JP2013157417A - シート剥離装置 - Google Patents
シート剥離装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013157417A JP2013157417A JP2012016185A JP2012016185A JP2013157417A JP 2013157417 A JP2013157417 A JP 2013157417A JP 2012016185 A JP2012016185 A JP 2012016185A JP 2012016185 A JP2012016185 A JP 2012016185A JP 2013157417 A JP2013157417 A JP 2013157417A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sheet
- film
- sheet film
- gap
- roller
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
【課題】基板に密着させたシートフィルムを基板から剥離し回収するシート剥離装置において、基板から剥離したシートフィルムをより確実に回収する。
【解決手段】巻き取りローラ220により基板から巻き取ったシートフィルムは、該シートフィルムを把持可能な先端部材831a,831bを有する把持部831,832によって把持しながらフィルムサポート810上へ引き出す。フィルムサポート810は複数のプレート部材811〜817に分割されており、把持部831,832はその隙間を通って進退移動する。フィルムサポート810上へシートフィルムが引き出されると突き出しバー851を下降させ、フィルムサポート810の空隙部GPを介してシートフィルムを下方へ突き出して回収ボックス870に収容する。
【選択図】図3
【解決手段】巻き取りローラ220により基板から巻き取ったシートフィルムは、該シートフィルムを把持可能な先端部材831a,831bを有する把持部831,832によって把持しながらフィルムサポート810上へ引き出す。フィルムサポート810は複数のプレート部材811〜817に分割されており、把持部831,832はその隙間を通って進退移動する。フィルムサポート810上へシートフィルムが引き出されると突き出しバー851を下降させ、フィルムサポート810の空隙部GPを介してシートフィルムを下方へ突き出して回収ボックス870に収容する。
【選択図】図3
Description
この発明は、基板に密着させたシートフィルムを基板から剥離して回収するシート剥離装置に関するものである。
半導体基板などの基板に薄膜を形成する技術の1つとして、予め薄膜(またはその材料による膜)を形成したシートフィルムを基板に密着させた後、シートフィルムのみを剥離することで薄膜を基板に転写する技術が提案されている。このような薄膜形成技術に適用可能な技術として、本願出願人は、基板に貼付されたシートフィルムを効率よく剥離することのできる技術を先に開示した(特許文献1参照)。
特許文献1に記載の技術においては、基板に貼付されたシートフィルムを巻き取りローラに巻き取ることで基板から剥離するとともに、剥離されたシートフィルムを巻き取りローラから引き出しつつ搬送ローラ対で挟み込んで搬送することにより、シートフィルムを基板から離間させ回収ボックスへ導いている。
シートフィルムが例えば絶縁性樹脂製である場合など、基板から剥離する際にシートフィルムが帯電することがある。このことに起因して、搬送ローラによるシートフィルムの搬送では、シートフィルムがローラに巻き付いたり、搬送経路上の複数のローラ間の隙間に入り込んでしまうなどの搬送不良が生じ、シートフィルムを回収することができなくなるケースが生じる場合がある。しかしながら、現状ではシートフィルムとしては薄膜の均質さや基板への転写性が重視されており、剥離後の回収についてまで十分な検討がなされているとは言えない。
この発明は上記課題に鑑みなされたものであり、基板に密着させたシートフィルムを基板から剥離し回収するシート剥離装置において、基板から剥離したシートフィルムをより確実に回収することのできる技術を提供することを目的とする。
この発明にかかるシート剥離装置は、上記目的を達成するため、基板から剥離したシートフィルムを胴部に巻き取る巻き取りローラと、上面が前記シートフィルムを載置可能なシート載置面となるとともに、該シート載置面から下方へ貫通する空隙部が設けられたシート受取手段と、前記巻き取りローラに巻き取られた前記シートフィルムの端部を保持して該端部を前記巻き取りローラから離間する方向に移動させ、前記シートフィルムを前記巻き取りローラから前記シート受取手段の前記シート載置面上に引き出す引き出し手段と、前記シート載置面上に引き出された前記シートフィルムのうち前記空隙部に臨む部位を下方へ突き出して、前記シートフィルムを屈曲状態で前記空隙部を通過させる突き出し手段と、前記シート受取手段の前記空隙部の下方に設けられて、前記空隙部から下方へ突き出された前記シートフィルムを収容するシート収容部とを備えることを特徴としている。
