JP2004146587A - スピン処理装置及びスピン処理方法 - Google Patents
スピン処理装置及びスピン処理方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004146587A JP2004146587A JP2002309652A JP2002309652A JP2004146587A JP 2004146587 A JP2004146587 A JP 2004146587A JP 2002309652 A JP2002309652 A JP 2002309652A JP 2002309652 A JP2002309652 A JP 2002309652A JP 2004146587 A JP2004146587 A JP 2004146587A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- drying
- processing apparatus
- gas
- corners
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Abstract
【課題】この発明は処理液によって処理された基板を乾燥処理するときに、その基板の角部が汚れるのを防止できるようにしたスピン処理装置を提供することにある。
【解決手段】処理液によって処理された矩形状の基板を回転させて乾燥処理するスピン処理装置において、
上記基板を保持して回転駆動される回転テーブル11と、
この回転テーブルによって回転駆動される上記基板の角部の上面に気体を噴射する上部乾燥補助ノズル体51及び下面に気体を噴射する下部乾燥補助ノズル体52とを具備する。
【選択図】 図1
【解決手段】処理液によって処理された矩形状の基板を回転させて乾燥処理するスピン処理装置において、
上記基板を保持して回転駆動される回転テーブル11と、
この回転テーブルによって回転駆動される上記基板の角部の上面に気体を噴射する上部乾燥補助ノズル体51及び下面に気体を噴射する下部乾燥補助ノズル体52とを具備する。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
この発明は基板を回転させながら処理液によって洗浄処理して乾燥処理するスピン処理装置及び乾燥処理方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
たとえば液晶表示装置の製造工程においては、矩形状のガラス基板に回路パタ−ンを形成するための成膜プロセスやフォトプロセスがある。これらのプロセスでは、スピン処理装置を用いて基板を薬液で処理した後、洗浄液で洗浄処理し、ついで洗浄液を除去する乾燥処理が繰り返して行われる。
【0003】
上記スピン処理装置は、周知のように処理槽を有し、この処理槽内には駆動源によって回転駆動される回転テーブルが設けられている。この回転テーブルには矩形状の上記基板が4つの角部を着脱可能に保持されて設けられる。
【0004】
上記基板は板面に洗浄液が供給されながら毎分数百回転の速度で回転させられることで洗浄処理される。洗浄処理を所定時間行った後、基板は毎分千回転以上の高速度で回転させられる。それによって、基板に付着残留した洗浄液が遠心力によって除去されるから、基板が乾燥処理されることになる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
最近、基板は大型化する傾向にあり、たとえば一辺が1m以上の大型の基板をスピン処理装置によって処理するということが行われている。基板が大型化すると、乾燥処理時に基板を高速回転させたとき、その基板の回転によって生じる気流が増大する。そのため、処理槽内の排気が円滑に行えなくなるということがある。
【0006】
一方、乾燥処理時に基板を高速回転させると、周速度の大きな基板の周辺部、とくに基板の角部が負圧になり易いということがある。基板の角部が負圧になると、その部分に処理槽内の気体が流れ込んでくる。処理槽内の気体が上述した理由によって円滑に排出されていないと、その気体にはミスト状の処理液が含まれる。
【0007】
そのため、基板の角部にはミストが付着し易いということがあり、ミストの付着によって基板にウオータマークが発生することがある。つまり、基板が大型化すると、乾燥処理時に基板の角部に汚れが生じ易いということがある。
【0008】
この発明は、基板を乾燥処理する際に、その角部が汚れるのを防止できるようにしたスピン処理装置及び乾燥処理方法を提供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】
