JP2004090107A - ワーク保持装置 - Google Patents

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Takeshi Kakimoto
柿本 武士
Hiroyuki Kitahara
北原 広之
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Abstract

【課題】皺や弛みを発生させずにワークをワークホルダに保持し、更にそのワークホルダを多段状に積み重ねたり、ワークを保持するワークホルダをスタックマガジンに多段状にスタックできるようにすることである。
【解決手段】平面視枠状を呈し複数箇所に位置決めピン11を突設したワークホルダ1と、該ワークホルダ1を載置し且つワークホルダ1の中央空間31に配置されて同ワークホルダ1上面と面一状のワーク均し面23を有する吸着テーブル3と、前記位置決めピン11の係合孔12を開孔しワークホルダ1とでワークWを解除可能に吸着するマグネット枠体2aとを備え、マグネット枠体2aを、ワークホルダ1に上下回動可能に設ける。
【選択図】 図3

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、裏打フィルムで補強したセラミックスグリーンシート、フレキシブル配線基板、可撓性フィルム、金属箔等の薄板状物等のワークを保持し穿孔部に搬送してそのワークに所要の穿孔加工を施す前にワークを保持させるワーク保持装置に関するものである。
【0002】
【従来技術】
裏打フィルムで補強したセラミックスグリーンシート、フレキシブル配線基板、可撓性フィルム、金属箔等の薄板状物等の可撓性を有するワークは、ワークホルダと呼称される平面視枠状の治具に保持される。
そして、そのワークホルダを移動機構先端のチャックで挟持して機台の上面に沿うようにX・Y軸線方向に制御動して穿孔部でワークの所要の穿孔加工が行われる。
そのワークホルダにワークを保持する方式としては、位置決めピンによる係合方式(A号)、テープによる貼着方式(B号)が挙げられる。
そして、係合方式(A号)は、ワークホルダの対角コーナー等に位置決めピンを突設形成し、該位置決めピンにワークの対角コーナーに開孔した位置決め孔を係合させることによってワークを保持する。
また、貼着方式(B号)は、ワークホルダの構成枠部4辺または対向する構成枠部2辺に10mm程度幅寸法のテープでワークを貼着する。
【0003】
前記する貼着方式(B号)の場合、皺や弛み等を無くしてワークを保持し難いばかりでなく、枠張機を使用して10mm程度幅のテープで小さな面積をもって貼着されるものであるから、ワークを保持するために比較的大きな強度でテープを貼着する必要があり、穿孔加工後のテープの剥離作業が非常に面倒であり、剥離する際に時としてワークホルダを擦る作業を強いりワークホルダを痛めたり、ワークの貼着面を傷つける問題があり、また特殊な剥離機も必要とする。
その点で、前記する係合方式(A号)は、ワークの貼着面やワークホルダを痛めることはなく、無論特殊な剥離機も必要としない。
【0004】
しかしながら、係合方式(A号)は、ワークに皺や弛み等が生じないように張力を与えて位置決め孔を位置決めピンに係合させるが、位置決め孔間のワーク部分は固定されていないため、位置決め孔間のワーク部分に経時的な弛みが発生し易く、穿孔対象であるワークの大形化に比例してその弛み量も大きく穿孔精度を悪くする問題がある。
また、位置決めピンを位置決め孔に係合させる際にワークに人為的な張力を与えるため、アクシデントでワークに無理な塑性変形力が生じて、ワークが損傷してしまう虞れもある。
そして、ワークホルダをチャックで挟持し移動機構をX・Y軸線方向に制御動してワークの所要個所に穿孔加工を行う場合、ワークホルダの制御動が高速で行われることから、ワークには各ストップ時に大きな慣性力が生じて、基準孔を兼務する位置決め孔がその慣性力を受け拡径して、ガタつき、穿孔精度を悪くする問題もあった。
