JP2004131365A

JP2004131365A - 高耐熱性無機繊維結合型セラミックス部材及びその製造方法

Info

Publication number: JP2004131365A
Application number: JP2003150297A
Authority: JP
Inventors: Shinji Kajii; 梶井　紳二; Kenji Matsunaga; 松永　賢二; Toshihiko Nunogami; 布上　俊彦; Mitsuhiko Sato; 佐藤　光彦
Original assignee: Ube Industries Ltd
Current assignee: Ube Corp
Priority date: 2002-08-09
Filing date: 2003-05-28
Publication date: 2004-04-30
Anticipated expiration: 2023-05-28
Also published as: US7112547B2; EP1388527A2; JP4239684B2; EP1388527A3; US20040029704A1

Abstract

【課題】耐熱性及び平滑性に優れ、高い破壊靭性を有した高耐熱性無機繊維結合型セラミックスを部材形状に近い形で一次成型する方法、及び、表面形状に繊維が配向し、表面繊維の剥離や層間剥離が発生しにくい高耐熱性無機繊維結合型セラミックス部材を提供する。
【解決手段】主としてＳｉ、Ｍ、Ｃ及びＯからなる無機繊維と、主としてＳｉ及びＯからなる無機物質と、前記無機繊維の表面に形成された、Ｃを主成分とする境界層から構成されてなる無機繊維結合セラミックス部材、及び、主としてＳｉＣの焼結構造からなり特定の金属原子を含有する無機繊維と、Ｃを主成分とする境界層からなる無機繊維結合セラミックス部材の製造方法であって、予備成形体を、カーボンダイスにセットし、カーボン粉末で覆ってホットプレス処理することによって、予備成形体に擬似等方的な圧力を負荷することを特徴とする。
【選択図】　図１

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、１２００℃以上という極めて高い耐熱性を必要とする部位で使用可能であり、さらに、無機繊維結合型セラミックス部材表面に繊維が整然配置し、表面の特性が均一である高耐熱性無機繊維結合型セラミックス部材及びその製造方法に関する。特に、高い表面平滑性と緻密性を有し、かつ高い破壊抵抗を要求される高温部材、たとえば、発電用、又は航空機用ガスタービンの高温部材などに適用出来る。
【０００２】
【従来の技術】
繊維結合型セラミックスは、単体セラミックスに比して非常に靭性が高く信頼性の高い材料である。また、化学蒸着気相法（ＣＶＤ法）、化学浸透気相法（ＣＶＩ法）、又はポリマー含浸法（ＰＩＰ法）などにより製造されたカーボン繊維強化カーボン基複合材料（以下、Ｃ／Ｃ複合材料と記載する）と比べると、非常に緻密であり表面平滑性に優れている。したがって、繊維結合型セラミックスは、高耐熱性、高靭性、かつ緻密な高温材料である。
しかし、これまで繊維結合型セラミックスの複雑形状部材を作製する場合には、バルク材を機械加工していた。そのため、部材形状によっては、加工による削りしろが非常に多く、経済的でなかった。
【０００３】
また、繊維結合型セラミックスは繊維積層物を高温で加圧することによって製造されるため、加圧に伴う積層物の収縮により繊維配向が乱れることがあった。さらに、バルク材を機械加工して作製した無機繊維結合型セラミックス部材においては、部材表面に無機繊維結合型セラミックスの層間が露出し、繊維強化部分と層間部分が混在していた。この場合、表面の繊維配向が乱れた部分や層間が露出した部分に大きな応力がかかると亀裂（表面部分の繊維の剥離、層間剥離）を発生させる原因になる。そこで、無機繊維結合型セラミックス部材表面に層間が露出せずに繊維が均一に配向した無機繊維結合型セラミックスの製造方法の確立が望まれている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、耐熱性及び平滑性に優れ、高い破壊靭性を有した高耐熱性無機繊維結合型セラミックスを部材形状に近い形で一次成型する方法を提供することである。さらには、表面形状に繊維が配向し、表面繊維の剥離や層間剥離が発生しにくい高耐熱性無機繊維結合型セラミックス部材を提供することである。
したがって、加工による削りしろを削減し、製造コストを削減することができ、たとえば、発電用、又は航空機用ガスタービンなどの高温部材を比較的低コストで供給することが出来るようになる。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明によれば、
（Ａ）（ｉ）下記（ａ）及び／又は（ｂ）からなる無機繊維と、
（ａ）Ｓｉ、Ｍ、Ｃ及びＯからなる非晶質物質（ＭはＴｉ又はＺｒを示す）、
（ｂ）（１）β−ＳｉＣ、ＭＣ及びＣの結晶質微粒子と、（２）ＳｉＯ_２及びＭＯ_２の非晶質物質との集合体、
（ｉｉ）前記無機繊維の間隙を充填する、下記（ｃ）及び／又は（ｄ）からなり、場合により（ｅ）が分散した無機物質と、
（ｃ）Ｓｉ及びＯ、場合によりＭからなる非晶質物質、
（ｄ）結晶質のＳｉＯ_２及びＭＯ_２からなる結晶質物質、
（ｅ）１００ｎｍ以下の粒径のＭＣからなる結晶質微粒子無機物質、
（ｉｉｉ）上記無機繊維の表面に形成された、Ｃを主成分とする、場合により１００ｎｍ以下の粒径のＭＣからなる結晶質粒子が分散した、１から１００ｎｍの境界層、
から構成されてなる無機繊維結合型セラミックス部材の製造方法であって、
（Ｂ）内面層と表面層とからなる無機繊維であって、内面層が下記（ａ）及び／又は（ｂ）を含有する無機質物質で構成され、
（ａ）Ｓｉ、Ｍ、Ｃ及びＯからなる非晶質物質（ＭはＴｉ又はＺｒを示す。）、
（ｂ）（１）β−ＳｉＣ、ＭＣ及びＣの結晶質超微粒子と、（２）ＳｉＯ_２及びＭＯ_２の非晶質物質との集合体、
表面層が下記（ｃ）及び／又は（ｄ）を含有する無機質物質で構成され、
（ｃ）Ｓｉ及びＯ、場合によりＭからなる非晶質物質、
（ｄ）結晶質のＳｉＯ_２及び／又はＭＯ_２からなる結晶質物質、
