JP2004163692A

JP2004163692A - Optical multilayer film filter and its manufacture method

Info

Publication number: JP2004163692A
Application number: JP2002329953A
Authority: JP
Inventors: Masayuki Otani; 正之大谷
Original assignee: Nikon Corp
Current assignee: Nikon Corp
Priority date: 2002-11-13
Filing date: 2002-11-13
Publication date: 2004-06-10
Also published as: AU2003284699A1; WO2004044630A1

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an optical multilayer film filter in which the inclination direction of a filter surface can be easily recognized. <P>SOLUTION: The optical multilayer film filter is composed of a transparent substrate 2 formed into a polygonal plate shape and an optical multilayer film 3 formed on either side of the surface and the rear surface of the transparent substrate 2 which face each other. Therein, a mark 5 is disposed on at least one side surface except the surface and the rear surface in the transparent substrate 3. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、透明基板と、この透明基板の表面に成膜された光学多層膜とを備えた光学多層膜フィルタおよびその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、インターネット通信等の普及および利用が進み、通信ラインの通信量が急速に増大しつつある。このため、大量の通信量を扱える光ファイバを用いた光通信が主流になりつつあり、さらに、波長分割多重通信技術ＷＤＭ等も用いられている。このような光ファイバを用いた光通信システムにおいて、所定の波長の光をカットしたり、波長選択を行ったり、波長対応ゲイン調整を行ったりするために、高屈折率物質層と低屈折率物質層とを交互に積層して作られる光学多層膜フィルタが多く用いられている。
【０００３】
光学多層膜フィルタは、ガラス基板等の透明基板と、透明基板の表面に成膜された光学多層膜と、透明基板の裏面に成膜された反射防止膜とを備えて構成される。そして、このように構成された光学多層膜フィルタを光が通過することで所定のフィルタ処理が行われるようになっている。
【０００４】
ところで、透明基板の内部から透明基板の裏面に達した光は、反射防止膜により透明基板の裏面で反射するのを防止されているが、反射防止膜を用いても完全に光の反射を抑えることはできない。そのため、透明基板の表面と裏面とが平行であると、透明基板の内部における反射防止膜で反射した僅かな光が光学多層膜を通過する光と干渉を起こし、光学多層膜の分光透過率特性が劣化してしまう。そこで、このような光の干渉を抑えるために、透明基板における光学多層膜が成膜される面と、反射防止膜が成膜される面とが平行にならないように、透明基板の表面と裏面との間に傾きが設けられ、光学多層膜フィルタ（透明基板）の表面に垂直でフィルタ表面の傾く方向と平行な断面が楔形となるようになっている。
【０００５】
【特許文献１】国際公開第ＷＯ０２／３１５４５Ａ１号パンフレット
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
このような断面が楔形の光学多層膜フィルタを通過する光は屈折するため、光学多層膜フィルタを通過した光の出射進行方向は、光学多層膜フィルタに入射する光の入射進行方向と同じではなく、光の入射進行方向に対し若干傾いている。そこで、上述のような光通信システムにおいて、光学多層膜フィルタを通過した光を受光する受光部（例えば、コリメータレンズ）の設置方向は、光の透過率を損なわないように、光学多層膜フィルタを通過した光の出射進行方向の延長上で、光軸が重なるように配置されている。
【０００７】
そのため、光学多層膜フィルタを配設する際には、フィルタ表面の傾く方向を知る必要がある。例えば、１００ｍｍ角の光学多層膜フィルタに０．３度の傾きをつけた場合、その厚さの薄い方を１ｍｍとすると、厚い方は約１．５ｍｍになる。これくらいの差であれば、目視でどちらが厚いか判別でき、フィルタ表面の傾く方向を目視で知ることができる。
【０００８】
しかしながら、光学多層膜フィルタは、大きさが１．４〜２．０ｍｍ角のものが多く用いられており、例えば、１．４ｍｍ角の光学多層膜フィルタに０．３度の傾きをつけた場合では、その厚さの薄い方を１ｍｍとすると、厚い方は約１．００７ｍｍであり、この差は目視ではほとんど判別できない。そのため、フィルタ表面の傾く方向を容易に知るための方策が求められていた。
【０００９】
本発明は、このような問題に鑑みてなされたものであり、フィルタ表面の傾く方向を容易に知ることができる光学多層膜フィルタを提供することを目的とする。本発明はまた、フィルタ表面の傾く方向を容易に知ることができる光学多層膜フィルタの製造方法を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
このような目的達成のため、請求項１に係る発明の光学多層膜フィルタは、透明基板と、透明基板の互いに対向する表面および裏面の少なくともいずれか一方に成膜された光学多層膜とを備えて構成された光学多層膜フィルタにおいて、透明基板における表面および裏面を除く少なくとも一つの側面に、マークが設けられていることを特徴とする。
【００１１】
請求項２に係る発明の光学多層膜フィルタは、請求項１に記載の光学多層膜フィルタにおいて、マークは、透明基板における表面および裏面を除く少なくとも一つの側面を段付平面状に形成して設けられていることを特徴とする。
【００１２】
請求項３に係る発明の光学多層膜フィルタは、請求項１に記載の光学多層膜フィルタにおいて、マークは、透明基板における表面および裏面を除く少なくとも一つの側面を他の側面と加工模様が異なるように形成することにより、側面にマーキング面を形成して設けられていることを特徴とする。
【００１３】
請求項４に係る発明の光学多層膜フィルタの製造方法は、板状の透明基板材における互いに対向する表面および裏面の少なくともいずれか一方に光学多層膜を成膜してフィルタ部材を形成し、フィルタ部材を切断分割する工程を有する光学多層膜フィルタを製造する方法であって、複数種の切断分割方法を用いてフィルタ部材の切断分割を行い、透明基板における表面および裏面を除く少なくとも一つの側面の切断面形態を他の側面の切断面形態と異ならせ、少なくとも一つの側面の切断面形態によりマーキング面を形成することを特徴とする。
【００１４】
請求項５に係る発明の光学多層膜フィルタの製造方法は、請求項４に記載の光学多層膜フィルタの製造方法において、フィルタ部材の切断分割時に所定の切断位置に隣接して溝を形成し、次に前記所定の切断位置でフィルタ部材を切断分割することにより、マーキング面が段付平面状に形成されることを特徴とする。
【００１５】
請求項６に係る発明の光学多層膜フィルタの製造方法は、請求項４に記載の光学多層膜フィルタの製造方法において、フィルタ部材の切断面の加工模様が、マーキング面と、他の側面とで異なるようにフィルタ部材を切断分割し、側面にマーキング面が形成されることを特徴とする。
【００１６】
請求項７に係る発明の光学多層膜フィルタの製造方法は、請求項４に記載の光学多層膜フィルタの製造方法において、フィルタ部材の切断速度が、マーキング面が切断面となる場合と、他の側面が切断面となる場合とで異なるようにフィルタ部材を切断分割し、側面にマーキング面が形成されることを特徴とする。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の好ましい実施形態について説明する。本発明に係る光学多層膜フィルタを図１に示している。この光学多層膜フィルタ１は、ガラス基板等の透明基板２と、透明基板２の表面に成膜された光学多層膜３（厚さ数十μｍ程度）と、透明基板２の裏面に成膜された反射防止膜４（厚さ０．数〜数μｍ程度）とを備えて構成される。