ちなみに、ワークを保持するワークホルダは直接積み重ねておき、それを人為的や機械的に穿孔部に搬入したり、穿孔部の作業テーブル面を天面とするスタックマガジンにワークを保持するワークホルダを1枚宛抜き差し可能に支承し、該スタックマガジンを昇降動可能に構成して、そのスタックマガジンを所定高さ上昇させる度に、ワークホルダを前記チャックで1枚宛抜き取って、穿孔部で所要の穿孔加工を行うようになっており、ワークホルダを多段状への積み重ね状態が安定するものでなくてはならないし、全厚が厚いものにあってはスタックマガジンに多段状に確保されている収容空間にワークホルダを収容できない。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記従来事情に鑑みてなされたもので、その目的とする処は、皺や弛み等を無くしてワークをワークホルダに保持し、しかも経時的にもワークが弛み難くすることである。
他の目的とする処は、ワークを保持するワークホルダを多段状に積み重ねたり、ワークを保持するワークホルダをスタックマガジンに多段状にスタックできるようにすることである。
更に他の目的とする処は、ワークを損傷させずにワークをワークホルダに保持することができるようにすることである。
【0006】
【課題を解決するための手段】
上記目的を解決するために講じた技術的手段は、平面視枠状を呈し複数箇所に位置決めピンを突設したワークホルダと、前記位置決めピンの係合孔を開孔しワークホルダ上のワークを解除可能に挟持する枠状クランプ体とを備えていることを特徴とするワーク保持装置である(請求項1)。
以上の手段にあっては、皺や弛みを無くすように位置決めピンにワークに開孔されている位置決め孔を係合した後、ワークホルダ上のワークの全縁を枠クランプ体で挟持して、経時的(穿孔時を含む)なワークの弛みを防止する。
【0007】
そして、前記枠状クランプ体がワークホルダに上下回動可能に設けられ、同ワークホルダとでワークを吸着するマグネット枠体であると更に好適なものである(請求項2)。
以上の手段によれば、ワークが弛んだり、移動しないようにワークホルダとでワークの全縁を吸着(挟持)するマグネット枠体を該ワークホルダに備え付けることができる。
【0008】
また、平面視枠状を呈するワークホルダの平行する一対の構成枠部に、ワークの平行する一対の縁部分を解除可能に挟持する平面視帯板状のクランプ体を設け、一方のクランプ体または双方のクランプ体を平行状に移動可能とし、前記ワークホルダ内に、該移動可能なクランプ体を他方のクランプ体から離間する方向に所定の付勢力で付勢する付勢手段を設けている場合も有効なものである(請求項3)。
上記付勢手段の一例としては、弾撥体(バネ)が挙げられる。
上記所定の付勢力とは、ワークに発生する皺や波立ち等を伸ばす程度とし、保持対象になっているワークの材質、面積に応じてその力を設定する。
以上の手段にあっては、クランプ体でワークの平行する一対の縁部分を各々別個に挟持した後、付勢手段を作動させることによって、ワークに皺や波立ち等がない状態まで張力を与えることができる。
また、付勢手段が弾撥体である場合には、その弾撥体が圧縮されるように一方または双方のクランプ体を人為的に接近方向に移動させた状態でそのクランプ体各々で平行する縁部分を挟持してから手を離すことによって自動的にワークを皺や波立ち等がない状態まで張力を与えることができる。
【0009】
そして、平面視枠状を呈するワークホルダの平行する一対の構成枠部に、ワークの平行する一対の縁部分を解除可能に挟持する平面視帯板状のクランプ体を設け、一方のクランプ体または双方のクランプ体を平行状に移動可能とし、前記ワークホルダ内に、該移動可能なクランプ体を他方のクランプ体から離間する方向に所定の弾撥力で付勢する弾撥手段を設け、前記ワークホルダを支持部に抜き差し可能に支持し、該支持部はその抜き差し部として、クランプ体を弾撥手段の弾撥力に抗して他方のクランプ体に接近する方向に押動する押動子を設け、該押動子は、ワークホルダを支持部から外した際、ワークホルダから自動的に抜き取られる構成を採用することもできる(請求項4)。
この所定の弾撥力とは、ワークに発生する皺や波立ち等を伸ばす程度とし、保持対象になっているワークの材質、面積に応じてその力を設定する。