かつ、表面層の厚さＴ（単位μｍ）がＴ＝ａＤ（ここで、ａは０．０２３〜０．０５３の範囲内の数値であり、Ｄは無機繊維の直径（単位μｍ）である。）を満足する無機繊維の積層物を、
所定形状に成形加工したカーボンコアーの周囲に配置した予備成形体を作製し、カーボンダイスにセットして、その周囲をカーボン粉末で覆った後、不活性ガス雰囲気中、１５００〜２０００℃の範囲の温度で１０〜１００ＭＰａの加圧下でホットプレス処理することによって、予備成形体に擬似等方的な圧力を負荷することを特徴とする高耐熱性無機繊維結合型セラミックス部材の製造方法が提供される。
【０００６】
さらに、本発明によれば、
（Ａ）（ｉ）下記（ａ）及び／又は（ｂ）からなる無機繊維と、
（ａ）Ｓｉ、Ｍ、Ｃ及びＯからなる非晶質物質（ＭはＴｉ又はＺｒを示す）、
（ｂ）（１）β−ＳｉＣ、ＭＣ及びＣの結晶質微粒子と、（２）ＳｉＯ_２及びＭＯ_２の非晶質物質との集合体、
（ｉｉ）前記無機繊維の間隙を充填する、下記（ｃ）及び／又は（ｄ）からなり、場合により（ｅ）が分散した無機物質と、
（ｃ）Ｓｉ及びＯ、場合によりＭからなる非晶質物質、
（ｄ）結晶質のＳｉＯ_２及びＭＯ_２からなる結晶質物質、
（ｅ）１００ｎｍ以下の粒径のＭＣからなる結晶質微粒子無機物質、
（ｉｉｉ）上記無機繊維の表面に形成された、Ｃを主成分とする、場合により１００ｎｍ以下の粒径のＭＣからなる結晶質粒子が分散した、１から１００ｎｍの境界層、
から構成されてなる無機繊維結合型セラミックス部材の製造方法であって、
（Ｂ）内面層と表面層とからなる無機繊維であって、内面層が下記（ａ）及び／又は（ｂ）を含有する無機質物質で構成され、
（ａ）Ｓｉ、Ｍ、Ｃ及びＯからなる非晶質物質（ＭはＴｉ又はＺｒを示す。）、
（ｂ）（１）β−ＳｉＣ、ＭＣ及びＣの結晶質超微粒子と、（２）ＳｉＯ_２及びＭＯ_２の非晶質物質との集合体、
表面層が下記（ｃ）及び／又は（ｄ）を含有する無機質物質で構成され、
（ｃ）Ｓｉ及びＯ、場合によりＭからなる非晶質物質、
（ｄ）結晶質のＳｉＯ_２及び／又はＭＯ_２からなる結晶質物質、
かつ、表面層の厚さＴ（単位μｍ）がＴ＝ａＤ（ここで、ａは０．０２３〜０．０５３の範囲内の数値であり、Ｄは無機繊維の直径（単位μｍ）である。）を満足する無機繊維の積層物を、
前記無機繊維結合型セラミックスのバルク材を所定の部材寸法より小さく加工した部材の表面に配置した予備成形体を作製し、カーボンダイスにセットして、その周囲をカーボン粉末で覆った後、不活性ガス雰囲気中、１５００〜２０００℃の範囲の温度で１０〜１００ＭＰａの加圧下でホットプレス処理することによって、予備成形体に疑似等方的な圧力を負荷することを特徴とする高耐熱性無機繊維結合型セラミックス部材の製造方法が提供される。
【０００７】
また、本発明によれば、
（Ｃ）主としてＳｉＣの焼結構造からなる無機繊維であって、０．０１〜１重量％のＯ、及び２Ａ族、３Ａ族及び３Ｂ族の金属原子からなる群から選ばれる少なくとも１種の金属原子を含有する無機繊維が最密充填に極めて近い構造に結合し、繊維間には１〜１００ｎｍのＣを主成分とする境界層が形成されている無機繊維結合型セラミックス部材の製造方法であって、
（Ｄ）（ａ）ケイ素原子に対する炭素原子の割合がモル比で１．５以上であるポリシラン或いはその加熱反応物に、２Ａ族、３Ａ族及び３Ｂ族の金属元素からなる群から選ばれる少なくとも１種の金属元素含有有機ケイ素重合体を調製する第１工程、（ｂ）金属元素含有有機ケイ素重合体を溶融紡糸して紡糸繊維を得る第２工程、（ｃ）紡糸繊維を酸素含有雰囲気中５０〜１７０℃で加熱して不融化繊維を調製する第３工程によって得られる不融化繊維の積層物、又は、
（ｄ）前記不融化繊維を不活性ガス中で無機化する第４工程によって得られる無機化繊維の積層物を、
所定形状に成形加工したカーボンコアーの周囲に配置した予備成形体を作製し、カーボンダイスにセットして、その周囲をカーボン粉末で覆った後、真空、不活性ガス、還元ガス及び炭化水素からなる群から選ばれる少なくとも１種からなる雰囲気中で、１７００〜２２００℃の範囲の温度で１０〜１００ＭＰａの加圧下でホットプレス処理することによって、予備成形体に擬似等方的な圧力を負荷することを特徴とする高耐熱性無機繊維結合型セラミックス部材の製造方法が提供される。
【０００８】
さらに、本発明によれば、
（Ｃ）主としてＳｉＣの焼結構造からなる無機繊維であって、０．０１〜１重量％のＯ、及び２Ａ族、３Ａ族及び３Ｂ族の金属原子からなる群から選ばれる少なくとも１種の金属原子を含有する無機繊維が最密充填に極めて近い構造に結合し、繊維間には１〜１００ｎｍのＣを主成分とする境界層が形成されている無機繊維結合型セラミックス部材の製造方法であって、
（Ｄ）（ａ）ケイ素原子に対する炭素原子の割合がモル比で１．５以上であるポリシラン或いはその加熱反応物に、２Ａ族、３Ａ族及び３Ｂ族の金属元素からなる群から選ばれる少なくとも１種の金属元素含有有機ケイ素重合体を調製する第１工程、（ｂ）金属元素含有有機ケイ素重合体を溶融紡糸して紡糸繊維を得る第２工程、（ｃ）紡糸繊維を酸素含有雰囲気中５０〜１７０℃で加熱して不融化繊維を調製する第３工程によって得られる不融化繊維の積層物、又は、
（ｄ）前記不融化繊維を不活性ガス中で無機化する第４工程によって得られる無機繊維の積層物を、
前記無機繊維結合型セラミックスのバルク材を所定の部材寸法より小さく加工した部材の表面に配置した予備成形体を作製し、カーボンダイスにセットして、その周囲をカーボン粉末で覆った後、真空、不活性ガス、還元ガス及び炭化水素からなる群から選ばれる少なくとも１種からなる雰囲気中で、１７００〜２２００℃の範囲の温度で１０〜１００ＭＰａの加圧下でホットプレス処理することによって、予備成形体に疑似等方的な圧力を負荷することを特徴とする高耐熱性無機繊維結合型セラミックス部材の製造方法が提供される。
【０００９】
また、本発明によれば、
（Ａ）（ｉ）下記（ａ）及び／又は（ｂ）からなる無機繊維と、
（ａ）Ｓｉ、Ｍ、Ｃ及びＯからなる非晶質物質（ＭはＴｉ又はＺｒを示す）、
（ｂ）（１）β−ＳｉＣ、ＭＣ及びＣの結晶質微粒子と、（２）ＳｉＯ_２及びＭＯ_２の非晶質物質との集合体、
（ｉｉ）前記無機繊維の間隙を充填する、下記（ｃ）及び／又は（ｄ）からなり、場合により（ｅ）が分散した無機物質と、