【００１８】
光学多層膜３は、詳細図示しないが、透明基板２の表面に高屈折率物質層と低屈折率物質層とを交互に多数積層して形成され、所定の分光透過率特性を有している。そして、光学多層膜３を光が通過することで、所定のフィルタ処理が行われるようになっている。
【００１９】
なお、光学多層膜フィルタ１が行うフィルタ処理には、例えば、所定の波長の光をカットする処理や、波長選択処理、波長対応ゲイン調整処理等がある。ここで、波長対応ゲイン調整処理は、光信号を増幅する光アンプ（図示せず）の増幅特性が持つ波長依存性を平坦化するための処理であり、このような処理を行うフィルタはゲイン平坦化フィルタＧＦＦ（ＧａｉｎＦｌａｔｔｅｎｉｎｇＦｉｌｔｅｒ）と称される。
【００２０】
反射防止膜４は透明基板２の他方の表面に形成され、透明基板２の内部から他方の表面に達した光が反射するのを防止するようになっている。なお、反射防止膜４の最大反射率は、光学多層膜フィルタ１の動作波長域で０．５％以下となっている。
【００２１】
透明基板２は四角形板状に形成され、透明基板２の表面に光学多層膜３が成膜されるとともに、透明基板２の裏面に反射防止膜４が成膜されている。光学多層膜フィルタ１の寸法は、厚さが１．０〜１．５ｍｍ、大きさが１．４〜２．０ｍｍ角のものが多く用いられている。
【００２２】
図２にも示すように、透明基板２の表面と裏面との間には傾きが設けられ、光学多層膜フィルタ１（透明基板２）の表面に垂直でフィルタ表面の傾く方向と平行な断面が楔形となるようになっている。これにより、透明基板２における光学多層膜３が成膜される面と、反射防止膜４が成膜される面とが平行にならないため、反射防止膜４で反射した透明基板２内部の僅かな光が光学多層膜３を通過する光と干渉を起こして、光学多層膜３の分光透過率特性の劣化を招くことを防止することができる。なお、透明基板２の表面と裏面との間、すなわち、光学多層膜３の表面と反射防止膜４の表面との間の相対的な傾き角αは、０．３度のものが多く用いられている。
【００２３】
上述のような断面が楔形の光学多層膜フィルタ１を通過する光は屈折するため、光学多層膜フィルタ１を通過した光の出射進行方向は、図３に示すように、光学多層膜フィルタ１に入射する光の入射進行方向と同じではなく、光の入射進行方向に対し若干傾いている。そこで、光学多層膜フィルタ１を通過した光を受光する受光部Ｒ（例えば、コリメータレンズ）の設置方向は、光の透過率を損なわないように、光学多層膜フィルタを通過した光の出射進行方向の延長上で、光軸Ｏが重なるように配置されている。
【００２４】
そのため、光学多層膜フィルタ１を配設する際には、フィルタ表面の傾く方向を知る必要がある。例えば、１００ｍｍ角の光学多層膜フィルタに０．３度の傾きをつけた場合、その厚さの薄い方を１ｍｍとすると、厚い方は約１．５ｍｍになる。これくらいの差であれば、目視でどちらが厚いか判別でき、フィルタ表面の傾く方向を目視で知ることができる。
【００２５】
ところが、１．４ｍｍ角の光学多層膜フィルタに０．３度の傾きをつけた場合、その厚さの薄い方を１ｍｍとすると、厚い方は約１．００７ｍｍであり、この差は目視ではほとんど判別できない。そこで、フィルタ表面の傾く方向を容易に知ることができるように、図１における光学多層膜フィルタ１の右側面、すなわち、透明基板２における表面および裏面を除く少なくとも一つの側面には、フィルタ表面の傾く方向を判別するマークとしてのマーキング面５が設けられている。
【００２６】
マーキング面５は、段差部６を有する段付平面状に形成されており、マーキング面５の形状を透明基板２における他の側面とは異なる形状にすることで、光学多層膜フィルタ１の向きを判別することができるようになっている。これにより、光学多層膜フィルタ１に設けられたマーキング面５を基に、光学多層膜フィルタ１におけるフィルタ表面の傾く方向を容易に知ることができる。
【００２７】
また、段差部６を有するマーキング面５は光学多層膜フィルタ１における他の側面に対し加工方法を変更するのみで形成することが可能であるため、別途マーキング装置等を用いてマーキングを行う必要がなく、フィルタ表面の傾く方向を判別するためのマークを備えた光学多層膜フィルタをより低コストで提供することができる。
【００２８】
なお、マーキング面５は、透明基板２における表面および裏面を除く少なくとも一つの側面（図１における光学多層膜フィルタ１の右側面）に設けられているため、光学多層膜フィルタ１を通過する光に影響を及ぼすことは皆無である。
【００２９】
このような構成の光学多層膜フィルタ１において、透明基板２における表面および裏面を除く少なくとも一つの側面（図１における光学多層膜フィルタ１の右側面）には、段差部６を有するマーキング面５が設けられている。そのため、光学多層膜フィルタ１におけるフィルタ表面の傾く方向を容易に知ることができ、光学多層膜フィルタ１を所定方向に容易に配設することができる。
【００３０】
そして、図３に示すように、光学多層膜フィルタ１に入射した光は光学多層膜３を通過し、光学多層膜３を通過した光は、透明基板２を通過したのち反射防止膜４を通過する。すなわち、光学多層膜フィルタ１による光信号のフィルタ処理が行われる。
【００３１】
この結果、透明基板２における表面および裏面を除く少なくとも一つの側面（図１における光学多層膜フィルタ１の右側面）には、フィルタ表面の傾く方向を判別するマークとしてのマーキング面５が設けられているため、光学多層膜フィルタ１におけるフィルタ表面の傾く方向を容易に知ることができる。また、段差部６を有するマーキング面５は光学多層膜フィルタ１における他の側面に対し加工方法を変更するのみで形成することが可能であるため、別途マーキング装置等を用いてマーキングを行う必要がなく、フィルタ表面の傾く方向を判別するためのマークを備えた光学多層膜フィルタをより低コストで提供することができる。
【００３２】
次に、上述のような光学多層膜フィルタ１の製造方法について説明する。まず、四角形板状に形成された透明基板材１２の表面に、光学多層膜１３を所定の分光透過率特性が得られるように、スパッタリング、蒸着等により成膜する。次に、透明基板材１２の裏面に、反射防止膜１４を、スパッタリング、蒸着等により成膜する。これにより、図４（ａ）に示すように、透明基板材１２の各表面に光学多層膜１３および反射防止膜１４が成膜されたフィルタ部材１１が得られる。なお、透明基板材１２の一方の表面と裏面との間には傾きが設けられており、透明基板材１２における光学多層膜１３が成膜される面と、反射防止膜１４が成膜される面とが平行にならないようになっている。
【００３３】
続いて、フィルタ部材１１を、ダイシングソー２０により升目状に切断分割して、複数の光学多層膜フィルタ１が得られるように切断する。ダイシングソー２０は、図６に示すように、極薄の円形刃であるダイシングブレード２１を有してなるブレードソーであり、図示しないモータにより回転軸２２を駆動してダイシングブレード２１を回転させる構成となっている。
【００３４】
ダイシングブレード２１は、直径が５０ｍｍから１５０ｍｍ程度、厚さが０．０３ｍｍから２ｍｍ程度であるのが一般的であり、ブロンズ系を主体とした数種類の金属粉を混合焼結したものを結合材としたいわゆるメタルボンドのダイヤモンドブレード、またはフェノールレジン、ポリミド等の樹脂成分を結合材としたいわゆるレジンボンドのダイヤモンドブレードが用いられる場合が多い。
【００３５】
ステージ（基台）２３は、切断対象であるフィルタ部材１１をその上面側に載置する円形の台であり、その上下方向に延びた中心軸ＡＸを中心に回転自在であるとともに、任意の方向に水平移動させることができるようになっている。
【００３６】
ダイシングソー２０によりフィルタ部材１１を切断するには、まず、フィルタ部材１１をホットメルトワックスにより台ガラス２４に接着し、続いて真空吸着により台ガラス２４をステージ２３上に取り付ける。そして、回転軸２２を駆動してダイシングブレード２１をおよそ３００００ｒｐｍで回転させ（この回転数はダイシングブレード２１の材質やフィルタ部材１１の切断面の破断状況によって変化させる）、ステージ２３を送り速度約１〜５ｍｍ／ｓｅｃで移動させてフィルタ部材１１を切断する。
【００３７】
なおこのとき、図７に示すように、ダイシングブレード２１の刃先が台ガラス２４の上面を約０．１〜０．３ｍｍ程切り込むようにし（切り込み深さを図７においてｄで示す）、ステージ２３すなわち台ガラス２４の送り方向をダイシングブレード２１の回転方向と同じにするダウンカットにより切断する。