以上の手段にあっては、ワークホルダを支持部で支持する状態にあってはそのクランプ体は弾撥手段の弾撥力に抗して接近方向に押動子で押動された状態にあり、その状態の双方のクランプ体でワークの平行する一対の縁部分を個別に挟持させる。そして、押動子が抜き取られるようにワークホルダを持ち上げることによって、クランプ体が弾撥手段の弾撥力を受けて相互に離間する方向に自動的に押動されて、ワークに皺や波立て等がない状態まで張力を与えることができる。
【0010】
また、平面視枠状を呈するワークホルダと、該ワークホルダを載置し且つワークホルダの中央空間に配置されて同ワークホルダ上面と面一状のワーク均し面を有する吸着テーブルと、前記ワークホルダとでワークの平行する一対または二対の縁部分を解除可能に挟持する平面視帯板状のクランプ体もしくはワークホルダとでワークを解除可能に吸着するマグネット枠体とを備えている場合も有効である(請求項5)。
以上の手段にあっては、ワークの皺や波打ち等を手で擦って無くしながら吸着テーブルでワークを吸着し、その状態でワークの平行する一対または二対の縁部分をワークホルダと平面視帯板状のクランプ体とで挟持したり、ワークの全縁をワークホルダに吸着されるマグネット枠体とで挟持する。挟持後、吸着テーブルでの吸着を解除する。これによって、経時的(穿孔時を含む)なワークの弛みを防止する。
【0011】
また、平面視枠状を呈し複数箇所に位置決めピンを突設したワークホルダと、該ワークホルダを載置し且つワークホルダの中央空間に配置されて同ワークホルダ上面と面一状のワーク均し面を有する吸着テーブルと、前記位置決めピンの係合孔を開孔しワークホルダとでワークを解除可能に吸着するマグネット枠体とを備えている場合も有効なものである(請求項6)。
以上の手段にあっては、ワークの皺や波打ち等を手で擦って無くしながら吸着テーブルでワークを吸着し、ワークの全縁をワークホルダに吸着されるマグネット枠体とで挟持する。挟持後、吸着テーブルでの吸着を解除する。これによって、経時的(穿孔時を含む)なワークの弛みを防止する。
【0012】
更に、マグネット枠体が、ワークホルダに上下回動可能に設けられている場合も有効なものである(請求項7)。
以上の手段にあっては、ワークホルダとでワークを吸着するマグネット枠体をワークホルダに備え付けることができる。
【0013】
【発明の実施の形態】
次に、本発明ワーク保持装置の実施の形態を説明すると、図1〜図5は第1の実施の形態を、図6〜図9は第2の実施の形態を、図10及び図11は第3の実施の形態を、図12及び図13は第4の実施の形態を、図14〜図18は第5の実施の形態を、図19及び図20は第6の実施の形態を各々示している。
先ず、第1の実施の形態について説明すると、図1〜図5において符号1はワークホルダ、2は枠状クランプ体、3は吸着テーブルである。
ワークホルダ1は、ステンレス製であって、従来から周知なように平面視矩形枠状を呈してなり、4コーナーに位置決めピン11…を突設状に有している。
【0014】
枠状クランプ体2は、図2、図5に示すように、ワークホルダ1と同等の大きさを有する枠状体であり、位置決めピン11…と対応する位置にその位置決めピン11…が係合する係合孔12…を開孔してなり、ワークホルダ1の上面に重なり合うようにそのワークホルダ1上面に蝶番4を介して上下回動可能に軸着されている。
また、枠状クランプ体2には、その下面にマグネットシート22が貼着されており、それによってこの枠状クランプ体2はマグネット枠体(後述では符号2aを付して説明する)を構成している。
【0015】
このマグネットシート22は、枠状クランプ体2を構成する各構成枠部下面に係合孔12…部分を除いて連続して環状に貼着されている。
【0016】
一方、ワークホルダ1は、前記する枠状クランプ体2を重なり合うように下方に回動させた際、マグネットシート22に吸着させるべく各構成枠部において位置決めピン11を除いてその上面に連続してマグネットシート21を環状に貼着して、マグネットタイプのワークホルダ1を構成している。
