JP2004140158A - 静電サージ保護用ダイオード - Google Patents
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Abstract
【解決手段】n型のシリコン基板11の一主面にp型のガードリング領域12が形成されている。ガードリング領域12に取囲まれたシリコン基板11の表面にU字型断面形状で略方形平面形状の複数の溝17が千鳥に配置されており、ガードリング領域12に取囲まれたその溝17を含むシリコン基板11の表面層とガードリング領域12内周側の表面層にp型ベース領域13が形成されている。ベース領域13とシリコン基板11とによるPN接合J2は、溝17の底部で深く、溝17間で浅くなっている。ベース領域13の表面と溝17の内部にポリシリコン膜18が設けられ、さらに、その上にA端子に接続される金属、例えば、アルミニウムやその合金からなるアノード電極15が電気的接触して設けられている。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、静電気放電(Electrostatic Discharge:以下、ESDと記す)から半導体装置を保護する静電サージ保護用ダイオードに関する。
【0002】
【従来の技術】
ESDは、半導体装置の破壊や損傷を引き起こし、半導体装置の信頼性を左右する重要な要因である。従来、ESDから半導体装置を保護するために、例えば、図3に示すように、半導体装置100の入力側に静電サージ保護用ダイオードとして所定電圧以上で動作するように設計された定電圧ダイオード(ツェナーダイオード)200を設ける方法が知られている。この静電サージ保護用ダイオードとして用いられる定電圧ダイオード200自体のESD耐量を向上させる必要があり、本出願人は、ESD耐量を向上させた定電圧ダイオードを出願している(特許文献1を参照。)。
【0003】
以下、特許文献1に記載の定電圧ダイオードについて、図4(a),(b)を参照して説明する。n型のシリコン基板1の一主面(表面)の表面層にp型のガードリング領域2が形成されている。ガードリング領域2に取囲まれたシリコン基板1の表面にU字型断面形状で平面パターンがリング状の溝7が形成されており、ガードリング領域2に取囲まれたその溝7を含むシリコン基板1の表面層とガードリング領域2内周側の表面層にp型ベース領域3が形成されている。ベース領域3とシリコン基板1とによるPN接合J1は、シリコン基板1の主面に平行なPN接合面J1aと、溝7の断面形状と略相似なPN接合面J1bとを有している。シリコン基板1の表面には、ガードリング領域2外周側の表面からチップ外周に向かってフィールド酸化膜(シリコン酸化膜)4が形成されている。そして、フィールド酸化膜4の開口からベース領域3の表面にA端子に接続される金属からなるアノード電極5が電気的接触して設けられている。また、シリコン基板1の他主面(裏面)にK端子に接続される金属からなるカソード電極6が電気的接触して設けられている。この定電圧ダイオードでは、溝の断面形状と略相似な接合面を有するため、通常のフラットな接合面に比べてPN接合面積が大きくなり、チップ面積を大きくせずにESD耐量を向上させることができ、また、ESD耐量を下げずにチップ面積を小さくすることができるという特徴がある。
【0004】
【特許文献1】
特願2002−047315号
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、図3において、半導体装置100が低電圧入力で用いられる設計では、静電サージ保護用ダイオードとして用いられる定電圧ダイオード200のブレークダウン電圧も低く設計する必要があり、図4に示す定電圧ダイオードにおいて、ベース領域3の拡散深さも浅く設計する必要がある。しかし、ベース領域3の拡散深さを浅くしていくと、アノード電極5とPN接合J1との間隔が狭くなり、アノード電極5として、例えば、アルミニウムやその合金からなる膜を用いると、PN接合J1がアルミニウムとシリコンとが反応して発生するアロイスパイク現象の影響を受け易くなり、PN接合J1でのリーク電流が増加する虞があるという問題がある。
本発明は、上記問題点に鑑みてなされたもので、静電サージ保護用ダイオードのブレークダウン電圧を低電圧化してもリーク電流が増加しない静電サージ保護用ダイオードを提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本発明の静電サージ保護用ダイオードは、一導電型半導体基板と、この半導体基板の一主面と一主面に形成した複数の溝とを介して形成した他導電型ベース領域と、前記溝の内部を含むベース領域表面に積層したポリシリコン膜と、このポリシリコン膜を介して前記ベース領域に電気的接触させた一電極と、半導体基板の他主面に電気的接触させた他電極とを有する。
【0007】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の一実施例の定電圧ダイオードについて、図1(a),(b)を参照して説明する。一導電型として、例えば、n型のシリコン基板11の一主面(表面)の表面層に他導電型であるp型のガードリング領域12が形成されている。ガードリング領域12に取囲まれたシリコン基板11の表面にU字型断面形状で略方形平面形状の複数の溝17が千鳥に配置されており、ガードリング領域12に取囲まれたその溝17を含むシリコン基板11の表面層とガードリング領域12内周側の表面層にp型ベース領域13が形成されている。ベース領域13とシリコン基板11とによるPN接合J2は、溝17の底部で深く、溝17間で浅くなっている。シリコン基板11の表面には、ガードリング領域12外周側の表面からチップ外周に向かってフィールド酸化膜(シリコン酸化膜)14が形成されている。そして、フィールド酸化膜14の開口からベース領域13の表面と溝17の内部にポリシリコン膜18が設けられ、さらに、その上にA端子に接続される金属、例えば、アルミニウムやその合金からなるアノード電極15が電気的接触して設けられている。また、シリコン基板11の他主面(裏面)にK端子に接続される金属、例えば、Ti/Au/Sb/Au合金またはTi/Ni/Ag合金、等からなるカソード電極16が電気的接触して設けられている。
【0008】
上記構成によれば、ベース領域13とアノード電極15との間にポリシリコン膜18を介在させているため、ポリシリコン膜18によるバリアメタル効果により、アルミニウムによるアロイスパイク現象が発生する虞がなくなり、PN接合でのリーク電流を抑制することができる。
【0009】
