JP2004146729A - 半導体樹脂封止用金型及び樹脂封止方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】樹脂封止した場合にリードフレームに反りやうねり等の変形を生じない半導体樹脂封止金型を提供する。
【解決手段】半導体樹脂封止用金型1、2は、リードフレーム11の上にボンディングされた半導体チップ12の樹脂封止に用いられ、所定長さの刃状の突起部3a、3bと、前記半導体チップを収納すると共に該半導体チップの周囲に樹脂注入用の第1の空洞部とを有する第1の金型1と、前記突起部と噛合う凹部4a、4bと、前記第1の空洞部と対向し、前記半導体チップを収納すると共に該半導体チップの周囲に樹脂注入用の第2の空洞部とを有する第2の金型2とを備え、前記第1及び第2の金型の間に前記リードフレームを挟み込み、前記半導体チップを樹脂封止すると共に、前記リードフレームに折曲げ部14を形成する。
【選択図】 図1
【解決手段】半導体樹脂封止用金型1、2は、リードフレーム11の上にボンディングされた半導体チップ12の樹脂封止に用いられ、所定長さの刃状の突起部3a、3bと、前記半導体チップを収納すると共に該半導体チップの周囲に樹脂注入用の第1の空洞部とを有する第1の金型1と、前記突起部と噛合う凹部4a、4bと、前記第1の空洞部と対向し、前記半導体チップを収納すると共に該半導体チップの周囲に樹脂注入用の第2の空洞部とを有する第2の金型2とを備え、前記第1及び第2の金型の間に前記リードフレームを挟み込み、前記半導体チップを樹脂封止すると共に、前記リードフレームに折曲げ部14を形成する。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体素子を樹脂封止するために用いられる金型及び方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体装置の製造工程において、リードフレームにボンディングされた半導体チップを外部環境からの影響を避けるためにパッケージや樹脂材等でシールする工程がある。一般にシール工程として、半導体チップを樹脂で封止する樹脂封止工程が行われている。樹脂封止工程では、半導体チップがボンディングされたリードフレームを金型で挟んで固定し、半導体チップの周囲に樹脂を注入して樹脂封止する。
【0003】
従来の半導体素子の樹脂封止方法では、リードフレームの両端枠部に設けられた突起部を、上型あるいは下型のリードフレーム挟持部分に設けられた凹部に嵌合させ、上型と下型でリードフレームを挟持している(例えば、特許文献1参照。)。リードフレームの突起部で挟持することで、リードフレームの変形を抑え、樹脂バリの発生を抑制している。
【0004】
【特許文献1】
特開昭53−77469号公報
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
半導体装置の樹脂封止工程では、銅フレームや薄いリードフレームを樹脂封止した際、型開き時にリードフレームには反りやうねり等の変形を生じる場合がある。これはリードフレームの熱膨張や、型開き時に約180℃の金型に接するリードフレームの下面と、外気に接する上面との温度差による熱変形が原因と考えられる。その結果、次のような問題が生じている。
1)樹脂封止後、金型からリードフレームを吸着してピックアップしようとした場合に、フレームの反りやうねりがあると平坦でないため、フレーム吸着パッドとフレーム間にすき間ができて、真空リークが起きる。その結果、正常にフレームを吸着できない場合がある。
2)半導体樹脂封止工程後のリード加工工程において、リードフレームの変形によって、リード加工機や、リードフレーム送り装置でのフレーム引っ掛かりや、摩擦力増大が生じる。
3)リード加工工程において、リード金型上にリードフレームをセットする際、上記2)のようにフレーム送り量がばらつくため、リード金型上へのリードフレームのセット位置がずれる。そのような状態でリード金型を使用した場合には、リード金型を破損する場合がある。
【0006】
また、上記特許文献1に記載の樹脂封止方法では、あらかじめリードフレームに突起部を形成しておく必要がある。また、金型にも該突起部を嵌合させる凹部を設けておく必要がある。
【0007】
そこで、本発明の目的は、樹脂封止した場合にリードフレームに反りやうねり等の変形を生じない金型及び該金型を備えた装置を提供することである。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明の半導体樹脂封止用金型は、リードフレームの上にボンディングされた半導体チップの樹脂封止に用いる半導体樹脂封止用金型であって、
所定長さの刃状の突起部と、前記半導体チップを収納すると共に該半導体チップの周囲に樹脂注入用の第1の空洞部とを有する第1の金型と、
前記突起部と噛合う凹部と、前記第1の空洞部と対向し、前記半導体チップを収納すると共に該半導体チップの周囲に樹脂注入用の第2の空洞部とを有する第2の金型と
を備え、
前記第1及び第2の金型の間に前記リードフレームを挟み込み、前記半導体チップを樹脂封止すると共に、前記リードフレームに折曲げ部を形成することを特徴とする。
【0009】
また、本発明に係る半導体樹脂封止方法は、半導体チップがボンディングされたリードフレームを用意する工程と、
前記リードフレームを第1及び第2の金型の間に挟みこんで固定すると共に、前記リードフレームに所定長さの刃状の折曲げ部を形成する工程と、
前記第1及び第2の金型の間に挟み込まれた前記半導体チップの周囲に樹脂を注入して、前記半導体チップを樹脂封止する工程と
を含む。
【0010】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態に係る半導体樹脂封止用金型及び半導体樹脂封止方法について、添付図面を用いて説明する。なお、図面においては実質的に同一の部材には同一の符号を付している。
【0011】
実施の形態1.