請求項1の発明は、処理液によって処理された矩形状の基板を回転させて乾燥処理するスピン処理装置において、
上記基板を保持して回転駆動される回転テーブルと、
この回転テーブルによって回転駆動される上記基板の角部の上面と下面との少なくとも一方の面に気体を噴射する乾燥補助ノズル体と、
を具備したことを特徴とするスピン処理装置にある。
【0010】
請求項2の発明は、上記乾燥補助ノズル体は、上記基板の角部の板面に対してほぼ垂直に気体を噴射することを特徴とする請求項1記載のスピン処理装置にある。
【0011】
請求項3の発明は、回転する基板の周方向に沿って複数の乾燥補助ノズル体が配置されていることを特徴とする請求項1又は請求項2記載のスピン処理装置にある。
【0012】
請求項4の発明は、処理液によって処理された矩形状の基板を回転させて乾燥処理する乾燥処理方法において、
回転する基板の角部の上面と下面との少なくとも一方の面に気体を噴射することを特徴とするスピン処理方法にある。
【0013】
この発明によれば、回転駆動される基板の角部に気体を噴射することで、この角部に汚れを含む気体が流入するのを防止することができる。
【0014】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の一実施の形態を図面を参照して説明する。
【0015】
図1に示すこの発明のスピン処理装置は回転テ−ブル11を備えている。この回転テ−ブル11は図2に示すように円盤状の基部12を有し、この基部12の下面には周方向に90度間隔で凹状の4つの第1の取付け部13が設けられている。各取付け部13にはT字状の先端部14aを有する主ア−ム14の基端部がねじ止め固定されている。
【0016】
4本の主アーム14の長手方向中途部には補強リング15が一体的に結合されている。さらに、隣り合う主アーム14の間にはそれぞれ補強アーム16が設けられている。4本の補強アーム16は基端部が上記基部12の下面に形成された凹状の第2の取付け部17にそれぞれねじ止め固定され、先端が上記補強リング15の内周端面に一体的に結合されている。
【0017】
上記主アーム14、補強リング15及び補強アーム16は、たとえばステンレス鋼板などの1枚の金属板を切削加工することで形成されており、それによってこれら主アーム14、補強リング15及び補強アーム16は一体となっている。
【0018】
なお、回転テーブルを形成する金属はステンレスに限られず、チタンやアルミニウムなどであってもよい。
【0019】
上記主アーム14の先端部14aには幅方向中心部に第1の支持ピン21が立設され、幅方向に両端部には上記支持ピン21よりも背の高い一対の係止ピン22が立設されている。
【0020】
上記補強リング15には周方向に所定間隔で10本の第2の支持ピン23が立設され、上記主アーム14及び補強アーム16の中途部にはそれぞれ第3の支持ピン24が立設されている。さらに、上記基部12の径方向周辺部には、上記主アーム14及び補強アーム16の基端部と対応する位置にそれぞれ第4の支持ピン25が立設されている。すなわち、基部12の周辺部には周方向に等間隔で8本の第4の支持ピン25が立設されている。
【0021】
上記回転テーブル11には、液晶表示装置に用いられる矩形状のガラス基板Wが着脱可能に保持される。この基板Wは下面が上記各支持ピン21,23,24,25によって支持されるとともに、4つの角部の外周面を主アーム14の先端部に設けられた一対の係止ピン22に係合させて保持される。
【0022】
図1に示すように、上記回転テーブル11の基部12は駆動源としての駆動モータ26の中空状の回転軸27の上端に取付け固定されている。それによって、回転テーブル11は上記駆動モータ26によって回転駆動されるようになっている。
【0023】
上記回転軸27の内部には中空状の固定軸28が挿通されている。この固定軸28の上端にはヘッド29が設けられている。このヘッド29には、図2に示すように、上記回転テーブル11に保持された基板Wの下面に向けて気体を噴射する気体ノズル30a、薬液及び洗浄液を噴射する液体ノズル30bなどが設けられている。
【0024】
上記ヘッド29の上面は平坦面に形成され、この上面の上記ノズルか形成された中心部を除く部分はヘッド29よりも大径な遮蔽板31によって覆われている。
【0025】
遮蔽板31を有することで、基板Wの下面に供給された薬液や洗浄液は上記遮蔽板31上に滴下し、この遮蔽板31の回転による遠心力で除去される。また、ヘッド29の上面と遮蔽板31との間に入り込んだ液体は、この遮蔽板31によってヘッド29の上面から飛散するのが阻止される。
【0026】
それによって、基板Wを洗浄した後、乾燥処理する際に、ヘッド29の上面に付着残留する薬液や洗浄液が飛散して基板Wの下面に付着するのを防止できるようになっている。