【００３８】
なお、フィルタ部材１１に成膜された膜が光学多層膜１３である場合には、フィルタ部材１１を光学多層膜１３が上面側になるようにステージ２３上に載置する。ここで、光学多層膜１３が下面側（すなわち、台ガラス２４と接触する側）になるようにすると、ダイシングブレード２１を切り込ませたときに光学多層膜１３が剥離したり比較的大きなチッピングやクラックが発生したりするが、フィルタ部材１１を光学多層膜１３が上面側になるようにステージ２３上に載置した上でダウンカットするようにすれば、チッピングや剥離を減らすことができる。
【００３９】
また、透明基板材１２における光学多層膜１３が成膜された面とは反対側の面に反射防止膜１４が成膜されている場合には、この反射防止膜１４が台ガラス２４と接触するようになるが、反射防止膜は一般に光学多層膜よりも膜厚が小さい。例えば、光通信に用いられる光学多層膜は、波長に対する透過（反射）特性がより高精度に要求されているので、そのような要求を達成するために必要な総膜数が百層を超えるものもある。一方、反射防止膜は数層あれば充分であるので、反射防止膜が膜剥がれを起こす可能性は、光学多層膜に比べて低い。したがって、反射防止膜１４が台ガラス２４と接触した状態で切断しても、反射防止膜１４にチッピングや膜剥がれ等が生じるおそれは少ない。
【００４０】
ダイシングソー２０によりフィルタ部材１１を切断分割して、複数の光学多層膜フィルタ１を得るには、まず、図４（ｂ）および図８（ａ）に示すように、フィルタ部材１１の表面に垂直でフィルタ部材表面の傾く方向と平行な方向に、フィルタ部材１１における切断位置Ｐに隣接してダイシングブレード２１により所定深さの溝１６を形成し、続いて図８（ｂ）に示すように、この溝１６に隣接した切断位置Ｐでフィルタ部材１１を切断分割する。
【００４１】
そして図８（ｃ）に示すように、このような工程を所定間隔で交互に繰り返すことにより、フィルタ部材１１が所要寸法に切断分割されて必要量のフィルタ部材細片１１ａ，１１ａ，…が得られる。このとき、溝１６がフィルタ部材１１の切断により段差部１６ａとなって、フィルタ部材細片１１ａの一方の側面が段付平面状に形成される。
【００４２】
次に、図５に示すように、前記最初の切断工程における切断方向とは垂直な方向に、これらのフィルタ部材細片１１ａ，１１ａ，…を所要寸法に切断し、図１に示すような、四角形板状に形成された透明基板２と、透明基板２の表面に成膜された光学多層膜３と、透明基板２の裏面に成膜された反射防止膜４とを備え、透明基板２における表面および裏面を除く少なくとも一つの側面にマーキング面５が段付平面状に形成された複数の光学多層膜１，１，…を得る。
【００４３】
すなわち、フィルタ部材１１における光学多層膜フィルタ１のマーキング面５が切断面となる切断位置に隣接して、ダイシングブレード２１により溝１６を形成し、この溝１６に隣接した前述のマーキング面５が切断面となる切断位置で、ダイシングブレード２１によりフィルタ部材１１を切断分割することにより、溝１６がマーキング面５における段差部６（フィルタ部材細片１１ａにおける段差部１６ａ）となって、マーキング面５が段付平面状に形成される。
【００４４】
この結果、段差部６を有するマーキング面５を、フィルタ部材１１を切断分割するためのダイシングソー２０に構成されるダイシングブレード２１のみを用いて形成することが可能であるため、別途マーキング装置等を用いてマーキングを行う必要がなく、フィルタ表面の傾く方向を判別するマークを備えた光学多層膜フィルタをより低コストで製造することができる。
【００４５】
なお、本実施例において、フィルタ部材１１の切断分割時に、溝１６を溝深さが互いに異なるように形成し、マーキング面（段差部）の形状が互いに異なる複数の光学多層膜フィルタが形成されるようにしてもよい。このようにすれば、複数の光学多層膜フィルタを個々に判別することができる。
【００４６】
次に、光学多層膜フィルタの第二実施形態について図９を参照して説明する。本実施形態における光学多層膜フィルタ５１は、第一実施形態における光学多層膜フィルタ１と同様に、ガラス基板等の透明基板５２と、透明基板５２の表面に成膜された光学多層膜５３と、透明基板５２の裏面に成膜された反射防止膜５４とを備えて構成される。
【００４７】
透明基板５２は四角形板状に形成され、透明基板５２の表面に光学多層膜５３が成膜されるとともに、透明基板５２の裏面に反射防止膜５４が成膜されている。また、第一実施形態における光学多層膜フィルタ１と同様に、透明基板５２の表面と裏面との間に傾きが設けられており、透明基板５２における光学多層膜５３が成膜される面と、反射防止膜５４が成膜される面とが平行にならないようになっている。
【００４８】
そして、フィルタ表面の傾く方向を容易に知ることができるように、図９における光学多層膜フィルタ５１の前側面、すなわち、透明基板５２における表面および裏面を除く少なくとも一つの側面には、フィルタ表面の傾く方向を判別するマークとしてのマーキング面５５が設けられている。
【００４９】
マーキング面５５は、加工による複数の条線を認識可能な表面粗さの粗い平面状に形成されている。一方、図９における光学多層膜フィルタ５１の左右および後側面、すなわち、透明基板５２における表面および裏面を除く他の側面は、鏡面（平面）状に形成されている。すなわち、マーキング面５５は、透明基板５２における他の側面とは異なる加工模様を有する平面状に形成されており、光学多層膜フィルタ５１の向きを判別することができるようになっている。これにより、光学多層膜フィルタ５１に設けられたマーキング面５５を基に、光学多層膜フィルタ５１におけるフィルタ表面の傾く方向を容易に知ることができる。
【００５０】
また、透明基板５２における他の側面とは異なる加工模様を有するマーキング面５５は、前記他の側面に対し加工方法を変更するのみで形成することが可能であるため、別途マーキング装置等を用いてマーキングを行う必要がなく、フィルタ表面の傾く方向を判別するためのマークを備えた光学多層膜フィルタをより低コストで提供することができる。
【００５１】
なお、マーキング面５５は、透明基板５２における表面および裏面を除く少なくとも一つの側面（図１における光学多層膜フィルタ５１の前側面）に設けられているため、第一実施形態における光学多層膜フィルタ１と同様に、光学多層膜フィルタ５１を通過する光に影響を及ぼすことは皆無である。
【００５２】
このような構成の光学多層膜フィルタ５１において、透明基板５２における表面および裏面を除く少なくとも一つの側面（図９における光学多層膜フィルタ５１の前側面）には、透明基板５２における他の側面とは異なる加工模様を有するマーキング面５５が設けられている。そのため、光学多層膜フィルタ５１におけるフィルタ表面の傾く方向を容易に知ることができ、光学多層膜フィルタ５１を所定方向に容易に配設することができる。
【００５３】
そして、光学多層膜フィルタ５１に入射した光は光学多層膜５３を通過し、光学多層膜５３を通過した光は、透明基板５２を通過したのち反射防止膜５４を通過する。すなわち、光学多層膜フィルタ５１による光信号のフィルタ処理が行われる。
【００５４】
この結果、透明基板５２における表面および裏面を除く少なくとも一つの側面（図９における光学多層膜フィルタ５１の前側面）には、フィルタ表面の傾く方向を判別するマークとしてのマーキング面５５が設けられているため、光学多層膜フィルタ５１におけるフィルタ表面の傾く方向を容易に知ることができる。また、透明基板５２における他の側面とは異なる加工模様を有するマーキング面５５は、前記他の側面に対し加工方法を変更するのみで形成することが可能であるため、別途マーキング装置等を用いてマーキングを行う必要がなく、フィルタ表面の傾く方向を判別するためのマークを備えた光学多層膜フィルタをより低コストで提供することができる。
【００５５】
次に、上述のような光学多層膜フィルタ５１の製造方法について説明する。なお、本実施形態における光学多層膜フィルタ５１の製造方法は、第一実施形態における光学多層膜フィルタ１の製造方法とほぼ同じであるので、異なる点のみ説明する。
【００５６】
本実施形態の製造方法で用いられるダイシングブレードは、光学多層膜６３および反射防止膜６４が透明基板材６２に成膜されたフィルタ部材６１の表面に垂直でフィルタ部材表面の傾く方向と平行な方向にフィルタ部材６１を切断分割する第１ダイシングブレード７１と、第１ダイシングブレード７１によるフィルタ部材６１の切断方向とは垂直な方向にフィルタ部材６１を切断分割する第２ダイシングブレード７２とがある。第１ダイシングブレード７１の周部両側面は目の細かい切削面となっており、図１０に示すように、第１ダイシングブレード７１により切断分割されたフィルタ部材６１の両切断面は、鏡面（平面）状に形成されるようになっている。