本発明の実施の形態1に係る半導体樹脂封止用金型、該金型を含む半導体樹脂封止装置及び半導体樹脂封止方法について、図1から図7までを用いて説明する。図1は、この半導体樹脂封止装置10において、リードフレーム11を下部金型2に載せた場合の断面図である。図2は、半導体樹脂封止方法において、リードフレーム11を上下金型1、2で挟み込んで折曲げ部14を形成する工程での断面図である。図3は、この半導体樹脂封止方法において、半導体チップ12の周囲に樹脂を注入する工程での断面図である。図4の(a)は、この半導体樹脂封止方法で製造された半導体チップを有するリードフレームの平面図であり、(b)は(a)のA−A’線に沿った断面図であり、(c)は、(b)とは逆方向に折曲げ部14aが形成された別例の断面図である。図5は、リードフレームの長手方向に形成された折曲げ部14と抵抗性のある反り方向Aとの関係を示す斜視図である。図6は、リードフレームの短軸方向に形成された折曲げ部16と抵抗性の有る反り方向Bとの関係を示す斜視図である。図7は、リードフレームの長手方向及び短軸方向の両方に折曲げ部14、16を設けた場合の抵抗性のある反り方向との関係を示す斜視図である。
【0012】
まず、半導体チップ12の樹脂封止に用いられる半導体樹脂封止用金型1、2について説明する。樹脂封止される半導体チップ12は、長方形状のリードフレーム11の長手方向に配置され、該リードフレーム11に設けられたリードにそれぞれボンディングされている。なお、このリードフレーム11には複数の半導体チップ12が長手方向に沿って配置されている。また、半導体樹脂封止用金型1、2は、図1に示すように、半導体チップ12がボンディングされたリードフレーム11を上下から挟み込む、上部金型1と下部金型2である。上部金型1には所定長さの刃状の突起部3a、3bと、半導体チップ12を収納し、該半導体チップ12の周囲に樹脂を注入して樹脂封止するための第1の空洞部とを有する。下部金型2には、上部金型1の突起部3a、3bと噛合う凹部4a、4bと、半導体チップ12を収納し、上記第1の空洞部と対向し、該半導体チップ12の周囲に樹脂を注入して樹脂封止するための第2の空洞部とを備える。この上下金型1、2の間にリードフレーム11を挟みこむことによって、図4に示すように、リードフレーム11に反り及びうねり等の変形を抑制する折曲げ部14を形成することができる。なお、折曲げ部14の形状は、断面形状がV字に限られず、台形やU字であってもよい。また、図4の(b)の断面形状のように、フレームの上面から下面へ向かう折曲げ部14に限られず、(c)の断面形状のように、フレームの下面から上面へ向う折曲げ部14aであってもよい。なおこの場合には、下部金型2側に突起部を設ける必要がある。さらに、折曲げ部は1列、2列、3列、あるいはそれ以上の場合であってもよい。また、多列フレームの場合には、フレーム中央部などのフレーム枠を折り曲げてもよい。
【0013】
また、このリードフレーム11に形成する折曲げ部の方向は反り方向と関係している。例えば、図5に示すようにリードフレーム11の長手方向に平行な2本の折曲げ部14が形成された場合には、反り方向Aに対する抵抗性を強くすることができる。また、ランナー17によって反り方向Bについての一定の抵抗性を与えることができるが、所定の抵抗性を得る必要がある場合には、図6に示すように、短軸方向に平行な折曲げ部16を設けることにより、反り方向Bに対する抵抗性を強くすることができる。さらに、両方向の折曲げ部14、16を設けた場合には、反り方向A及び反り方向Bに対する抵抗性をそれぞれ強くできる。このようにそれぞれの反り方向への抵抗性を高めることでリードフレーム11の熱変形を抑制でき、ジャムの発生を抑制できるとともに、金型の破損を防ぐことができる。
【0014】
次に、この上下金型1、2を含む半導体樹脂封止装置は、該上下金型1、2と、半導体チップ12の周囲に樹脂を注入し、半導体チップ12を樹脂封止する樹脂注入部とを備える。具体的には、上下金型1、2にわたって、プランジャ5がはめ込まれており、樹脂タブレット6の樹脂を上下金型の間の空洞部に圧入することができる。また、下部金型2には、リードフレーム11を載せる箇所の下部に、樹脂を半導体チップ12の周囲まで導く樹脂流路8が設けられている。そこで、プランジャ5を押し上げることにより樹脂タブレット6の樹脂を圧入し、半導体チップ12の周囲の空洞部に樹脂を注入することができる。この半導体樹脂封止装置10によれば、リードフレーム11を挟み込む工程で折曲げ部14を形成することができ、一連の工程として樹脂封止を行うことができるので、余分なサイクルタイムを必要としない。
【0015】
次に、この半導体樹脂封止方法について、図1から図3を用いて説明する。
(1)突起部3a、3bを有する上部金型1と、該突起部3a、3bと噛合う凹部4a、4bを有する下部金型2とを互いに対向させる。
(2)半導体チップ12をボンディングしたリードフレーム11を用意し、該リードフレーム11を下部金型2に位置決めピン7に合わせて載せる(図1)。
(3)上部金型1を下部金型2に対して移動させて、上下金型1、2の間にリードフレーム11を挟み込んで固定すると共に、突起部3a、3bと凹部4a、4bとによって、該リードフレーム11に折曲げ部14を形成する(図2)。
(4)プランジャ5を押し上げて、樹脂タブレット6からリードフレーム11の下側の樹脂流路8に沿って半導体チップ12の周囲に樹脂を注入する(図3)。
(5)その後、樹脂を熱硬化させて半導体チップ12を樹脂封止する。
以上の工程によって、長手方向に平行な2本の折曲げ部14が形成されると共に、樹脂封止された半導体チップ12を備えるリードフレーム11が得られる。
【0016】
実施の形態2.
本発明の実施の形態2に係る半導体樹脂封止用金型、半導体樹脂封止装置及び半導体樹脂封止方法について、図8乃至図13を用いて説明する。この半導体樹脂封止用金型1、2は、実施の形態1に係る金型と比較すると、図8から図11に示すように、上部金型1の表面から内側に格納された状態から、該上部金型1の表面から突出させることができる可動型突起部23a、23bを有する点で相違する。このような可動型突起部23a、23bを有する上下金型1、2を備えた半導体樹脂封止装置20では、リードフレーム11を固定した後、折曲げ部を形成することができる。そこで、リードフレーム11に折曲げ部を形成する際の半導体チップ12の位置ずれを防ぐことができる。さらに、リードフレーム11に折曲げ部14を形成した後、リードフレーム11が凹部4a、4bに沿って引き込まれるので、端部に隙間27を生じる。そこで、この隙間27を埋めるための可動型の押さえブロック25a、25bをさらに備えている。
【0017】
次に、この上下金型1、2を含む半導体樹脂封止装置20について説明する。この半導体樹脂封止装置20は、上記上下金型1、2と、半導体チップの周囲に樹脂を注入して半導体チップを樹脂封止する樹脂注入部とを備える。具体的には、上下金型1、2にわたって、プランジャ5がはめ込まれており、樹脂タブレット6の樹脂を上下金型の間に圧入することができる。また、下部金型2には、リードフレーム11を載せる箇所の下部に、樹脂を半導体チップ12の周囲まで導く樹脂流路8が設けられている。そこで、プランジャ5を押し上げることにより樹脂タブレット6の樹脂を圧入し、半導体チップ12の周囲に樹脂を注入することができる。この半導体樹脂封止装置10によれば、まず、上下金型1、2の金型接触部26でリードフレームを把持し、固定した後、可動型突起部23a、23bで折曲げ部を形成するので、折曲げ部を形成する際にも半導体チップの位置ずれが生じない。しかも、隙間を埋める押さえブロックを有するので、リードフレーム表面に余分の樹脂が付着するのを防ぐことができる。これによって、ピックアップ時の吸着ミスを防ぐことができると共に薄バリなどの製品不良発生を防止できる。
【0018】
この半導体樹脂封止方法について、図8から図13を用いて説明する。
(1)可動型突起部23a、23bを有する上部金型1と、該可動型突起部23a、23bと噛合う凹部4a、4bを有する下部金型2とを鉛直方向に所定間隔を空けて互いに対向させる(図示せず)。
(2)半導体チップ12をボンディングしたリードフレーム11を用意し、該リードフレーム11を下部金型2に位置決めピン7に合わせて載せる(図8)。
(3)可動型突起部23a、23bを表面内側に格納した状態で、上部金型1を下部金型2に対して移動させて、上下金型1、2の間にリードフレーム11を挟み込んで固定する(図9)。
(4)上部金型1の表面から可動型突起部23a、23bを突出させて、該リードフレーム11に折曲げ部14を形成する(図10)。
(5)リードフレーム11に折曲げ部14を形成した際に生じる隙間27を埋めるように押さえブロック25a、25bを押し下げる(図11)。これにより、樹脂がリードフレーム11の表面側に回り込むことを防止することができる。その結果、樹脂付着を原因としたピックアップ時の吸着ミスや薄バリなどの製品不良を防止できる。
(6)樹脂タブレット6を乗せたプランジャ5を押し上げ(図12)、樹脂タブレット6からリードフレーム11の下側の樹脂流路8に沿って半導体チップ12の周囲の空洞部に樹脂28を注入する(図13)。
(7)その後、半導体チップ12の周囲の樹脂を熱硬化させて樹脂封止する。
以上の工程によって、樹脂封止された半導体チップ12を得ることができる。
【0019】
実施の形態3.