【0027】
上記回転テ−ブル11は、図1に示すようにカップ体44内に設けられている。このカップ体44は処理槽45内に設置されている。上記カップ体44内の周辺部には、上記回転テーブル11に保持された基板Wと対応する高さ位置にリング状の複数の整流板46が設けられている。複数の整流板46は上下方向に所定間隔で、しかも径方向外方に向かって低く傾斜している。
【0028】
それによって、基板Wを洗浄するときに、この基板Wから飛散した処理液が上記整流板46の下面に衝突し、下方に向かって反射するから、基板Wから飛散した処理液が基板Wに再付着するのが防止される。
【0029】
上記処理槽45の底部には複数の排出管47が接続されている。この排出管47には図示しない排出ポンプに接続されている。さらに、排出管47は上記カップ体44の周壁に形成された図示しない開口部を介して上記カップ体44の内部空間と連通している。したがって、上記排出管47からは、カップ体44内の雰囲気とともに基板Wから飛散する処理液が排出されるようになっている。
【0030】
なお、図1において48は上記駆動モータ26が設置されるベース部材である。また、図示しないが、上記処理槽45の上部にはHEPAやULPAなどのファン・フィルタユニットが設けられ、このファン・フィルタユニットを通じて清浄な気体が処理槽45内に供給されるようになっている。
【0031】
上記カップ体44内には、図1及び図3(a),(b)に示すように4組の上部乾燥補助ノズル体51と下部乾燥補助ノズル体52と所定間隔で配置されている。上部乾燥補助ノズル体51と下部乾燥補助ノズル体52とは、回転テーブル11に保持されて回転駆動される基板Wの四隅部の上面と下面とに窒素や空気などの清浄な気体を噴射するようになっている。
【0032】
後述するごとく基板Wを乾燥処理する際、4組の上部乾燥補助ノズル体51と下部乾燥補助ノズル体52とからは気体が常時噴射されるようになっている。それによって、基板Wが所定の回転角度になると、この基板Wの4つの角部の上面と下面とが同時に気体の噴射位置に対向する。
【0033】
上記基板Wが長方形であれば、この基板Wが180度回転するごとに4つの角部の上面と下面とに気体が噴射される。基板Wが正方形であれば、この基板Wが90度回転するごとに4つの角部の上面と下面とに気体が噴射されるようになっている。つまり、基板Wの角部の上下面には、各乾燥補助ノズル体51,52から気体が周期的に供給されるようになっている。なお、基板Wは、この実施の形態では図2に示すように長方形をなしている。
【0034】
図1に示すように、上記基板Wの上面の中心部分には上部乾燥ノズル体53が配置されている。このノズル体53は、基板Wの上面の中心部分に窒素や空気などの清浄な気体を板面に対してほぼ垂直に噴射するようになっている。
【0035】
さらに、カップ体44の上端には、基板Wの上面に処理液としての洗浄液を噴射する洗浄ノズル体55が設けられている。
【0036】
上記構成のスピン処理装置によれば、回転テーブル11に基板Wを供給し、支持ピン21,23,24によって下面を支持するとともに、四隅部を係止ピン22に係合させて保持したならば、上記回転テーブル11を毎分数百回転の低速度で回転させながら、洗浄ノズル55から基板Wの上面に洗浄液を噴射する。それによって、基板Wの上面が洗浄処理されることになる。
【0037】
洗浄液による洗浄処理を所定時間行ったならば、回転テーブル11の回転数を毎分1000回転以上の高速度で回転させる。それと同時に、上部乾燥ノズル体53、上部乾燥補助ノズル体51及び下部乾燥補助ノズル体52から気体を噴射させる。
【0038】
それによって、基板Wの板面に付着した処理液は遠心力によって除去されるとともに、遠心力によって比較的大きな液滴が除去された基板Wの板面は、上部乾燥ノズル体53から基板Wの中心部に噴射され周辺部に沿って流れる気体によって乾燥される。
【0039】
基板Wを高速回転させると、その回転によって生じる気流が増大し、カップ体44内のミストを含む気体が排出管47から円滑に排出されなくなる。とくに、基板Wが大型化すると、その傾向が顕著になる。
【0040】
一方、基板Wが高速回転させられると、基板Wの周辺部の周速度が大きくなるから、基板Wの周辺部、とくに角部の部分が負圧になる。すると、カップ体44内のミストを含む気体が基板Wの角部に吸引されるため、その角部にミストが付着してウオータマークなどの汚れの原因となる。
【0041】