（ｃ）Ｓｉ及びＯ、場合によりＭからなる非晶質物質、
（ｄ）結晶質のＳｉＯ_２及びＭＯ_２からなる結晶質物質、
（ｅ）１００ｎｍ以下の粒径のＭＣからなる結晶質微粒子無機物質、
（ｉｉｉ）上記無機繊維の表面に形成された、Ｃを主成分とする、場合により１００ｎｍ以下の粒径のＭＣからなる結晶質粒子が分散した、１から１００ｎｍの境界層、
から構成されてなる無機繊維結合型セラミックス部材であって、
前記部材が曲面及び／又は傾斜面を有し、該曲面及び／又は傾斜面の表面形状に繊維が配向してなることを特徴とする無機繊維結合型セラミックス部材が提供される。
【００１０】
さらに、本発明によれば、
（Ｃ）主としてＳｉＣの焼結構造からなる無機繊維であって、０．０１〜１重量％のＯ、及び２Ａ族、３Ａ族及び３Ｂ族の金属原子からなる群から選ばれる少なくとも１種の金属原子を含有する無機繊維が最密充填に極めて近い構造に結合し、繊維間には１〜１００ｎｍのＣを主成分とする境界層が形成されている無機繊維結合型セラミックス部材であって、
前記部材が曲面及び／又は傾斜面を有し、該曲面及び／又は傾斜面の表面形状に繊維が配向してなることを特徴とする無機繊維結合型セラミックス部材が提供される。
【００１１】
本発明では、２種類の無機繊維結合型セラミックス部材及びその製造方法を提案している。
まず、請求項１及び２の無機繊維結合型セラミックス部材の製造方法について説明する。
【００１２】
無機繊維結合型セラミックス（Ａ）は、
（ｉ）下記（ａ）及び／又は（ｂ）からなる無機繊維と、
（ａ）Ｓｉ、Ｍ、Ｃ及びＯからなる非晶質物質（ＭはＴｉ又はＺｒを示す）、
（ｂ）（１）β−ＳｉＣ、ＭＣ及びＣの結晶質微粒子と、（２）ＳｉＯ_２及びＭＯ_２の非晶質物質との集合体、
（ｉｉ）前記無機繊維の間隙を充填する、下記（ｃ）及び／又は（ｄ）からなり、場合により（ｅ）が分散した無機物質と、
（ｃ）Ｓｉ及びＯ、場合によりＭからなる非晶質物質、
（ｄ）結晶質のＳｉＯ_２及びＭＯ_２からなる結晶質物質、
（ｅ）１００ｎｍ以下の粒径のＭＣからなる結晶質微粒子無機物質、
（ｉｉｉ）上記無機繊維の表面に形成された、Ｃを主成分とする、場合により１００ｎｍ以下の粒径のＭＣからなる結晶質粒子が分散した、１から１００ｎｍの境界層、
から構成されている。
【００１３】
無機繊維（ｉ）は、（ａ）Ｓｉ、Ｍ、Ｃ及びＯからなる非晶質物質、及び／又は（ｂ）（１）β−ＳｉＣ、ＭＣ及びＣの結晶質微粒子と、（２）ＳｉＯ_２及びＭＯ_２の非晶質物質との集合体、から構成される。結晶質微粒子におけるβ−ＳｉＣとＭＣとはそれらの固溶体として存在することもでき、またＭＣは炭素欠損状態であるＭＣ１−ｘ（ｘは０以上で１未満の数である。）として存在することもできる。無機繊維を構成する各元素の割合は、通常、Ｓｉ：３０〜６０重量％、Ｍ：０．５〜３５重量％、好ましくは１〜１０重量％、Ｃ：２５〜４０重量％、Ｏ：０．０１〜３０重量％である。無機繊維の相当直径は一般に５〜２０μｍである。
【００１４】
無機繊維結合型セラミックス（Ａ）を構成する無機繊維（ｉ）は、８０体積％以上、好ましくは８５〜９１体積％存在する。それぞれの無機繊維の表面には、非晶質及び結晶質の炭素が、１〜１００ｎｍの範囲、好ましくは１０〜５０ｎｍの厚さで境界層として非整合的に層状に生成している。また、場合により境界層には、１００ｎｍ以下の粒径のＭＣからなる結晶質粒子が分散している。そして、この無機繊維の間隙を充填するように緻密に、（ｃ）Ｓｉ及びＯ、場合によりＭからなる非晶質物質、及び／又は（ｄ）結晶質のＳｉＯ_２及びＭＯ_２からなる結晶質物質が存在している。また、場合により、無機質物質には（ｅ）１００ｎｍ以下の粒径のＭＣからなる結晶質微粒子無機物質が分散している。
即ち、無機繊維同士の境界、及び無機質物質と無機繊維の境界に非晶質及び／又は結晶質の炭素が非整合に層状に存在している。無機繊維結合型セラミックス（Ａ）は、上記に示した構造を反映して、破壊靭性に優れ、かつ緻密であり、１５００℃における強度は室温強度の８０％以上の極めて高い力学的特性を維持している。
【００１５】
この無機繊維結合型セラミックス（Ａ）は、
（Ｂ）内面層と表面層とからなる無機繊維であって、内面層が下記（ａ）及び／又は（ｂ）を含有する無機質物質で構成され、
（ａ）Ｓｉ、Ｍ、Ｃ及びＯからなる非晶質物質（ＭはＴｉ又はＺｒを示す。）、
（ｂ）（１）β−ＳｉＣ、ＭＣ及びＣの結晶質超微粒子と、（２）ＳｉＯ_２及びＭＯ_２の非晶質物質との集合体、
表面層が下記（ｃ）及び／又は（ｄ）を含有する無機質物質で構成され、
（ｃ）Ｓｉ及びＯ、場合によりＭからなる非晶質物質、
（ｄ）結晶質のＳｉＯ_２及び／又はＭＯ_２からなる結晶質物質、
かつ、表面層の厚さＴ（単位μｍ）がＴ＝ａＤ（ここで、ａは０．０２３〜０．０５３の範囲内の数値であり、Ｄは無機繊維の直径（単位μｍ）である。）を満足する無機繊維の積層物を、
所定形状に成形加工したカーボンコアーの周囲に配置した予備成形体、又は
前記無機繊維結合型セラミックスのバルク材を所定の部材寸法より小さく加工した部材の表面に配置した予備成形体を作製し、カーボンダイスにセットして、その周囲をカーボン粉末で覆った後、不活性ガス雰囲気中、１５００〜２０００℃の範囲の温度で１０〜１００ＭＰａの加圧下でホットプレス処理することによって、予備成形体に擬似等方的な圧力を負荷することにより製造できる。
【００１６】
上記積層物（Ｂ）は以下の手順で製造される。
本発明の原料として使用される無機繊維は、例えば特開昭６２−２８９６４１号公報に記載の方法に従って、無機繊維を酸化性雰囲気下に５００〜１６００℃の範囲の温度で加熱することによって調製することができる。この無機質繊維（Ｍ：Ｔｉ）は宇部興産株式会社からチラノ繊維（登録商標）として市販されている。無機繊維の形態については特別に制限はなく、連続繊維、連続繊維を切断したチョップ状短繊維、或いは連続繊維を一方向に引き揃えたシート状物又は織物であることができる。
【００１７】