【００５７】
第２ダイシングブレード７２の一方の周部側面は、第１ダイシングブレード７１の周部側面と同様に目の細かい切削面であるのに対し、第２ダイシングブレード７２の他方の周部側面は、一方の側面と比べて目の粗い切削面となっている。そして、図１１に示すように、第２ダイシングブレード７２により切断分割されたフィルタ部材６１の一方（図１１における右方）の切断面は、第１ダイシングブレード７１による切断面と同様に鏡面（平面）状に形成されるとともに、他方（図１１における左方）の切断面は、加工による複数の条線を認識可能な表面粗さの粗い平面状に形成されるようになっている。なお、比較説明のため、図１０および図１１において、第１ダイシングブレード７１および第２ダイシングブレード７２の周部側面の表面粗さを誇張して記載している。
【００５８】
ダイシングソーによりフィルタ部材６１を切断分割して、複数の光学多層膜フィルタ５１を得るには、まず、図１０に示すように、フィルタ部材６１の表面に垂直でフィルタ部材表面の傾く方向と平行な方向に、第１ダイシングブレード７１によりフィルタ部材６１を所要寸法に切断分割し、必要量のフィルタ部材細片６１ａ，６１ａ，…を得る。このとき、フィルタ部材６１の切断面となるフィルタ部材細片６１ａの両側面は、鏡面（平面）状に形成される。
【００５９】
次に、図１１に示すように、第１ダイシングブレード７１による切断方向とは垂直な方向に、第２ダイシングブレード７２によりフィルタ部材細片６１ａ，６１ａ，…を所要寸法に切断し、図９に示すような、四角形板状に形成された透明基板５２と、透明基板５２の表面に成膜された光学多層膜５３と、透明基板５２の裏面に成膜された反射防止膜５４とを備え、透明基板５２における表面および裏面を除く少なくとも一つの側面に、他の側面とは異なる加工模様を有するマーキング面５５が形成された複数の光学多層膜フィルタ５１，５１，…を得る。
【００６０】
すなわち、フィルタ部材６１の切断面の加工模様が、マーキング面５５が切断面となる場合と、他の側面が切断面となる場合とで異なり、透明基板５２における表面および裏面を除く少なくとも一つの側面が他の側面と加工模様が異なるようにフィルタ部材６１を切断分割することで、この側面にマーキング面５５が形成される。
【００６１】
この結果、透明基板５２における他の側面とは異なる加工模様を有するマーキング面５５を、フィルタ部材６１を切断分割するためのダイシングソーに構成される第１ダイシングブレード７１および第２ダイシングブレード７２のみを用いて形成することが可能であるため、別途マーキング装置等を用いてマーキングを行う必要がなく、フィルタ表面の傾く方向を判別するマークを備えた光学多層膜フィルタをより低コストで製造することができる。
【００６２】
なお、上述の第二実施形態において、第１ダイシングブレード７１および第２ダイシングブレード７２により、透明基板５２における表面および裏面を除く少なくとも一つの側面が他の側面と加工模様が異なるようにフィルタ部材６１を切断分割することで、この側面にマーキング面５５が形成されているが、これに限られるものではなく、フィルタ部材の切断速度を、マーキング面が切断面となる場合と、他の側面が切断面となる場合とで異ならせ、透明基板における表面および裏面を除く少なくとも一つの側面が他の側面と加工模様が異なるようにフィルタ部材を切断分割することで、この側面にマーキング面が形成されるようにしてもよい。
【００６３】
例えば、図１２に示すように、まず、透明基板材１１２の表面および裏面に光学多層膜１１３および反射防止膜１１４が成膜されたフィルタ部材１１１を、ダイシングブレード１２１により所定の回転速度で所要寸法に切断分割し、フィルタ部材１１１の切断面となる側面が鏡面（平面）状に形成される複数のフィルタ部材細片１１１ａ，１１１ａ，…を得る。
【００６４】
次に、図１３に示すように、前記最初の切断工程における切断方向とは垂直な方向に、ダイシングブレード１２１により、前記最初の切断工程における回転速度と、前記最初の切断工程における回転速度よりも遅い回転速度とで交互に繰り返すようにして、フィルタ部材細片１１１ａ，１１１ａ，…を所要寸法に切断し、四角形板状に形成された透明基板１０２と、透明基板１０２の表面に成膜された光学多層膜１０３と、透明基板１０２の裏面に成膜された反射防止膜１０４とを備え、透明基板１０２における表面および裏面を除く少なくとも一つの側面に、他の側面とは異なる加工模様を有するマーキング面１０５が形成された複数の光学多層膜１０１，１０１，…を得る。
【００６５】
このようにすれば、第二実施形態における光学多層膜フィルタ５１の製造方法と同様に、別途マーキング装置等を用いてマーキングを行う必要がなく、フィルタ表面の傾く方向を判別するマークを備えた光学多層膜フィルタをより低コストで製造することができる。なお、図１３に示すように、フィルタ部材細片１１１ａにおいて互いに隣接する光学多層膜フィルタのマーキング面の位置は、互いに異なった位置（反対側の位置）となる。
【００６６】
また、上述の各実施形態において、透明基板における表面および裏面を除く一つの側面に、フィルタ表面の傾く方向を判別するマークとしてのマーキング面が設けられているが、これに限られるものではなく、透明基板の複数の側面にフィルタ表面の傾く方向を判別可能なマーク（マーキング面）が設けられてもよい。
【００６７】
さらに、上述の各実施形態において、透明基板（光学多層膜フィルタ）が四角形板状に形成されているが、これに限られるものではなく、例えば、三角形や五角形等、複数の板側面を有する多角形板状に形成されていればよい。
【００６８】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、フィルタ表面の傾く方向を容易に知ることが可能な光学多層膜フィルタを提供することができる。また、本発明に係る製造方法によれば、フィルタ表面の傾く方向を容易に知ることが可能な光学多層膜フィルタをより低コストで製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明にかかる光学多層膜フィルタの斜視図である。
【図２】本発明に係る光学多層膜フィルタの右側面図である。
【図３】本発明に係る光学多層膜フィルタを光が通過する状態を示す図である。
【図４】（ａ）はフィルタ部材の側面図であり、（ｂ）はフィルタ部材の平面図である。
【図５】フィルタ部材を切断分割して複数の本発明に係る光学多層膜フィルタを得た状態を示す平面図である。
【図６】フィルタ部材を切断分割するためのダイシングソーの側面図である。
【図７】ダイシングソーによりダウンカットでフィルタ部材を切断する様子を示す側面図である。
【図８】（ａ）はダイシングブレードによりフィルタ部材に溝が形成された状態を示す拡大図であり、（ｂ）はダイシングブレードによりフィルタ部材が溝に隣接する切断位置で切断された状態を示す拡大図であり、（ｃ）はダイシングブレードによりフィルタ部材が切断されて複数のフィルタ部材細片が得られた状態を示す拡大図である。
【図９】もう一つの本発明に係る光多層膜フィルタの斜視図である。
【図１０】もう一つの本発明におけるフィルタ部材が第１ダイシングブレードにより切断された状態を示す拡大図である。
【図１１】もう一つの本発明におけるフィルタ部材細片が第２ダイシングブレードにより切断された状態を示す拡大図である。
【図１２】さらにもう一つの本発明におけるフィルタ部材がダイシングブレードにより切断された状態を示す拡大図である。
【図１３】さらにもう一つの本発明におけるフィルタ部材細片がダイシングブレードにより切断された状態を示す拡大図である。
【符号の説明】
１光学多層膜フィルタ（第一実施形態）
２透明基板
３光学多層膜
５マーキング面
１１フィルタ部材
１２透明基板材
１３光学多層膜
１６溝
５１光学多層膜フィルタ（第二実施形態）
５２透明基板
５３光学多層膜
５５マーキング面
６１フィルタ部材
６２透明基板材
６３光学多層膜
１０１光学多層膜フィルタ（別実施形態）
１０２透明基板
１０３光学多層膜
１０５マーキング面
１１１フィルタ部材
１１２透明基板材
１１３光学多層膜
Ｐ切断位置[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to an optical multilayer filter including a transparent substrate and an optical multilayer formed on the surface of the transparent substrate, and a method of manufacturing the same.
