板に固体撮像装置を作成するので、より白傷欠陥が低減した固体撮像装置の製造が可能になる。
【0017】
本発明に係る固体撮像装置用基板の選別方法は、固体撮像装置の作成において、 シリコン基板に、イオン注入装置のMoの不純物レベルが2.4×109 atoms/cm2 以下である状態でシリコンと同族の不純物をイオン注入して、ゲッタリング用の不純物注入領域を形成した後、前記シリコン基板の表面にエピタキシャル層を形成したエピタキシャル基板のみを選別して用いる
上記シリコンと同族の不純物は炭素とし、上記ゲッタリング用の不純物注入領域は炭素注入領域とするのが好ましい。
【0018】
本発明の固体撮像装置用基板の選別方法においては、固体撮像装置の作成において、上述したイオン注入装置のMoの不純物レベルが2.4×109 atoms/cm2 以下の時に形成した上記半導体基板のみを選別して、用いるので、高感度の固体撮像装置が無駄なく製造することが可能になる。
【0019】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。
【0020】
図1は、本発明に係る半導体基板、即ちエピタキシャル基板の製造方法の一実施の形態を示す。本実施の形態に係るエピタキシャル基板の製造方法は、先ず、図1Aに示すように、シリコン基板1を用意する。本例ではCZ法で形成したシリコン単結晶から切り出したCZ基板を用意する。このCZ基板1は、例えば、比抵抗が8〜12Ωcm、直径φが200mmのリン(P)ドープのn型基板とすることができる。
【0021】
次に、図1Bに示すように、このシリコン基板1のミラー表面である一方の主面1aに、洗浄後、熱酸化膜31を形成する。本例ではシリコン基板1の主面1aに、RCA洗浄を施した後、1000℃のドライ酸化処理により膜厚20nmていどの熱酸化膜31を形成する。
【0022】
次に、図1Cに示すように、イオン注入装置の特定元素であるモリブデン(Mo)の不純物レベルを把握し、一定レベル以下であることを確認する。当然、このレベル確認は予め行っていても良い。このモリブデン(Mo)の決定した背景とその一定レベル値に関しては後述する。
【0023】
次に、図1Dに示すように、モリブデン(Mo)の不純物レベルが一定レベル以下であることを確認したイオン注入装置を用いて、熱酸化膜31を介して主面1aから炭素32を5×1013cm−2以上イオン注入してゲッタシンクとなる炭素注入領域34を形成する。本例では、160keV程度の加速エネルギー及び1×1015cm−2程度のドーズ量で炭素32をイオン注入する。このときの炭素32の投影射程距離は約0.35μm程度であり、ピーク濃度は約5×1018cm−3程度である。その後、例えば1000℃、10分のアニール処理を施す。この結果、CZ基板1の主面1aより深い位置にピーク濃度を有する炭素注入領域34が形成される。
【0024】
次に、図1Eに示すように、熱酸化膜31を除去し、主面1a上にシリコンエピタキシャル層2を成長させる。本例では、熱酸化膜31をHF溶液を含む溶液で除去し、SiHClガスを用いて1100℃程度の温度で、比抵抗が40〜50Ωcm程度のリン(P)ドープのn型シリコンエピタキシャル層2を、主面1a上に8μm程度の暑さに成長させる。このようにして、目的のエピタキシャル基板3を完成させる。
なお、炭素注入領域34のピーク濃度を主面1aより深くするのは、注入で非晶質化された主面1a近傍における結晶性を回復させるためであるが、注入条件によては、必ずしも必要ではない。
【0025】
本実施の形態の半導体基板の製造方法によれば、シリコン基板の一表面にゲッタリングを目的に炭素イオンを5×1013cm−2以上注入する際に、イオン注入装置のモリブデン(Mo)の不純物レベルが2.4×109 atoms/cm2 以下の時にイオン注入する、または後述するモリブデン(Mo)の不純物レベルが2.4×109 atoms/cm2 以下のイオン注入装置を限定してイオン注入することにより、ゲッタリング能力が極めて強いシリコンエピタキシャル基板を作成することができる。
