JP2004111014A - スタンパの形成方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】高精度で、制御し易く、均一性が良く、溝の幾何形状が標準的であるスタンパの形成方法を提供する。
【解決手段】基板11の上に第1のレジスト層12を塗布するステップ(S1)と、第1のレジスト層12にストップ層13を塗布するステップ(S2)と、ストップ層13の上に第2のレジスト層14を塗布するステップ(S3)と、第1の光ビームによって第2のレジスト層14に露光を行うステップ(S4)と、第1のビームよりも強度の強い第2の光ビームによってストップ層13を透過して第1のレジスト層12に露光を行うステップ(S5)と、現像を行うステップ(S6)と、第2のレジスト層14の方向へ金属層をスパッタリングするステップ(S7)とを含む。
【選択図】 図1
【解決手段】基板11の上に第1のレジスト層12を塗布するステップ(S1)と、第1のレジスト層12にストップ層13を塗布するステップ(S2)と、ストップ層13の上に第2のレジスト層14を塗布するステップ(S3)と、第1の光ビームによって第2のレジスト層14に露光を行うステップ(S4)と、第1のビームよりも強度の強い第2の光ビームによってストップ層13を透過して第1のレジスト層12に露光を行うステップ(S5)と、現像を行うステップ(S6)と、第2のレジスト層14の方向へ金属層をスパッタリングするステップ(S7)とを含む。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、スタンパの形成方法に関し、特にデジタルビデオディスク(DVD)の製造に使用されるスタンパの形成方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
光ディスクの製造過程では、まず、最初のデジタルデータ又は信号をレーザ印刷信号に転換し、次に、無塵の環境で、印刷やメッキなどの処理を経て、光ディスクを量産するためのマスター(master)を作製する。続いて、マスターを利用して後続のステップに使用されるスタンパ(stamper)を作製する。
【0003】
図12に示すように、従来のDVD−RWなどの製造に使用されるスタンパは、読み取り可能な凹凸処理された領域(Readable Embossed領域(領域A))と読み取り不可能な凹凸処理された領域(Unreadable Embossed領域(領域B))に、複数の同じ深さを有する溝H1が形成されている。溝H1の深さは、例えば約25nm〜30nm程度である。現在、光ディスクと光ディスク装置の互換性を向上させると共に、一般のDVD−ROMでもDVD−RWフォーマットのディスクを読み取り可能にするために、DVD−RW Ver1.1では、読み取り可能な凹凸処理された領域(領域A)における信号の一部を変更し、例えば、図13に示すように、読み取り可能な凹凸処理された領域(領域A)の溝の深さH2を100nmに増大している。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
このように深さの異なる複数種類の溝を形成するための方法として、強度の異なる2種類のレーザビームを用いて、スタンパにおける正レジスト3に溝を所定の深さまで直接エッチングしている。しかしながら、レジスト3におけるエネルギーの拡散が制御しにくいため、同じ強度のレーザビームを用いた場合であっても、溝の深さが誤差約2〜3nmの範囲でばらつき、溝の深さを一定の精度に制御することが困難である。また、図14に示すように、溝の幾何形状が不均一になり、光学信号の読み取りが困難になるという問題も生じる。
【0005】
本発明は、上記の問題を鑑みてなされたものであり、高精度で、制御し易く、均一性が良く、溝の幾何形状が標準的であるスタンパの形成方法を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明の第1のスタンパの形成方法は、基板の上に第1のレジスト層を塗布するステップと、前記第1のレジスト層の上にストップ層を塗布するステップと、前記ストップ層の上に第2のレジスト層を塗布するステップと、第1の光ビームによって前記第2のレジスト層に露光を行うステップと、第2の光ビームによって、前記ストップ層を透過し前記第1のレジスト層に露光を行うステップと、現像を行うステップと、前記第2のレジスト層の方向へ金属層をスパッタリングするステップとを含むことを特徴とする。