[0002]
[Prior art]
2. Description of the Related Art In recent years, the spread and use of Internet communication and the like have progressed, and the traffic of communication lines has been rapidly increasing. For this reason, optical communication using an optical fiber that can handle a large amount of communication is becoming mainstream, and furthermore, wavelength division multiplexing communication technology WDM or the like is used. In an optical communication system using such an optical fiber, a high-refractive-index material layer and a low-refractive-index material are used in order to cut light of a predetermined wavelength, select a wavelength, and adjust a gain corresponding to a wavelength. Optical multilayer filters made by alternately laminating layers are often used.
[0003]
The optical multilayer filter includes a transparent substrate such as a glass substrate, an optical multilayer film formed on the surface of the transparent substrate, and an antireflection film formed on the back surface of the transparent substrate. Then, a predetermined filter process is performed by passing light through the optical multilayer filter configured as described above.
[0004]
By the way, the light that reaches the rear surface of the transparent substrate from inside the transparent substrate is prevented from being reflected on the rear surface of the transparent substrate by the antireflection film, but the reflection of light is completely suppressed even by using the antireflection film. It is not possible. Therefore, when the front surface and the back surface of the transparent substrate are parallel, a small amount of light reflected by the antireflection film inside the transparent substrate causes interference with light passing through the optical multilayer film, and the spectral transmittance characteristics of the optical multilayer film Deteriorates. Therefore, in order to suppress such interference of light, the surface of the transparent substrate and the surface of the transparent substrate are arranged so that the surface on which the optical multilayer film is formed and the surface on which the antireflection film is formed are not parallel. And a cross section perpendicular to the surface of the optical multilayer filter (transparent substrate) and parallel to the direction in which the filter surface tilts has a wedge shape.
[0005]
[Patent Document 1] International Publication WO 02/31545 A1 pamphlet
[0006]
[Problems to be solved by the invention]
Since light passing through such an optical multilayer filter having a wedge-shaped cross section is refracted, the emission traveling direction of light passing through the optical multilayer filter is not the same as the incident traveling direction of light incident on the optical multilayer filter. , Slightly inclined with respect to the light traveling direction. Therefore, in the above-described optical communication system, the installation direction of the light receiving unit (for example, a collimator lens) that receives the light that has passed through the optical multilayer filter is adjusted so that the light transmittance is not impaired. The optical axes are arranged so as to overlap with each other in the extension of the emission traveling direction of the passed light.
[0007]
Therefore, when disposing an optical multilayer filter, it is necessary to know the direction in which the filter surface tilts. For example, when a 100 mm square optical multilayer filter is inclined at 0.3 degrees, if the thinner one is 1 mm, the thicker one is about 1.5 mm. With such a difference, it is possible to visually discriminate which is thicker, and it is possible to visually check the tilt direction of the filter surface.
[0008]
However, an optical multilayer filter having a size of 1.4 to 2.0 mm square is often used. For example, when an optical multilayer filter of 1.4 mm square is inclined by 0.3 degrees. If the thinner one is 1 mm, the thicker one is about 1.007 mm, and this difference can hardly be discerned visually. Therefore, a measure for easily knowing the inclination direction of the filter surface has been required.
[0009]
The present invention has been made in view of such a problem, and it is an object of the present invention to provide an optical multilayer filter that can easily know a tilt direction of a filter surface. It is another object of the present invention to provide a method for manufacturing an optical multilayer filter that allows the user to easily know the tilt direction of the filter surface.
[0010]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve such an object, an optical multilayer filter according to the first aspect of the present invention includes a transparent substrate, and an optical multilayer film formed on at least one of a front surface and a rear surface of the transparent substrate facing each other. In the optical multilayer filter configured as described above, a mark is provided on at least one side surface excluding the front surface and the back surface of the transparent substrate.
[0011]
An optical multilayer filter according to a second aspect of the present invention is the optical multilayer filter according to the first aspect, wherein the mark is formed by forming at least one side surface of the transparent substrate except for the front surface and the back surface in a stepped flat shape. It is characterized by having been done.
[0012]
An optical multilayer filter according to a third aspect of the present invention is the optical multilayer filter according to the first aspect, wherein at least one side surface of the transparent substrate except for the front surface and the back surface has a processed pattern different from that of the other side surface. , Whereby a marking surface is formed on the side surface.
[0013]
According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing an optical multilayer filter, comprising: forming an optical multilayer film on at least one of a front surface and a rear surface of a plate-shaped transparent substrate material facing each other to form a filter member; A method for producing an optical multilayer filter having a step of cutting and dividing a member, wherein the cutting and dividing of the filter member is performed using a plurality of types of cutting and dividing methods, and at least one side surface excluding the front surface and the back surface of the transparent substrate. The cutting surface form is different from the cutting surface form of the other side surface, and the marking surface is formed by the cutting surface form of at least one side surface.
[0014]
According to a fifth aspect of the present invention, in the method for manufacturing an optical multilayer filter according to the fourth aspect, a groove is formed adjacent to a predetermined cutting position when cutting and dividing the filter member, Next, the filter member is cut and divided at the predetermined cutting position so that the marking surface is formed in a stepped flat shape.
[0015]
According to a sixth aspect of the present invention, in the method for manufacturing an optical multilayer filter according to the fourth aspect, the processing pattern of the cut surface of the filter member includes a marking surface and another side surface. The filter member is cut and divided differently, and a marking surface is formed on a side surface.
[0016]
According to a seventh aspect of the present invention, in the method for manufacturing an optical multilayer filter according to the fourth aspect, the cutting speed of the filter member is different from the case where the marking surface is the cut surface and the other is different. The filter member is cut and divided so as to be different from the case where the side surface is a cut surface, and a marking surface is formed on the side surface.
[0017]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 shows an optical multilayer filter according to the present invention. The optical multilayer filter 1 includes a transparent substrate 2 such as a glass substrate, an optical multilayer film 3 (having a thickness of about several tens μm) formed on the surface of the transparent substrate 2, and a film formed on the back surface of the transparent substrate 2. And an anti-reflection film 4 (having a thickness of about 0.1 to several μm).
[0018]
Although not shown in detail, the optical multilayer film 3 is formed by alternately laminating a large number of high-refractive-index material layers and low-refractive-index material layers on the surface of the transparent substrate 2 and has a predetermined spectral transmittance characteristic. . Then, when light passes through the optical multilayer film 3, a predetermined filtering process is performed.
[0019]
The filter processing performed by the optical multilayer filter 1 includes, for example, processing for cutting light of a predetermined wavelength, wavelength selection processing, and wavelength-adjustable gain adjustment processing. Here, the wavelength-dependent gain adjustment processing is processing for flattening the wavelength dependence of the amplification characteristics of an optical amplifier (not shown) for amplifying an optical signal. It is referred to as a GFT (Gain Flattening Filter).
[0020]
The anti-reflection film 4 is formed on the other surface of the transparent substrate 2 and prevents light reaching the other surface from inside the transparent substrate 2 from being reflected. Note that the maximum reflectance of the antireflection film 4 is 0.5% or less in the operating wavelength range of the optical multilayer filter 1.
[0021]
The transparent substrate 2 is formed in a rectangular plate shape, and the optical multilayer film 3 is formed on the surface of the transparent substrate 2, and the antireflection film 4 is formed on the back surface of the transparent substrate 2. As the dimensions of the optical multilayer filter 1, those having a thickness of 1.0 to 1.5 mm and a size of 1.4 to 2.0 mm square are often used.
[0022]
As shown in FIG. 2, an inclination is provided between the front surface and the rear surface of the transparent substrate 2, and a cross section perpendicular to the surface of the optical multilayer filter 1 (transparent substrate 2) and parallel to the direction in which the filter surface is inclined is formed. It has a wedge shape. As a result, the surface of the transparent substrate 2 on which the optical multilayer film 3 is formed and the surface of the transparent substrate 2 on which the antireflection film 4 is formed are not parallel to each other. It is possible to prevent the light from interfering with the light passing through the optical multilayer film 3 and deteriorating the spectral transmittance characteristics of the optical multilayer film 3. The relative inclination angle α between the front surface and the back surface of the transparent substrate 2, that is, the surface of the optical multilayer film 3 and the surface of the antireflection film 4 is often 0.3 degrees. ing.