【0026】
図2は、上述のエピタキシャル基板3を用いて製造したCCD固体撮像装置の一実施の形態を示す。本実施の形態のCCD固体撮像装置23は、エピタキシャル基板3の第1導電型、例えばn型のエピタキシャル層2に第2導電型、例えばp型の半導体ウェル領域4が形成され、このp型半導体ウェル領域4内に、n型の不純物拡散領域5と垂直転送レジスタ6を構成するn型転送チャネル領域7、及びp型チャネルストッパ領域8が形成される。n型不純物拡散領域5上にp型領域(正電荷蓄積領域)9が、n型転送チャネル領域7の直下に第2のp型半導体ウェル領域8が夫々形成される。n型不純物拡散領域5とp型半導体ウェル領域4とのpn接合jによるフォトダイオードPDによって受光部(光電変換変換部)11が構成される。転送チャネル領域7、チャネルストッパ領域8及び読出しゲート部12上にゲート絶縁膜(例えばSiO2 /SiN/SiO2 の3層膜)18を介して第1及び第2の多結晶シリコンからなる複数の転送電極19が形成される。更に、層間絶縁膜20を介して各垂直転送レジスタ6上を覆うように例えばアルミニウム(Al)またはタングステン(W)等からなる遮光膜21が形成さる。
【0027】
次に、本発明に至った経緯を説明する。本発明者は、固体撮像装置の生産工程におけるイオン注入装置から金属不純物汚染が無視できるものではなく、時として白傷欠陥に大きな影響を与えていることを経験的に知っている。そこで、以前に本発明者らが提案した、シリコン基板の一表面に炭素イオンを5×1013cm−2以上注入し、この表面にシリコンエピタキシャル層を形成する「炭素ゲッタリングエピタキシャル基板の製造方法」(特許文献1)においても、炭素イオン注入時の汚染源が混入していないかを調査した。
【0028】
図3は、炭素イオン注入の際のイオン注入装置のモリブデン(Mo)濃度と固体撮像装置の白傷欠陥との関連を調査した結果である。評価は次のようにして行った。炭素イオンを1×1015cm−2程度注入した後、ソースガスであるSiHCl3 ガスを用いて1110℃の温度でエピタキシャル成長させ、比抵抗40〜50Ωcmのエピタキシャル層を形成した、図1のエピタキシャル基板を作成した。炭素のイオン注入工程で、イオン注入装置のモリブデン(Mo)の不純物レベルを変えて各エピタキシャル基板を作成した。このエピタキシャル基板に図2に示すCCD固体撮像装置を形成し、白傷欠陥を評価した。
【0029】
図3では、イオン注入装置のモリブデン(Mo)の不純物レベルが5×109 atoms/cm2 のときの白傷欠陥数を1.0として規格化した値で示す。図3の評価結果から、イオン注入装置のモリブデン(Mo)の不純物レベルが2.4×109 atoms/cm2 以下、好ましくは0.08×109 atoms/cm2 以下とすることにより、CCD固体撮像装置の白傷欠陥を低減することができる。
【0030】
図4及び図5は、本発明に係る固体撮像装置の製造方法の一実施の形態を示す。本実施の形態は前述の図2に示したと同様のCCD固体撮像装置に適用した場合である。
先ず、図4Aに示すように、第1導電型のシリコン基板1を設ける。本例ではn型のCZシリコン基板としている。このCZシリコン基板1は、主面が(100)面を有し、比抵抗10Ωcm、直径200mmの基板である。このシリコン基板1の表面、即ち一主面に熱酸化膜31を形成した後、基板1の主面から炭素をイオン注入して主面よりも深い位置にピーク濃度を有する炭素注入領域34を形成する。この炭素のイオン注入において、特にイオン注入装置のモリブデン(Mo)の不純物レベルを一定レベル以下、即ち上述した2.4×109 atoms/cm2 以下、好ましくは0.08×109 atoms/cm2 以下にした状態でイオン注入する。本例では炭素を1×1015cm−2程度イオン注入して、ゲッタシンクとなる炭素注入領域34を形成する。イオン注入後、アニール処理を施し、熱酸化膜31を除去する。