上記の繊維を空気、純酸素、オゾン、水蒸気、炭酸ガスなどの酸化性雰囲気で加熱処理することによって無機繊維の表面層が形成される。無機繊維の表面層の厚さＴ（μｍ）が、Ｔ＝ａＤ（ここで、ａは０．０２３〜０．０５３の範囲内の数値であり、Ｄは無機質繊維の直径（単位μｍ）である。）を満足するように、加熱処理条件を選択することが必要である。表面層の厚さを上記範囲に厳密に制御することにより、気孔率が２％以下の極めて緻密な無機繊維結合型セラミックスを調製することが可能になる。
【００１８】
上記加熱処理により、内面層と表面層とからなる無機繊維であって、内面層が下記（ａ）及び／又は（ｂ）を含有する無機質物質で構成され、
（ａ）Ｓｉ、Ｍ、Ｃ及びＯからなる非晶質物質（ＭはＴｉ又はＺｒを示す。）、
（ｂ）（１）β−ＳｉＣ、ＭＣ及びＣの結晶質超微粒子と、（２）ＳｉＯ_２及びＭＯ_２の非晶質物質との集合体、
表面層が下記（ｃ）及び／又は（ｄ）を含有する無機質物質で構成され、
（ｃ）Ｓｉ及びＯ、場合によりＭからなる非晶質物質、
（ｄ）結晶質のＳｉＯ_２及び／又はＭＯ_２からなる結晶質物質、
かつ、表面層の厚さＴ（単位μｍ）がＴ＝ａＤ（ここで、ａは０．０２３〜０．０５３の範囲内の数値であり、Ｄは無機繊維の直径（単位μｍ）である。）を満足する無機繊維が得られる。
次いで、この無機繊維の連続繊維を切断したチョップ状短繊維、或いは連続繊維を一方向に引き揃えたシート状物又は織物の少なくとも１種類の形状を含む積層物（Ｂ）を製造する。
【００１９】
図１に、上記積層物（Ｂ）から無機繊維結合型セラミックス（Ａ）を製造する工程の一例の概略図を示す。
上記積層物（Ｂ）の織物１を、円筒形状に成形加工したカーボンコアー２の周囲に巻いて予備成形体３を作製する。この予備成形体３を、カーボンダイス４にセットした後、予備成形体３をカーボン粉末５で覆って、ホットプレス処理することにより、円筒形状の無機繊維結合型セラミックス製パイプが製造できる。
【００２０】
また、前記無機繊維結合型セラミックスのバルク材を所定の部材寸法より小さく加工する場合には、所定の部材寸法より０．０５〜５ｍｍの範囲で小さく加工することが好ましい。厚みが０．０５ｍｍよりも小さいと、繊維の剥離防止効果が十分ではなく、また、５ｍｍよりも大きくしてもそれ以下の厚さのものと比して表面の繊維剥離防止効果の向上が小さい。
【００２１】
本発明によれば、上記方法により、
（Ａ）（ｉ）下記（ａ）及び／又は（ｂ）からなる無機繊維と、
（ａ）Ｓｉ、Ｍ、Ｃ及びＯからなる非晶質物質（ＭはＴｉ又はＺｒを示す）、
（ｂ）（１）β−ＳｉＣ、ＭＣ及びＣの結晶質微粒子と、（２）ＳｉＯ_２及びＭＯ_２の非晶質物質との集合体、
（ｉｉ）前記無機繊維の間隙を充填する、下記（ｃ）及び／又は（ｄ）からなり、場合により（ｅ）が分散した無機物質と、
（ｃ）Ｓｉ及びＯ、場合によりＭからなる非晶質物質、
（ｄ）結晶質のＳｉＯ_２及びＭＯ_２からなる結晶質物質、
（ｅ）１００ｎｍ以下の粒径のＭＣからなる結晶質微粒子無機物質、
（ｉｉｉ）上記無機繊維の表面に形成された、Ｃを主成分とする、場合により１００ｎｍ以下の粒径のＭＣからなる結晶質粒子が分散した、１から１００ｎｍの境界層、
から構成されてなる無機繊維結合型セラミックス部材であって、
前記部材が曲面及び／又は傾斜面を有し、該曲面及び／又は傾斜面の表面形状に繊維が配向してなることを特徴とする無機繊維結合型セラミックス部材を製造することができる。
【００２２】
従来の無機繊維結合型セラミックスは繊維積層物をホットプレスで一軸成形することによって製造されていたため、繊維は加圧方向に垂直な面に平行に配向している（以下、繊維の主配向面という）。そのため、曲面や傾斜面（前記繊維の主配向面に対してある角度で傾斜している面）を有する部材はバルク材を機械加工して作製する必要があり、そうすると部材表面に無機繊維結合型セラミックスの層間が露出し、繊維強化部分と層間部分が混在することになり、亀裂（表面部分の繊維の剥離、層間剥離）を発生させる原因になる。
これに対し、本発明によれば、予備成形体に疑似等方的な圧力を負荷することにより、無機繊維結合型セラミックス部材を製造できるため、部材表面に層間が露出せずに、前記曲面又は傾斜面の表面形状に繊維が均一に配向した無機繊維結合型セラミックス部材が得られる。
【００２３】
次に請求項３及び４の繊維結合型セラミックス部材の製造方法について説明する。
無機繊維結合型セラミックス（Ｃ）を構成する繊維材は、主としてＳｉＣの焼結構造からなる無機繊維であって、０．０１〜１重量％のＯ、及び２Ａ族、３Ａ族及び３Ｂ族の金属原子からなる群から選ばれる少なくとも１種の金属原子を含有し、最密充填に極めて近い構造に結合している。
ＳｉＣの焼結構造からなる無機繊維は、主としてβ−ＳｉＣの多結晶焼結構造からなり、あるいはさらに、β−ＳｉＣ及びＣの結晶質微粒子からなる。Ｃの微結晶及び／又は極微量のＯを含有する、β−ＳｉＣ結晶粒子同士が粒界第２相を介すことなく焼結した領域ではＳｉＣ結晶間の強固な結合が得られる。仮に被接合体中で破壊が起こる場合は、少なくとも３０％以上の領域でＳｉＣの結晶粒内で進行する。場合によっては、ＳｉＣ結晶間の粒界破壊領域と粒内破壊領域が混在する。
【００２４】
前記繊維材は、２Ａ族、３Ａ族及び３Ｂ族の金属元素からなる群から選ばれる少なくとも１種の金属原子を含有する。繊維材を構成する元素の割合は、通常、Ｓｉ：５５〜７０重量％、Ｃ：３０〜４５重量％、Ｏ：０．０１〜１重量％、Ｍ（２Ａ族、３Ａ族及び３Ｂ族の金属元素）：０．０５〜４．０重量％、好ましくは、０．１〜２．０重量％である。２Ａ族、３Ａ族及び３Ｂ族の金属元素の中では、特にＢｅ、Ｍｇ、Ｙ、Ｃｅ、Ｂ、Ａｌが好ましく、これらはいずれもＳｉＣの焼結助剤として知られているもので、また有機ケイ素ポリマーのＳｉ−Ｈ結合と反応し得るキレート化合物やアルキシド化合物が存在するものである。この金属の割合が過度に少ないと繊維材の十分な結晶性が得られず、その割合が過度に高くなると、粒界破壊が多くなり力学的特性の低下を招くことになる。
【００２５】
上記無機繊維結合型セラミックス（Ｃ）の繊維材同士の境界には非晶質及び結晶質の炭素が、１〜１００ｎｍの範囲、好ましくは１０〜５０ｎｍの厚さで境界層が形成されており、上記に示した構造を反映して、破壊靭性に優れ、かつ緻密であり、１６００℃においてもほぼ室温強度を維持している。
【００２６】
上記無機繊維結合型セラミックス（Ｃ）は、