しかしながら、基板Wの角部の上面と下面とには上部乾燥補助ノズル体51と下部乾燥補助ノズル体52とによって清浄な気体を周期的に噴射するようにしている。そのため、基板Wを高速回転させることで、角部が負圧になっても、その角部には各乾燥補助ノズル体51,52から清浄な気体が周期的に供給されるため、上記角部の上下面にカップ体44内のミストを含む気体が流れ込むのを阻止することができる。したがって、基板Wを高速回転させて乾燥処理する際に、基板Wの角部が汚染されるのを防止することができる。
【0042】
基板Wの角部は、基板Wが所定角度回転するごとに上記上部乾燥補助ノズル体51と下部乾燥補助ノズル体52とに周期的に対向して気体が供給される。そのため、基板Wの角部が上部乾燥補助ノズル体51と下部乾燥補助ノズル体52とに対向していないときにはカップ体44内のミストを含む気体が基板Wの角部に流れ込む虞がある。
【0043】
しかしながら、基板Wは高速回転しているから、ミストを含む気体が基板Wの角部に流入しても、その気体は瞬時に清浄な気体によって除去されることになる。したがって、基板Wの角部に清浄な気体を周期的に噴射するようにしても、その角部にミストが付着して汚染されるのを防止することができる。
【0044】
上記一実施の形態では、カップ体内に基板の回転方向に沿って4組の上部乾燥補助ノズル体と下部乾燥補助ノズル体とを配置したが、その組数は限定されるものでなく、1組以上であればよい。
【0045】
また、基板の角部の上面と下面とにそれぞれ乾燥補助ノズル体によって気体を噴射するようにしたが、上面或いは下面のどちらか一方だけに気体を噴射するようにしてもよい。
【0046】
さらに、上部乾燥補助ノズル体と下部乾燥補助ノズル体とによって基板の角部の上面と下面とにほぼ垂直に気体を供給するようにしたが、気体の供給角度は基板の板面に対して所定の角度で傾斜していてもよく、傾斜角度は45〜90度の範囲がよいことが実験的に確認されている。なお、各乾燥補助ノズル体を傾斜させる場合、基板の回転方向下流側に向かって気体を噴射するよう傾斜させる。
【0047】
【発明の効果】
以上のようにこの発明によれば、回転駆動される基板の角部に気体を噴射するようにした。
【0048】
そのため、基板を高速回転させることで、周辺部が負圧になっても、基板の角部に気体を噴射することで、その角部に汚れが付着するのを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の一実施の形態を示すスピン処理装置の縦断面図。
【図2】図1に示すスピン処理装置に用いられる回転テーブルの平面図。
【図3】基板と上下部乾燥補助ノズル体との配置関係を示す説明図。
【符号の説明】
11…回転テ−ブル
51…上部補助乾燥ノズル体
52…下部補助乾燥ノズル体
【発明の属する技術分野】
この発明は基板を回転させながら処理液によって洗浄処理して乾燥処理するスピン処理装置及び乾燥処理方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
たとえば液晶表示装置の製造工程においては、矩形状のガラス基板に回路パタ−ンを形成するための成膜プロセスやフォトプロセスがある。これらのプロセスでは、スピン処理装置を用いて基板を薬液で処理した後、洗浄液で洗浄処理し、ついで洗浄液を除去する乾燥処理が繰り返して行われる。
【0003】
上記スピン処理装置は、周知のように処理槽を有し、この処理槽内には駆動源によって回転駆動される回転テーブルが設けられている。この回転テーブルには矩形状の上記基板が4つの角部を着脱可能に保持されて設けられる。
【0004】
上記基板は板面に洗浄液が供給されながら毎分数百回転の速度で回転させられることで洗浄処理される。洗浄処理を所定時間行った後、基板は毎分千回転以上の高速度で回転させられる。それによって、基板に付着残留した洗浄液が遠心力によって除去されるから、基板が乾燥処理されることになる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
最近、基板は大型化する傾向にあり、たとえば一辺が1m以上の大型の基板をスピン処理装置によって処理するということが行われている。基板が大型化すると、乾燥処理時に基板を高速回転させたとき、その基板の回転によって生じる気流が増大する。そのため、処理槽内の排気が円滑に行えなくなるということがある。
【0006】
一方、乾燥処理時に基板を高速回転させると、周速度の大きな基板の周辺部、とくに基板の角部が負圧になり易いということがある。基板の角部が負圧になると、その部分に処理槽内の気体が流れ込んでくる。処理槽内の気体が上述した理由によって円滑に排出されていないと、その気体にはミスト状の処理液が含まれる。
【0007】
そのため、基板の角部にはミストが付着し易いということがあり、ミストの付着によって基板にウオータマークが発生することがある。つまり、基板が大型化すると、乾燥処理時に基板の角部に汚れが生じ易いということがある。