【0007】
上記第1の方法において、前記第2の光ビームの強度は、前記第1の光ビームの強度よりも強いことが好ましい。
【0008】
また、本発明の第2のスタンパの形成方法は、基板の上に第1のレジスト層を塗布するステップと、前記第1のレジスト層の上に第1のストップ層を塗布するステップと、前記第1のストップ層の上に第2のレジスト層を塗布するステップと、前記第2のレジスト層の上に第2のストップ層を塗布するステップと、前記第2のストップ層の上に第3のレジスト層を塗布するステップと、第1の光ビームによって前記第3のレジスト層に露光を行うステップと、第2の光ビームによって、前記第2のストップ層を透過して前記第2のレジスト層に露光を行うステップと、第3の光ビームによって、前記第1のストップ層を透過して前記第1のレジスト層に露光を行うステップと、現像を行うステップと、前記第3のレジスト層の方向へ金属層をスパッタリングするステップとを含むことを特徴とする。
【0009】
上記第2の方法において、前記第2の光ビームの強度は前記第1の光ビームの強度よりも強く、前記第3の光ビームの強度は前記第2の光ビームの強度よりも強いことが好ましい。
【0010】
上記各方法において、前記基板はガラス基板であり、前記ストップ層は無機物質であることが好ましい。
【0011】
また、前記ストップ層は金属又はセラミックスであり、その厚さは、1nm以上で、かつ、100nm以下であることが好ましい。
【0012】
また、前記スタンパは、光ディスクの製造に使用されるスタンパであることが好ましい。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しながら、本発明の第1の実施の形態について、図1から図6を参照しつつ説明する。図1は第1の実施の形態に係るスタンパの形成方法を示すフローチャートであり、図2〜図6はその工程図である。
【0014】
図1に示すように、第1の実施の形態に係るスタンパの形成方法は、基板の上に第1のレジスト層を塗布するステップ(S1)と、第1のレジスト層の上にストップ層を塗布するステップ(S2)と、ストップ層の上に第2のレジスト層を塗布するステップ(S3)と、第1の光ビームによって、第2のレジスト層に露光を行うステップ(S4)と、第2の光ビームによって、ストップ層を透過して第1のレジスト層に露光を行うステップ(S5)と、現像を行うステップ(S6)と、第2のレジスト層の方向へ金属層をスパッタリングするステップ(S7)とを含む。
【0015】
第1の実施の形態において、スタンパ1は、光ディスクの製造に使用されるスタンパであり、特にデジタルビデオディスクを製造するためのスタンパである。図2に示すように、ステップS1において、基板11の上に第1のレジスト層12を塗布する。基板11は、例えばガラス基板である。第1のレジスト層12を塗布する前に、洗浄剤で基板11の表面を洗浄し、続いて下塗り剤(primer)を塗布することにより、基板11と第1のレジスト層12との間の密着度を強める。
【0016】
続いて、図3に示すように、ステップS2において、第1のレジスト層12の上にストップ層13を塗布する。ストップ層13の厚さは、例えば、1nm以上で、かつ、100nm以下の範囲である。なお、この範囲には、塗布誤差及び測定誤差が当然に含まれる。ストップ層13は、例えば、金属(例えば、ニッケル・バナジウム合金など)やセラミックスなどの無機物質である。
【0017】
そして、図4に示すように、ステップS3において、ストップ層13の上に第2のレジスト層14を塗布する。続いて、ステップS4において、第1の光ビームによって第2のレジスト層14に露光を行う。ここで、オリジナルテープにおけるデジタルデータは、信号インターフェイスシステム(Mastering Interface System、MIS)を介して高周波の信号に転換され、読み取り装置に転送される。その後、レーザ装置などの光ビームの照射装置(図示せず)を駆動して、第2のレジスト層14が塗布された基板11に光ビームを照射することにより、ディジタルデータが第2のレジスト層14に転写される。光ビームとして、例えば紫外レーザビームを用いている。なお、製品の歩留まりを確保するため、露光を行う前に、平坦度を検査することが好ましい。
【0018】