（Ｄ）（ａ）ケイ素原子に対する炭素原子の割合がモル比で１．５以上であるポリシラン或いはその加熱反応物に、２Ａ族、３Ａ族及び３Ｂ族の金属元素からなる群から選ばれる少なくとも１種の金属元素含有有機ケイ素重合体を調製する第１工程、（ｂ）金属元素含有有機ケイ素重合体を溶融紡糸して紡糸繊維を得る第２工程、（ｃ）紡糸繊維を酸素含有雰囲気中５０〜１７０℃で加熱して不融化繊維を調製する第３工程によって得られる不融化繊維の積層物、又は、（ｄ）前記不融化繊維を不活性ガス中で無機化する第４工程によって得られる無機化繊維の積層物を、
所定形状に成形加工したカーボンコアーの周囲に配置した予備成形体、又は
前記無機繊維結合型セラミックスのバルク材を所定の部材寸法より小さく加工した部材の表面に配置した予備成形体を作製し、カーボンダイスにセットして、その周囲をカーボン粉末で覆った後、真空、不活性ガス、還元ガス及び炭化水素からなる群から選ばれる少なくとも１種からなる雰囲気中で、１７００〜２２００℃の範囲の温度で１０〜１００ＭＰａの加圧下でホットプレス処理することによって、予備成形体に擬似等方的な圧力を負荷することにより製造できる。
【００２７】
積層物（Ｄ）は以下の手順で製造される。
まず、ケイ素原子に対する炭素原子の割合がモル比で１．５以上であるポリシラン又はその加熱反応物に、２Ａ族、３Ａ族及び３Ｂ族の金属元素からなる群から選ばれる少なくとも１種の金属元素含有有機ケイ素重合体を調製する第１工程、金属元素含有有機ケイ素重合体を溶融紡糸して紡糸繊維を得る第２工程、紡糸繊維を酸素含有雰囲気中５０〜１７０℃で加熱して不融化繊維を調製する第３工程、不融化繊維を不活性ガス中で無機化する第４工程からなる。
【００２８】
第１工程
第１工程では、前駆重合体である金属含有有機ケイ素重合体を調整する。
ポリシランは、例えば「有機ケイ素化合物の化学」化学同人（１９７２年）に記載の方法に従い、１種類以上のジクロロシランを、ナトリウムを用いた脱塩素反応させることにより得られる、鎖状又は環状の重合体であり、その数平均分子量は通常３００〜１０００である。本発明におけるポリシランは、ケイ素の側鎖として、水素原子、低級アルキル基、フェニル基又はシリル基を有することができるが、何れの場合も、ケイ素原子に対する炭素原子の割合がモル比で１．５以上であることが必要である。この条件を満足しないと、繊維中の炭素の全てが不融化の際に導入された酸素と共に、焼結に至るまでの昇温過程で炭酸ガスとして脱離し、繊維間の境界炭素層が形成されないので好ましくない。
【００２９】
本発明におけるポリシランは、上記の鎖状又は環状のポリシランを加熱して得られる、ポリシラン結合単位に加えて一部にカルボシラン結合を含む有機ケイ素重合体を包含する。このような有機ケイ素合体はそれ自体公知の方法で調製することができる。調製法の例としては、鎖状又は環状のポリシランを４００〜７００℃の比較的高い温度で加熱反応する方法、このポリシランにフェニル基含有ポリボロシロキサンを加えて２５０〜５００℃の比較的低い温度で加熱反応する方法を挙げることができる。こうして得られる有機ケイ素重合体の数平均分子量は通常１０００〜５０００である。
【００３０】
フェニル含有ポリボロシロキサンは、特開昭５３−４２３００号公報及び同５３−５０２９９号公報に記載の方法に従って調製することができる。例えば、フェニル含有ポリボロシロキサンは、ホウ酸と１種類以上のジオルガノクロロシランとの脱塩酸縮合反応によって調製することができ、その数平均分子量は通常５００〜１００００である。フェニル基含有ポリボロシロキサンの添加量は、ポリシラン１００重量部に対して通常１５重量部以下である。
【００３１】
ポリシランに対して、２Ａ族、３Ａ族及び３Ｂ族の金属元素を含有する化合物の所定量を添加し、不活性ガス中、通常２５０〜３５０℃の範囲の温度で１〜１０時間反応することにより、原料である金属元素含有有機ケイ素重合体を調製することができる。上記金属元素は、最終的に得られる焼結ＳｉＣ繊維結合体中の金属元素の含有割合が０．０５〜４．０重量％になる割合で使用され、具体的割合は本発明の教示に従って当業者が適宜に決定することができる。
また、上記の金属元素含有有機ケイ素重合体は、ポリシランのケイ素原子の少なくとも一部が、金属原子と酸素原子を介してあるいは介さずに結合された構造を有する、橋かけ重合体である。
【００３２】
第１工程で添加される２Ａ族、３Ａ族及び３Ｂ族の金属元素を含有する化合物としては、前記金属元素のアルコキシド、アセチルアセトキシド化合物、カルボニル化合物、シクロペンタジエニル化合物等を用いることができ、例えば、ベリリウムアセチルアセトナ−ト、マグネシウムアセチルアセトナ−ト、イットリウムアセチルアセトナ−ト、セリウムアセチルアセトナ−ト、ほう酸ブトキシド、アルミニウムアセチルアセトナ−ト等を挙げることができる。
これらはいずれも、ポリシラン或いはその加熱反応物との反応時に生成する有機ケイ素ポリマ−中のＳｉ−Ｈ結合と反応して、それぞれの金属元素がＳｉと直接あるいは他の元素を介して結合した構造を生成し得るものである。
【００３３】
第２工程
第２工程においては、金属元素含有有機ケイ素重合体の紡糸繊維を得る。
前駆重合体である金属元素含有有機ケイ素重合体を溶融紡糸及び乾式紡糸のようなそれ自体公知の方法によって紡糸し、紡糸繊維を得ることができる。
【００３４】
第３工程
第３工程においては、紡糸繊維を酸素含有雰囲気中５０〜１７０℃で加熱して不融化繊維を調製する。
不融化の目的は、紡糸繊維を構成するポリマ−間に酸素原子による橋かけ点を形成させて、後続の無機化工程において不融化繊維が溶融せず、かつ隣接する繊維同士が融着しないようにすることである。
酸素含有雰囲気を構成するガスとしては、不融化時間は不融化温度に依存するが、通常、数分から３０時間である。
不融化繊維中の酸素の含有量は８〜１６重量％になるようにコントロ−ルすることが望ましい。この酸素の大部分は、次工程の無機化後も繊維中に残存し、最終の焼結に至るまでの昇温過程において、無機繊維中の余剰炭素をＣＯガスとして脱離させる重要な働きをする。