【0008】
この発明は、基板を乾燥処理する際に、その角部が汚れるのを防止できるようにしたスピン処理装置及び乾燥処理方法を提供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】
請求項1の発明は、処理液によって処理された矩形状の基板を回転させて乾燥処理するスピン処理装置において、
上記基板を保持して回転駆動される回転テーブルと、
この回転テーブルによって回転駆動される上記基板の角部の上面と下面との少なくとも一方の面に気体を噴射する乾燥補助ノズル体と、
を具備したことを特徴とするスピン処理装置にある。
【0010】
請求項2の発明は、上記乾燥補助ノズル体は、上記基板の角部の板面に対してほぼ垂直に気体を噴射することを特徴とする請求項1記載のスピン処理装置にある。
【0011】
請求項3の発明は、回転する基板の周方向に沿って複数の乾燥補助ノズル体が配置されていることを特徴とする請求項1又は請求項2記載のスピン処理装置にある。
【0012】
請求項4の発明は、処理液によって処理された矩形状の基板を回転させて乾燥処理する乾燥処理方法において、
回転する基板の角部の上面と下面との少なくとも一方の面に気体を噴射することを特徴とするスピン処理方法にある。
【0013】
この発明によれば、回転駆動される基板の角部に気体を噴射することで、この角部に汚れを含む気体が流入するのを防止することができる。
【0014】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の一実施の形態を図面を参照して説明する。
【0015】
図1に示すこの発明のスピン処理装置は回転テ−ブル11を備えている。この回転テ−ブル11は図2に示すように円盤状の基部12を有し、この基部12の下面には周方向に90度間隔で凹状の4つの第1の取付け部13が設けられている。各取付け部13にはT字状の先端部14aを有する主ア−ム14の基端部がねじ止め固定されている。
【0016】
4本の主アーム14の長手方向中途部には補強リング15が一体的に結合されている。さらに、隣り合う主アーム14の間にはそれぞれ補強アーム16が設けられている。4本の補強アーム16は基端部が上記基部12の下面に形成された凹状の第2の取付け部17にそれぞれねじ止め固定され、先端が上記補強リング15の内周端面に一体的に結合されている。
【0017】
上記主アーム14、補強リング15及び補強アーム16は、たとえばステンレス鋼板などの1枚の金属板を切削加工することで形成されており、それによってこれら主アーム14、補強リング15及び補強アーム16は一体となっている。
【0018】
なお、回転テーブルを形成する金属はステンレスに限られず、チタンやアルミニウムなどであってもよい。
【0019】
上記主アーム14の先端部14aには幅方向中心部に第1の支持ピン21が立設され、幅方向に両端部には上記支持ピン21よりも背の高い一対の係止ピン22が立設されている。
【0020】
上記補強リング15には周方向に所定間隔で10本の第2の支持ピン23が立設され、上記主アーム14及び補強アーム16の中途部にはそれぞれ第3の支持ピン24が立設されている。さらに、上記基部12の径方向周辺部には、上記主アーム14及び補強アーム16の基端部と対応する位置にそれぞれ第4の支持ピン25が立設されている。すなわち、基部12の周辺部には周方向に等間隔で8本の第4の支持ピン25が立設されている。
【0021】
上記回転テーブル11には、液晶表示装置に用いられる矩形状のガラス基板Wが着脱可能に保持される。この基板Wは下面が上記各支持ピン21,23,24,25によって支持されるとともに、4つの角部の外周面を主アーム14の先端部に設けられた一対の係止ピン22に係合させて保持される。
【0022】
図1に示すように、上記回転テーブル11の基部12は駆動源としての駆動モータ26の中空状の回転軸27の上端に取付け固定されている。それによって、回転テーブル11は上記駆動モータ26によって回転駆動されるようになっている。
【0023】
上記回転軸27の内部には中空状の固定軸28が挿通されている。この固定軸28の上端にはヘッド29が設けられている。このヘッド29には、図2に示すように、上記回転テーブル11に保持された基板Wの下面に向けて気体を噴射する気体ノズル30a、薬液及び洗浄液を噴射する液体ノズル30bなどが設けられている。
【0024】
上記ヘッド29の上面は平坦面に形成され、この上面の上記ノズルか形成された中心部を除く部分はヘッド29よりも大径な遮蔽板31によって覆われている。
【0025】