【0017】
吸着テーブル3は、図2〜図4に示すように、前記ワークホルダ1と対応する部分にそのワークホルダ1を載置する凹段部13を凹設し、その凹段部13にワークホルダ1を載置することによって凹段部13に囲繞される中央部上面がワークホルダ1の中央空間31に配置されてワークホルダ1の上面と面一状のワーク均し面23を形成するようにしてなり、そのワーク均し面23にエアー吸引装置(図示せず)に連絡されたバキューム孔33…を散在状に開孔させてある。
【0018】
斯様に構成されているワーク保持装置は、図2、図3に示すように、前記ワークホルダ1のワーク均し面23にワークWを載置してワークWの皺や波打ちを手で擦って無くしながら、バキューム孔33…からワークWを吸着させ、そのバキュームによる固定状態でワークWに開孔されている位置決め孔5を位置決めピン11に係合させた後、マグネット枠体2aを回動させてマグネット枠体2aとワークホルダ1とのマグネットシート21、22の吸着力でワークWの全縁をしっかりと挟持する。
これによって、ワークWは皺や波打ちの無い状態に保持される。しかる後、エアー吸引装置(図示せず)の作動を停止して、吸着テーブル3から上方に抜き取ることによって、直接多段状に積み重ねたり、スタックマガジンに抜き差し可能に収容される(図4、図5)。
尚、ワークホルダ1とマグネット枠体2aとの合計厚みはせいぜい2〜3mmである。
【0019】
次に、図6〜図9に示す第2の実施の形態を説明すると、この実施の形態は位置決めピン11の無いワークホルダ1と、吸着テーブル3と、マグネット枠体2aとでワークWを固定する実施の形態を示している。ワークホルダ1に位置決めピン11が無く、マグネット枠体2aにその位置決めピン11が係合する係合孔12がない点を除いて前記する実施の形態と構成は同一である。
そして、吸着テーブル3のワーク均し面23でワークWの皺や波打ちを手で擦って無くしながら、バキューム孔33…からワークWを吸着させ、そのバキュームによる固定状態で、マグネット枠体2aを回動させてマグネット枠体2aとワークホルダ1とのマグネットシート21、22の吸着力でワークWの全縁を挟持する(図6、図7)。
挟持後、前記と同様にエアー吸引装置(図示せず)の作動を停止し吸着テーブル3から外す点も前記実施の形態と同様である(図8、図9)。
【0020】
次に、図10及び図11に示す第3の実施の形態を説明すると、この実施の形態は前記する第1の実施の形態における吸着テーブルをバキューム手段の無い単なるテーブル6にした場合の実施の形態である。
この場合には、テーブル6の凸面をワーク均し面16として利用してワークWの皺や波打ち等を手で擦って無くしながらワークWに開孔されている位置決め孔5を位置決めピン11に係合させた後、マグネット枠体2aを回動させてマグネット枠体2aとワークホルダ1とのマグネットシート21、22の吸着力でワークWの全縁を挟持する。
【0021】
更に、図12及び図13に示す第4の実施の形態を説明すると、ワークホルダ1が位置決めピンのない構成である点を除いて同第3の実施の形態と同様であるため具体的な説明は省略するが、ワーク均し面16を利用してワークWの皺や波打ち等を人為的に無くしながらマグネット枠体2aを回動させてマグネット枠体2aとワークホルダ1とのマグネットシート21、22の吸着力でワークWの全縁を挟持する。
【0022】
図14〜図18に示す第5の実施の形態を説明すると、符号1は、ワークホルダであり、内部中空状に形成されている。
そして、そのワークホルダ1において平行する一対の構成枠部41、41には、移動体7を接近・離間方向に移動可能に設け、その移動体7にワークWの平行する一対の縁部分を解除可能に挟持する平面視帯板状のクランプ体8を設け、そのクランプ体8を構成枠部41内において移動体7との間に介在されている弾撥手段9で互いに離間する方向に弾撥させてある。
【0023】
移動体7は、図18に示すように、前記構成枠部41内に相互に接近・離間方向に移動可能に収容されている本体17から連結用の凸部27を構成枠部41上に突出してなり、その凸部27に前記平面視帯板状のクランプ体8が設けられている。