【0031】
次に、図4Bに示すように、シリコン基板1の主面上に第1導電型のシリコンエピタキシャル層2を成長し、エピタキシャル基板3を形成する。本例ではSiHCl3 のソースガスによる水素還元法を用いて、1110℃のエピタキシャル成長温度で、膜厚8μm程度のn型シリコンエピタキシャル層2を成長する。
【0032】
次に、図4Cに示すように、シリコンエピタキシャル層2に第1の第2導電型半導体ウェル領域4を形成する。本例では第1のp型半導体ウェル領域4を形成する。
【0033】
次に、図4Dに示すように、第1のp型半導体ウェル領域4の表面上に絶縁膜18を形成し、第1のp型半導体ウェル領域4内にn型不純物、p型不純物を選択的にイオン注入して、垂直転送レジスタを構成するn型の転送チャネル領域7と、p型のチャネルストップ領域8と、第2のp型半導体ウェル領域10をそれぞれ形成する。
なお、本例では後述する転送電極19の下部の絶縁膜18は、SiO2 /Sin/SiO2 積層膜(ONO膜)構造のゲート絶縁膜とし、受光部11の下部のみは付け直してSiO2 膜としている。
【0034】
次に、図5Eに示すように、転送チャネル領域7、読出しゲート部12及びチャネルストップ領域8に対応する部分のゲート絶縁膜18上に、選択的に例えば多結晶シリコンからなる転送電極を形成する。
次に、図5Fに示すように、受光部11に対応するP型半導体ウェル領域4にイオン注入によりn型不純物領域5及びその上のp型領域(正電荷蓄積領域)9を形成する。
次に、層間絶縁膜20を介して受光部1を除く領域上に一部受光部11に張り出すように遮光膜21を形成して、目的のCCD固体撮像装置23を得る。
【0035】
但し、本発明の固体撮像装置は、上述の構造に限定するものではない。また、本実施の形態のCCD固体撮像装置23は、n型のシリコンエピタキシャル基板3上に形成されたp型の半導体ウェル領域4表面にn型不純物拡散領域5を形成してp型半導体ウェル領域4とn型不純物拡散領域5とのpn接合によって、フォトダイオードを形成するタイプである。
【0036】
本実施の形態に係るCCD固体撮像装置23の製造方法によれば、ゲッタリング能力が強い炭素注入領域34を有するエピタキシャル基板を用いて製造することにより、CCD固体撮像装置の白傷欠陥を大幅に低減することができる。即ち、上述したシリコン基板の一主面にゲッタリングを目的とした炭素イオンを注入する際に、イオン注入装置のモリブデン(Mo)の不純物レベルを2.4×109 atoms/cm2 以下、好ましくは0.08×109 atoms/cm2 以下としてイオン注入した後、エピタキシャル層を形成したエピタキシャル基板を用いることにより、炭素イオン注入時の金属汚染が除去され、ゲッタリング能力が高められ、固体撮像装置の白傷欠陥を低減することができる。
【0037】
また、上述したモリブデン(Mo)の不純物レベルが上記一定レベル以下の時に形成したエピタキシャル基板のみを選別して高感度固体撮像装置を形成することにより、無駄なく高感度固体撮像装置を形成することが可能になる。
【0038】
上述の実施の形態では、炭素ゲッタリング法しか用いていないが、本発明に他のゲッタリング方法、例えばイントリンジックゲッタリング法、多結晶Siゲッタリング法、リンゲッタリング法、等を組み合わせれが、ゲッタリング能力が更に向上するものである。
また、上例の固体撮像装置では、n型シリコンエピタキシャル基板上に形成された、p型の半導体ウェル領域4表面にn型不純物拡散領域5を形成て、p型半導体ウェル領域4とn型不純物拡散領域5とのpn接合によって、フォトダイオード(PD)を形成した場合であるが、その他、本発明は、p型のシリコンエピタキシャル基板にn型不純物拡散領域を形成してフォトダイオード(PD)を形成するようにした固体撮像装置にも適用することができる。