遮蔽板31を有することで、基板Wの下面に供給された薬液や洗浄液は上記遮蔽板31上に滴下し、この遮蔽板31の回転による遠心力で除去される。また、ヘッド29の上面と遮蔽板31との間に入り込んだ液体は、この遮蔽板31によってヘッド29の上面から飛散するのが阻止される。
【0026】
それによって、基板Wを洗浄した後、乾燥処理する際に、ヘッド29の上面に付着残留する薬液や洗浄液が飛散して基板Wの下面に付着するのを防止できるようになっている。
【0027】
上記回転テ−ブル11は、図1に示すようにカップ体44内に設けられている。このカップ体44は処理槽45内に設置されている。上記カップ体44内の周辺部には、上記回転テーブル11に保持された基板Wと対応する高さ位置にリング状の複数の整流板46が設けられている。複数の整流板46は上下方向に所定間隔で、しかも径方向外方に向かって低く傾斜している。
【0028】
それによって、基板Wを洗浄するときに、この基板Wから飛散した処理液が上記整流板46の下面に衝突し、下方に向かって反射するから、基板Wから飛散した処理液が基板Wに再付着するのが防止される。
【0029】
上記処理槽45の底部には複数の排出管47が接続されている。この排出管47には図示しない排出ポンプに接続されている。さらに、排出管47は上記カップ体44の周壁に形成された図示しない開口部を介して上記カップ体44の内部空間と連通している。したがって、上記排出管47からは、カップ体44内の雰囲気とともに基板Wから飛散する処理液が排出されるようになっている。
【0030】
なお、図1において48は上記駆動モータ26が設置されるベース部材である。また、図示しないが、上記処理槽45の上部にはHEPAやULPAなどのファン・フィルタユニットが設けられ、このファン・フィルタユニットを通じて清浄な気体が処理槽45内に供給されるようになっている。
【0031】
上記カップ体44内には、図1及び図3(a),(b)に示すように4組の上部乾燥補助ノズル体51と下部乾燥補助ノズル体52と所定間隔で配置されている。上部乾燥補助ノズル体51と下部乾燥補助ノズル体52とは、回転テーブル11に保持されて回転駆動される基板Wの四隅部の上面と下面とに窒素や空気などの清浄な気体を噴射するようになっている。
【0032】
後述するごとく基板Wを乾燥処理する際、4組の上部乾燥補助ノズル体51と下部乾燥補助ノズル体52とからは気体が常時噴射されるようになっている。それによって、基板Wが所定の回転角度になると、この基板Wの4つの角部の上面と下面とが同時に気体の噴射位置に対向する。
【0033】
上記基板Wが長方形であれば、この基板Wが180度回転するごとに4つの角部の上面と下面とに気体が噴射される。基板Wが正方形であれば、この基板Wが90度回転するごとに4つの角部の上面と下面とに気体が噴射されるようになっている。つまり、基板Wの角部の上下面には、各乾燥補助ノズル体51,52から気体が周期的に供給されるようになっている。なお、基板Wは、この実施の形態では図2に示すように長方形をなしている。
【0034】
図1に示すように、上記基板Wの上面の中心部分には上部乾燥ノズル体53が配置されている。このノズル体53は、基板Wの上面の中心部分に窒素や空気などの清浄な気体を板面に対してほぼ垂直に噴射するようになっている。
【0035】
さらに、カップ体44の上端には、基板Wの上面に処理液としての洗浄液を噴射する洗浄ノズル体55が設けられている。
【0036】
上記構成のスピン処理装置によれば、回転テーブル11に基板Wを供給し、支持ピン21,23,24によって下面を支持するとともに、四隅部を係止ピン22に係合させて保持したならば、上記回転テーブル11を毎分数百回転の低速度で回転させながら、洗浄ノズル55から基板Wの上面に洗浄液を噴射する。それによって、基板Wの上面が洗浄処理されることになる。
【0037】
洗浄液による洗浄処理を所定時間行ったならば、回転テーブル11の回転数を毎分1000回転以上の高速度で回転させる。それと同時に、上部乾燥ノズル体53、上部乾燥補助ノズル体51及び下部乾燥補助ノズル体52から気体を噴射させる。
【0038】
それによって、基板Wの板面に付着した処理液は遠心力によって除去されるとともに、遠心力によって比較的大きな液滴が除去された基板Wの板面は、上部乾燥ノズル体53から基板Wの中心部に噴射され周辺部に沿って流れる気体によって乾燥される。
【0039】
基板Wを高速回転させると、その回転によって生じる気流が増大し、カップ体44内のミストを含む気体が排出管47から円滑に排出されなくなる。とくに、基板Wが大型化すると、その傾向が顕著になる。
【0040】
一方、基板Wが高速回転させられると、基板Wの周辺部の周速度が大きくなるから、基板Wの周辺部、とくに角部の部分が負圧になる。すると、カップ体44内のミストを含む気体が基板Wの角部に吸引されるため、その角部にミストが付着してウオータマークなどの汚れの原因となる。