また、クランプ体8は、ワークホルダ1の上面に摺接可能な下クランプ体18に対して上クランプ体28を上下回動可能に軸着した構成になっており、この上クランプ体28、下クランプ体18は相互に当接する面にマグネットシート28a、18aを貼着しており、ワークWの平行する一対の縁部分をこの上下一対のクランプ体28、18の吸着力で挟持するようになっている。
符号41aは、前記凸部27の案内孔で、ワークホルダ1の前記構成枠部41上面に開孔されている。また、符号10aは、前記弾撥手段9の弾撥力に抗して移動体7を相互に接近する方向に押動する押動子で、構成枠部41に抜き差し可能に設けられている。この押動子10aは、図面に示すようにテーブル状の支持部10から突出形成されている。
従って、押動子10aを挿入して移動体7を弾撥手段9の弾撥力に抗して互いに接近する方向に移動させた状態で上クランプ体28を上方に回動させてワークWの平行する両縁を上下一対のクランプ体18、28の吸着力で挟持した状態で、押動子10aが抜き取られるようにワークホルダ1自体を上方に引き抜くことよって移動子7及び上下一対のクランプ体18、28は弾撥手段9の弾撥力を受けて離間方向に押動され、それによってワークWは皺や波打ちを自動的に無くした状態でワークホルダ1に保持される。
尚、内部中空なワークホルダ1と、クランプ体8との合計厚みはワークホルダ厚が2〜3mmであるため、せいぜい4〜5mmである。
【0024】
次に、図19及び図20に示す第6の実施の形態を説明すると、この実施の形態は前記第5の実施の形態で示す一方もしくは双方のクランプ体8を弾撥手段(付勢手段)8の弾撥力に抗して人為的に接近方向に押動可能にした例である。
この実施の形態では、一方のクランプ体8を構成枠部41に上下回動可能に軸着すると共に、そのクランプ体8が当接する構成枠部41との双方にマグネットシート8a、41bを貼着してワークWの平行する一対の縁部の片方を解除可能に吸着し、他方のクランプ体8を前記する第5の実施の形態と同様に弾撥手段(付勢手段)9の弾撥力に抗して人為的に押動することによって前記一方のクランプ体8方向に人為的に接近できるように構成してある。
前記他方のクランプ体8は、前記する第5の実施の形態と同様に上下一対のクランプ体28、18とで構成されており、一方のクランプ体8方向に移動体7を弾撥手段9の弾撥力に抗して押動させた状態で上クランプ体28を下方に回動させてマグネットシート28a、18aの吸着力でワークWの平行する他側の縁部分を挟持させ、人為的な力を排除することによって、前記する一方のクランプ体8に対して離間方向に自動的に移動してワークWに発生している皺や波打ちを無くすことができるようになっている。
【0025】
前記するクランプ体8は、回動支持部に設けたバネの弾撥力で互いに圧接する構成とし、バネの弾撥力でワークを挟持する構成を採用しても任意なものである。無論、ワークを挟持する際にはそのバネ力に抗して上クランプ体を上方に回動させるものである。
尚、本実施の形態では、図面からも明らかなように穿孔対象になっているワークが磁力を透過する場合の例について説明しているが、磁力が透過しないワークを吸着対象とする場合には、無論のマグネットシート同士で吸着させ、その吸着力でワークを挟持するようにすること言うまでもないものである。
【0026】
【発明の効果】
本発明は以上のように構成したから、皺や弛みを無くしてワークをワークホルダに保持し、しかも経時的にもワークが弛み難く、穿孔精度の向上を図ることができる。
しかも、ワークホルダの平行する一対の構成枠部に平面視帯板状のクランプ体を重ねる形態、平面視枠状を呈するワークホルダに枠状クランプ体やマグネット枠体を重ねる形態であって、全高も実施の形態で示すように10mm以下に抑制され、しかも多段状に積み重ねてもバランスを崩すことのない状態でワークを保持する。
従って、ワーク保持状態で多段状に積み重ねても安定するし、スタックマガジンに多段状に抜き差し可能にスタックすることもできる。