[0023]
Since the light passing through the optical multilayer filter 1 having a wedge-shaped cross section as described above is refracted, the light traveling direction of the light passing through the optical multilayer filter 1 is directed to the optical multilayer filter 1 as shown in FIG. It is not the same as the incident traveling direction of the incident light, but is slightly inclined with respect to the incident traveling direction of the light. Therefore, the installation direction of the light receiving unit R (for example, a collimator lens) that receives the light that has passed through the optical multilayer filter 1 is determined so that the light traveling direction of the light that has passed through the optical multilayer filter does not impair the light transmittance. Are arranged so that the optical axes O overlap with each other.
[0024]
Therefore, when disposing the optical multilayer filter 1, it is necessary to know the direction in which the filter surface tilts. For example, when a 100 mm square optical multilayer filter is inclined at 0.3 degrees, if the thinner one is 1 mm, the thicker one is about 1.5 mm. With such a difference, it is possible to visually discriminate which is thicker, and it is possible to visually check the tilt direction of the filter surface.
[0025]
However, when a 1.4 mm square optical multilayer filter is inclined at 0.3 degrees, if the thinner one is 1 mm, the thicker one is about 1.007 mm. Cannot be determined. Therefore, in order to easily know the tilt direction of the filter surface, the right side of the optical multilayer filter 1 in FIG. A marking surface 5 is provided as a mark for determining a tilt direction.
[0026]
The marking surface 5 is formed in a stepped flat shape having a stepped portion 6. By making the shape of the marking surface 5 different from the other side surface of the transparent substrate 2, the orientation of the optical multilayer filter 1 is changed. It can be determined. Thereby, based on the marking surface 5 provided on the optical multilayer filter 1, it is possible to easily know the direction in which the filter surface of the optical multilayer filter 1 tilts.
[0027]
In addition, since the marking surface 5 having the stepped portion 6 can be formed only by changing the processing method for the other side surface of the optical multilayer film filter 1, it is necessary to separately perform marking using a marking device or the like. In addition, it is possible to provide an optical multilayer filter provided with a mark for determining the inclination direction of the filter surface at a lower cost.
[0028]
Since the marking surface 5 is provided on at least one side surface (the right side surface of the optical multilayer filter 1 in FIG. 1) except the front surface and the rear surface of the transparent substrate 2, the marking surface 5 is not affected by light passing through the optical multilayer filter 1. It has no effect.
[0029]
In the optical multilayer filter 1 having such a configuration, a marking surface 5 having a step 6 is provided on at least one side surface (the right side surface of the optical multilayer filter 1 in FIG. 1) except the front surface and the back surface of the transparent substrate 2. Is provided. Therefore, the direction in which the filter surface of the optical multilayer filter 1 is inclined can be easily known, and the optical multilayer filter 1 can be easily arranged in a predetermined direction.
[0030]
Then, as shown in FIG. 3, light incident on the optical multilayer filter 1 passes through the optical multilayer film 3, and light passing through the optical multilayer film 3 passes through the transparent substrate 2 and then passes through the antireflection film 4. I do. That is, optical signal filtering by the optical multilayer filter 1 is performed.
[0031]
As a result, at least one side surface (the right side surface of the optical multilayer filter 1 in FIG. 1) of the transparent substrate 2 excluding the front surface and the back surface is provided with a marking surface 5 as a mark for determining a tilt direction of the filter surface. Therefore, the inclination direction of the filter surface in the optical multilayer filter 1 can be easily known. In addition, since the marking surface 5 having the stepped portion 6 can be formed only by changing the processing method for the other side surface of the optical multilayer film filter 1, it is necessary to separately perform marking using a marking device or the like. In addition, it is possible to provide an optical multilayer filter provided with a mark for determining the inclination direction of the filter surface at a lower cost.
[0032]
Next, a method for manufacturing the optical multilayer filter 1 as described above will be described. First, an optical multilayer film 13 is formed on the surface of a transparent substrate material 12 formed in a square plate shape by sputtering, vapor deposition, or the like so as to obtain a predetermined spectral transmittance characteristic. Next, an antireflection film 14 is formed on the back surface of the transparent substrate material 12 by sputtering, vapor deposition, or the like. As a result, as shown in FIG. 4A, the filter member 11 in which the optical multilayer film 13 and the antireflection film 14 are formed on each surface of the transparent substrate material 12 is obtained. Note that an inclination is provided between one surface and the back surface of the transparent substrate material 12, and the surface of the transparent substrate material 12 on which the optical multilayer film 13 is formed and the antireflection film 14 are formed. The plane is not parallel.
[0033]
Subsequently, the filter member 11 is cut and divided by a dicing saw 20 into a grid shape, and cut so as to obtain a plurality of optical multilayer filters 1. As shown in FIG. 6, the dicing saw 20 is a blade saw having a dicing blade 21 which is an extremely thin circular blade. The dicing saw 20 is configured to rotate the dicing blade 21 by driving a rotating shaft 22 by a motor (not shown). It has become.
[0034]
The dicing blade 21 generally has a diameter of about 50 mm to 150 mm and a thickness of about 0.03 mm to about 2 mm, and a mixture obtained by mixing and sintering several kinds of metal powders mainly containing bronze as a binder. In many cases, a so-called metal-bonded diamond blade or a so-called resin-bonded diamond blade using a resin component such as phenolic resin or polyimide as a binder is used.
[0035]
The stage (base) 23 is a circular base on which the filter member 11 to be cut is mounted on the upper surface side thereof. The stage (base) 23 is rotatable about a central axis AX extending in the up-down direction and in any direction. Can be moved horizontally.
[0036]
In order to cut the filter member 11 by the dicing saw 20, the filter member 11 is first adhered to the base glass 24 by hot melt wax, and then the base glass 24 is mounted on the stage 23 by vacuum suction. Then, the rotating shaft 22 is driven to rotate the dicing blade 21 at about 30,000 rpm (the number of rotations is changed depending on the material of the dicing blade 21 and the breaking state of the cut surface of the filter member 11), and the stage 23 is moved at a feed speed of about 1 The filter member 11 is cut by moving at a speed of about 5 mm / sec.
[0037]
At this time, as shown in FIG. 7, the cutting edge of the dicing blade 21 cuts the upper surface of the base glass 24 by about 0.1 to 0.3 mm (the cutting depth is indicated by d in FIG. 7). That is, cutting is performed by down-cut so that the feeding direction of the base glass 24 is the same as the rotation direction of the dicing blade 21.
[0038]
When the film formed on the filter member 11 is the optical multilayer film 13, the filter member 11 is placed on the stage 23 so that the optical multilayer film 13 is on the upper surface side. Here, if the optical multilayer film 13 is made to be on the lower surface side (that is, the side that comes in contact with the base glass 24), the optical multilayer film 13 may be peeled off when the dicing blade 21 is cut, or relatively large chipping may occur. Although cracks may occur, chipping and peeling can be reduced if the filter member 11 is mounted on the stage 23 so that the optical multilayer film 13 is on the upper surface side and cut down.
[0039]
When the antireflection film 14 is formed on the surface of the transparent substrate material 12 opposite to the surface on which the optical multilayer film 13 is formed, the antireflection film 14 comes into contact with the base glass 24. However, the thickness of the antireflection film is generally smaller than that of the optical multilayer film. For example, optical multilayer films used for optical communication require transmission (reflection) characteristics with respect to wavelength with higher precision, and the total number of films required to achieve such requirements exceeds 100 layers. There is also. On the other hand, since only a few layers of the antireflection film are sufficient, the possibility that the antireflection film will peel off is lower than that of the optical multilayer film. Therefore, even if the anti-reflection film 14 is cut in a state of being in contact with the base glass 24, there is little possibility that the anti-reflection film 14 is chipped or peeled off.