尚、酸素含有量が８重量％より少ない場合は、無機繊維中の余剰炭素が必要以上に残存し、昇温過程においてＳｉＣ結晶の回りに偏析して安定化するためβ−ＳｉＣ結晶同士が粒界第２相を介すことなく焼結することを阻害し、また、１６重量％よりも多い時は、無機繊維中の余剰炭素が完全に脱離して繊維間の境界炭素層が生成しない。これらは、いずれも得られる材料の力学的特性に悪影響を及ぼす。
【００３５】
前記不融化繊維は、さらに不活性雰囲気中で予備加熱することが好ましい。
不活性雰囲気を構成するガスとしては、窒素、アルゴンなどを例示することができる。加熱温度は通常１５０〜８００℃であり、加熱時間は数分しかないし２０時間である。不融化繊維を不活性雰囲気中で予備加熱することによって、繊維への酸素の取り込みを防止しつつ、繊維を構成するポリマ−の橋かけ反応をより進行させ、前駆体重合体からの不融化繊維の優れた伸びを維持しつつ、強度をより向上させることができる、これにより、次工程の無機化を作業性よく安定に行うことができる。
【００３６】
第４工程
第４工程においては、不融化繊維を、連続式又は回分式で、アルゴンのような不活性ガス雰囲気中、１０００〜１７００℃の範囲内の温度で加熱処理して、無機化する。
【００３７】
次いで、上記の手順で製造された不融化繊維又は無機化繊維の織物、繊維を一方向に配向したシート、繊維束、又は連続繊維を切断したチョップ状短繊維の少なくとも１種類の形状を含む積層物（Ｄ）を作製する。
この積層物（Ｄ）を、所定形状に成形加工したカーボンコアーの周囲に配置した予備成形体、又は前記無機繊維結合型セラミックスのバルク材を所定の部材寸法より小さく加工した部材の表面に配置した予備成形体を作製し、カーボンダイスにセットして、その周囲をカーボン粉末で覆った後、真空、不活性ガス、還元ガス及び炭化水素からなる群から選ばれる少なくとも１種からなる雰囲気中で、１７００〜２２００℃の範囲の温度で１０〜１００ＭＰａの加圧下でホットプレス処理することによって、予備成形体に擬似等方的な圧力を負荷することにより無機繊維結合型セラミックス部材を製造することが出来る。
尚、加圧するまでの昇温過程において、上記ＣＯの脱離速度に合わせた加圧プログラムを組み込んでも良い。
【００３８】
また、前記無機繊維結合型セラミックスのバルク材を所定の部材寸法より小さく加工する場合には、所定の部材寸法より０．０５〜５ｍｍの範囲で小さく加工することが好ましい。厚みが０．０５ｍｍよりも小さいと、繊維の剥離防止効果が十分ではなく、また、５ｍｍよりも大きくしてもそれ以下の厚さのものと比して表面の繊維剥離防止効果の向上が小さい。
【００３９】
本発明によれば、上記方法により、
（Ｃ）主としてＳｉＣの焼結構造からなる無機繊維であって、０．０１〜１重量％のＯ、及び２Ａ族、３Ａ族及び３Ｂ族の金属原子からなる群から選ばれる少なくとも１種の金属原子を含有する無機繊維が最密充填に極めて近い構造に結合し、繊維間には１〜１００ｎｍのＣを主成分とする境界層が形成されている無機繊維結合型セラミックス部材であって、
前記部材が曲面及び／又は傾斜面を有し、該曲面及び／又は傾斜面の表面形状に繊維が配向してなることを特徴とする無機繊維結合型セラミックス部材を製造することができる。
【００４０】
本発明によれば、予備成形体に疑似等方的な圧力を負荷することにより、無機繊維結合型セラミックス部材を製造できるため、部材表面に層間が露出せずに、前記曲面又は傾斜面の表面形状に繊維が均一に配向した無機繊維結合型セラミックス部材が得られる。
【００４１】
【実施例】
以下に本発明を更に詳しく説明するために実施例を示す。
【００４２】
実施例１
繊維径１０μｍのチラノ繊維（登録商標：宇部興産株式会社製）を９５０℃の空気中で１５時間加熱処理し表面層と内面層からなる無機質繊維を作製した。繊維表面にはａ＝０．０３０に相当する平均約３００ｎｍの均一な表面層が形成されていた。次に、この無機質繊維の繻子織物シートを外径３０ｍｍ、長さ１００ｍｍのカーボンコアーの周囲に配置した予備成型体を作製し、カーボンダイスにセットした。そして、予備成形体を覆うようにカーボン粉末を上部から入れて上部パンチをセットした後、アルゴン雰囲気下、温度１８００℃、５０ＭＰａの圧力でホットプレス処理し、カーボン粉末に圧力が伝わることによって、予備成形体に疑似等方的な圧力を負荷させて無機繊維結合型セラミックス製パイプ形状の部材を得た。得られた無機繊維結合型セラミックス部材は非常に緻密であり、バルク材から機械加工して作製した無機繊維結合型セラミックス部材と同様な構造であった。図２にこの部材の断面組織写真を示す。
【００４３】
実施例２
まず、ナトリウム４００ｇを含有する無水キシレンに、窒素ガス気流下にキシレンを加熱環流させながら、ジメチルジクロロシラン１Ｌを滴下し、引き続き１０時間加熱環流し沈殿物を生成させた。この沈殿をろ過し、メタノール、次いで水で洗浄して、白色のポリジメチルシラン４２０ｇを得た。
次に、ジフェニルジクロロシラン７５０ｇ、及びホウ酸１２４ｇを窒素ガス雰囲気下にｎ−ブチルエーテル中、１００〜１２０℃で加熱し、生成した白色樹脂状物をさらに真空中４００℃で１時間加熱処理することによって、フェニル基含有ポリボロシキサン５３０ｇを得た。
前述で得られたポリジメチルシラン１００部にこのフェニル基含有ポリボロシロキサン４部を添加し、窒素ガス雰囲気中、３５０℃で５時間熱縮合して、高分子量の有機ケイ素重合体を得た。この有機ケイ素重合体１００部を溶解したキシレン溶液にアルミニウム−トリ−（ｓｅｃ−ブトキシド）を７部加え、窒素ガス気流下、３１０℃で架橋反応させることによって、ポリアルミノカルボシランを合成した。これを２４５℃で溶融紡糸し、空気中１４０℃で５時間加熱処理した後、更に窒素中３００℃で１０時間加熱して不融化繊維を得た。この不融化繊維を窒素中１５００℃で連続焼成し、炭化ケイ素系連続無機繊維を合成した。次に、この無機繊維の繻子織物シートを外径５０ｍｍ、長さ４０ｍｍのカーボンコアーの周囲に配置した予備成型体を作製し、カーボンダイスにセットした。そして、予備成形体を覆うようにカーボン粉末を上部から入れて上部パンチをセットした後、アルゴン雰囲気下、圧力５０Ｍｐａ、温度１８５０℃でホットプレス処理し、カーボン粉末に圧力が伝わることによって、予備成形体に疑似等方的な圧力を負荷させて無機繊維結合型セラミックス製パイプ形状の部材を得た。得られた無機繊維結合型セラミックス部材は非常に緻密であり、バルク材から機械加工して作製した無機繊維結合型セラミックス部材と同様な構造であった。図３にこの部材の断面組織写真を示す。