続いて、ステップS5において、第2の光ビームを用い、ストップ層13を透過させて、第1のレジスト層12に露光を行う。第2の光ビームの強度は、ステップS4での第1の光ビームの強度より強く、しかも第2のレジスト層14を露光させる外に、さらにストップ層13を透過し、第1のレジスト層12に露光を行う。ステップS5でも同様に、オリジナルテープにおけるデジタルデータが転写される。これら強度の異なる第1及び第2の光ビームは同じ光源から照射されるものであってもよいし、異なる光源から照射されるものであってもよい。
【0019】
ステップS6において、図5に示すように、露光された第1のレジスト層12、第2のレジスト層14及びストップ層13を現像液で除去する。現像液として、アルカリの化学溶液(例えば、水酸化ナトリウムや水酸化カリウム)を用いる。
【0020】
ステップS7において、図6に示すように、第2のレジスト層14の方向へ金属層15をスパッタリングする。スパッタリングは、露光及び現像処理後の凹凸部分を金属化させるために用いられ、導電可能な電極と同様に、後続の電鋳成形ステップ(周知につき説明を省略する)で使用される。金属層15として、例えばニッケル・バナジウム合金(Ni−V合金)を用いる。
【0021】
次に、本発明の第2の実施の形態について、図7から図11を参照しつつ説明する。図7は第2の実施の形態に係るスタンパの形成方法を示すフローチャートであり、図8〜図11はその工程図である。また、上記第1の実施の形態と共通する部分についてはその説明を省略する。
【0022】
第2の実施の形態に係るスタンパの形成方法は、図7に示すように、基板の上に第1のレジスト層を塗布するステップ(S11)と、第1のレジスト層の上に第1のストップ層を塗布するステップ(S12)と、第1のストップ層の上に第2のレジスト層を塗布するステップ(S13)と、第2のレジスト層の上に第2のストップ層を塗布するステップ(S14)と、第2のストップ層の上に第3のレジスト層を塗布するステップ(S15)と、第1の光ビームによって第3のレジスト層に露光を行うステップ(S16)と、第2の光ビームによって、第2のストップ層を透過して第2のレジスト層に露光を行うステップ(S17)と、第3の光ビームによって、第1のストップ層を透過して第1のレジスト層に露光を行うステップ(S18)と、現像を行うステップ(S19)と、第3のレジスト層の方向へ金属層をスパッタリングするステップ(S20)とを含む。
【0023】
第2の実施の形態において、スタンパ2も、デジタルビデオディスクの製造に用いられるスタンパである。図8に示すように、ステップS11において、基板21の上に第1のレジスト層22を塗布する。続いて、図9に示すように、ステップS12、ステップS13、ステップS14及びステップS15において、第1のレジスト層22の上に、順次に第1のストップ層23、第2のレジスト層24、第2のストップ層25及び第3のレジスト層26を塗布する。
【0024】
そして、ステップS16において、第1の光ビームによって第3のレジスト層26に露光を行う。その後、ステップS17において、第2の光ビームによって第2のストップ層25を透過して第2のレジスト層24に露光を行う。続いて、ステップS18において、第3の光ビームによって第1のストップ層23を透過して第1のレジスト層22に露光を行う。ここで、これらの第1、第2及び第3光ビームの強度は、必要に応じて調整する。例えば、第2の光ビームの強度を第1の光ビームの強度よりも強く、第3の光ビームの強度を第2の光ビームの強度よりも強くする。
【0025】
その後、図10に示すように、ステップS19において、現像を行う。最後に、図11に示すように、ステップS20において、第3のレジスト層26の方向へ金属層27をスパッタリングすることにより、スタンパ2を金属化させる。
【0026】
以上、本発明の実施の形態について図面を参照して詳述してきたが、具体的な構成は、この実施の形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計変更などがあっても、本発明に含まれる。例えば、本発明は、必要に応じてレジスト層とストップ層の数を増やすことも可能である。もちろん、強度の異なる複数種類の光ビームによって、多種の異なる深さの溝を形成することも可能である。
【0027】
【発明の効果】
以上のように、本発明によれば、従来例のようにレジスト層に強度の異なる複数種類のレーザビームを直接照射してエッチングするのではなく、多数のレジスト層及びレジスト層間のストップ層を積層し、強度の異なる複数種類の光ビームを照射して各レジスト層を露光し、現像処理を施すことにより、積層されたレジスト層に形成される溝の深さを制御しているので、高精度で、制御し易く、均一性が良く、溝の幾何形状が標準的であるスタンパの形成方法が得られる。また、レジスト層の数を調整することにより、任意に様々な深さを有する溝を形成することができる。