本発明の実施の形態3に係る半導体樹脂封止用金型、半導体樹脂封止装置及び半導体樹脂封止方法について、図14乃至図17を用いて説明する。図14は、半導体チップ12の周囲の空洞部に樹脂を注入し、該空洞部全体への樹脂注入をほぼ完了した段階を示す断面図である。図15は、可動型突起部23a、23bを上部金型1の表面内側に引き込む工程を示す断面図である。図16は、この可動型突起部23a、23bでリードフレーム11に折曲げ部14を形成すると共に、貫通孔18を形成した段階で取り出されたリードフレーム11の平面図である。図17の(a)は、(a)は、本発明の実施の形態3に係る半導体樹脂封止方法において得られた、折曲げ部14の内部に樹脂を注入したリードフレーム11の平面図である。図17の(b)は、(a)のB−B’線に沿った断面図である。
【0020】
この半導体樹脂封止用金型1、2は、実施の形態2に係る金型と比較すると、可動型突起部23a、23bを備える点で共通するが、この可動型突起部23a、23bが多段形状である点で相違する。この多段形状の可動型突起部23a、23bによって、図16に示すように、リードフレーム11に折曲げ部14を形成するとともに、該折曲げ部14の底部にリードフレーム11の両面を貫く貫通孔18を形成することができる。この貫通孔18を通じて樹脂を折曲げ部14の内部に導くことができ、リードフレーム11の変形をさらに抑制できる。
【0021】
この半導体樹脂封止方法について、図14及び図15を用いて説明する。この半導体樹脂封止方法は、実施の形態2に係る半導体樹脂封止方法と比較すると、多段形状の可動型突起部23a、23bによって、リードフレーム11に折曲げ部14を形成すると共に、該折曲げ部14の底部に貫通孔18を形成する点で相違する。さらに、半導体チップ12への樹脂注入後、可動型突起部23a、23bを上部金型1に引き込んで、貫通孔18を通じて折曲げ部に樹脂を導く点においても相違する。なお、以下の説明では、実施の形態2に係る樹脂封止方法と共通する工程については、図8から図13を適宜用いて説明する。
【0022】
(1)多段形状の可動型突起部23a、23bを有する上部金型1と、該可動型突起部23a、23bと噛合う凹部4a、4bを有する下部金型2とを鉛直方向に所定間隔を空けて互いに対向させる(図示せず)。
(2)半導体チップ12をボンディングしたリードフレーム11を用意し、下部金型2に位置決めピン7に合わせて載せる(図8)。
(3)可動型突起部23a、23bを表面内側に格納した状態で、上部金型1を下部金型2に対して移動させて、上下金型1、2の間にリードフレーム11を挟み込んで固定する(図9)。
(4)上部金型1の表面から複数段の突起を有する可動型突起部23a、23bを突出させて、該リードフレーム11に折曲げ部14を形成すると共に、該折曲げ部14の底部に貫通孔18を形成する(図16)。
(5)リードフレーム11に折曲げ部14を形成した際に生じる隙間27を埋めるように押さえブロック25a、25bを押し下げる(図11)。これにより、樹脂がリードフレーム11の表面側に回り込むことを防止することができる。その結果、樹脂付着を原因としたピックアップ時の吸着ミスや薄バリなどの製品不良発生を防止できる。
【0023】
(6)樹脂タブレット6を乗せたプランジャ5を押し上げ(図12)、樹脂タブレット6からリードフレーム11の下側の樹脂流路8に沿って半導体チップ12の周囲の空洞部に樹脂28を注入する(図13)。
(7)半導体チップ12の周囲の空洞部のほぼ全体に樹脂28を注入した段階(図14)で、可動型突起部23a、23bを金型の表面に引き込み、貫通孔18を通じて折曲げ部14の内部に樹脂19を導く(図15)。
(8)その後、半導体チップ12の周囲の樹脂28を熱硬化させて樹脂封止すると共に、折曲げ部14に導いた樹脂19を熱硬化させる(図17)。
以上の工程によって、樹脂封止された半導体チップ12を得ることができる。
【0024】
実施の形態4.