【００４４】
実施例３
実施例１と同様にして表面層と内面層からなる無機質繊維を作製した。この繊維を織物形状に加工し積層した積層物を作製した。そして、この積層物をカーボンダイス内に仕込んだ後、圧力５０ＭＰａ、温度１８００℃で成形し、無機繊維結合型セラミックスを得た。そして、この無機繊維結合型セラミックスを部材寸法より表面が２ｍｍ小さくなるように加工した。次に、この部材寸法より表面が２ｍｍ小さくなるように加工した無機繊維結合型セラミックスの表面に前記の積層物を再び配置した予備成形体を作製し、カーボンダイス内に仕込んだ。そして、予備成形体を覆うようにカーボン粉末を上部から入れて上部パンチをセットした後、アルゴン雰囲気下、圧力５０ＭＰａ、温度１８００℃でホットプレス処理し、カーボン粉末を介して予備成形体に圧力が伝わることによって、予備成形体に疑似等方的な圧力を負荷させて、表面に繊維が配向した無機繊維結合型セラミックスを得た。得られた無機繊維結合型セラミックス部材の表面は非常に緻密であり、層間部分の露出はなかった。
【００４５】
実施例４
実施例２と同様にして炭化ケイ素系連続無機繊維を合成した。この繊維を織物形状に加工し積層した積層物を作製した。そして、この積層物をカーボンダイス内に仕込んだ後、圧力５０ＭＰａ、温度１８５０℃で成形し、無機繊維結合型セラミックスを得た。そして、この無機繊維結合型セラミックスを部材寸法より表面が２ｍｍ小さくなるように加工した。図４にその表面状態を示す。表面に層間部分が多数露出している。次に、この部材寸法より表面が２ｍｍ小さくなるように加工した無機繊維結合型セラミックスの表面に前記の積層物を再び配置した予備成形体を作製し、カーボンダイス内に仕込んだ。そして、予備成形体を覆うようにカーボン粉末を上部から入れて上部パンチをセットした後、アルゴン雰囲気下、圧力５０ＭＰａ、温度１８５０℃でホットプレス処理し、カーボン粉末を介して予備成形体に圧力が伝わることによって、予備成形体に疑似等方的な圧力を負荷させて、図５に示すように表面に繊維が配向した無機繊維結合型セラミックスを得た。得られた無機繊維結合型セラミックス部材の表面は非常に緻密であり、層間部分の露出はなかった。
【００４６】
【発明の効果】
本発明によれば、耐熱性及び平滑性に優れ、高い破壊靭性を有した高耐熱性無機繊維結合型セラミックスを部材形状に近い形で一次成型することができ、加工による削りしろを削減し、製造コストを削減することができる。
さらに、無機繊維結合型セラミックス部材表面に繊維が整然配置し、表面の特性が均一であり、表面繊維の剥離や層間剥離が発生しにくい高耐熱性無機繊維結合型セラミックス部材が得られる。
したがって、高い表面平滑性と緻密性を有し、かつ高い破壊抵抗を要求される高温部材、たとえば、発電用、又は航空機用ガスタービンの高温部材などに適用出来る。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、本発明による無機繊維型結合型セラミックスの製造工程の概略図である。
【図２】図２は、本発明の実施例１で得られた無機繊維結合型セラミックスの断面組織を示す図面に代える走査型電子顕微鏡写真である。
【図３】図３は、本発明の実施例２で得られた無機繊維結合型セラミックスの断面組織を示す図面に代える走査型電子顕微鏡写真である。
【図４】図４は、本発明の実施例４における無機繊維結合型セラミックスを部材寸法より２ｍｍ小さく加工した表面の状態を示す図面に代える写真である。
【図５】図５は、本発明の実施例４における表面に繊維が配向した無機繊維結合型セラミックスの表面の状態を示す図面に代える写真である。

Claims

（Ａ）（ｉ）下記（ａ）及び／又は（ｂ）からなる無機繊維と、
（ａ）Ｓｉ、Ｍ、Ｃ及びＯからなる非晶質物質（ＭはＴｉ又はＺｒを示す）、
（ｂ）（１）β−ＳｉＣ、ＭＣ及びＣの結晶質微粒子と、（２）ＳｉＯ_２及びＭＯ_２の非晶質物質との集合体、
（ｉｉ）前記無機繊維の間隙を充填する、下記（ｃ）及び／又は（ｄ）からなり、場合により（ｅ）が分散した無機物質と、
（ｃ）Ｓｉ及びＯ、場合によりＭからなる非晶質物質、
（ｄ）結晶質のＳｉＯ_２及びＭＯ_２からなる結晶質物質、
（ｅ）１００ｎｍ以下の粒径のＭＣからなる結晶質微粒子無機物質、
（ｉｉｉ）上記無機繊維の表面に形成された、Ｃを主成分とする、場合により１００ｎｍ以下の粒径のＭＣからなる結晶質粒子が分散した、１から１００ｎｍの境界層、
から構成されてなる無機繊維結合型セラミックス部材の製造方法であって、
（Ｂ）内面層と表面層とからなる無機繊維であって、内面層が下記（ａ）及び／又は（ｂ）を含有する無機質物質で構成され、
（ａ）Ｓｉ、Ｍ、Ｃ及びＯからなる非晶質物質（ＭはＴｉ又はＺｒを示す。）、
（ｂ）（１）β−ＳｉＣ、ＭＣ及びＣの結晶質超微粒子と、（２）ＳｉＯ_２及びＭＯ_２の非晶質物質との集合体、
表面層が下記（ｃ）及び／又は（ｄ）を含有する無機質物質で構成され、
（ｃ）Ｓｉ及びＯ、場合によりＭからなる非晶質物質、
（ｄ）結晶質のＳｉＯ_２及び／又はＭＯ_２からなる結晶質物質、
かつ、表面層の厚さＴ（単位μｍ）がＴ＝ａＤ（ここで、ａは０．０２３〜０．０５３の範囲内の数値であり、Ｄは無機繊維の直径（単位μｍ）である。）を満足する無機繊維の積層物を、
所定形状に成形加工したカーボンコアーの周囲に配置した予備成形体を作製し、カーボンダイスにセットして、その周囲をカーボン粉末で覆った後、不活性ガス雰囲気中、１５００〜２０００℃の範囲の温度で１０〜１００ＭＰａの加圧下でホットプレス処理することによって、予備成形体に擬似等方的な圧力を負荷することを特徴とする高耐熱性無機繊維結合型セラミックス部材の製造方法。
（Ａ）（ｉ）下記（ａ）及び／又は（ｂ）からなる無機繊維と、
（ａ）Ｓｉ、Ｍ、Ｃ及びＯからなる非晶質物質（ＭはＴｉ又はＺｒを示す）、
（ｂ）（１）β−ＳｉＣ、ＭＣ及びＣの結晶質微粒子と、（２）ＳｉＯ_２及びＭＯ_２の非晶質物質との集合体、
（ｉｉ）前記無機繊維の間隙を充填する、下記（ｃ）及び／又は（ｄ）からなり、場合により（ｅ）が分散した無機物質と、