【0028】
さらに、各レジスト層を露光する際に、エネルギーが拡散しにくいレーザビームを用いているので、溝の深さの均一性及び幾何形状の精度をさらに向上させることができ、スタンパの歩留まりを向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態に係るスタンパの形成方法を示すフローチャート
【図2】上記フローチャートにおけるステップS1を示す工程図
【図3】上記フローチャートにおけるステップS2を示す工程図
【図4】上記フローチャートにおけるステップS3を示す工程図
【図5】上記フローチャートにおけるステップS4からS6を示す工程図
【図6】上記フローチャートにおけるステップS7を示す工程図
【図7】本発明の第2の実施の形態に係るスタンパの形成方法を示すフローチャート
【図8】上記フローチャートにおけるステップS11を示す工程図
【図9】上記フローチャートにおけるステップS12からS15を示す工程図
【図10】上記フローチャートにおけるステップS16からS19を示す工程図
【図11】上記フローチャートにおけるステップS20を示す工程図
【図12】DVD−RWのスタンパを示す図
【図13】DVD−RW Ver1.1のスタンパを示す図
【図14】従来のスタンパの形成方法によって形成されたスタンパを示す図
【符号の説明】
1 スタンパ
11 基板
12 第1のレジスト層
13 ストップ層
14 第2のレジスト層
15 金属層
2 スタンパ
21 基板
22 第1のレジスト層
23 第1のストップ層
24 第2のレジスト層
25 第2のストップ層
26 第3のレジスト層
27 金属層
【発明の属する技術分野】
本発明は、スタンパの形成方法に関し、特にデジタルビデオディスク(DVD)の製造に使用されるスタンパの形成方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
光ディスクの製造過程では、まず、最初のデジタルデータ又は信号をレーザ印刷信号に転換し、次に、無塵の環境で、印刷やメッキなどの処理を経て、光ディスクを量産するためのマスター(master)を作製する。続いて、マスターを利用して後続のステップに使用されるスタンパ(stamper)を作製する。
【0003】
図12に示すように、従来のDVD−RWなどの製造に使用されるスタンパは、読み取り可能な凹凸処理された領域(Readable Embossed領域(領域A))と読み取り不可能な凹凸処理された領域(Unreadable Embossed領域(領域B))に、複数の同じ深さを有する溝H1が形成されている。溝H1の深さは、例えば約25nm〜30nm程度である。現在、光ディスクと光ディスク装置の互換性を向上させると共に、一般のDVD−ROMでもDVD−RWフォーマットのディスクを読み取り可能にするために、DVD−RW Ver1.1では、読み取り可能な凹凸処理された領域(領域A)における信号の一部を変更し、例えば、図13に示すように、読み取り可能な凹凸処理された領域(領域A)の溝の深さH2を100nmに増大している。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
このように深さの異なる複数種類の溝を形成するための方法として、強度の異なる2種類のレーザビームを用いて、スタンパにおける正レジスト3に溝を所定の深さまで直接エッチングしている。しかしながら、レジスト3におけるエネルギーの拡散が制御しにくいため、同じ強度のレーザビームを用いた場合であっても、溝の深さが誤差約2〜3nmの範囲でばらつき、溝の深さを一定の精度に制御することが困難である。また、図14に示すように、溝の幾何形状が不均一になり、光学信号の読み取りが困難になるという問題も生じる。
【0005】
本発明は、上記の問題を鑑みてなされたものであり、高精度で、制御し易く、均一性が良く、溝の幾何形状が標準的であるスタンパの形成方法を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明の第1のスタンパの形成方法は、基板の上に第1のレジスト層を塗布するステップと、前記第1のレジスト層の上にストップ層を塗布するステップと、前記ストップ層の上に第2のレジスト層を塗布するステップと、第1の光ビームによって前記第2のレジスト層に露光を行うステップと、第2の光ビームによって、前記ストップ層を透過し前記第1のレジスト層に露光を行うステップと、現像を行うステップと、前記第2のレジスト層の方向へ金属層をスパッタリングするステップとを含むことを特徴とする。