【0041】
しかしながら、基板Wの角部の上面と下面とには上部乾燥補助ノズル体51と下部乾燥補助ノズル体52とによって清浄な気体を周期的に噴射するようにしている。そのため、基板Wを高速回転させることで、角部が負圧になっても、その角部には各乾燥補助ノズル体51,52から清浄な気体が周期的に供給されるため、上記角部の上下面にカップ体44内のミストを含む気体が流れ込むのを阻止することができる。したがって、基板Wを高速回転させて乾燥処理する際に、基板Wの角部が汚染されるのを防止することができる。
【0042】
基板Wの角部は、基板Wが所定角度回転するごとに上記上部乾燥補助ノズル体51と下部乾燥補助ノズル体52とに周期的に対向して気体が供給される。そのため、基板Wの角部が上部乾燥補助ノズル体51と下部乾燥補助ノズル体52とに対向していないときにはカップ体44内のミストを含む気体が基板Wの角部に流れ込む虞がある。
【0043】
しかしながら、基板Wは高速回転しているから、ミストを含む気体が基板Wの角部に流入しても、その気体は瞬時に清浄な気体によって除去されることになる。したがって、基板Wの角部に清浄な気体を周期的に噴射するようにしても、その角部にミストが付着して汚染されるのを防止することができる。
【0044】
上記一実施の形態では、カップ体内に基板の回転方向に沿って4組の上部乾燥補助ノズル体と下部乾燥補助ノズル体とを配置したが、その組数は限定されるものでなく、1組以上であればよい。
【0045】
また、基板の角部の上面と下面とにそれぞれ乾燥補助ノズル体によって気体を噴射するようにしたが、上面或いは下面のどちらか一方だけに気体を噴射するようにしてもよい。
【0046】
さらに、上部乾燥補助ノズル体と下部乾燥補助ノズル体とによって基板の角部の上面と下面とにほぼ垂直に気体を供給するようにしたが、気体の供給角度は基板の板面に対して所定の角度で傾斜していてもよく、傾斜角度は45〜90度の範囲がよいことが実験的に確認されている。なお、各乾燥補助ノズル体を傾斜させる場合、基板の回転方向下流側に向かって気体を噴射するよう傾斜させる。
【0047】
【発明の効果】
以上のようにこの発明によれば、回転駆動される基板の角部に気体を噴射するようにした。
【0048】
そのため、基板を高速回転させることで、周辺部が負圧になっても、基板の角部に気体を噴射することで、その角部に汚れが付着するのを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の一実施の形態を示すスピン処理装置の縦断面図。
【図2】図1に示すスピン処理装置に用いられる回転テーブルの平面図。
【図3】基板と上下部乾燥補助ノズル体との配置関係を示す説明図。
【符号の説明】
11…回転テ−ブル
51…上部補助乾燥ノズル体
52…下部補助乾燥ノズル体
Claims (4)
- 処理液によって処理された矩形状の基板を回転させて乾燥処理するスピン処理装置において、
上記基板を保持して回転駆動される回転テーブルと、
この回転テーブルによって回転駆動される上記基板の角部の上面と下面との少なくとも一方の面に気体を噴射する乾燥補助ノズル体と、
を具備したことを特徴とするスピン処理装置。 - 上記乾燥補助ノズル体は、上記基板の角部の板面に対してほぼ垂直に気体を噴射することを特徴とする請求項1記載のスピン処理装置。
- 回転する基板の周方向に沿って複数の乾燥補助ノズル体が配置されていることを特徴とする請求項1又は請求項2記載のスピン処理装置。
- 処理液によって処理された矩形状の基板を回転させて乾燥処理する乾燥処理方法において、
回転する基板の角部の上面と下面との少なくとも一方の面に気体を噴射することを特徴とするスピン処理方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002309652A JP2004146587A (ja) | 2002-10-24 | 2002-10-24 | スピン処理装置及びスピン処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002309652A JP2004146587A (ja) | 2002-10-24 | 2002-10-24 | スピン処理装置及びスピン処理方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004146587A true JP2004146587A (ja) | 2004-05-20 |
Family
ID=32455398