更に、本発明は、各受光部11の位置に対応して複数の層内レンズを有するように構成したCCD固体撮像装置、縦型オーバーフローバリアを形成した後にエピタキシャルを形成し、基板表面より比較的深い位置に縦型オーバーフローバリアを設けるようにして、近赤外線にも感度を持たせるように構成したつCCCD固体撮像装置、紫外線の透過性を有する膜のみにて受光部を形成するように構成したCCD固体撮像装置などにも、当然適用できる。
上例では、本発明をCCD固体撮像装置に適用したが、その他の固体撮像装置、例えば、増幅型固体撮像装置やCMOS型固体撮像装置等の製造にも本発明は適用することができ、十分な効果が期待される。
【0039】
上例では、シリコン基板に炭素のみをイオン注入しているが、IV族元素であるGe,Sn,Pb等を炭素の代わりにイオン注入してもよく、IV族以外の元素を炭素等のIV族元素と同時にイオン注入してもよい。また上例では、シリコン基板であるCZ基板を用いているが、MCZ基板を用いてもよい。
【0040】
上例では、エピタキシャル成長のソースガスとして、SiHCl3 を用いたが、その他の水素還元法、熱分解法で使用するSiCl4 、SiH2 Cl2 、SiH4 等を用いても同様の本発明の効果が得られる。
【0041】
上述の実施の形態のエピタキシャル基板を用いて所要の半導体素子を有する半導体装置を製造するときは、活性領域の金属不純物や結晶欠陥が除去され、品質及び特性の良い半導体装置が得られる。
【0042】
更に、本発明では、炭素等、シリコンと同族の元素のイオン注入に際して、モリブデン(Mo)の不純物レベルが2.4×109 atoms/cm2 以下、好ましくは0.08×109 atoms/cm2 以下に設定されたイオン注入装置に限定して、イオン注入を行ってもよい。また、本発明は、固体撮像装置の作成において、イオン注入装置のモリブデン(Mo)の不純物レベルが2.4×109 atoms/cm2 以下、好ましくは0.08×109 atoms/cm2 以下の時に炭素等、シリコンと同族の元素のイオン注入を行ったエピタキシャル基板のみを選別して用いる、という高感度固体撮像装置用基板の選別方法をも提案する。このようなイオン注入装置の限定で得られたエピタキシャル基板、あるいは選別方法で選別されたエピタキシャル基板を用いることにより、無駄なく、歩留り良く高感度固体撮像装置を製造することができる。
【0043】
【発明の効果】
本発明に係る半導体基板の製造方法によれば、シリコン基板にゲッタリングを目的にシリコンと同族の元素イオン、好ましくは炭素イオンを所要ドーズ量、例えば5×1013cm−2以上注入する際、イオン注入装置のモリブデン(Mo)の不純物レベルが2.4×109 atoms/cm2 以下の状態で注入することにより、上記元素イオン注入時の金属汚染を除去することができる。そして、このシリコン基板の表面にシリコンエピタキシャル層を形成することにより、ゲッタリング能力が強いシリコンエピタキシャル基板を作成することができる。
【0044】
本発明に係る固体撮像装置の製造方法によれば、上記半導体基板、即ちゲッタリング能力が強いシリコンエピタキシャル基板を用いることにより、固体撮像装置の白傷欠陥を大幅に低減することができる。従って、信頼性の高い固体撮像装置を提供することができる。
【0045】
本発明に係る固体撮像装置用基板の選別方法によれば、固体撮像装置の作成において、上述したイオン注入装置のモリブデン(Mo)の不純物レベルが2.4×109 atoms/cm2 以下の時に形成したシリコンエピタキシャル基板のみを選別して、高感度固体撮像装置を作成することにより、無駄なく、高感度固体撮像装置を形成することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】A〜E 本発明に係る半導体基板の製造方法の一実施の形態を示す製造工程図である。