【0007】
上記第1の方法において、前記第2の光ビームの強度は、前記第1の光ビームの強度よりも強いことが好ましい。
【0008】
また、本発明の第2のスタンパの形成方法は、基板の上に第1のレジスト層を塗布するステップと、前記第1のレジスト層の上に第1のストップ層を塗布するステップと、前記第1のストップ層の上に第2のレジスト層を塗布するステップと、前記第2のレジスト層の上に第2のストップ層を塗布するステップと、前記第2のストップ層の上に第3のレジスト層を塗布するステップと、第1の光ビームによって前記第3のレジスト層に露光を行うステップと、第2の光ビームによって、前記第2のストップ層を透過して前記第2のレジスト層に露光を行うステップと、第3の光ビームによって、前記第1のストップ層を透過して前記第1のレジスト層に露光を行うステップと、現像を行うステップと、前記第3のレジスト層の方向へ金属層をスパッタリングするステップとを含むことを特徴とする。
【0009】
上記第2の方法において、前記第2の光ビームの強度は前記第1の光ビームの強度よりも強く、前記第3の光ビームの強度は前記第2の光ビームの強度よりも強いことが好ましい。
【0010】
上記各方法において、前記基板はガラス基板であり、前記ストップ層は無機物質であることが好ましい。
【0011】
また、前記ストップ層は金属又はセラミックスであり、その厚さは、1nm以上で、かつ、100nm以下であることが好ましい。
【0012】
また、前記スタンパは、光ディスクの製造に使用されるスタンパであることが好ましい。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しながら、本発明の第1の実施の形態について、図1から図6を参照しつつ説明する。図1は第1の実施の形態に係るスタンパの形成方法を示すフローチャートであり、図2〜図6はその工程図である。
【0014】
図1に示すように、第1の実施の形態に係るスタンパの形成方法は、基板の上に第1のレジスト層を塗布するステップ(S1)と、第1のレジスト層の上にストップ層を塗布するステップ(S2)と、ストップ層の上に第2のレジスト層を塗布するステップ(S3)と、第1の光ビームによって、第2のレジスト層に露光を行うステップ(S4)と、第2の光ビームによって、ストップ層を透過して第1のレジスト層に露光を行うステップ(S5)と、現像を行うステップ(S6)と、第2のレジスト層の方向へ金属層をスパッタリングするステップ(S7)とを含む。
【0015】
第1の実施の形態において、スタンパ1は、光ディスクの製造に使用されるスタンパであり、特にデジタルビデオディスクを製造するためのスタンパである。図2に示すように、ステップS1において、基板11の上に第1のレジスト層12を塗布する。基板11は、例えばガラス基板である。第1のレジスト層12を塗布する前に、洗浄剤で基板11の表面を洗浄し、続いて下塗り剤(primer)を塗布することにより、基板11と第1のレジスト層12との間の密着度を強める。
【0016】
続いて、図3に示すように、ステップS2において、第1のレジスト層12の上にストップ層13を塗布する。ストップ層13の厚さは、例えば、1nm以上で、かつ、100nm以下の範囲である。なお、この範囲には、塗布誤差及び測定誤差が当然に含まれる。ストップ層13は、例えば、金属(例えば、ニッケル・バナジウム合金など)やセラミックスなどの無機物質である。
【0017】
そして、図4に示すように、ステップS3において、ストップ層13の上に第2のレジスト層14を塗布する。続いて、ステップS4において、第1の光ビームによって第2のレジスト層14に露光を行う。ここで、オリジナルテープにおけるデジタルデータは、信号インターフェイスシステム(Mastering Interface System、MIS)を介して高周波の信号に転換され、読み取り装置に転送される。その後、レーザ装置などの光ビームの照射装置(図示せず)を駆動して、第2のレジスト層14が塗布された基板11に光ビームを照射することにより、ディジタルデータが第2のレジスト層14に転写される。光ビームとして、例えば紫外レーザビームを用いている。なお、製品の歩留まりを確保するため、露光を行う前に、平坦度を検査することが好ましい。