本発明の実施の形態4に係る半導体樹脂封止用金型、半導体樹脂封止装置及び半導体樹脂封止方法について、図18乃至図21を用いて説明する。図18は、この半導体樹脂封止用金型1、2の下部金型2の凹部に設けられたエジェクトピン31を示す断面図である。図19は、図18のC−C’線に沿った断面図である。図20は、この半導体樹脂封止方法において、樹脂封止工程後、エジェクトピンを突出させてリードフレーム11を金型2から取り外す工程を示す断面図である。図21は、図20のD−D’線に沿った断面図である。
【0025】
この半導体樹脂封止用金型1、2は、実施の形態1乃至3に係る金型と比較すると、図18に示すように、下部金型2の凹部4a、4bの底部に、樹脂封止後のリードフレーム11を金型2から取り外すためのエジェクトピン31を備えている点で相違する。樹脂封止工程後、このエジェクトピン31を凹部4a、4bから突出させて、折曲げ部の底部でリードフレーム11を支持することができる。このため、リードフレーム下部をエジェクトする必要がないため、リードフレーム表面にクラック等のキズを付けることがない。また、折曲げ部の底部を支持点とするので、リードフレームを変形させることなく大きなエジェクト力が得られる。その結果、金型からフレームをスムーズにエジェクトできる。
【0026】
この半導体樹脂封止方法は、実施の形態1から3に記載の半導体樹脂封止方法と比較すると、半導体チップ12の樹脂封止工程まではそれぞれの実施の形態に係る樹脂封止方法のいずれであってもよいが、該樹脂封止工程の後、さらに次のリードフレームのエジェクト工程を含んでいる。
(1)半導体チップ12の周囲に樹脂を注入し、該樹脂が固化後、上部金型1を上昇させて下部金型2と分離する(図18)。
(2)下部金型2の凹部の底部から複数のエジェクトピン31を突出させてリードフレーム11の折曲げ部の底部を支持し、下部金型2からリードフレーム11を取り外す(図19)。
上記工程によって、樹脂封止された半導体チップ12を備えたリードフレームを得ることができる。
【0027】
なお、その後のリード加工工程において、必要に応じてリードフレーム11に形成された折曲げ部14を含む部分をカットするカッティング工程を設けてもよい。カッティング工程を設け、折曲げ部14をカットすることによって、その後の工程で折曲げ部を有しない場合と共通した工程を通すことができる。
【0028】
【発明の効果】
本発明の半導体樹脂封止用金型によれば、突起部を備えており、リードフレームを挟み込んだ場合に折曲げ部を形成する。この折曲げ部によって、リードフレームの反り及びうねり等の変形を抑制することができる。また、半導体樹脂封止方法として、上下金型でリードフレームを挟み込みながら折曲げ部を形成し、一連の工程として樹脂封止することができるので、余分のサイクルタイムがかかることもない。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態1に係る半導体樹脂封止装置において、リードフレームを下部金型に載せた場合の断面図である。
【図2】本発明の実施の形態1に係る半導体樹脂封止方法において、リードフレームを上下金型で挟み込んで折曲げ部を形成する工程の断面図である。
【図3】本発明の実施の形態1に係る半導体樹脂封止方法において、挟みこまれた半導体チップの周囲に樹脂を注入する工程の断面図である。
【図4】(a)は、本発明の実施の形態1に係る半導体樹脂封止方法で製造された半導体チップを有するリードフレームの平面図であり、(b)は(a)のA−A’線に沿った断面図であり、(c)は、(b)とは逆方向に折曲げ部が形成された別例の断面図である。
【図5】リードフレームの長手方向に形成された折曲げ部と抵抗性のある反り方向Aとの関係を示す斜視図である。
【図6】リードフレームの短軸方向に形成された折曲げ部と抵抗性の有る反り方向Bとの関係を示す斜視図である。
【図7】リードフレームの長手方向及び短軸方向の両方に折曲げ部を設けた場合の抵抗性のある反り方向との関係を示す斜視図である。
【図8】本発明の実施の形態2に係る半導体樹脂封止装置において、リードフレームを下部金型に載せた場合の断面図である。
【図9】本発明の実施の形態2に係る半導体樹脂封止方法において、リードフレームを上下金型で挟み込んで固定する工程の断面図である。
【図10】本発明の実施の形態2に係る半導体樹脂封止方法において、上部金型の表面から可動型突起部を突出させてリードフレームに折曲げ部を形成する工程を示す断面図である。
【図11】本発明の実施の形態2に係る半導体樹脂封止方法において、押さえブロックを押し下げて、折曲げ部を形成した際の隙間を埋める工程を示す断面図である。
【図12】本発明の実施の形態2に係る半導体樹脂封止方法において、プランジャを押し上げる工程を示す断面図である。
【図13】本発明の実施の形態2に係る半導体樹脂封止方法において、リードフレームの下部の樹脂流路を通じて樹脂を半導体チップの周囲に注入する工程を示す断面図である。
【図14】本発明の実施の形態3に係る半導体樹脂封止方法において、半導体チップの周囲全体にほぼ樹脂を注入した段階を示す断面図である。
【図15】本発明の実施の形態3に係る半導体樹脂封止方法において、可動型突起部を金型表面に引き込み、折曲げ部の底部の貫通孔から樹脂を折曲げ部に導く工程を示す断面図である。
【図16】本発明の実施の形態3に係る半導体樹脂封止方法において、可動型突起部でリードフレームに折曲げ部を形成すると共に、貫通孔を形成した段階で取り出されたリードフレームの平面図である。
【図17】(a)は、本発明の実施の形態3に係る半導体樹脂封止方法において得られた、折曲げ部の内部に樹脂を注入したリードフレームの平面図であり、(b)は、(a)のB−B’線に沿った断面図である。
【図18】本発明の実施の形態4に係る半導体樹脂封止用金型において、下部金型の凹部に設けられたエジェクトピンの配置を示す断面図である。
【図19】図18のC−C’線に沿った断面図である。
【図20】図18に続いて、樹脂封止工程後、下部金型の凹部からエジェクトピンを突出させてリードフレームを金型から取り外す工程を示す断面図である。
【図21】図20のD−D’線に沿った断面図である。
【符号の説明】
1 上部金型、2 下部金型、3a、3b 突起部、4a、4b 凹部、5 プランジャ、6 樹脂タブレット、7 位置決めピン、8 樹脂流路、10、20、30、40 半導体樹脂封止装置、11 リードフレーム、12 半導体チップ、14、14a 折曲げ部(長手方向)、16 折曲げ部(短軸方向)、17ランナー、18 貫通孔、19 樹脂、23a、23b 可動突起部、25a、25b 可動押えブロック、26 金型接触部、27 隙間、28 樹脂、29 樹脂封止部、31 エジェクトピン