このように構成された発明では、巻き取りローラからシート載置面に引き出したシートフィルムを、シート載置面に設けた空隙部から突き出し手段が突き出すことによりシート収容部へ収容する。このため、ローラによる搬送を必要とせず、ローラへのシートフィルムの巻き付きという問題は原理的に生じない。その一方、このような収容の仕方においても、シートフィルムが平滑に保たれた状態ではシート載置面やその他の部材との接触面積が大きくなるため、帯電したシートフィルムの静電気に起因する貼り付きが生じる。そこで、この発明では、突き出し手段がシートフィルムを突き出すことによってシートフィルムを屈曲させた状態で空隙部を通過させる。そのため、シートフィルムと周辺部材との接触面積が小さくなって静電気力による付着が抑制され、より確実にシートフィルムをシート収容部に回収することができる。また剥離したシートフィルムをローラで搬送する装置に比べて、より簡素な構成でシートフィルムを回収することが可能である。
この発明において、例えば、シート受取手段は、空隙部の側壁面に該空隙部の内側に向かって突出する突出部位を有するように構成されてもよい。このようにすると、空隙部へ突き出されたシートフィルムが部分的に突出部位に引っ掛かることでより複雑な形状に屈曲し、周辺部材への静電気力による付着をより効果的に抑制することが可能となる。
また例えば、引き出し手段は、シートフィルムの端部を把持可能な把持部と、把持部を巻き取りローラに対して進退移動させる移動部とを有するように構成されてもよい。このような構成では、把持部を巻き取りローラに接近移動させてシートフィルムを把持させた後、把持部を巻き取りローラから離間させることにより、シートフィルムの引き出しが可能である。
この場合において、例えば、シート受取手段は、互いに離隔配置されてそれぞれの上面がシート載置面の一部となる複数のプレート部材を有しており、該プレート部材間の隙間が、把持部の進退経路となるとともに空隙部となっているようにしてもよい。つまり、シート載置面が複数のプレート部材に分割されて複数のプレート部材各々の上面の集合体としてシート載置面が構成されてもよい。シートフィルムを把持した把持部がプレート部材の隙間を通って移動することができるので、シートフィルムをシート載置面に沿ってスムーズに引き出すことができる。また、シートフィルムが通過する空隙部としてプレート部材の隙間を利用し、シートフィルムを屈曲させた状態で下方へ突き出すことができる。
また例えば、把持部は、シート載置面に平行かつシートフィルムの引き出し方向に垂直な方向に互いに離隔した複数箇所でシートフィルムを把持するようにしてもよい。こうすることで、巻き取りローラからシートフィルムを引き出す際により確実にシートフィルムを保持し、シートフィルムが破れて引き出しに失敗する確率を低減することができる。
また例えば、突き出し手段は、シートフィルムの空隙部に臨む部位に上方から当接しながら空隙部内に進入することでシートフィルムを下方へ突き出す当接部材を有してもよい。このように当接部材をシートフィルムの上面に当接させた状態で下方へ突き出すことで、シートフィルムを確実にシート収容部へ送り込んで回収することができる。
また例えば、引き出し手段は、シートフィルムの中心が空隙部に臨む位置までシートフィルムを引き出すようにしてもよい。こうすることで、シートフィルムの中心を突き出すことが可能となり、シートフィルム全体が確実に空隙部を通過させるための突き出し動作のストロークを小さくすることができる。また引き出されたシートフィルムは静電気力によってシート載置面に付着する可能性があるが、シートフィルムの中心付近を突き出すことにより、静電気による付着力に打ち勝ってシートフィルムを確実に下方へ突き出すことができる。
これらの発明においては、例えばシート載置面が水平面であってもよい。巻き取りローラから引き出したシートフィルムを水平なシート載置面に引き出すことで、柔軟なシートフィルムの姿勢を安定させることができ、巻き取りローラからの引き出し動作およびシート収容部への収容動作を安定的に行うことができる。
この発明によれば、基板から剥離されたシートフィルムが帯電した場合でも、静電気力によるシートフィルムの周辺部材への付着を防止して、シートフィルムを確実に回収することが可能である。またシートフィルムを回収するための構成を簡素化することが可能である。
図1はこの発明にかかるシート剥離装置の一実施形態を示す図である。より詳しくは、図1(a)はシート剥離装置1の外観上面図、図1(b)はその側面図である。また、図2は図1のシート剥離装置の主要な制御構成を示すブロック図である。なお、図1においては、装置の主要構成を明示するために、装置を構成する各部材を支持するフレームやブラケット等の一部について図示を省略している。