次に、上記構成の定電圧ダイオードの製造方法について、図2(a)〜(c)および図1を参照して説明する。先ず、第1工程は、この工程の完了後を図2(a)に示すように、n型シリコン基板11のベース領域13となる領域表面の所定位置を選択的にエッチングしてU字型溝17を形成する。U字型溝17は、例えば、溝深さを1μmねらい、溝幅をマスクパターン上で、1.0μm、および溝間隔を2.5μmにして形成される。その後、n型シリコン基板11のp型ガードリング領域12となる領域表面の所定位置に選択的にイオン注入法によりホウ素を、例えば、5×1015cm−2程度のドーズ量で注入し、熱拡散および熱酸化して、例えば、拡散深さが2.5μm程度のp型ガードリング領域12を形成するとともに、ベース領域13となる領域上に開口を有するフィールド酸化膜(シリコン酸化膜)14を、例えば、膜厚7000Å程度に形成する。
【0010】
次に、第2工程は、この工程の完了後を図2(b)に示すように、第1工程完了後、フィールド酸化膜14の開口からイオン注入法により溝17を含むシリコン基板11の表面層とガードリング領域12内周側の表面層にホウ素を、例えば、5×1015cm−2程度のドーズ量でイオン注入し、シリコン基板11の表面および溝17の内面から例えば、0.7μmの拡散深さに熱拡散して、シリコン基板11の表面からの拡散深さが溝17の底部で深く、溝17間で浅いp型べース領域13を形成する。
【0011】
次に、第3工程は、この工程の完了後を図2(c)に示すように、第2工程完了後、LPCVD法により、例えば、膜厚1μm程度のポリシリコン膜18をシリコン基板11の表面から積層させ、溝17にも埋め込む。その後、ポリシリコン膜18にホウ素をドープし、その後、ポリシリコン膜18を選択的にドライエッチ法により溝17を含むべース領域13表面に残す。
【0012】
次に、第4工程は、この工程の完了後を図1に示すように、第3工程完了後、シリコン基板11の表面を金属膜、例えば、アルミニウムやその合金からなる膜で被覆し、レジストパターンをマスクに不要部分をエッチングにより除去して、アノード電極15を形成し、さらに、シリコン基板11の裏面を金属膜、例えば、Ti/Au/Sb/Au合金膜またはTi/Ni/Ag合金膜、等で被覆し、カソード電極16を形成する。
【0013】
尚、上記実施例では、一導電型としてn型、他導電型としてp型で説明したが、一導電型としてp型、他導電型としてn型であってもよい。この場合、アノード電極とカソード電極は逆となり、ポリシリコン膜には、リンをドープする。また、溝17を千鳥に配置したが、これに限定させず、他の配置パターンであってもよい。
【0014】
【発明の効果】
本発明の静電サージ保護用ダイオードによれば、ベース領域と一電極との間にポリシリコン膜を介在させているためアルミニウムによるアロイスパイク現象を防止でき、ブレークダウン電圧を低圧化してもPN接合でのリーク電流を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】(a) 本発明の一実施例の定電圧ダイオードの基板表面パターンを示す概略平面図。
(b) 図1(a)に示す定電圧ダイオードのA−A’概略断面図。
【図2】図1に示す定電圧ダイオードの製造工程を示す要部断面図。
【図3】静電サージ保護用ダイオードとして定電圧ダイオードを用いた回路図。
【図4】(a)従来の定電圧ダイオードの基板表面パターンを示す概略平面図。
(b)図4(a)に示す定電圧ダイオードのB−B’概略断面図。
【符号の説明】
11 n型シリコン基板
12 p型ガードリング領域
13 p型ベース領域
14 フィールド酸化膜(シリコン酸化膜)
15 アノード電極
16 カソード電極
17 溝
18 ポリシリコン膜
J2 PN接合
Claims (1)
- 一導電型半導体基板と、この半導体基板の一主面と一主面に形成した複数の溝とを介して形成した他導電型ベース領域と、前記溝の内部を含むベース領域表面に積層したポリシリコン膜と、このポリシリコン膜を介して前記ベース領域に電気的接触させた一電極と、半導体基板の他主面に電気的接触させた他電極とを有する静電サージ保護用ダイオード。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002302997A JP2004140158A (ja) | 2002-10-17 | 2002-10-17 | 静電サージ保護用ダイオード |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2002302997A JP2004140158A (ja) | 2002-10-17 | 2002-10-17 | 静電サージ保護用ダイオード |
Publications (1)
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JP2004140158A true JP2004140158A (ja) | 2004-05-13 |
Family
ID=32450908
Family Applications (1)
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JP (1) | JP2004140158A (ja) |
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---|---|---|---|---|
JP2006013129A (ja) * | 2004-06-25 | 2006-01-12 | Nec Electronics Corp | 半導体装置 |
JP2007059800A (ja) * | 2005-08-26 | 2007-03-08 | Fuji Electric Device Technology Co Ltd | 縦型ツェナーダイオードの製造方法および縦型ツェナーダイオード |
JP2007134384A (ja) * | 2005-11-08 | 2007-05-31 | Renesas Technology Corp | 定電圧ダイオード |
CN113990925A (zh) * | 2021-10-26 | 2022-01-28 | 电子科技大学 | 一种提高耐压设计精度的暂态抑制二极管结构 |
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2002
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CN113990925B (zh) * | 2021-10-26 | 2023-11-24 | 电子科技大学 | 一种提高耐压设计精度的暂态抑制二极管结构 |
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