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体素子を樹脂封止するために用いられる金型及び方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体装置の製造工程において、リードフレームにボンディングされた半導体チップを外部環境からの影響を避けるためにパッケージや樹脂材等でシールする工程がある。一般にシール工程として、半導体チップを樹脂で封止する樹脂封止工程が行われている。樹脂封止工程では、半導体チップがボンディングされたリードフレームを金型で挟んで固定し、半導体チップの周囲に樹脂を注入して樹脂封止する。
【0003】
従来の半導体素子の樹脂封止方法では、リードフレームの両端枠部に設けられた突起部を、上型あるいは下型のリードフレーム挟持部分に設けられた凹部に嵌合させ、上型と下型でリードフレームを挟持している(例えば、特許文献1参照。)。リードフレームの突起部で挟持することで、リードフレームの変形を抑え、樹脂バリの発生を抑制している。
【0004】
【特許文献1】
特開昭53−77469号公報
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
半導体装置の樹脂封止工程では、銅フレームや薄いリードフレームを樹脂封止した際、型開き時にリードフレームには反りやうねり等の変形を生じる場合がある。これはリードフレームの熱膨張や、型開き時に約180℃の金型に接するリードフレームの下面と、外気に接する上面との温度差による熱変形が原因と考えられる。その結果、次のような問題が生じている。
1)樹脂封止後、金型からリードフレームを吸着してピックアップしようとした場合に、フレームの反りやうねりがあると平坦でないため、フレーム吸着パッドとフレーム間にすき間ができて、真空リークが起きる。その結果、正常にフレームを吸着できない場合がある。
2)半導体樹脂封止工程後のリード加工工程において、リードフレームの変形によって、リード加工機や、リードフレーム送り装置でのフレーム引っ掛かりや、摩擦力増大が生じる。
3)リード加工工程において、リード金型上にリードフレームをセットする際、上記2)のようにフレーム送り量がばらつくため、リード金型上へのリードフレームのセット位置がずれる。そのような状態でリード金型を使用した場合には、リード金型を破損する場合がある。
【0006】
また、上記特許文献1に記載の樹脂封止方法では、あらかじめリードフレームに突起部を形成しておく必要がある。また、金型にも該突起部を嵌合させる凹部を設けておく必要がある。
【0007】
そこで、本発明の目的は、樹脂封止した場合にリードフレームに反りやうねり等の変形を生じない金型及び該金型を備えた装置を提供することである。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明の半導体樹脂封止用金型は、リードフレームの上にボンディングされた半導体チップの樹脂封止に用いる半導体樹脂封止用金型であって、
所定長さの刃状の突起部と、前記半導体チップを収納すると共に該半導体チップの周囲に樹脂注入用の第1の空洞部とを有する第1の金型と、
前記突起部と噛合う凹部と、前記第1の空洞部と対向し、前記半導体チップを収納すると共に該半導体チップの周囲に樹脂注入用の第2の空洞部とを有する第2の金型と
を備え、
前記第1及び第2の金型の間に前記リードフレームを挟み込み、前記半導体チップを樹脂封止すると共に、前記リードフレームに折曲げ部を形成することを特徴とする。
【0009】
また、本発明に係る半導体樹脂封止方法は、半導体チップがボンディングされたリードフレームを用意する工程と、
前記リードフレームを第1及び第2の金型の間に挟みこんで固定すると共に、前記リードフレームに所定長さの刃状の折曲げ部を形成する工程と、
前記第1及び第2の金型の間に挟み込まれた前記半導体チップの周囲に樹脂を注入して、前記半導体チップを樹脂封止する工程と
を含む。
【0010】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態に係る半導体樹脂封止用金型及び半導体樹脂封止方法について、添付図面を用いて説明する。なお、図面においては実質的に同一の部材には同一の符号を付している。
【0011】
実施の形態1.
本発明の実施の形態1に係る半導体樹脂封止用金型、該金型を含む半導体樹脂封止装置及び半導体樹脂封止方法について、図1から図7までを用いて説明する。図1は、この半導体樹脂封止装置10において、リードフレーム11を下部金型2に載せた場合の断面図である。図2は、半導体樹脂封止方法において、リードフレーム11を上下金型1、2で挟み込んで折曲げ部14を形成する工程での断面図である。図3は、この半導体樹脂封止方法において、半導体チップ12の周囲に樹脂を注入する工程での断面図である。図4の(a)は、この半導体樹脂封止方法で製造された半導体チップを有するリードフレームの平面図であり、(b)は(a)のA−A’線に沿った断面図であり、(c)は、(b)とは逆方向に折曲げ部14aが形成された別例の断面図である。図5は、リードフレームの長手方向に形成された折曲げ部14と抵抗性のある反り方向Aとの関係を示す斜視図である。図6は、リードフレームの短軸方向に形成された折曲げ部16と抵抗性の有る反り方向Bとの関係を示す斜視図である。図7は、リードフレームの長手方向及び短軸方向の両方に折曲げ部14、16を設けた場合の抵抗性のある反り方向との関係を示す斜視図である。
【0012】
まず、半導体チップ12の樹脂封止に用いられる半導体樹脂封止用金型1、2について説明する。樹脂封止される半導体チップ12は、長方形状のリードフレーム11の長手方向に配置され、該リードフレーム11に設けられたリードにそれぞれボンディングされている。なお、このリードフレーム11には複数の半導体チップ12が長手方向に沿って配置されている。また、半導体樹脂封止用金型1、2は、図1に示すように、半導体チップ12がボンディングされたリードフレーム11を上下から挟み込む、上部金型1と下部金型2である。上部金型1には所定長さの刃状の突起部3a、3bと、半導体チップ12を収納し、該半導体チップ12の周囲に樹脂を注入して樹脂封止するための第1の空洞部とを有する。下部金型2には、上部金型1の突起部3a、3bと噛合う凹部4a、4bと、半導体チップ12を収納し、上記第1の空洞部と対向し、該半導体チップ12の周囲に樹脂を注入して樹脂封止するための第2の空洞部とを備える。この上下金型1、2の間にリードフレーム11を挟みこむことによって、図4に示すように、リードフレーム11に反り及びうねり等の変形を抑制する折曲げ部14を形成することができる。なお、折曲げ部14の形状は、断面形状がV字に限られず、台形やU字であってもよい。また、図4の(b)の断面形状のように、フレームの上面から下面へ向かう折曲げ部14に限られず、(c)の断面形状のように、フレームの下面から上面へ向う折曲げ部14aであってもよい。なおこの場合には、下部金型2側に突起部を設ける必要がある。さらに、折曲げ部は1列、2列、3列、あるいはそれ以上の場合であってもよい。また、多列フレームの場合には、フレーム中央部などのフレーム枠を折り曲げてもよい。