[0040]
In order to cut and divide the filter member 11 with the dicing saw 20 to obtain a plurality of optical multilayer filters 1, first, as shown in FIG. 4B and FIG. Then, a groove 16 having a predetermined depth is formed by a dicing blade 21 adjacent to the cutting position P in the filter member 11 in a direction parallel to the direction in which the surface of the filter member is inclined, and as shown in FIG. The filter member 11 is cut and divided at a cutting position P adjacent to the groove 16.
[0041]
Then, as shown in FIG. 8 (c), by repeating such a process at predetermined intervals, the filter member 11 is cut and divided into required dimensions to obtain a required amount of filter member strips 11a, 11a,. Can be At this time, the groove 16 becomes a step 16a by cutting the filter member 11, and one side surface of the filter member strip 11a is formed in a stepped flat shape.
[0042]
Next, as shown in FIG. 5, these filter member strips 11a, 11a,... Are cut into required dimensions in a direction perpendicular to the cutting direction in the first cutting step, as shown in FIG. The transparent substrate 2 includes a transparent substrate 2 formed in a rectangular plate shape, an optical multilayer film 3 formed on the surface of the transparent substrate 2, and an antireflection film 4 formed on the back surface of the transparent substrate 2. A plurality of optical multilayer films 1, 1,... Having a marking surface 5 formed in a stepped flat surface on at least one side surface excluding the front surface and the back surface are obtained.
[0043]
That is, a groove 16 is formed by a dicing blade 21 adjacent to a cutting position where the marking surface 5 of the optical multilayer filter 1 is a cutting surface in the filter member 11, and the above-described marking surface 5 adjacent to the groove 16 is cut. When the filter member 11 is cut and divided by the dicing blade 21 at the cutting position serving as the surface, the groove 16 becomes the step 6 in the marking surface 5 (the step 16a in the filter member strip 11a), and the marking surface 5 It is formed in a stepped flat shape.
[0044]
As a result, it is possible to form the marking surface 5 having the stepped portion 6 using only the dicing blade 21 configured in the dicing saw 20 for cutting and dividing the filter member 11. It is not necessary to perform marking using the optical multilayer film filter, and it is possible to manufacture the optical multilayer filter having the mark for determining the inclination direction of the filter surface at lower cost.
[0045]
In the present embodiment, when the filter member 11 is cut and divided, the grooves 16 are formed so as to have different groove depths, and a plurality of optical multilayer filters having different marking surfaces (step portions) are formed. You may do so. In this way, a plurality of optical multilayer filters can be individually identified.
[0046]
Next, a second embodiment of the optical multilayer filter will be described with reference to FIG. The optical multilayer filter 51 in the present embodiment includes, like the optical multilayer filter 1 in the first embodiment, a transparent substrate 52 such as a glass substrate, and an optical multilayer film 53 formed on the surface of the transparent substrate 52. An antireflection film 54 formed on the back surface of the transparent substrate 52 is provided.
[0047]
The transparent substrate 52 is formed in a rectangular plate shape. An optical multilayer film 53 is formed on the surface of the transparent substrate 52, and an antireflection film 54 is formed on the back surface of the transparent substrate 52. Further, similarly to the optical multilayer filter 1 in the first embodiment, an inclination is provided between the front surface and the rear surface of the transparent substrate 52, and the surface of the transparent substrate 52 on which the optical multilayer film 53 is formed, The surface on which the antireflection film 54 is formed is not parallel.
[0048]
In order to easily know the tilt direction of the filter surface, the front surface of the optical multilayer filter 51 in FIG. A marking surface 55 is provided as a mark for determining a tilt direction.
[0049]
The marking surface 55 is formed in a flat surface with a rough surface roughness capable of recognizing a plurality of lines formed by processing. On the other hand, the left, right, and rear side surfaces of the optical multilayer filter 51 in FIG. 9, that is, the other side surfaces of the transparent substrate 52 except for the front surface and the rear surface are formed in a mirror surface (flat surface). That is, the marking surface 55 is formed in a flat shape having a processing pattern different from the other side surface of the transparent substrate 52, so that the direction of the optical multilayer filter 51 can be determined. Thereby, based on the marking surface 55 provided on the optical multilayer filter 51, the direction in which the filter surface of the optical multilayer filter 51 is inclined can be easily known.
[0050]
Further, since the marking surface 55 having a processing pattern different from the other side surface of the transparent substrate 52 can be formed only by changing the processing method for the other side surface, a separate marking device or the like is used. There is no need to perform marking, and an optical multilayer filter provided with a mark for determining the tilt direction of the filter surface can be provided at lower cost.
[0051]
Since the marking surface 55 is provided on at least one side surface (the front side surface of the optical multilayer filter 51 in FIG. 1) except the front surface and the rear surface of the transparent substrate 52, the optical multilayer filter 1 in the first embodiment is provided. Similarly to the above, there is no influence on the light passing through the optical multilayer filter 51.
[0052]
In the optical multilayer film filter 51 having such a configuration, at least one side surface (the front side surface of the optical multilayer film filter 51 in FIG. 9) except for the front surface and the back surface of the transparent substrate 52 is different from the other side surface of the transparent substrate 52. A marking surface 55 having a different processing pattern is provided. Therefore, the direction in which the filter surface of the optical multilayer filter 51 is inclined can be easily known, and the optical multilayer filter 51 can be easily disposed in a predetermined direction.
[0053]
The light that has entered the optical multilayer filter 51 passes through the optical multilayer film 53, and the light that has passed through the optical multilayer film 53 passes through the transparent substrate 52 and then passes through the antireflection film 54. That is, the optical multilayer filter 51 performs optical signal filtering.
[0054]
As a result, a marking surface 55 is provided on at least one side surface (the front side surface of the optical multilayer filter 51 in FIG. 9) other than the front surface and the back surface of the transparent substrate 52 as a mark for determining the inclination direction of the filter surface. Therefore, the tilt direction of the filter surface of the optical multilayer filter 51 can be easily known. Further, since the marking surface 55 having a processing pattern different from the other side surface of the transparent substrate 52 can be formed only by changing the processing method for the other side surface, a separate marking device or the like is used. There is no need to perform marking, and an optical multilayer filter provided with a mark for determining the tilt direction of the filter surface can be provided at lower cost.
[0055]
Next, a method for manufacturing the above-described optical multilayer filter 51 will be described. Since the method for manufacturing the optical multilayer filter 51 in the present embodiment is almost the same as the method for manufacturing the optical multilayer filter 1 in the first embodiment, only the differences will be described.
[0056]
The dicing blade used in the manufacturing method of the present embodiment has a direction perpendicular to the surface of the filter member 61 in which the optical multilayer film 63 and the antireflection film 64 are formed on the transparent substrate material 62 and parallel to the direction in which the filter member surface is inclined. There is a first dicing blade 71 for cutting and dividing the filter member 61, and a second dicing blade 72 for cutting and dividing the filter member 61 in a direction perpendicular to the direction in which the first dicing blade 71 cuts the filter member 61. Both side surfaces of the peripheral portion of the first dicing blade 71 are fine cut surfaces. As shown in FIG. 10, both cut surfaces of the filter member 61 cut and divided by the first dicing blade 71 are mirror surfaces (flat surfaces). ).
[0057]
One peripheral side surface of the second dicing blade 72 is a finely cut surface like the peripheral side surface of the first dicing blade 71, whereas the other peripheral side surface of the second dicing blade 72 is one side. The cutting surface is coarser than the side surface. Then, as shown in FIG. 11, one cut surface (right side in FIG. 11) of the filter member 61 cut and divided by the second dicing blade 72 has a mirror surface (flat surface) like the cut surface of the first dicing blade 71. ), And the other (left side in FIG. 11) cut surface is formed into a flat surface with a rough surface roughness capable of recognizing a plurality of striations formed by processing. 10 and 11, the surface roughness of the peripheral side surface of the first dicing blade 71 and the second dicing blade 72 is exaggerated in FIGS.
[0058]
In order to obtain a plurality of optical multilayer filters 51 by cutting and dividing the filter member 61 with a dicing saw, first, as shown in FIG. 10, the filter is perpendicular to the surface of the filter member 61 and parallel to the direction in which the filter member surface is inclined. In the direction, the first dicing blade 71 cuts and divides the filter member 61 into required dimensions to obtain a required amount of filter member strips 61a, 61a,. At this time, both side surfaces of the filter member strip 61a serving as a cut surface of the filter member 61 are formed in a mirror surface (flat surface).