このシート剥離装置1は、シートフィルムを貼付された状態で外部から搬入される基板をワークとして受け入れて、該シートフィルムを基板から剥離・回収するための装置である。このシート剥離装置1は、基板からシートフィルムを剥離するための剥離ユニット10、剥離されたシートフィルムを回収するための回収ユニット80、装置全体の動作を制御する制御ユニット70およびこれらを固定するフレーム90を備えている。
剥離ユニット10は、基板をその上方から吸着保持するための吸着ステージブロック100、こうして吸着保持された基板の下方を移動しながらシートフィルムを巻き取り剥離するための巻き取りブロック200、巻き取りブロック200を略水平方向(図1のX方向)に移動させるためのガイドレールブロック300、および、外部から基板を受け入れて吸着ステージブロック100に受け渡すための仮置きステージブロック400を備えている。
この剥離ユニット10では、表面にシートフィルムが貼り付けられた基板が吸着ステージブロック100によって吸着保持されるとともに、巻き取りブロック200に設けられた巻き取りローラ220がその胴部にシートフィルムを巻き取ることで基板表面からシートフィルムを剥離する。
これらの各機能ブロックとしては、本願出願人が既に開示した前述の特許文献1(特開2009−239072号公報)に記載されたものと同一のものを適用することが可能である。また、それらの機能ブロックにより実行される、基板からシートフィルムを剥離する剥離動作についても、上記文献に記載されたものを利用することが可能である。そこで、本実施形態においても、吸着ステージブロック100、巻き取りブロック200、ガイドレールブロック300および仮置きステージブロック400として特許文献1に開示された同一名称の構成をそれぞれ適用するものとし、それらの構成および動作についての詳しい説明を省略する。
この実施形態では、基板から剥離されて巻き取りローラ220に巻き取られたシートフィルムを回収する回収ユニットの構造が特許文献1のものとは異なっている。この実施形態における回収ユニット80は、互いに離隔配置された複数のプレート部材811〜817より構成されて上面にシートフィルムを略水平状態に載置可能なフィルムサポート810と、該フィルムサポート810上に巻き取りローラ220からシートフィルムを引き出すフィルム引き出し部830と、フィルムサポート810上に引き出されたシートフィルムをプレート部材811〜817の隙間から下方へ突き出すフィルム突き出し部850と、突き出されたシートフィルムを回収する回収ボックス870とを備えている。
巻き取りローラ220の胴部に巻き取られたシートフィルムは、シート剥がし機構510によってその端部が巻き取りローラ220から取り出されて回収ユニット80に受け渡される。シート剥がし機構510の構成および動作は、特許文献1に記載された同一名称のものと同じである。
図3は回収ユニットの主要構成を示す図である。図3の上部は回収ユニット80の主要構成を示す側面図であり、下部はその上面図である。フィルムサポート810は7枚のプレート部材811〜817を有しており、これらが所定の間隔を隔てて互いに離隔配置されている。各プレート部材811〜817の上面は、巻き取りローラ220の底部とほぼ同じ高さの同一平面上にあり、これらのプレート部材811〜817の上面が一体として、シートフィルムを下方から略水平状態に支持するフィルム載置面SSとなっている。各プレート部材の上面およびその間の空隙部を含んだフィルムサポート810全体としての平面サイズは、シートフィルムFの平面サイズと同等またはこれより大きいことが望ましい。各プレート部材は例えば金属板の折り曲げ加工によって、または押し出し成型品の組み合わせにより形成することができる。
フィルムサポート810を挟んで巻き取りローラ220と反対側に、フィルム引き出し部830が設けられている。フィルム引き出し部830では、先端部が開閉自在となって該先端部でシートフィルムを把持可能に構成された1対の把持部831,832が、同一高さで、かつ巻き取りローラ220の回転軸と平行な方向に互いに位置を異ならせて設けられている。1対の把持部831,832はそれぞれブラケット833に固定されており、ブラケット833は制御ユニット70により制御される把持部進退機構834によって、水平方向かつ巻き取りローラ220の回転軸に直交する方向すなわちX方向に進退駆動される。これにより、2つの把持部831,832が一体的に、巻き取りローラ220に対して進退移動可能となっている。
このとき、2つの把持部831,832は、フィルムサポート810を構成するプレート部材間に設けられた隙間を通って進退移動し、これによりフィルムサポート810との干渉が回避されている。また、把持部831,832は、高さ方向にはフィルム載置面SSに沿って進退移動する。