【0018】
続いて、ステップS5において、第2の光ビームを用い、ストップ層13を透過させて、第1のレジスト層12に露光を行う。第2の光ビームの強度は、ステップS4での第1の光ビームの強度より強く、しかも第2のレジスト層14を露光させる外に、さらにストップ層13を透過し、第1のレジスト層12に露光を行う。ステップS5でも同様に、オリジナルテープにおけるデジタルデータが転写される。これら強度の異なる第1及び第2の光ビームは同じ光源から照射されるものであってもよいし、異なる光源から照射されるものであってもよい。
【0019】
ステップS6において、図5に示すように、露光された第1のレジスト層12、第2のレジスト層14及びストップ層13を現像液で除去する。現像液として、アルカリの化学溶液(例えば、水酸化ナトリウムや水酸化カリウム)を用いる。
【0020】
ステップS7において、図6に示すように、第2のレジスト層14の方向へ金属層15をスパッタリングする。スパッタリングは、露光及び現像処理後の凹凸部分を金属化させるために用いられ、導電可能な電極と同様に、後続の電鋳成形ステップ(周知につき説明を省略する)で使用される。金属層15として、例えばニッケル・バナジウム合金(Ni−V合金)を用いる。
【0021】
次に、本発明の第2の実施の形態について、図7から図11を参照しつつ説明する。図7は第2の実施の形態に係るスタンパの形成方法を示すフローチャートであり、図8〜図11はその工程図である。また、上記第1の実施の形態と共通する部分についてはその説明を省略する。
【0022】
第2の実施の形態に係るスタンパの形成方法は、図7に示すように、基板の上に第1のレジスト層を塗布するステップ(S11)と、第1のレジスト層の上に第1のストップ層を塗布するステップ(S12)と、第1のストップ層の上に第2のレジスト層を塗布するステップ(S13)と、第2のレジスト層の上に第2のストップ層を塗布するステップ(S14)と、第2のストップ層の上に第3のレジスト層を塗布するステップ(S15)と、第1の光ビームによって第3のレジスト層に露光を行うステップ(S16)と、第2の光ビームによって、第2のストップ層を透過して第2のレジスト層に露光を行うステップ(S17)と、第3の光ビームによって、第1のストップ層を透過して第1のレジスト層に露光を行うステップ(S18)と、現像を行うステップ(S19)と、第3のレジスト層の方向へ金属層をスパッタリングするステップ(S20)とを含む。
【0023】
第2の実施の形態において、スタンパ2も、デジタルビデオディスクの製造に用いられるスタンパである。図8に示すように、ステップS11において、基板21の上に第1のレジスト層22を塗布する。続いて、図9に示すように、ステップS12、ステップS13、ステップS14及びステップS15において、第1のレジスト層22の上に、順次に第1のストップ層23、第2のレジスト層24、第2のストップ層25及び第3のレジスト層26を塗布する。
【0024】
そして、ステップS16において、第1の光ビームによって第3のレジスト層26に露光を行う。その後、ステップS17において、第2の光ビームによって第2のストップ層25を透過して第2のレジスト層24に露光を行う。続いて、ステップS18において、第3の光ビームによって第1のストップ層23を透過して第1のレジスト層22に露光を行う。ここで、これらの第1、第2及び第3光ビームの強度は、必要に応じて調整する。例えば、第2の光ビームの強度を第1の光ビームの強度よりも強く、第3の光ビームの強度を第2の光ビームの強度よりも強くする。
【0025】
その後、図10に示すように、ステップS19において、現像を行う。最後に、図11に示すように、ステップS20において、第3のレジスト層26の方向へ金属層27をスパッタリングすることにより、スタンパ2を金属化させる。
【0026】
以上、本発明の実施の形態について図面を参照して詳述してきたが、具体的な構成は、この実施の形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計変更などがあっても、本発明に含まれる。例えば、本発明は、必要に応じてレジスト層とストップ層の数を増やすことも可能である。もちろん、強度の異なる複数種類の光ビームによって、多種の異なる深さの溝を形成することも可能である。
【0027】
【発明の効果】