（ｃ）Ｓｉ及びＯ、場合によりＭからなる非晶質物質、
（ｄ）結晶質のＳｉＯ_２及びＭＯ_２からなる結晶質物質、
（ｅ）１００ｎｍ以下の粒径のＭＣからなる結晶質微粒子無機物質、
（ｉｉｉ）上記無機繊維の表面に形成された、Ｃを主成分とする、場合により１００ｎｍ以下の粒径のＭＣからなる結晶質粒子が分散した、１から１００ｎｍの境界層、
から構成されてなる無機繊維結合型セラミックス部材の製造方法であって、
（Ｂ）内面層と表面層とからなる無機繊維であって、内面層が下記（ａ）及び／又は（ｂ）を含有する無機質物質で構成され、
（ａ）Ｓｉ、Ｍ、Ｃ及びＯからなる非晶質物質（ＭはＴｉ又はＺｒを示す。）、
（ｂ）（１）β−ＳｉＣ、ＭＣ及びＣの結晶質超微粒子と、（２）ＳｉＯ_２及びＭＯ_２の非晶質物質との集合体、
表面層が下記（ｃ）及び／又は（ｄ）を含有する無機質物質で構成され、
（ｃ）Ｓｉ及びＯ、場合によりＭからなる非晶質物質、
（ｄ）結晶質のＳｉＯ_２及び／又はＭＯ_２からなる結晶質物質、
かつ、表面層の厚さＴ（単位μｍ）がＴ＝ａＤ（ここで、ａは０．０２３〜０．０５３の範囲内の数値であり、Ｄは無機繊維の直径（単位μｍ）である。）を満足する無機繊維の積層物を、
前記無機繊維結合型セラミックスのバルク材を所定の部材寸法より小さく加工した部材の表面に配置した予備成形体を作製し、カーボンダイスにセットして、その周囲をカーボン粉末で覆った後、不活性ガス雰囲気中、１５００〜２０００℃の範囲の温度で１０〜１００ＭＰａの加圧下でホットプレス処理することによって、予備成形体に疑似等方的な圧力を負荷することを特徴とする高耐熱性無機繊維結合型セラミックス部材の製造方法。
（Ｃ）主としてＳｉＣの焼結構造からなる無機繊維であって、０．０１〜１重量％のＯ、及び２Ａ族、３Ａ族及び３Ｂ族の金属原子からなる群から選ばれる少なくとも１種の金属原子を含有する無機繊維が最密充填に極めて近い構造に結合し、繊維間には１〜１００ｎｍのＣを主成分とする境界層が形成されている無機繊維結合型セラミックス部材の製造方法であって、
（Ｄ）（ａ）ケイ素原子に対する炭素原子の割合がモル比で１．５以上であるポリシラン或いはその加熱反応物に、２Ａ族、３Ａ族及び３Ｂ族の金属元素からなる群から選ばれる少なくとも１種の金属元素含有有機ケイ素重合体を調製する第１工程、（ｂ）金属元素含有有機ケイ素重合体を溶融紡糸して紡糸繊維を得る第２工程、（ｃ）紡糸繊維を酸素含有雰囲気中５０〜１７０℃で加熱して不融化繊維を調製する第３工程によって得られる不融化繊維の積層物、又は、
（ｄ）前記不融化繊維を不活性ガス中で無機化する第４工程によって得られる無機化繊維の積層物を、
所定形状に成形加工したカーボンコアーの周囲に配置した予備成形体を作製し、カーボンダイスにセットして、その周囲をカーボン粉末で覆った後、真空、不活性ガス、還元ガス及び炭化水素からなる群から選ばれる少なくとも１種からなる雰囲気中で、１７００〜２２００℃の範囲の温度で１０〜１００ＭＰａの加圧下でホットプレス処理することによって、予備成形体に擬似等方的な圧力を負荷することを特徴とする高耐熱性無機繊維結合型セラミックス部材の製造方法。
（Ｃ）主としてＳｉＣの焼結構造からなる無機繊維であって、０．０１〜１重量％のＯ、及び２Ａ族、３Ａ族及び３Ｂ族の金属原子からなる群から選ばれる少なくとも１種の金属原子を含有する無機繊維が最密充填に極めて近い構造に結合し、繊維間には１〜１００ｎｍのＣを主成分とする境界層が形成されている無機繊維結合型セラミックス部材の製造方法であって、
（Ｄ）（ａ）ケイ素原子に対する炭素原子の割合がモル比で１．５以上であるポリシラン或いはその加熱反応物に、２Ａ族、３Ａ族及び３Ｂ族の金属元素からなる群から選ばれる少なくとも１種の金属元素含有有機ケイ素重合体を調製する第１工程、（ｂ）金属元素含有有機ケイ素重合体を溶融紡糸して紡糸繊維を得る第２工程、（ｃ）紡糸繊維を酸素含有雰囲気中５０〜１７０℃で加熱して不融化繊維を調製する第３工程によって得られる不融化繊維の積層物、又は、
（ｄ）前記不融化繊維を不活性ガス中で無機化する第４工程によって得られる無機繊維の積層物を、
前記無機繊維結合型セラミックスのバルク材を所定の部材寸法より小さく加工した部材の表面に配置した予備成形体を作製し、カーボンダイスにセットして、その周囲をカーボン粉末で覆った後、真空、不活性ガス、還元ガス及び炭化水素からなる群から選ばれる少なくとも１種からなる雰囲気中で、１７００〜２２００℃の範囲の温度で１０〜１００ＭＰａの加圧下でホットプレス処理することによって、予備成形体に疑似等方的な圧力を負荷することを特徴とする高耐熱性無機繊維結合型セラミックス部材の製造方法。
（Ａ）（ｉ）下記（ａ）及び／又は（ｂ）からなる無機繊維と、
（ａ）Ｓｉ、Ｍ、Ｃ及びＯからなる非晶質物質（ＭはＴｉ又はＺｒを示す）、
（ｂ）（１）β−ＳｉＣ、ＭＣ及びＣの結晶質微粒子と、（２）ＳｉＯ_２及びＭＯ_２の非晶質物質との集合体、
（ｉｉ）前記無機繊維の間隙を充填する、下記（ｃ）及び／又は（ｄ）からなり、場合により（ｅ）が分散した無機物質と、
（ｃ）Ｓｉ及びＯ、場合によりＭからなる非晶質物質、
（ｄ）結晶質のＳｉＯ_２及びＭＯ_２からなる結晶質物質、
（ｅ）１００ｎｍ以下の粒径のＭＣからなる結晶質微粒子無機物質、
（ｉｉｉ）上記無機繊維の表面に形成された、Ｃを主成分とする、場合により１００ｎｍ以下の粒径のＭＣからなる結晶質粒子が分散した、１から１００ｎｍの境界層、
から構成されてなる無機繊維結合型セラミックス部材であって、
前記部材が曲面及び／又は傾斜面を有し、該曲面及び／又は傾斜面の表面形状に繊維が配向してなることを特徴とする無機繊維結合型セラミックス部材。
（Ｃ）主としてＳｉＣの焼結構造からなる無機繊維であって、０．０１〜１重量％のＯ、及び２Ａ族、３Ａ族及び３Ｂ族の金属原子からなる群から選ばれる少なくとも１種の金属原子を含有する無機繊維が最密充填に極めて近い構造に結合し、繊維間には１〜１００ｎｍのＣを主成分とする境界層が形成されている無機繊維結合型セラミックス部材であって、
前記部材が曲面及び／又は傾斜面を有し、該曲面及び／又は傾斜面の表面形状に繊維が配向してなることを特徴とする無機繊維結合型セラミックス部材。