把持部831は、例えば市販のエアチャック機構を備え制御ユニット70により制御される把持部開閉機構835によって開閉駆動される1対の先端部材831a,831bを有しており、先端部材831a,831bが閉状態のときこれらの間にシートフィルムを挟み込むことで、シートフィルムの端部を保持することができる。一方、先端部材831a,831bが開状態となることで該保持を解除することができる。先端部材831a,831bのうち閉状態で互いに当接する部分はシートフィルムをしっかりと把持することができるように、表面の摩擦係数が大きいことが望ましく、さらには弾性を有していることが望ましい。この意味において、先端部材831a,831bの表面をゴム製とすることができる。もう一方の把持部832も同様の構造を有している。
図3に点線で示すように、把持部831,832が最も巻き取りローラ220に近接した状態では、先端部材831a,831bがこれに対応してプレート部材811に設けられた切り欠き部の内部に入り込む。シート剥がし機構510によって取り出されたシートフィルム端部がプレート部材811上にあるとき、先端部材831a,831bが閉じられると、シートフィルム端部を把持部831,832により把持することができる。この状態で把持部831,832が把持部進退機構834によって巻き取りローラ220から離間する方向(+X方向)に移動されると、巻き取りローラ220に巻き付いていたシートフィルムがフィルムサポート810上に引き出される。
フィルムサポート810の上方にはフィルム突き出し部850が設けられている。より詳しくは、プレート部材812〜817の間の空隙部GPの上方には、巻き取りローラ220の回転軸に平行なY方向に延設された突き出しバー851が配設されており、該突き出しバー851は、制御ユニット70により制御される突き出しバー昇降機構852により昇降駆動される。これにより、突き出しバー851は、フィルム載置面SSよりも上方の退避位置(図3において実線で示す位置)と、空隙部GPを通ってフィルム載置面SSよりも下方の突き出し位置(図3において点線で示す位置)との間で昇降可能となっている。
巻き取りローラ220から引き出されたシートフィルムがフィルムサポート810のフィルム載置面SS上にあるとき、突き出しバー851の下降によって、シートフィルムはフィルムサポート810の下方へ突き出される。フィルムサポート810の下方には回収ボックス870が配置されており、突き出されたシートフィルムは回収ボックス870に収容される。
次に、上記のように構成されたシート剥離装置1における、基板からのシートフィルムの剥離およびその回収ボックスへの回収動作(以下、これらを合わせて「剥離・回収動作」と称する)について説明する。
図4はこの実施形態における剥離・回収動作を示すフローチャートである。まず、巻き取りブロック200を作動させて、基板からシートフィルムを剥離させ巻き取りローラ220に巻き取る(ステップS101)。この際の動作は特許文献1に記載のものと同一とすることができるので、本明細書では説明を省略する。次に、シート剥がし機構510を作動させてシートフィルムの端部を取り出し(ステップS102)、さらにこれを把持部831,832で把持することにより(ステップS103)、シートフィルムが巻き取りローラ220から回収ユニット80に受け渡される。
把持部831,832はシートフィルムをフィルムサポート810上に引き出した後、把持を解除し(ステップS104)、突き出しバー851が下降することでシートフィルムをフィルムサポート810の空隙部GPから下方へ突き出して(ステップS105)、回収ボックスに回収する(ステップS106)。上記一連の動作における各時点での装置の状態を、図5ないし図12を用いて具体的に説明する。
図5ないし図12は、それぞれ剥離・回収動作のある時点での装置の状態を模式的に示す図である。このうち図5(a)、図6、図7、図8(a)、図9(a)、図10(a)、図11(a)および図12(a)は装置を側面から見た図であり、図5(b)、図8(b)、図9(b)、図10(b)、図11(b)および図12(b)は装置を上面から見た図である。また、図5、図8、図9、図10、図11および図12においては、各図(a)と各図(b)とは同じ時点での装置の状態を示している。なお、動作説明に直接関係しない構成については適宜省略または簡略化している。
ステップS101での巻き取りローラ220によるシートフィルムの巻き取りが終了した時点では、図5に示すように、シートフィルムFはその端部Fs近傍をシートクランプ223,225にクランプされて巻き取りローラ220に巻き付いた状態となっている。このときシート剥がし機構510の本体511が巻き取りローラ220に近接配置されている一方、把持部831,832はフィルムサポート810を挟んで巻き取りローラ220と反対側の退避位置に位置決めされている。また突き出しバー851はフィルムサポート810のシート載置面SSよりも上方の退避位置に位置決めされている。