以上のように、本発明によれば、従来例のようにレジスト層に強度の異なる複数種類のレーザビームを直接照射してエッチングするのではなく、多数のレジスト層及びレジスト層間のストップ層を積層し、強度の異なる複数種類の光ビームを照射して各レジスト層を露光し、現像処理を施すことにより、積層されたレジスト層に形成される溝の深さを制御しているので、高精度で、制御し易く、均一性が良く、溝の幾何形状が標準的であるスタンパの形成方法が得られる。また、レジスト層の数を調整することにより、任意に様々な深さを有する溝を形成することができる。
【0028】
さらに、各レジスト層を露光する際に、エネルギーが拡散しにくいレーザビームを用いているので、溝の深さの均一性及び幾何形状の精度をさらに向上させることができ、スタンパの歩留まりを向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態に係るスタンパの形成方法を示すフローチャート
【図2】上記フローチャートにおけるステップS1を示す工程図
【図3】上記フローチャートにおけるステップS2を示す工程図
【図4】上記フローチャートにおけるステップS3を示す工程図
【図5】上記フローチャートにおけるステップS4からS6を示す工程図
【図6】上記フローチャートにおけるステップS7を示す工程図
【図7】本発明の第2の実施の形態に係るスタンパの形成方法を示すフローチャート
【図8】上記フローチャートにおけるステップS11を示す工程図
【図9】上記フローチャートにおけるステップS12からS15を示す工程図
【図10】上記フローチャートにおけるステップS16からS19を示す工程図
【図11】上記フローチャートにおけるステップS20を示す工程図
【図12】DVD−RWのスタンパを示す図
【図13】DVD−RW Ver1.1のスタンパを示す図
【図14】従来のスタンパの形成方法によって形成されたスタンパを示す図
【符号の説明】
1 スタンパ
11 基板
12 第1のレジスト層
13 ストップ層
14 第2のレジスト層
15 金属層
2 スタンパ
21 基板
22 第1のレジスト層
23 第1のストップ層
24 第2のレジスト層
25 第2のストップ層
26 第3のレジスト層
27 金属層
Claims (7)
- 基板の上に第1のレジスト層を塗布するステップと、前記第1のレジスト層の上にストップ層を塗布するステップと、前記ストップ層の上に第2のレジスト層を塗布するステップと、第1の光ビームによって前記第2のレジスト層に露光を行うステップと、第2の光ビームによって、前記ストップ層を透過して前記第1のレジスト層に露光を行うステップと、現像を行うステップと、前記第2のレジスト層の方向へ金属層をスパッタリングするステップとを含むことを特徴とするスタンパの形成方法。
- 前記第2の光ビームの強度は、前記第1の光ビームの強度よりも強いことを特徴とする請求項1に記載のスタンパの製造方法。
- 基板の上に第1のレジスト層を塗布するステップと、前記第1のレジスト層の上に第1のストップ層を塗布するステップと、前記第1のストップ層の上に第2のレジスト層を塗布するステップと、前記第2のレジスト層の上に第2のストップ層を塗布するステップと、前記第2のストップ層の上に第3のレジスト層を塗布するステップと、第1の光ビームによって前記第3のレジスト層に露光を行うステップと、第2の光ビームによって、前記第2のストップ層を透過して前記第2のレジスト層に露光を行うステップと、第3の光ビームによって、前記第1のストップ層を透過して前記第1のレジスト層に露光を行うステップと、現像を行うステップと、前記第3のレジスト層の方向へ金属層をスパッタリングするステップとを含むことを特徴とするスタンパの形成方法。
- 前記第2の光ビームの強度は前記第1の光ビームの強度よりも強く、前記第3の光ビームの強度は前記第2の光ビームの強度よりも強いことを特徴とする請求項3に記載のスタンパの製造方法。
- 前記基板はガラス基板であり、前記ストップ層は無機物質であることを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載のスタンパの形成方法。
- 前記ストップ層は金属又はセラミックスであり、その厚さは、1nm以上で、かつ、100nm以下であることを特徴とする請求項5に記載のスタンパの形成方法。
- 前記スタンパは、光ディスクの製造に使用されるスタンパであることを特徴とする請求項1から6のいずれかに記載のスタンパの形成方法。
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