その上、ワークホルダに設けられている位置決めピンにワークの位置決め孔を係合させるタイプにあって、特に吸着テーブルを使用する場合には、ワークの皺や波打ち等を手で擦って無くしながら吸着テーブルでワークをいったん吸着し、その状態でワークの位置決め孔を位置決めピンに係合することができるので、ワークの位置決め孔をワークホルダの位置決めピンに張力を与えて係合する際に、ワークに不意に強い引っ張り力がかかってワークが塑性変形したり、損傷したりすることが無くなるし、枠状クランプ体やマグネット枠体がワークの全縁を挟持してワークを移動不能に挟持するため、位置決め孔(係合部)部分に局部的に穿孔加工時の慣性力が集中することもなく、慣性力で穿孔精度が悪くなる虞れもない。
しかも、マグネット枠体がワークホルダに備え付けられている場合には、いちいちワークホルダとは別に管理する必要もないし、在庫スペースを占有しない。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1の実施の形態におけるワーク保持装置の使用状態を示す斜視図。
【図2】ワークを吸着テーブルのワーク均し面に載置した状態を示す縦断正面図。
【図3】吸着テーブルで吸着しながらワーク均し面で皺や波立ち等を均している状態を示す縦断正面図。
【図4】枠状クランプ体(マグネット枠体)とワークホルダとでワークを挟持している状態を示す縦断正面図。
【図5】枠状クランプ体(マグネット枠体)とでワークが挟持されたワークホルダを吸着テーブルから外した状態を示す縦断正面図。
【図6】第2の実施の形態においてワークを吸着テーブルのワーク均し面に載置した状態を示す縦断正面図。
【図7】吸着テーブルで吸着しながらワーク均し面で皺や波立ちを均している状態を示す縦断正面図。
【図8】枠状クランプ体(マグネット枠体)とワークホルダとでワークを挟持している状態を示す縦断正面図。
【図9】枠状クランプ体(マグネット枠体)とでワークが挟持されたワークホルダを吸着テーブルから外した状態を示す縦断正面図。
【図10】第3の実施の形態においてワークをテーブルのワーク均し面に載置した状態を示す縦断正面図。
【図11】テーブルのワーク均し面で皺や波立ち等を均している状態を示す縦断正面図。
【図12】第4の実施の形態においてワークをテーブルのワーク均し面に載置した状態を示す縦断正面図。
【図13】テーブルのワーク均し面で皺や波立ち等を均している状態を示す縦断正面図。
【図14】第5の実施の形態におけるワーク保持装置の使用状態を示す斜視図。
【図15】ワークの平行する縁を一対のクランプ体で挟持する前の状態を示す縦断正面図。
【図16】ワークの平行する縁を一対のクランプ体で挟持した状態を示す縦断正面図。
【図17】押動子を抜き取った状態を示す縦断正面図。
【図18】クランプ体部分の拡大断面図で、(a)は、ワークをクランプする前の状態を示す。(b)は、ワークをクランプした状態を示す。(c)は押動子を抜き取った状態を示す。
【図19】第6の実施の形態におけるワーク保持装置の縦断面図で、(a)は、ワークホルダにワークを載置した状態を示す。(b)は、クランプ体でワークの平行する一対の縁部分をクランプ体で吸着する状態を示す。(c)は、皺や波立ち等を無くすようにクランプ体が弾撥手段の弾撥力を受けて押動される状態を示す。(d)は、ワークに張力を与えている状態を示す。
【図20】クランプ体部分の拡大断面図。(a)は、前記図19(b)を示す。(b)は、図19(c)を示す。(c)は図19(d)を示す。
【符号の説明】
1:ワークホルダ      11:位置決めピン
12:係合孔        2:枠状クランプ体
41:構成枠部       8:クランプ体(平面視帯板状のクランプ体)
9:弾撥手段(付勢手段)  10:支持部
10a:押動子       23、16:ワーク均し面
3:吸着テーブル      W:ワーク
5:位置決め孔       2a:マグネット枠体
31:中央空間
21、22、18a、28a、8a、41b:マグネットシート

Claims (7)

  1. 平面視枠状を呈し複数箇所に位置決めピンを突設したワークホルダと、前記位置決めピンの係合孔を開孔しワークホルダ上のワークを解除可能に挟持する枠状クランプ体とを備えていることを特徴とするワーク保持装置。