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002309652A Pending JP2004146587A (ja) | 2002-10-24 | 2002-10-24 | スピン処理装置及びスピン処理方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2004146587A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008060203A (ja) * | 2006-08-30 | 2008-03-13 | Tokyo Electron Ltd | 液処理装置および液処理方法 |
JP7382621B2 (ja) | 2019-05-09 | 2023-11-17 | Aiメカテック株式会社 | 基板洗浄装置 |
JP7422383B2 (ja) | 2019-05-09 | 2024-01-26 | Aiメカテック株式会社 | 基板支持装置及び基板洗浄装置 |
-
2002
- 2002-10-24 JP JP2002309652A patent/JP2004146587A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008060203A (ja) * | 2006-08-30 | 2008-03-13 | Tokyo Electron Ltd | 液処理装置および液処理方法 |
JP7382621B2 (ja) | 2019-05-09 | 2023-11-17 | Aiメカテック株式会社 | 基板洗浄装置 |
JP7422383B2 (ja) | 2019-05-09 | 2024-01-26 | Aiメカテック株式会社 | 基板支持装置及び基板洗浄装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3559228B2 (ja) | 回転式基板処理装置 | |
JP4078163B2 (ja) | 基板処理装置 | |
JP2007158161A (ja) | ウエハ洗浄装置及びウエハ洗浄方法 | |
JP4033709B2 (ja) | 基板洗浄方法及びその装置 | |
JP2013026379A (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 | |
JP2004146587A (ja) | スピン処理装置及びスピン処理方法 | |
JPH10137664A (ja) | 回転式基板処理装置および処理方法 | |
JP4325831B2 (ja) | 基板処理装置ならびに基板処理装置に備えられた回転板および周囲部材の洗浄方法 | |
JPH10199852A (ja) | 回転式基板処理装置 | |
JP2002143749A (ja) | 回転塗布装置 | |
TWI767302B (zh) | 半導體晶圓的洗淨裝置及半導體晶圓的洗淨方法 | |
JP2002016031A (ja) | 基板処理方法 | |
JP2957383B2 (ja) | 回転式塗布装置 | |
JP3946026B2 (ja) | スピン処理装置 | |
JP2002001240A (ja) | スピン処理装置 | |
JP2017069336A (ja) | 基板処理装置、吸着保持部の洗浄方法および記憶媒体 | |
JPH11314063A (ja) | 回転式塗布装置 | |
JP4759359B2 (ja) | 基板の処理装置 | |
JP2004119854A (ja) | スピン処理装置 | |
TW201932209A (zh) | 基板處理方法 | |
JP5621282B2 (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 | |
JP2001334219A (ja) | スピン処理装置及びスピン処理方法 | |
JP2000105076A (ja) | スピン処理装置 | |
JP2007059664A (ja) | 基板の洗浄装置 | |
JP4659168B2 (ja) | スピン処理装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Effective date: 20051019 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20071109 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20071127 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20080325 |