【0013】
また、このリードフレーム11に形成する折曲げ部の方向は反り方向と関係している。例えば、図5に示すようにリードフレーム11の長手方向に平行な2本の折曲げ部14が形成された場合には、反り方向Aに対する抵抗性を強くすることができる。また、ランナー17によって反り方向Bについての一定の抵抗性を与えることができるが、所定の抵抗性を得る必要がある場合には、図6に示すように、短軸方向に平行な折曲げ部16を設けることにより、反り方向Bに対する抵抗性を強くすることができる。さらに、両方向の折曲げ部14、16を設けた場合には、反り方向A及び反り方向Bに対する抵抗性をそれぞれ強くできる。このようにそれぞれの反り方向への抵抗性を高めることでリードフレーム11の熱変形を抑制でき、ジャムの発生を抑制できるとともに、金型の破損を防ぐことができる。
【0014】
次に、この上下金型1、2を含む半導体樹脂封止装置は、該上下金型1、2と、半導体チップ12の周囲に樹脂を注入し、半導体チップ12を樹脂封止する樹脂注入部とを備える。具体的には、上下金型1、2にわたって、プランジャ5がはめ込まれており、樹脂タブレット6の樹脂を上下金型の間の空洞部に圧入することができる。また、下部金型2には、リードフレーム11を載せる箇所の下部に、樹脂を半導体チップ12の周囲まで導く樹脂流路8が設けられている。そこで、プランジャ5を押し上げることにより樹脂タブレット6の樹脂を圧入し、半導体チップ12の周囲の空洞部に樹脂を注入することができる。この半導体樹脂封止装置10によれば、リードフレーム11を挟み込む工程で折曲げ部14を形成することができ、一連の工程として樹脂封止を行うことができるので、余分なサイクルタイムを必要としない。
【0015】
次に、この半導体樹脂封止方法について、図1から図3を用いて説明する。
(1)突起部3a、3bを有する上部金型1と、該突起部3a、3bと噛合う凹部4a、4bを有する下部金型2とを互いに対向させる。
(2)半導体チップ12をボンディングしたリードフレーム11を用意し、該リードフレーム11を下部金型2に位置決めピン7に合わせて載せる(図1)。
(3)上部金型1を下部金型2に対して移動させて、上下金型1、2の間にリードフレーム11を挟み込んで固定すると共に、突起部3a、3bと凹部4a、4bとによって、該リードフレーム11に折曲げ部14を形成する(図2)。
(4)プランジャ5を押し上げて、樹脂タブレット6からリードフレーム11の下側の樹脂流路8に沿って半導体チップ12の周囲に樹脂を注入する(図3)。
(5)その後、樹脂を熱硬化させて半導体チップ12を樹脂封止する。
以上の工程によって、長手方向に平行な2本の折曲げ部14が形成されると共に、樹脂封止された半導体チップ12を備えるリードフレーム11が得られる。
【0016】
実施の形態2.
本発明の実施の形態2に係る半導体樹脂封止用金型、半導体樹脂封止装置及び半導体樹脂封止方法について、図8乃至図13を用いて説明する。この半導体樹脂封止用金型1、2は、実施の形態1に係る金型と比較すると、図8から図11に示すように、上部金型1の表面から内側に格納された状態から、該上部金型1の表面から突出させることができる可動型突起部23a、23bを有する点で相違する。このような可動型突起部23a、23bを有する上下金型1、2を備えた半導体樹脂封止装置20では、リードフレーム11を固定した後、折曲げ部を形成することができる。そこで、リードフレーム11に折曲げ部を形成する際の半導体チップ12の位置ずれを防ぐことができる。さらに、リードフレーム11に折曲げ部14を形成した後、リードフレーム11が凹部4a、4bに沿って引き込まれるので、端部に隙間27を生じる。そこで、この隙間27を埋めるための可動型の押さえブロック25a、25bをさらに備えている。
【0017】
次に、この上下金型1、2を含む半導体樹脂封止装置20について説明する。この半導体樹脂封止装置20は、上記上下金型1、2と、半導体チップの周囲に樹脂を注入して半導体チップを樹脂封止する樹脂注入部とを備える。具体的には、上下金型1、2にわたって、プランジャ5がはめ込まれており、樹脂タブレット6の樹脂を上下金型の間に圧入することができる。また、下部金型2には、リードフレーム11を載せる箇所の下部に、樹脂を半導体チップ12の周囲まで導く樹脂流路8が設けられている。そこで、プランジャ5を押し上げることにより樹脂タブレット6の樹脂を圧入し、半導体チップ12の周囲に樹脂を注入することができる。この半導体樹脂封止装置10によれば、まず、上下金型1、2の金型接触部26でリードフレームを把持し、固定した後、可動型突起部23a、23bで折曲げ部を形成するので、折曲げ部を形成する際にも半導体チップの位置ずれが生じない。しかも、隙間を埋める押さえブロックを有するので、リードフレーム表面に余分の樹脂が付着するのを防ぐことができる。これによって、ピックアップ時の吸着ミスを防ぐことができると共に薄バリなどの製品不良発生を防止できる。
【0018】
この半導体樹脂封止方法について、図8から図13を用いて説明する。
(1)可動型突起部23a、23bを有する上部金型1と、該可動型突起部23a、23bと噛合う凹部4a、4bを有する下部金型2とを鉛直方向に所定間隔を空けて互いに対向させる(図示せず)。
(2)半導体チップ12をボンディングしたリードフレーム11を用意し、該リードフレーム11を下部金型2に位置決めピン7に合わせて載せる(図8)。
(3)可動型突起部23a、23bを表面内側に格納した状態で、上部金型1を下部金型2に対して移動させて、上下金型1、2の間にリードフレーム11を挟み込んで固定する(図9)。
(4)上部金型1の表面から可動型突起部23a、23bを突出させて、該リードフレーム11に折曲げ部14を形成する(図10)。
(5)リードフレーム11に折曲げ部14を形成した際に生じる隙間27を埋めるように押さえブロック25a、25bを押し下げる(図11)。これにより、樹脂がリードフレーム11の表面側に回り込むことを防止することができる。その結果、樹脂付着を原因としたピックアップ時の吸着ミスや薄バリなどの製品不良を防止できる。
(6)樹脂タブレット6を乗せたプランジャ5を押し上げ(図12)、樹脂タブレット6からリードフレーム11の下側の樹脂流路8に沿って半導体チップ12の周囲の空洞部に樹脂28を注入する(図13)。
(7)その後、半導体チップ12の周囲の樹脂を熱硬化させて樹脂封止する。
以上の工程によって、樹脂封止された半導体チップ12を得ることができる。
【0019】
実施の形態3.
