JP2004131766A - Niめっき膜の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】はんだバンプ4の下地膜であるNiめっき膜3を成膜する場合、Niめっき液として、不純物成分の濃度が10〔ppm〕(不純物成分がPbの場合は1〔ppm〕)以下に管理されているもののみ用いる。
【選択図】 図2
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、はんだバンプなどの下地膜として用いられるNiめっき膜を製造する方法の改良に関する。
【0002】
【従来の技術】
図2ははんだバンプ構造を説明する為の要部切断側面図であり、図に於いて、1は基板、2はレジスト層、3はNiめっき膜、4ははんだバンプをそれぞれ示している。
【0003】
例えば半導体装置に於いて、電気的な接続を実現する為、はんだバンプを用いることは欠かせない手段になっていて、その場合、図2に見られるように、基板1とはんだバンプ4との間には、下地膜としてNiめっき膜3を成膜している。
【0004】
図2に見られる構造の場合、Niめっき膜3とはんだバンプ4との密着性は良好であることが重要であるのは云うまでもないが、半導体装置を動作させる度ごとに熱サイクルが繰り返されることが原因となり、はんだバンプとの間にボイドやクラックが生成されて接合不良が起こる。
【0005】
一般に、はんだバンプと下地膜であるNiめっき膜との間の密着性が低下する原因は、Niめっき膜の成膜時に取り込まれる不純物の影響が著しく大きいと考えられている。
【0006】
前記不純物が金属元素の場合には、熱に依ってNiめっき膜内を移動して表層や下層に偏析し、はんだバンプと密着性が悪い金属組成となって剥がれを生ずることになる。
【0007】
特に前記金属元素がPbである場合、Niめっき膜内で殆ど固溶せずに不安定な状態にある為、エネルギ的に安定な空孔と対になる傾向があり、熱に依って集まり成長しながらボイドを生成することが知られている(要すれば、特許文献1参照。)。
【0008】
【特許文献1】
特開平8−191126号公報
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
本発明では、はんだバンプの下地膜として形成されたNiめっき膜が繰り返し熱サイクルを受けても、Niメッキ膜にボイドやクラックが発生しないようにする。
【0010】
【課題を解決するための手段】
本発明者に依る実験及び特許文献1からの知見に依れば、はんだバンプと下地膜であるNiめっき膜との間の密着性が低下する原因は、Niめっき膜の成膜時に取り込まれる不純物の影響が著しく大きいと考えられる。
【0011】
Niめっき膜に不純物が取り込まれた場合、その不純物がバンプ形成後に行われる熱処理の際、局所的に偏析することでボイドやクラックを発生することになる。
【0012】
取り込まれる不純物が有機物である場合には、熱に依ってガス化し、それが集まってボイドを生成する。また、不純物が金属元素の場合には、熱に依ってNiめっき膜内を移動して表層や下層に偏析し、はんだバンプと密着性が悪い金属組成となって剥がれを生ずることになる。
【0013】
特に金属元素がPbである場合、Niめっき膜内で殆ど固溶せずに不安定な状態にある為、エネルギ的に安定な空孔と対になる傾向があり、熱に依って集まり成長しながらボイドを生成する。
【0014】
また、実験に依れば、Niめっき液中のPb量が1〔ppm〕を越えた場合、バンプ剥がれが頻発することが確認されている。因みに、前記Niめっき槽内のPb量が1〔ppm〕なる数値は、Niめっき膜中の濃度にすると約100〔ppm〕となる。
【0015】
図1はNiめっき液使用時間に対するPb濃度の変化を表す線図であり、Niめっき液中のPb量が時間と共に増加し、その濃度が1〔ppm〕を越えると接続不良は多発することが看取されよう。
【0016】
Niめっき液成分以外の不純物がめっき液中で増加した場合、Niめっき膜中に取り込まれる不純物量も多くなり、接続不良発生頻度の増加に結び付くことになる。
【0017】
Niめっき液中で不純物が増加する原因は、めっき装置や治具の部材に使用されている樹脂材料からの溶出、或いは、連続めっき装置で使用するウエハ押さえの治具に依るクロス・コンタミネーションなどが考えられ、特に、Pbについては、めっき装置に使用されている塩化ビニル樹脂からの溶出があり、また、連続めっきを行う場合には、NiめっきとPbSnめっきとで同じ治具を用いて自動搬送することが普通である為、その治具を媒体としてNiめっき液槽中に不純物が持ち込まれると考えられる。
【0018】
前記したところから明らかであるが、はんだバンプとの接合性が良好なNiめっき膜を成膜するには、めっき液槽内で増加する不純物に依る影響を考えなければならない。
【0019】
そこで、本発明に依るNiめっき膜の製造方法に於いては、はんだバンプの下地膜であるNiめっき膜を成膜するに際し、Niめっき液として、不純物成分の濃度が10〔ppm〕(不純物成分がPbの場合は1〔ppm〕)以下に管理されているもののみを用いることが基本になっている。
【0020】
前記手段を採ることに依り、熱処理してもNiめっき膜にボイドやクラックが発生することは殆ど無くなり、はんだバンプと下地膜であるNiめっき膜との密着性は良好であって、剥離することは防止されるので、不良発生頻度は減少し、製造歩留りは向上する。