【図2】本発明の半導体基板を用いて作成した固体撮像装置の一実施の形態を示す構成図である。
【図3】本発明の説明に供する固体撮像装置の白傷欠陥を評価するグラフ(イオン注入装置のMo濃度と白傷欠陥との相関図)である。
【図4】A〜D 本発明に係る固体撮像装置の製造方法の一実施の形態を示す製造工程図(その1)である。
【図5】E〜G 本発明に係る固体撮像装置の製造方法の一実施の形態を示す製造工程図(その2)である。
【符号の説明】
1・・・シリコン基板、1a・・・主面、2・・・エピタキシャル層、3・・・エピタキシャル基板、31・・・熱酸化膜、32・・・炭素、34・・・炭素注入領域、23・・・CCD固体撮像装置、4・・・第1のp型半導体ウェル領域、5・・・n型不純物拡散領域、6・・・垂直転送レジスタ、7・・・転送チャネル領域、8・・・チャネルストップ領域、9・・・p型領域、10・・・第2のp型半導体ウェル領域、11・・・受光部、12・・・読出しゲート部、18・・・ゲート絶縁膜、19・・・転送電極、20・・・層間絶縁膜、21・・・遮光膜
Claims (8)
- シリコン基板に、イオン注入装置のMoの不純物レベルが2.4×109 atoms/cm2 以下である状態でシリコンと同族の元素をイオン注入して、ゲッタリング用の不純物注入領域を形成し、前記シリコン基板の表面にシリコンエピタキシャル層を形成する工程を有する
ことを特徴とする半導体基板の製造方法。 - イオン注入装置のMoの不純物レベルが2.4×109 atoms/cm2 以下である状態でシリコンと同族の元素をイオン注入して、ゲッタリング用の不純物注入領域を形成したシリコン基板を用意し、
前記不純物注入領域を形成したシリコン基板の表面にシリコンエピタキシャル層を形成する工程を有する
ことを特徴とする半導体基板の製造方法。 - 前記シリコンと同族の元素が炭素であり、前記不純物注入領域が炭素注入領域である
ことを特徴とする請求項1又は2記載の半導体基板の製造方法。 - シリコン基板に、イオン注入装置のMoの不純物レベルが2.4×109 atoms/cm2 以下である状態でシリコンと同族の元素をイオン注入して、ゲッタリング用の不純物注入領域を形成し、前記シリコン基板の表面にシリコンエピタキシャル層を形成して、半導体基板を形成する工程と、
前記半導体基板に固体撮像装置を作成する工程とを有する
ことを特徴とする固体撮像装置の製造方法。 - イオン注入装置のMoの不純物レベルが2.4×109 atoms/cm2 以下である状態でシリコンと同族の不純物をイオン注入して、ゲッタリング用の不純物注入領域を形成したシリコン基板を用意し、
前記不純物注入領域を形成したシリコン基板の表面にシリコンエピタキシャル層を形成して、半導体基板を形成する工程と、
前記半導体基板に固体撮像装置を作成する工程とを有する
ことを特徴とする固体撮像装置の製造方法。 - 前記シリコンと同族の元素が炭素であり、前記不純物注入領域が炭素注入領域である
ことを特徴とする請求項4又は5記載の固体撮像装置の製造方法。 - 固体撮像装置の作成において、
シリコン基板に、イオン注入装置のMoの不純物レベルが2.4×109 atoms/cm2 以下である状態でシリコンと同族の不純物をイオン注入して、ゲッタリング用の不純物注入領域を形成した後、前記シリコン基板の表面にエピタキシャル層を形成したエピタキシャル基板のみを選別して用いる
ことを特徴とする固体撮像装置用基板の選別方法。 - 前記シリコンと同族の元素が炭素であり、前記不純物注入領域が炭素注入領域である
ことを特徴とする請求項7記載の固体撮像装置用基板の選別方法。
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