  2. 前記枠状クランプ体がワークホルダに上下回動可能に設けられ且つ同ワークホルダとでワークを吸着するマグネット枠体であることを特徴とする請求項1記載のワーク保持装置。
  3. 平面視枠状を呈するワークホルダの平行する一対の構成枠部に、ワークの平行する一対の縁部分を解除可能に挟持する平面視帯板状のクランプ体を設け、一方のクランプ体または双方のクランプ体を平行状に移動可能とし、前記ワークホルダ内に、該移動可能なクランプ体を他方のクランプ体から離間する方向に所定の付勢力で付勢する付勢手段を設けていることを特徴とするワーク保持装置。
  4. 平面視枠状を呈するワークホルダの平行する一対の構成枠部に、ワークの平行する一対の縁部分を解除可能に挟持する平面視帯板状のクランプ体を設け、一方のクランプ体または双方のクランプ体を平行状に移動可能とし、前記ワークホルダ内に、該移動可能なクランプ体を他方のクランプ体から離間する方向に所定の弾撥力で付勢する弾撥手段を設け、前記ワークホルダを支持部に抜き差し可能に支持し、該支持部はその抜き差し部として、クランプ体を弾撥手段の弾撥力に抗して他方のクランプ体に接近する方向に押動する押動子を設け、該押動子は、ワークホルダを支持部から外した際、ワークホルダから自動的に抜き取られることを特徴とするワーク保持装置。
  5. 平面視枠状を呈するワークホルダと、該ワークホルダを載置し且つワークホルダの中央空間に配置されて同ワークホルダ上面と面一状のワーク均し面を有する吸着テーブルと、前記ワークホルダとでワークの平行する一対または二対の縁部分を解除可能に挟持する平面視帯板状のクランプ体もしくはワークホルダとでワークを解除可能に吸着するマグネット枠体とを備えていることを特徴とするワーク保持装置。
  6. 平面視枠状を呈し複数箇所に位置決めピンを突設したワークホルダと、該ワークホルダを載置し且つワークホルダの中央空間に配置されて同ワークホルダ上面と面一状のワーク均し面を有する吸着テーブルと、前記位置決めピンの係合孔を開孔しワークホルダとでワークを解除可能に吸着するマグネット枠体とを備えていることを特徴とするワーク保持装置。
  7. 前記マグネット枠体が、ワークホルダに上下回動可能に設けられていることを特徴とする請求項5または6記載のワーク保持装置。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100603968B1 (ko) 2004-07-26 2006-07-25 이재우 투명시트 정렬용 지그
US20110049087A1 (en) * 2009-08-28 2011-03-03 Jason Douglas Ferguson Frame for holding laminate during processing
JPWO2013039080A1 (ja) * 2011-09-16 2015-03-26 住友重機械工業株式会社 基板製造装置

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100603968B1 (ko) 2004-07-26 2006-07-25 이재우 투명시트 정렬용 지그
US20110049087A1 (en) * 2009-08-28 2011-03-03 Jason Douglas Ferguson Frame for holding laminate during processing
US8366946B2 (en) * 2009-08-28 2013-02-05 United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Frame for holding laminate during processing
JPWO2013039080A1 (ja) * 2011-09-16 2015-03-26 住友重機械工業株式会社 基板製造装置

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