本発明の実施の形態3に係る半導体樹脂封止用金型、半導体樹脂封止装置及び半導体樹脂封止方法について、図14乃至図17を用いて説明する。図14は、半導体チップ12の周囲の空洞部に樹脂を注入し、該空洞部全体への樹脂注入をほぼ完了した段階を示す断面図である。図15は、可動型突起部23a、23bを上部金型1の表面内側に引き込む工程を示す断面図である。図16は、この可動型突起部23a、23bでリードフレーム11に折曲げ部14を形成すると共に、貫通孔18を形成した段階で取り出されたリードフレーム11の平面図である。図17の(a)は、(a)は、本発明の実施の形態3に係る半導体樹脂封止方法において得られた、折曲げ部14の内部に樹脂を注入したリードフレーム11の平面図である。図17の(b)は、(a)のB−B’線に沿った断面図である。
【0020】
この半導体樹脂封止用金型1、2は、実施の形態2に係る金型と比較すると、可動型突起部23a、23bを備える点で共通するが、この可動型突起部23a、23bが多段形状である点で相違する。この多段形状の可動型突起部23a、23bによって、図16に示すように、リードフレーム11に折曲げ部14を形成するとともに、該折曲げ部14の底部にリードフレーム11の両面を貫く貫通孔18を形成することができる。この貫通孔18を通じて樹脂を折曲げ部14の内部に導くことができ、リードフレーム11の変形をさらに抑制できる。
【0021】
この半導体樹脂封止方法について、図14及び図15を用いて説明する。この半導体樹脂封止方法は、実施の形態2に係る半導体樹脂封止方法と比較すると、多段形状の可動型突起部23a、23bによって、リードフレーム11に折曲げ部14を形成すると共に、該折曲げ部14の底部に貫通孔18を形成する点で相違する。さらに、半導体チップ12への樹脂注入後、可動型突起部23a、23bを上部金型1に引き込んで、貫通孔18を通じて折曲げ部に樹脂を導く点においても相違する。なお、以下の説明では、実施の形態2に係る樹脂封止方法と共通する工程については、図8から図13を適宜用いて説明する。
【0022】
(1)多段形状の可動型突起部23a、23bを有する上部金型1と、該可動型突起部23a、23bと噛合う凹部4a、4bを有する下部金型2とを鉛直方向に所定間隔を空けて互いに対向させる(図示せず)。
(2)半導体チップ12をボンディングしたリードフレーム11を用意し、下部金型2に位置決めピン7に合わせて載せる(図8)。
(3)可動型突起部23a、23bを表面内側に格納した状態で、上部金型1を下部金型2に対して移動させて、上下金型1、2の間にリードフレーム11を挟み込んで固定する(図9)。
(4)上部金型1の表面から複数段の突起を有する可動型突起部23a、23bを突出させて、該リードフレーム11に折曲げ部14を形成すると共に、該折曲げ部14の底部に貫通孔18を形成する(図16)。
(5)リードフレーム11に折曲げ部14を形成した際に生じる隙間27を埋めるように押さえブロック25a、25bを押し下げる(図11)。これにより、樹脂がリードフレーム11の表面側に回り込むことを防止することができる。その結果、樹脂付着を原因としたピックアップ時の吸着ミスや薄バリなどの製品不良発生を防止できる。
【0023】
(6)樹脂タブレット6を乗せたプランジャ5を押し上げ(図12)、樹脂タブレット6からリードフレーム11の下側の樹脂流路8に沿って半導体チップ12の周囲の空洞部に樹脂28を注入する(図13)。
(7)半導体チップ12の周囲の空洞部のほぼ全体に樹脂28を注入した段階(図14)で、可動型突起部23a、23bを金型の表面に引き込み、貫通孔18を通じて折曲げ部14の内部に樹脂19を導く(図15)。
(8)その後、半導体チップ12の周囲の樹脂28を熱硬化させて樹脂封止すると共に、折曲げ部14に導いた樹脂19を熱硬化させる(図17)。
以上の工程によって、樹脂封止された半導体チップ12を得ることができる。
【0024】
実施の形態4.
本発明の実施の形態4に係る半導体樹脂封止用金型、半導体樹脂封止装置及び半導体樹脂封止方法について、図18乃至図21を用いて説明する。図18は、この半導体樹脂封止用金型1、2の下部金型2の凹部に設けられたエジェクトピン31を示す断面図である。図19は、図18のC−C’線に沿った断面図である。図20は、この半導体樹脂封止方法において、樹脂封止工程後、エジェクトピンを突出させてリードフレーム11を金型2から取り外す工程を示す断面図である。図21は、図20のD−D’線に沿った断面図である。
【0025】
この半導体樹脂封止用金型1、2は、実施の形態1乃至3に係る金型と比較すると、図18に示すように、下部金型2の凹部4a、4bの底部に、樹脂封止後のリードフレーム11を金型2から取り外すためのエジェクトピン31を備えている点で相違する。樹脂封止工程後、このエジェクトピン31を凹部4a、4bから突出させて、折曲げ部の底部でリードフレーム11を支持することができる。このため、リードフレーム下部をエジェクトする必要がないため、リードフレーム表面にクラック等のキズを付けることがない。また、折曲げ部の底部を支持点とするので、リードフレームを変形させることなく大きなエジェクト力が得られる。その結果、金型からフレームをスムーズにエジェクトできる。
【0026】
この半導体樹脂封止方法は、実施の形態1から3に記載の半導体樹脂封止方法と比較すると、半導体チップ12の樹脂封止工程まではそれぞれの実施の形態に係る樹脂封止方法のいずれであってもよいが、該樹脂封止工程の後、さらに次のリードフレームのエジェクト工程を含んでいる。
(1)半導体チップ12の周囲に樹脂を注入し、該樹脂が固化後、上部金型1を上昇させて下部金型2と分離する(図18)。
(2)下部金型2の凹部の底部から複数のエジェクトピン31を突出させてリードフレーム11の折曲げ部の底部を支持し、下部金型2からリードフレーム11を取り外す(図19)。
上記工程によって、樹脂封止された半導体チップ12を備えたリードフレームを得ることができる。
【0027】
なお、その後のリード加工工程において、必要に応じてリードフレーム11に形成された折曲げ部14を含む部分をカットするカッティング工程を設けてもよい。カッティング工程を設け、折曲げ部14をカットすることによって、その後の工程で折曲げ部を有しない場合と共通した工程を通すことができる。
【0028】
【発明の効果】
本発明の半導体樹脂封止用金型によれば、突起部を備えており、リードフレームを挟み込んだ場合に折曲げ部を形成する。この折曲げ部によって、リードフレームの反り及びうねり等の変形を抑制することができる。また、半導体樹脂封止方法として、上下金型でリードフレームを挟み込みながら折曲げ部を形成し、一連の工程として樹脂封止することができるので、余分のサイクルタイムがかかることもない。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態1に係る半導体樹脂封止装置において、リードフレームを下部金型に載せた場合の断面図である。