続くステップS102では、図6(a)に示すように、シートクランプ223,225によるクランプが解除されるとともに、シート剥がし機構510の本体511からシート剥がし爪512が巻き取りローラ220側に伸びてシートフィルム端部Fsを引っ掛ける。さらにシート剥がし爪512が本体511側に引き戻されることで、図6(b)に示すように、シートフィルム端部Fsがシート剥がし機構510に把持される。
この状態で、図7(a)に示すように、シート剥がし機構510の本体511が斜行機構513によって同図の矢印D1方向に移動されると、図7(b)に示すように、巻き取りローラ220に巻き付いていたシートフィルムFがフィルムサポート810を構成する1つのプレート部材811上に引き下ろされてくる。そして、最終的には、図8に示すように、シートフィルムFの端部Fsがプレート部材811の上面に引き出された状態で、シート剥がし機構510によるシートフィルムの把持が解除される。これとともに、把持部進退機構834の作動により、把持部831,832が巻き取りローラ220側へ近接移動される。
ステップS103では、図9に示すように、把持部831,832の先端がプレート部材811の切り欠き部に到達し、把持部開閉機構835により先端部材831a,831bが閉じられることにより、シートフィルムFの端部Fsが把持部831,832により把持される。ステップS104では、図10に示すように、シートフィルムFを把持した把持部831,832が把持部進退機構834により同図矢印D2方向(+X方向)に移動されることで、シートフィルムFが巻き取りローラ220からフィルムサポート810のフィルム載置面SS上へ引き出されてくる。このとき、2つの把持部831,832により複数個所でシートフィルムFを把持することにより、シートフィルムFと巻き取りローラ220との間の摩擦力や静電気による吸着力に打ち勝って、シートフィルムFを確実に引き出すことが可能である。
図11(b)に示すように、シートフィルムFの全体がフィルムサポート810上に引き出された状態では、シートフィルムFの中心Cfが各プレート部材812〜817により囲まれてこれらの間に形成される空隙部GPに臨んでいる。言い換えれば、このような状態となるように、フィルムサポート810が複数のプレート部材に分割されるとともに、把持部進退機構834が把持部831,832を進退駆動する。この状態で把持部831,832による把持が解除される。
ステップS105では、突き出しバー昇降機構852の作動により突き出しバー851が下降する。このとき、図11(b)に示すように、シートフィルムFの中心Cfが空隙部GPに臨んでいるため、下降する突き出しバー851はシートフィルムFの中心を含む表面領域に当接し、空隙部GPを通過してさらに下降することで、シートフィルムFを空隙部GPからフィルムサポート810の下方へ突き出す。突き出されたシートフィルムFは回収ボックス870に収容される。
フィルムサポート810は複数のプレート部材811〜817に分割されており、それらの隙間がシートフィルムFを通過させる空隙部GPとなっている。このため、空隙部GPの端面形状は平滑なものではなく、局所的にはプレート部材の角部Eが当該空隙部GPの内側に向けて突出した突出部位となっている。突き出しバー851によって下方へ押し出されたシートフィルムFは部分的に突出部位Eに引っ掛かりながら下方へ押し出されるため、図12に示すように、シートフィルムFは不規則な形状に屈曲した状態で空隙部GPを通過することとなる。
薄膜形成用のシートフィルムFとしては樹脂素材のものを好適に使用可能であるが、絶縁性材料である場合、基板から引き剥がされたシートフィルムFが静電気を帯びてしまうことがある。フィルムサポート810に引き出されたシートフィルムFに静電気が残留していると、その吸着力によってフィルムサポート810や突き出しバー851等の周辺部材に貼り付いてしまい、回収ボックス870への送り込みに失敗することがあり得る。
そこで、この実施形態では、シートフィルムFの中心付近を空隙部に臨ませて突き出すこと、および、突き出す際にシートフィルムFを不規則に屈曲変形させることにより、このようなシートフィルムFの周辺部材への貼り付きを防止して、シートフィルムFを回収ボックス870へ確実に送り込むことができるようにしている。
すなわち、シートフィルムFの中心から離れた位置に突き出しバーを当接させた場合、該当接位置から離れた位置においては摩擦力や静電気力によるシートフィルムFとフィルムサポート810との付着を引き離す作用が十分に及ばず、シートフィルムFの一部だけが空隙部GPを通過するものの他の部分がフィルムサポート810上に残ってしまい、結果的にはシートフィルムFがフィルムサポート810から垂れ下がった状態で終わってしまうことがあり得る。シートフィルムFの中心付近に突き出しバー851を当接させることで、このような作用の偏りを回避してシートフィルムFを空隙部GPから下方へ確実に通過させることができる。また、突き出しバーの上下動ストロークを小さくすることができるという効果もある。