【0021】
【発明の実施の形態】
本発明では、Niめっき液中の不純物量を監視し、その使用を管理することではんだバンプとの密着性が良好なNiめっき膜を成膜する。
【0022】
通常、めっき液中に不純物が混入して、それがめっき膜内に取り込まれた場合に於いては、めっき膜内の濃度にして約0.01〔重量%〕から不良発生に影響し始める。このめっき膜内の不純物濃度をめっき液内の不純物濃度に換算すると約0.1〔ppm〕となるので、めっき液中の不純物量は0.1〔ppm〕レベルからの管理が必要である。
【0023】
また、Niめっき膜の膜内不純物濃度にして1〔重量%〕を越えるものは、組成として管理した方が良い為、めっき液中の不純物濃度管理としては、0.1〜10〔ppm〕の範囲で行うのが適当となる。逆に、Niめっき膜中の不純物量でいえば、0.01〜1〔重量%〕の範囲で不純物量を管理する必要がある。
【0024】
例えば、Niめっき液中のPbの濃度管理方法は、高周波誘導結合プラズマ発光分光分析法(inductively coupled plasma−atomic emission spectrometry:ICP−AES)を適用して実施する。
【0025】
その場合、Niめっき液をそのままICP−AESに導入すると、多量の有機物や主成分元素のNiに依る物理干渉や分光干渉が起こり、測定が困難となるので、希釈して導入すると良い。
【0026】
また、Pbの発光線は、波長がNiと重なる場合が多い為、そのような重なりの影響が少なく、且つ、感度が良好な波長を選択して測定を行う。
【0027】
更に、装置や治具の洗浄を行う場合、洗浄液中の不純物量が10〔ppm〕以下となるように洗浄を行うことが必要があり、通常、100枚程度のウエハを処理すると、Pbの増加量が規定値を越えるので、その前後を目安にして実施して良い。
【0028】
この場合の洗浄については、予め実験をして、洗浄条件を決める際に測定の必要性を判断すれば良い。また、不純物量の測定するには、この場合もICP−AESを適用することができる。
【0029】
このように、Niめっき液中で増加する不純物成分について、その濃度の監視を行って、不純物量が適切な濃度範囲にあるNiめっき液のみを用いてめっき膜を成膜することに依って、はんだバンプとの密着性が高いNiめっき膜を形成することができ、不良発生頻度を低減することができる。
【0030】
【発明の効果】
本発明に依るNiめっき膜の製造方法では、はんだバンプの下地膜であるNiめっき膜を成膜するに際し、Niめっき液として、不純物成分の濃度が10〔ppm〕(不純物成分がPbの場合は1〔ppm〕)以下に管理されているもののみを用いることが基本になっている。
【0031】
前記構成を採ることに依り、熱処理してもNiめっき膜にボイドやクラックが発生することは殆ど無くなり、はんだバンプと下地膜であるNiめっき膜との密着性は良好であって、剥離することは防止されるので、不良発生頻度は減少し、製造歩留りは向上する。
【図面の簡単な説明】
【図1】Niめっき液使用時間に対するPb濃度の変化を表す線図である。
【図2】はんだバンプ構造を説明する為の要部切断側面図である。
【符号の説明】
1 基板
2 レジスト層
3 Niめっき膜
4 はんだバンプ
Claims (5)
- はんだバンプの下地膜であるNiめっき膜を成膜するに際し、Niめっき液として、不純物成分の濃度が10〔ppm〕以下に管理されているもののみを用いること
を特徴とするNiめっき膜の製造方法。 - 不純物成分がPbである場合には濃度が1〔ppm〕以下に管理されていること
を特徴とする請求項1記載のNiめっき膜の製造方法。 - Niめっき液中で不純物となる成分の濃度が10〔ppm〕以下となるようにNiめっき装置及び治具を洗浄してからNiめっき膜を形成すること
を特徴とするNiめっき膜の製造方法。 - 成膜されたNiめっき膜中の不純物濃度が1〔%〕以下となるように不純物成分の濃度が管理されたNiめっき液を用いてはんだバンプの下地膜であるNiめっき膜を成膜すること
を特徴とするNiめっき膜の製造方法。 - 成膜されたNiめっき膜中のPb濃度が0.1〔%〕以下となるようにPb成分の濃度が管理されたNiめっき液を用いてはんだバンプの下地膜であるNiめっき膜を成膜すること
を特徴とするNiめっき膜の製造方法。
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JP2002295647A JP2004131766A (ja) | 2002-10-09 | 2002-10-09 | Niめっき膜の製造方法 |
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Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07188971A (ja) * | 1993-12-28 | 1995-07-25 | Nkk Corp | アルミニウムおよびアルミニウム合金板の亜鉛系めっき 方法 |
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-
2002
- 2002-10-09 JP JP2002295647A patent/JP2004131766A/ja active Pending
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