【図2】本発明の実施の形態1に係る半導体樹脂封止方法において、リードフレームを上下金型で挟み込んで折曲げ部を形成する工程の断面図である。
【図3】本発明の実施の形態1に係る半導体樹脂封止方法において、挟みこまれた半導体チップの周囲に樹脂を注入する工程の断面図である。
【図4】(a)は、本発明の実施の形態1に係る半導体樹脂封止方法で製造された半導体チップを有するリードフレームの平面図であり、(b)は(a)のA−A’線に沿った断面図であり、(c)は、(b)とは逆方向に折曲げ部が形成された別例の断面図である。
【図5】リードフレームの長手方向に形成された折曲げ部と抵抗性のある反り方向Aとの関係を示す斜視図である。
【図6】リードフレームの短軸方向に形成された折曲げ部と抵抗性の有る反り方向Bとの関係を示す斜視図である。
【図7】リードフレームの長手方向及び短軸方向の両方に折曲げ部を設けた場合の抵抗性のある反り方向との関係を示す斜視図である。
【図8】本発明の実施の形態2に係る半導体樹脂封止装置において、リードフレームを下部金型に載せた場合の断面図である。
【図9】本発明の実施の形態2に係る半導体樹脂封止方法において、リードフレームを上下金型で挟み込んで固定する工程の断面図である。
【図10】本発明の実施の形態2に係る半導体樹脂封止方法において、上部金型の表面から可動型突起部を突出させてリードフレームに折曲げ部を形成する工程を示す断面図である。
【図11】本発明の実施の形態2に係る半導体樹脂封止方法において、押さえブロックを押し下げて、折曲げ部を形成した際の隙間を埋める工程を示す断面図である。
【図12】本発明の実施の形態2に係る半導体樹脂封止方法において、プランジャを押し上げる工程を示す断面図である。
【図13】本発明の実施の形態2に係る半導体樹脂封止方法において、リードフレームの下部の樹脂流路を通じて樹脂を半導体チップの周囲に注入する工程を示す断面図である。
【図14】本発明の実施の形態3に係る半導体樹脂封止方法において、半導体チップの周囲全体にほぼ樹脂を注入した段階を示す断面図である。
【図15】本発明の実施の形態3に係る半導体樹脂封止方法において、可動型突起部を金型表面に引き込み、折曲げ部の底部の貫通孔から樹脂を折曲げ部に導く工程を示す断面図である。
【図16】本発明の実施の形態3に係る半導体樹脂封止方法において、可動型突起部でリードフレームに折曲げ部を形成すると共に、貫通孔を形成した段階で取り出されたリードフレームの平面図である。
【図17】(a)は、本発明の実施の形態3に係る半導体樹脂封止方法において得られた、折曲げ部の内部に樹脂を注入したリードフレームの平面図であり、(b)は、(a)のB−B’線に沿った断面図である。
【図18】本発明の実施の形態4に係る半導体樹脂封止用金型において、下部金型の凹部に設けられたエジェクトピンの配置を示す断面図である。
【図19】図18のC−C’線に沿った断面図である。
【図20】図18に続いて、樹脂封止工程後、下部金型の凹部からエジェクトピンを突出させてリードフレームを金型から取り外す工程を示す断面図である。
【図21】図20のD−D’線に沿った断面図である。
【符号の説明】
1 上部金型、2 下部金型、3a、3b 突起部、4a、4b 凹部、5 プランジャ、6 樹脂タブレット、7 位置決めピン、8 樹脂流路、10、20、30、40 半導体樹脂封止装置、11 リードフレーム、12 半導体チップ、14、14a 折曲げ部(長手方向)、16 折曲げ部(短軸方向)、17ランナー、18 貫通孔、19 樹脂、23a、23b 可動突起部、25a、25b 可動押えブロック、26 金型接触部、27 隙間、28 樹脂、29 樹脂封止部、31 エジェクトピン
Claims (8)
- リードフレームの上にボンディングされた半導体チップの樹脂封止に用いる半導体樹脂封止用金型であって、
所定長さの刃状の突起部と、前記半導体チップを収納すると共に該半導体チップの周囲に樹脂注入用の第1の空洞部とを有する第1の金型と、
前記突起部と噛合う凹部と、前記第1の空洞部と対向し、前記半導体チップを収納すると共に該半導体チップの周囲に樹脂注入用の第2の空洞部とを有する第2の金型と
を備え、
前記第1及び第2の金型の間に前記リードフレームを挟み込み、前記半導体チップを樹脂封止すると共に、前記リードフレームに折曲げ部を形成することを特徴とする半導体樹脂封止用金型。 - 前記突起部は、前記金型の内側に引き込み可能であると共に、前記金型から突出可能な可動型突起部であることを特徴とする請求項1に記載の半導体樹脂封止用金型。
- 前記突起部は、多段形状を有し、前記リードフレームに折曲げ部を形成すると共に、前記折曲げ部の中に前記リードフレームを貫通する貫通孔を形成することを特徴とする請求項1に記載の半導体樹脂封止用金型。
- 前記第2の金型の前記凹部の底部に突出可能なエジェクトピンをさらに備えることを特徴とする請求項1に記載の半導体樹脂封止用金型。
- 半導体チップがボンディングされたリードフレームを用意する工程と、
前記リードフレームを第1及び第2の金型の間に挟みこんで固定すると共に、前記リードフレームに所定長さの刃状の折曲げ部を形成する工程と、
前記第1及び第2の金型の間に挟み込まれた前記半導体チップの周囲に樹脂を注入して、前記半導体チップを樹脂封止する工程と
を含む半導体樹脂封止方法。 - 半導体チップがボンディングされたリードフレームを第1及び第2の金型で挟み込んで固定する工程と、
前記第1の金型から可動型突起部を突出させて、前記リードフレームに所定長さの刃状の折り曲げ部を形成する工程と、
前記第1及び第2の金型の間に挟み込まれた前記半導体チップの周囲に樹脂を注入して、前記半導体チップを樹脂封止する工程と
を含む半導体樹脂封止方法。 - 半導体チップがボンディングされたリードフレームを第1及び第2の金型で挟み込んで固定する工程と、
前記第1の金型から多段形状の可動型突起部を突出させて、前記リードフレームに所定長さの刃状の折曲げ部を形成すると共に、前記折曲げ部に貫通孔を形成する工程と、
前記第1及び第2の金型の間に挟み込まれた前記半導体チップの周囲に樹脂を注入する工程と、
前記可動型突起部を前記第1の金型に引き込んで、前記貫通孔から前記折り曲げ部に樹脂を注入する工程と、
前記樹脂を熱硬化させて樹脂封止する工程と
を含む半導体樹脂封止方法。 - 前記第2の金型からエジェクトピンを突出させて、樹脂封止された前記半導体チップを有するリードフレームの前記折曲げ部の底部を前記エジェクトピンで支持して、前記リードフレームを前記第2の金型から取り外す工程を、前記樹脂封止工程の後にさらに含むことを特徴とする請求項5から7のいずれか一項に記載の半導体樹脂封止方法。
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2002
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