また、シートフィルムFを屈曲変形させた状態で突き出すことにより、フィルムサポート810等の部材とシートフィルムFとの間の接触面積が小さくなるため、静電気力による相互の吸着をより効果的に防止することができる。特に、シートフィルムFを平滑な状態に保ったまま突き出しバーにより突き出すと、当接により撓んだシートフィルムFが突き出しバーに巻き付くように絡まってしまうおそれがあるが、本実施形態ではそのような問題が生じない。また、シートフィルムFとフィルムサポート810との接触面積を小さくすることで摩擦抵抗も軽減され、より円滑にシートフィルムFを回収ボックス870へ送り込むことが可能となる。
以上のように、この実施形態では、巻き取りローラ220によって巻き取られたシートフィルムFを巻き取りローラ220からフィルムサポート810上面のフィルム載置面SSに移行させる。この過程では、ローラによる搬送を行わず、シートフィルムFの端部Fsを把持部831,832で把持しつつ該端部Fsを先頭にしてシートフィルムFを引き出すのみであるので、ローラ等へのシートフィルムの巻き付きの問題は生じない。また、ローラによる搬送機構よりも装置を簡素化することができる。
そして、この実施形態では、平坦な状態のままフィルムサポート810に引き出されたシートフィルムFを、フィルムサポート810に設けた空隙部GPを通して下方へ突き出して回収ボックス870に送り込む。このとき、シートフィルムFの中心付近に突き出しバー851を当接させることで、シートフィルムF全体を空隙部GPから下方へ押し出すことができる。また、突き出しバー851を当接させてシートフィルムFを屈曲させることにより、摩擦や静電気に起因する周辺部材へのシートフィルムFの付着を防止して、シートフィルムFを確実に回収することができる。このために、空隙部GPの形状を工夫し、その側壁面に部分的に内側へ突出した突出部位Eを設けることが効果的である。
またこの実施形態では、引き出されたシートフィルムFを一時的に載置するフィルムサポート810を複数のプレート部材811〜817により構成し、これらのプレート部材の隙間を把持部831,832の進退経路とするとともに、シートフィルムFを下方へ突き出すための空隙部として機能させている。このような構成によれば、フィルムサポート810、把持部831,832および突き出しバー851が互いに干渉することなく、簡単な構成で所期の機能を果たすことができる。また、装置全体を小型に構成することができる。
以上説明したように、この実施形態では、巻き取りローラ220、フィルムサポート810、引き出し部830、突き出し部850および回収ボックス870が、それぞれ本発明の「巻き取りローラ」、「シート受取手段」、「引き出し手段」、「突き出し手段」および「シート収容部」として機能している。また、引き出し部830において、把持部831,832が本発明の「把持部」として機能し、把持部進退機構834が本発明の「移動部」として機能している。また、突き出し部850における突き出しバー851が、本発明の「当接部材」として機能している。また、フィルムサポート810の上面のフィルム載置面SSが、本発明の「シート載置面」に相当している。
なお、本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて上述したもの以外に種々の変更を行うことが可能である。例えば、上記実施形態では、本発明の「当接部材」として水平方向に延びる突き出しバー851を設けているが、当接部材としてはこのような形状のものに限定されない。例えば、下方に向かって突出した突き出しピンを単独でまたは複数本並べて、これらのピンの下端をシートフィルムに当接させる「当接部材」として機能させてもよい。その先端形状も任意であるが、シートフィルムFの破損や貫通を防止するために鋭利な形状を避けることが望ましい。
また、上記実施形態のフィルムサポート810は、複数のプレート部材811〜817によって構成されているが、本発明の「シート受取手段」としてはこのような構造に限定されず、またその形状も任意である。例えば把持部との干渉が問題とならなければ、把持部を進退させるための空隙は不要であり、シート受取手段としては例えば平板に「空隙部」としての開口が設けられたものであってもよい。この場合、その開口形状は任意であるが、上記したとおり、単純な丸穴や長穴とするよりも、側壁面に何らかの突出部位が設けられることが好ましい。また「シート受取手段」の上面は必ずしも平面である必要はなく、例えば全体に浅溝やディンプルを設けて摩擦をより軽減させるようにしてもよい。
また、上記実施形態の「突き出し手段」はシートフィルムFの上面に当接してこれを下方へ押し出す突き出しバー851を有するものであるが、このようにシートフィルムに当接するものに限定されず、例えば空気圧によってシートフィルムを空隙部に突き出すものであってもよい。
この発明は、半導体ウエハ、フォトマスク用ガラス基板、液晶表示用ガラス基板、プラズマ表示用ガラス基板、FED(Field Emission Display)用基板、光ディスク用基板、磁気ディスク用基板、光磁気ディスク用基板などを含む基板全般を処理対象とし、これらの基板に貼付されたシート状の基材を剥離するシート剥離装置に適用することができる。
1 シート剥離装置
220 巻き取りローラ
810 フィルムサポート(シート受取手段)
811〜817 プレート部材
830 引き出し部(引き出し手段)
831,832 把持部(引き出し手段)
834 把持部進退機構(移動部、引き出し手段)
850 突き出し部(突き出し手段)
851 突き出しバー(当接部材)
870 回収ボックス(シート収容部)
Cf (シートフィルムFの)中心
F シートフィルム
GP 空隙部
SS フィルム載置面(シート載置面)
220 巻き取りローラ
810 フィルムサポート(シート受取手段)
811〜817 プレート部材
830 引き出し部(引き出し手段)
831,832 把持部(引き出し手段)
834 把持部進退機構(移動部、引き出し手段)
850 突き出し部(突き出し手段)
851 突き出しバー(当接部材)
870 回収ボックス(シート収容部)
Cf (シートフィルムFの)中心
F シートフィルム
GP 空隙部
SS フィルム載置面(シート載置面)
Claims (8)
- 基板から剥離したシートフィルムを胴部に巻き取る巻き取りローラと、
上面が前記シートフィルムを載置可能なシート載置面となるとともに、該シート載置面から下方へ貫通する空隙部が設けられたシート受取手段と、
前記巻き取りローラに巻き取られた前記シートフィルムの端部を保持して該端部を前記巻き取りローラから離間する方向に移動させ、前記シートフィルムを前記巻き取りローラから前記シート受取手段の前記シート載置面上に引き出す引き出し手段と、
前記シート載置面上に引き出された前記シートフィルムのうち前記空隙部に臨む部位を下方へ突き出して、前記シートフィルムを屈曲状態で前記空隙部を通過させる突き出し手段と、
前記シート受取手段の前記空隙部の下方に設けられて、前記空隙部から下方へ突き出された前記シートフィルムを収容するシート収容部と
を備えることを特徴とするシート剥離装置。 - 前記シート受取手段は、前記空隙部の側壁面に該空隙部の内側に向かって突出する突出部位を有する請求項1に記載のシート剥離装置。
- 前記引き出し手段は、前記シートフィルムの端部を把持可能な把持部と、前記把持部を前記巻き取りローラに対して進退移動させる移動部とを有する請求項1または2に記載のシート剥離装置。
- 前記シート受取手段は、互いに離隔配置されてそれぞれの上面が前記シート載置面の一部となる複数のプレート部材を有しており、該プレート部材間の隙間が、前記把持部の進退経路となるとともに前記空隙部となっている請求項3に記載のシート剥離装置。
- 前記把持部は、前記シート載置面に平行かつ前記シートフィルムの引き出し方向に垂直な方向に互いに離隔した複数箇所で前記シートフィルムを把持する請求項3または4に記載のシート剥離装置。
- 前記突き出し手段は、前記シートフィルムの前記空隙部に臨む部位に上方から当接しながら前記空隙部内に進入することで前記シートフィルムを下方へ突き出す当接部材を有する請求項1ないし5のいずれかに記載のシート剥離装置。
- 前記引き出し手段は、前記シートフィルムの中心が前記空隙部に臨む位置まで前記シートフィルムを引き出す請求項1ないし6のいずれかに記載のシート剥離装置。
- 前記シート載置面が水平面である請求項1ないし7のいずれかに記載のシート剥離装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012016185A JP2013157417A (ja) | 2012-01-30 | 2012-01-30 | シート剥離装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012016185A JP2013157417A (ja) | 2012-01-30 | 2012-01-30 | シート剥離装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013157417A true JP2013157417A (ja) | 2013-08-15 |
Family
ID=49052330
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012016185A Pending JP2013157417A (ja) | 2012-01-30 | 2012-01-30 | シート剥離装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2013157417A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106783676A (zh) * | 2016-12-08 | 2017-05-31 | 深圳格兰达智能装备股份有限公司 | 一种uv膜上芯片的刮出装置 |
JP2019102788A (ja) * | 2017-11-29 | 2019-06-24 | 東泰高科装備科技有限公司Dongtai Hi−Tech Equipment Technology Co., Ltd | 独立駆動式フィルム分離機構 |
KR20220021428A (ko) * | 2020-08-13 | 2022-02-22 | (주) 피엔피 | 초박형 유리 초박형 유리 합착시트의 이형필름 수거장치 |
-
2012
- 2012-01-30 JP JP2012016185A patent/JP2013157417A/ja active Pending
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106783676A (zh) * | 2016-12-08 | 2017-05-31 | 深圳格兰达智能装备股份有限公司 | 一种uv膜上芯片的刮出装置 |
CN106783676B (zh) * | 2016-12-08 | 2023-10-27 | 深圳格芯集成电路装备有限公司 | 一种uv膜上芯片的刮出装置 |
JP2019102788A (ja) * | 2017-11-29 | 2019-06-24 | 東泰高科装備科技有限公司Dongtai Hi−Tech Equipment Technology Co., Ltd | 独立駆動式フィルム分離機構 |
US10529888B2 (en) | 2017-11-29 | 2020-01-07 | Dongtai Hi-Tech Equipment Technology Co., Ltd | Independently-driven film separation mechanism |
KR20220021428A (ko) * | 2020-08-13 | 2022-02-22 | (주) 피엔피 | 초박형 유리 초박형 유리 합착시트의 이형필름 수거장치 |
KR102596827B1 (ko) * | 2020-08-13 | 2023-11-01 | (주)피엔피 | 초박형 유리 초박형 유리 합착시트의 이형필름 수거장치 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
WO2011161861A1 (ja) | フィルム貼付装置及び貼付方法 | |
JP2011044262A (ja) | シート剥離装置および表示装置の製造方法 | |
JP2007106531A (ja) | 薄板状フィルムの貼付装置および貼付方法 | |
JP2005298208A (ja) | 枚葉体の貼合せ方法およびこれを用いた装置 | |
KR101625263B1 (ko) | 필름 부착 시스템 및 이를 이용한 필름 부착 방법 | |
TW200842964A (en) | Adhesive tape joining apparatus | |
JP2013157417A (ja) | シート剥離装置 | |
JP6247075B2 (ja) | 保護テープ剥離方法および保護テープ剥離装置 | |
JP2012028591A (ja) | 基板へのシート貼付装置 | |
EP3435145B1 (en) | Device and method for removing film from a display device | |
TWI264781B (en) | Method for sticking adhesive tape for die bonding and method for mounting electronic component | |
KR101497639B1 (ko) | 시트 첩부 장치 및 첩부 방법 | |
TW201927674A (zh) | 膠帶黏貼裝置 | |
JP2009099865A (ja) | 保護テープの除去装置と除去方法 | |
KR20180092265A (ko) | 테이프 회수 방법 및 테이프 회수 장치 | |
KR20180046920A (ko) | 시트 박리 장치 및 박리 방법 | |
KR101494954B1 (ko) | 필름 박리 장치 | |
KR20180045861A (ko) | 시트 박리 장치 및 박리 방법 | |
JP2001287868A (ja) | シート剥離装置及びそれを使用した板部材供給システム | |
KR101562058B1 (ko) | 커버레이 가접장치 | |
JP6476027B2 (ja) | シート剥離装置および剥離方法、並びに、シート転写装置 | |
KR102033795B1 (ko) | 시트 부착 장치 및 시트 부착 방법 | |
JP3324393B2 (ja) | 異方性導電テープの貼着装置 | |
JP6628689B2 (ja) | シート貼付装置および貼付方法 | |
WO2022030535A1 (ja) | シート供給装置およびシート供給方法 |