[0059]
Next, as shown in FIG. 11, the filter member strips 61a, 61a,... Are cut into required dimensions by the second dicing blade 72 in a direction perpendicular to the cutting direction by the first dicing blade 71, and FIG. As shown, a transparent substrate 52 formed in a square plate shape, an optical multilayer film 53 formed on the surface of the transparent substrate 52, and an antireflection film 54 formed on the back surface of the transparent substrate 52 are provided. A plurality of optical multilayer filters 51, 51,... In which a marking surface 55 having a processing pattern different from the other side surfaces is formed on at least one side surface of the transparent substrate 52 except for the front surface and the back surface.
[0060]
That is, the processed pattern of the cut surface of the filter member 61 is different between the case where the marking surface 55 is a cut surface and the case where the other side is a cut surface, and at least one side surface excluding the front surface and the back surface of the transparent substrate 52. By cutting and dividing the filter member 61 so that the processing pattern is different from the other side surface, a marking surface 55 is formed on this side surface.
[0061]
As a result, only the first dicing blade 71 and the second dicing blade 72 configured as a dicing saw for cutting and dividing the filter member 61 are formed on the marking surface 55 having a processing pattern different from other side surfaces of the transparent substrate 52. Since it is possible to form the optical multi-layer filter with a mark for determining the inclination direction of the filter surface at a lower cost, it is not necessary to perform marking using a separate marking device or the like. it can.
[0062]
In the second embodiment, the filter member 61 is formed by the first dicing blade 71 and the second dicing blade 72 such that at least one side surface of the transparent substrate 52 except for the front surface and the back surface has a different processing pattern from the other side surface. Is cut and divided to form a marking surface 55 on this side surface. However, the cutting surface is not limited to this. The filter surface is cut and divided so that at least one side surface except the front surface and the back surface of the transparent substrate has a different processing pattern from the other side surface, so that a marking surface is formed on this side surface. You may do so.
[0063]
For example, as shown in FIG. 12, first, a filter member 111 having an optical multilayer film 113 and an antireflection film 114 formed on the front and back surfaces of a transparent substrate material 112 is sized by a dicing blade 121 at a predetermined rotational speed to a required size. Are obtained, and a plurality of filter member strips 111a, 111a,.
[0064]
Next, as shown in FIG. 13, in the direction perpendicular to the cutting direction in the first cutting step, the rotation speed in the first cutting step is smaller than the rotation speed in the first cutting step by the dicing blade 121. The filter member strips 111a, 111a,... Were cut into required dimensions so as to be alternately repeated at a low rotation speed, and a transparent substrate 102 formed in a square plate shape and a film formed on the surface of the transparent substrate 102 were formed. A marking including an optical multilayer film 103 and an anti-reflection film 104 formed on the back surface of the transparent substrate 102, wherein at least one side surface of the transparent substrate 102 except for the front surface and the back surface has a processing pattern different from other side surfaces. A plurality of optical multilayer films 101, 101,... On which the surface 105 is formed are obtained.
[0065]
In this manner, similarly to the method of manufacturing the optical multilayer filter 51 in the second embodiment, there is no need to perform marking using a separate marking device or the like, and an optical device provided with a mark for determining the inclination direction of the filter surface is provided. A multilayer filter can be manufactured at lower cost. In addition, as shown in FIG. 13, the positions of the marking surfaces of the optical multilayer filter adjacent to each other in the filter member strip 111a are different from each other (opposite positions).
[0066]
Further, in each of the above-described embodiments, a marking surface as a mark for determining a tilt direction of the filter surface is provided on one side surface except the front surface and the back surface of the transparent substrate, but is not limited thereto. Marks (marking surfaces) may be provided on a plurality of side surfaces of the transparent substrate so that the direction in which the filter surface is inclined can be determined.
[0067]
Further, in each of the above-described embodiments, the transparent substrate (optical multilayer filter) is formed in the shape of a square plate. However, the present invention is not limited to this. What is necessary is just to be formed in a square plate shape.
[0068]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, it is possible to provide an optical multilayer filter capable of easily knowing the inclination direction of the filter surface. Further, according to the manufacturing method of the present invention, an optical multilayer filter capable of easily knowing the direction in which the filter surface tilts can be manufactured at lower cost.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a perspective view of an optical multilayer filter according to the present invention.
FIG. 2 is a right side view of the optical multilayer filter according to the present invention.
FIG. 3 is a diagram showing a state where light passes through the optical multilayer filter according to the present invention.
FIG. 4A is a side view of the filter member, and FIG. 4B is a plan view of the filter member.
FIG. 5 is a plan view showing a state where a plurality of optical multilayer filters according to the present invention are obtained by cutting and dividing a filter member.
FIG. 6 is a side view of a dicing saw for cutting and dividing a filter member.
FIG. 7 is a side view showing a state where the filter member is cut by a dicing saw by down cutting.
8A is an enlarged view showing a state in which a groove is formed in a filter member by a dicing blade, and FIG. 8B is a view showing a state in which the filter member is cut by a dicing blade at a cutting position adjacent to the groove; It is an enlarged view, (c) is an enlarged view showing the state where a filter member was cut by a dicing blade and a plurality of filter member strips were obtained.
FIG. 9 is a perspective view of another optical multilayer filter according to the present invention.
FIG. 10 is an enlarged view showing a state where another filter member according to the present invention is cut by a first dicing blade.
FIG. 11 is an enlarged view showing a state where another filter member strip according to the present invention is cut by a second dicing blade.
FIG. 12 is an enlarged view showing a state where a filter member according to another embodiment of the present invention is cut by a dicing blade.
FIG. 13 is an enlarged view showing a state in which a filter member strip according to another embodiment of the present invention is cut by a dicing blade.
[Explanation of symbols]
1. Optical multilayer filter (first embodiment)
2 Transparent substrate
3 Optical multilayer
5 Marking surface
11 Filter member
12 Transparent substrate material
13 Optical multilayer
16 grooves
51 Optical Multilayer Filter (Second Embodiment)
52 transparent substrate
53 Optical multilayer
55 Marking surface
61 Filter member
62 Transparent substrate material
63 Optical multilayer
101 Optical Multilayer Filter (Another Embodiment)
102 Transparent substrate
103 Optical multilayer
105 Marking surface
111 Filter member
112 Transparent substrate material
113 Optical multilayer
P Cutting position

Claims

In a transparent substrate, an optical multilayer filter including an optical multilayer film formed on at least one of the front surface and the rear surface of the transparent substrate facing each other,
An optical multilayer filter, wherein a mark is provided on at least one side surface of the transparent substrate except for the front surface and the back surface.

2. The optical multilayer filter according to claim 1, wherein the mark is provided by forming at least one side surface of the transparent substrate other than the front surface and the back surface into a stepped flat shape. 3.

The mark is provided by forming a marking surface on the side surface by forming at least one side surface of the transparent substrate other than the front surface and the back surface so as to have a different processing pattern from the other side surface. The optical multilayer filter according to claim 1, wherein:

An optical multilayer film filter having a step of forming a filter member by forming an optical multilayer film on at least one of a front surface and a rear surface of a plate-shaped transparent substrate material facing each other, and cutting and dividing the filter member. The method,
Performing the cutting division of the filter member using a plurality of types of cutting division method, making the cut surface form of at least one side surface excluding the front surface and the back surface of the transparent substrate different from the cut surface form of the other side surface,
A method for manufacturing an optical multilayer filter, wherein a marking surface is formed by a cut surface configuration of at least one side surface.

By forming a groove adjacent to a predetermined cutting position at the time of cutting division of the filter member, and then by cutting and dividing the filter member at the predetermined cutting position,
The method for manufacturing an optical multilayer filter according to claim 4, wherein the marking surface is formed in a stepped flat shape.

The processing pattern of a cut surface of the filter member is cut and divided so that the marking surface is different from the other side surface, and the marking surface is formed on the side surface. 5. The method for producing an optical multilayer filter according to item 4.

When the cutting speed of the filter member is different from the case where the marking surface is a cutting surface and the case where the other side surface is a cutting surface, the filter member is cut and divided, and the marking surface is formed on the side surface. The method for manufacturing an optical multilayer filter according to claim 4, wherein: