KR20180046920A - 시트 박리 장치 및 박리 방법 - Google Patents

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Abstract

시트 박리 장치(10)는, 박리용 테이프(PT)를 접착 시트(AS)에 부착하는 부착 수단(20)과, 접착 시트(AS)에 부착된 박리용 테이프(PT)에 장력을 부여하여 피착체(WF)로부터 접착 시트(AS)를 박리하는 인장 수단(30)과, 인장 수단(30)에서의 접착 시트(AS)의 박리에 의해 피착체(WF)가 접착 시트(AS)의 박리 방향으로 이동하는 것을 규제하는 이동 규제 수단(40)과, 피착체(WF)로부터 박리된 접착 시트(AS)를 피착체(WF)방향으로 밀어붙이는 압박 수단(50)을 구비하고, 이동 규제 수단(40)과 압박 수단(50)을 선택적으로 이용하여 1매의 접착 시트(AS)를 박리한다.

Description

시트 박리 장치 및 박리 방법
본 발명은 시트 박리 장치 및 박리 방법에 관한 것이다.
종래, 피착체에 부착된 접착 시트를 박리용 테이프를 통해 박리하는 시트 박리 장치가 알려져 있다(예를 들어, 특허문헌 1, 2 참조).
일본 특허 공개 제2010-219265호 공보 일본 특허 공개 제2010-103220호 공보
그러나, 특허문헌 1에 기재된 바와 같은 종래의 시트 박리 장치에서는, 플레이트 부재로 압박하면서 접착 시트를 접어서 피착체로부터 박리하기 때문에, 접착 시트의 박리의 계기는 형성하기 쉽지만, 피착체에 대한 부하가 커지는 경우가 있다. 한편, 특허문헌 2에 기재된 바와 같은 종래의 시트 박리 장치에서는, 피착체로부터 박리된 접착 시트를 제1 롤러로 해당 피착체 방향으로 밀어붙여 박리하기 때문에, 피착체에 대한 부하는 작게 할 수 있지만, 접착 시트의 박리의 계기를 형성하기 어려워지는 경우가 있다.
본 발명의 목적은, 접착 시트를 확실하게 박리할 수 있는 시트 박리 장치 및 박리 방법을 제공하는 데 있다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 시트 박리 장치는, 피착체에 부착된 접착 시트를 박리하는 시트 박리 장치이며, 박리용 테이프를 상기 접착 시트에 부착하는 부착 수단과, 상기 접착 시트에 부착된 박리용 테이프에 장력을 부여하여 상기 피착체로부터 상기 접착 시트를 박리하는 인장 수단과, 상기 인장 수단에 의한 상기 접착 시트의 박리에 의해 상기 피착체가 상기 접착 시트의 박리 방향으로 이동하는 것을 규제하는 이동 규제 수단과, 상기 피착체로부터 박리된 접착 시트를 상기 피착체 방향으로 밀어붙이는 압박 수단을 구비하고, 상기 이동 규제 수단과 상기 압박 수단을 선택적으로 이용하여 1매의 상기 접착 시트를 박리한다는 구성을 채용하고 있다.
이때, 본 발명의 시트 박리 장치에서는 상기 이동 규제 수단은, 상기 접착 시트의 박리 개시측 단부만의 박리에 이용되는, 것이 바람직하다.
또한, 본 발명의 시트 박리 장치에서는 상기 압박 수단은, 상기 이동 규제 수단에 의한 상기 박리 개시측 단부의 박리 후에 상기 접착 시트의 박리에 이용되는 것이 바람직하다.
한편, 본 발명의 시트 박리 방법은 피착체에 부착된 접착 시트를 박리하는 시트 박리 방법이며, 박리용 테이프를 상기 접착 시트에 부착하는 부착 공정과, 상기 접착 시트에 부착된 박리용 테이프에 장력을 부여하여 상기 피착체로부터 상기 접착 시트를 박리하는 인장 공정을 구비하고, 상기 인장 공정에 있어서, 상기 접착 시트의 박리에 의해 상기 피착체가 상기 접착 시트의 박리 방향으로 이동하는 것을 규제하는 이동 규제 공정과, 상기 피착체로부터 박리된 접착 시트를 상기 피착체 방향으로 밀어붙이는 압박 공정을 선택적으로 행하여 1매의 상기 접착 시트를 박리하는 구성을 채용하고 있다.
이상과 같은 본 발명에 따르면 이동 규제 수단(이동 규제 공정)과 압박 수단(압박 공정)을 선택적으로 이용해서(선택적으로 행해서) 1매의 상기 접착 시트를 박리하기 때문에, 접착 시트를 확실하게 박리할 수 있다.
이때, 이동 규제 수단을 접착 시트의 박리 개시측 단부만의 박리에 이용하면, 접착 시트의 박리의 계기를 형성하기 쉬워진다.
또한, 압박 수단을 이동 규제 수단에 의한 박리 개시측 단부의 박리 후에 접착 시트의 박리에 이용하면, 접착 시트를 박리할 때에 피착체에 부여하는 부하를 저감할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시 형태에 관한 시트 박리 장치의 측면도.
도 2a는 시트 박리 장치의 동작 설명도.
도 2b는 시트 박리 장치의 동작 설명도.
도 2c는 시트 박리 장치의 동작 설명도.
도 2d는 시트 박리 장치의 동작 설명도.
도 2e는 시트 박리 장치의 동작 설명도.
도 2f는 시트 박리 장치의 동작 설명도.
이하, 본 발명의 일 실시 형태를 도면에 기초하여 설명한다.
또한, 본 실시 형태에서의 X축, Y축, Z축은, 각각이 직교하는 관계에 있고, X축 및 Y축은, 소정 평면 내의 축으로 하고, Z축은, 상기 소정 평면에 직교하는 축으로 한다. 또한, 본 실시 형태에서는, Y축과 평행인 도 1 에서 전방 방향으로부터 본 경우를 기준으로 하여, 방향을 나타낸 경우, 「상」이 Z축의 화살표 방향이며 「하」가 그의 반대 방향, 「좌」가 X축의 화살표 방향이고 「우」가 그의 반대 방향, 「전」」이 Y축과 평행인 도 1 에서 전방 방향이며 「후」가 그의 반대 방향으로 한다.
도 1에 있어서, 시트 박리 장치(10)는, 피착체로서의 반도체 웨이퍼(이하, 단순히 「웨이퍼」라고 하는 경우가 있음)(WF)에 부착된 접착 시트(AS)를 박리하는 장치이며, 박리용 테이프(PT)를 접착 시트(AS)에 부착하는 부착 수단(20)과, 접착 시트(AS)에 부착된 박리용 테이프(PT)에 장력을 부여하여 웨이퍼(WF)로부터 접착 시트(AS)를 박리하는 인장 수단(30)과, 인장 수단(30)에서의 접착 시트(AS)의 박리에 의해 웨이퍼(WF)가 접착 시트(AS)의 박리 방향으로 이동하는 것을 규제하는 이동 규제 수단(40)과, 웨이퍼(WF)로부터 박리된 접착 시트(AS)를 웨이퍼(WF) 방향으로 밀어붙이는 압박 수단(50)과, 압박 수단(50)과의 사이에 박리용 테이프(PT)를 무는 물림 수단(60)과, 박리용 테이프(PT)를 절단하는 절단 수단(70)을 구비하고, 이동 규제 수단(40)과 압박 수단(50)을 선택적으로 이용하여 1매의 접착 시트(AS)를 박리하는 구성으로 되어 있다.
부착 수단(20)은 권회된 박리용 테이프(PT)를 회전 가능하게 지지하는 테이프 지지 수단(21)과, 테이프 지지 수단(21)으로 지지된 박리용 테이프(PT)를 해당 테이프 지지 수단(21)과의 사이에 물고, 해당 박리용 테이프(PT)에 조출력을 부여하는 조출 수단(22)과, 박리용 테이프(PT)의 리드 단부를 보유 지지하는 보유 지지 수단(23)과, 보유 지지 수단(23)이 박리용 테이프(PT)를 보유 지지하는 것을 보조하는 보유 지지 보조 수단(24)과, 보유 지지 수단(23)에 보유 지지된 박리용 테이프(PT)를 접착 시트(AS)에 압박하여 부착하는 압박 수단(25)을 구비하고 있다.
테이프 지지 수단(21)은 회전축(21A)을 중심으로 회동 가능한 회동 아암(21B)의 자유 단부측에 지지되고, 권회된 박리용 테이프(PT)를 지지하는 지지 롤러(21C)와, 회동 아암(21B)을 조출 수단(22) 방향으로 가압하는 가압 수단으로서의 스프링(21D)을 구비하고 있다.
조출 수단(22)은 구동 기기로서의 회동 모터(22A)에 의해 구동하는 조출 롤러(22B)를 구비하고 있다.
보유 지지 수단(23)은 구동 기기로서의 직동 모터(23A)의 출력축(23B)에 지지된 수용 수단(23C) 내에 수용되어, 수용 수단(23C)의 저면인 흡착면(23D)에 형성된 흡인 구멍(23E)을 통해 박리용 테이프(PT)를 흡착 보유 지지하는 감압 펌프나 진공 이젝터 등의 흡인 수단(23F)을 구비하고 있다.
보유 지지 보조 수단(24)은 구동 기기로서의 직동 모터(24A)의 출력축(24B)에 지지되고, 박리용 테이프(PT)를 흡착면(23D)에 맞닿게 하는 보조 롤러(24C)를 구비하고 있다.
압박 수단(25)은 수용 수단(23C) 내에 수용된 구동 기기로서의 리니어 모터(25A)의 슬라이더(25B)에 지지되고, 수용 수단(23C)의 저면으로부터 돌출 함몰 가능하게 설치된 압박 헤드(25C)와, 코일 히터나 히트 파이프의 가열측 등의 가열 수단(25D)을 구비하고 있다.
인장 수단(30)은 박리용 테이프(PT)와 웨이퍼(WF)를 상대 이동시키는 이동 수단(31)과, 접착 시트(AS)의 박리에 사용한 박리용 테이프(PT)가 절단 수단(70)의 근방에 위치하도록 유도하는 유도 수단(32)을 구비하고 있다.
이동 수단(31)은 구동 기기로서의 리니어 모터(31A)의 슬라이더(31B)에 지지되고, 감압 펌프나 진공 이젝터 등이 도시되지 않은 감압 수단에 의해 웨이퍼(WF)를 흡착 보유 지지 가능한 지지면(31C)을 갖는 테이블(31D)을 구비하고 있다.
유도 수단(32)은 구동 기기로서의 리니어 모터(32A)의 슬라이더(32B)에 지지된 유도 롤러(32C)를 구비하고 있다.
이동 규제 수단(40)은 구동 기기로서의 리니어 모터(41)의 슬라이더(41A)에 지지된 구동 기기로서의 회동 모터(42)와, 회동 모터(42)의 출력축(42A)에 지지된 이동 규제 플레이트(43)를 구비하고, 접착 시트(AS)의 박리 개시측 단부만의 박리에 이용되는 구성으로 되어 있다.
압박 수단(50)은 구동 기기로서의 리니어 모터(51)의 슬라이더(51A)에 지지된 구동 기기로서의 회동 모터(52)와, 회동 모터(52)의 도시되지 않은 출력축에 지지된 압박 롤러(53)를 구비하고, 이동 규제 수단(40)에 의한 박리 개시측 단부의 박리 후에 접착 시트(AS)의 박리에 이용되는 구성으로 되어 있다.
물림 수단(60)은 구동 기기로서의 직동 모터(61)의 출력축(61A)에 지지되고, 압박 롤러(53)와의 사이에 박리용 테이프(PT)나 접착 시트(AS)를 무는 핀치 롤러(62)를 구비하고 있다.
절단 수단(70)은 수용 수단(23C) 내에 수용된 구동 기기로서의 리니어 모터(71)의 슬라이더(71A)에 지지되고, 수용 수단(23C)의 저면으로부터 돌출 함몰 가능하게 설치된 절단날(72)을 구비하고 있다.
이상의 시트 박리 장치(10)에 있어서, 웨이퍼(WF)에 부착된 접착 시트(AS)를 박리하는 수순을 설명한다.
먼저, 작업자가 박리용 테이프(PT)를 도 1에서 실선으로 나타내도록 세트한 후, 각 부재가 초기 위치에서 대기하는 도 1에서 실선으로 나타내는 시트 박리 장치(10)에 대해, 도시되지 않은 조작 패널이나 퍼스널 컴퓨터 등의 입력 수단을 통해 자동 운전 개시의 신호를 입력한다. 그러면, 부착 수단(20)이 흡인 수단(23F)을 구동하고, 흡착면(23D)에서 박리용 테이프(PT)를 흡착 보유 지지한다. 그리고, 사람의 손 또는 다관절 로봇이나 벨트 컨베이어 등의 도시되지 않은 반송 수단에 의해, 접착 시트(AS)가 상방이 되는 상태에서 웨이퍼(WF)가 지지면(31C) 상에 적재되면, 인장 수단(30)이 도시되지 않은 감압 수단을 구동하고, 웨이퍼(WF)의 흡착 보유 지지를 개시한다. 그 후, 인장 수단(30)이 리니어 모터(31A)를 구동하고, 테이블(31D)을 좌방향으로 이동시키고, 도 1에서 이점쇄선으로 나타낸 바와 같이, 접착 시트(AS)의 좌측 단부를 압박 헤드(25C)의 바로 아래에 위치시킨다.
계속해서, 부착 수단(20)이 직동 모터(24A)를 구동하고, 도 1에서 이점 쇄선으로 나타낸 바와 같이 보조 롤러(24C)를 수용 수단(23C)의 하방으로부터 퇴피(저장)시킨 후, 회동 모터(22A) 및 직동 모터(23A)를 구동하고, 박리용 테이프(PT)를 조출하면서 수용 수단(23C)을 접착 시트(AS)의 바로 위 소정 위치까지 하강시킨다. 그 후, 부착 수단(20)이 리니어 모터(25A)를 구동하고, 도 2a에 도시된 바와 같이, 압박 헤드(25C)를 하강시키고, 박리용 테이프(PT)를 접착 시트(AS)의 좌측 단부에 압박하여 부착한다. 이때, 부착 수단(20)이 가열 수단(25D)을 구동하고, 박리용 테이프(PT)를 가열해도 된다. 접착 시트(AS)에의 박리용 테이프(PT)의 부착이 완료되면, 부착 수단(20)이 흡인 수단(23F)의 구동을 정지함과 함께, 리니어 모터(25A) 및 직동 모터(23A)를 구동하고, 압박 헤드(25C) 및 수용 수단(23C)을 초기 위치로 복귀시킨다.
그 후, 물림 수단(60)이 직동 모터(61)를 구동하고, 핀치 롤러(62)와 압박 롤러(53)로 박리용 테이프(PT)를 소정의 압박력으로 문 후, 인장 수단(30)이 리니어 모터(31A)를 구동하고, 접착 시트(AS)의 좌측 단부를 압박 롤러(53)의 최하부의 바로 아래에 위치시킨다. 이어서, 이동 규제 수단(40)이 리니어 모터(41) 및 회동 모터(42)를 구동하고, 도 2b에 도시된 바와 같이, 박리용 테이프(PT)를 통해 이동 규제 플레이트(43)의 좌측 단부에서 접착 시트(AS)의 좌측 단부를 밀어붙인다. 계속해서, 인장 수단(30) 및 압박 수단(50)이 리니어 모터(31A) 및 회동 모터(52)를 구동하고, 테이블(31D)을 좌측 방향으로 이동시킴과 함께, 압박 롤러(53)를 반시계 회전 방향으로 회전시킨다. 이에 따라 접착 시트(AS)는 도 2b에서 이점쇄선으로 나타낸 바와 같이, 이동 규제 플레이트(43)의 좌측 단부에서 접히는 자세가 유지되면서 웨이퍼(WF)로부터 박리된다. 또한, 접착 시트(AS)의 박리 중에는 인장 수단(30)이 리니어 모터(32A)를 구동하고, 핀치 롤러(62) 및 압박 롤러(53)에 의해 조출된 박리용 테이프(PT)나 접착 시트(AS)에 유도 롤러(32C)를 맞닿게 하고, 그것들에 소정의 장력을 부여하여, 해당 박리용 테이프(PT)나 접착 시트(AS)가 2단 절첩이 되도록 유도한다(이후도 동일함).
그리고, 웨이퍼(WF)의 좌측 단부로부터 소정 길이 접착 시트(AS)가 박리된 것이 도시되지 않은 광학 센서나 촬상 수단 등의 검지 수단에 검지되면, 인장 수단(30) 및 압박 수단(50)이 리니어 모터(31A, 32A) 및 회동 모터(52)의 구동을 정지한다. 이어서, 이동 규제 수단(40)이 리니어 모터(41) 및 회동 모터(42)를 구동하고, 이동 규제 플레이트(43)를 초기 위치로 복귀시킨 후, 압박 수단(50)이 리니어 모터(51)를 구동하고, 도 2c에 도시된 바와 같이, 압박 롤러(53)의 최하부에서 접착 시트(AS)의 절곡부를 압박한다. 또한, 압박 롤러(53)의 이동 후도 핀치 롤러(62)와 압박 롤러(53)에 의한 박리용 테이프(PT)나 접착 시트(AS)의 소정의 압박력에 의한 물림은 계속된다.
이어서, 인장 수단(30) 및 압박 수단(50)이 리니어 모터(31A, 32A) 및 회동 모터(52)를 구동하고, 테이블(31D)을 좌측 방향으로 이동시킴과 함께, 압박 롤러(53)를 반시계 회전 방향으로 회전시킨다. 이에 의해, 접착 시트(AS)는, 도 2d에 도시된 바와 같이, 압박 롤러(53)의 최하부에서 그 절곡부가 압박되는 자세가 유지되면서 웨이퍼(WF)로부터 박리된다. 이와 같은 구성에 의해서도, 인장 수단(30)에서의 접착 시트(AS)의 박리에 의해 웨이퍼(WF)가 접착 시트(AS)의 박리 방향으로 이동하는 것을 규제할 수 있다. 그리고, 도 2e에 도시된 바와 같이, 접착 시트(AS)의 박리가 완료되면, 인장 수단(30) 및 압박 수단(50)이 리니어 모터(31A, 32A), 도시되지 않은 감압 수단 및 회동 모터(52)의 구동을 정지한다.
계속해서, 부착 수단(20)이 직동 모터(24A) 및 흡인 수단(23F)을 구동하고, 도 2f에 도시된 바와 같이, 보조 롤러(24C)를 초기 위치로 복귀시키고, 흡착면(23D)에서 박리용 테이프(PT)를 흡착 보유 지지한다. 그 후, 절단 수단(70)이 리니어 모터(71)를 구동하고, 절단날(72)을 하강시켜 박리용 테이프(PT)를 절단하고, 사람 손 또는 도시되지 않은 이송 수단이 접착 시트(AS)를 회수한다. 또한, 박리용 테이프(PT)의 절단 동작에 오버랩시켜서, 사람 손 또는 도시되지 않은 반송 수단이 테이블(31D) 상의 웨이퍼(WF)를 다음 공정으로 반송한 후, 인장 수단(30)이 리니어 모터(31A)를 구동하여, 테이블(31D)을 초기 위치로 복귀시킨다. 그리고, 인장 수단(30), 압박 수단(50) 및 물림 수단(60)이 리니어 모터(32A, 51) 및 직동 모터(61)를 구동하고, 유도 롤러(32C), 압박 롤러(53) 및 핀치 롤러(62)를 초기 위치로 복귀시키고, 이후 마찬가지의 동작이 반복된다.
이상과 같은 실시 형태에 따르면, 웨이퍼(WF)로부터 접착 시트(AS)를 박리하는 데 있어서, 이동 규제 수단(40)과 압박 수단(50)을 선택적으로 이용하여 1매의 상기 접착 시트를 박리하기 때문에, 접착 시트(AS)를 확실하게 박리할 수 있다.
이상과 같이, 본 발명을 실시하기 위한 최량의 구성, 방법 등은, 상기 기재로 개시되어 있지만, 본 발명은 이에 한정되는 것은 아니다. 즉, 본 발명은 주로 특정의 실시 형태에 관하여 특히 도시되고, 또한 설명되어 있지만, 본 발명의 기술적 사상 및 목적의 범위로부터 일탈하지 않고, 이상 설명한 실시 형태에 대해, 형상, 재질, 수량, 그 외의 상세한 구성에 있어서, 당업자가 다양한 변형을 가할 수 있는 것이다. 또한, 상기에 개시한 형상, 재질 등을 한정한 기재는 본 발명의 이해를 용이하게 하기 위하여 예시적으로 기재한 것이며, 본 발명을 한정하는 것은 아니기 때문에, 그것들의 형상, 재질 등의 한정의 일부 혹은 전부의 한정을 제외한 부재의 명칭에 의한 기재는 본 발명에 포함된다.
예를 들어, 조출 수단(22)을 박리용 테이프(PT)의 절단 위치를 변경하는 절단 위치 변경 수단으로 기능시키고, 조출 롤러(22B)를 회전시킴으로써, 박리용 테이프(PT)를 지지 롤러(21C)로 권취하고, 절단 수단(70)에 의해 박리용 테이프(PT)와 접착 시트(AS)의 양쪽 또는 접착 시트(AS)만을 절단해도 되고, 이 경우, 절단 위치 변경 수단은 조출 수단(22) 대신에 또는 병용하여, 메카니컬 척이나 척 실린더 등의 척 수단, 쿨롱력, 접착제, 점착제, 자력, 베르누이 흡착 등으로 박리용 테이프(PT)를 보유 지지하여 권취 방향으로 인장하는 구성을 채용해도 된다.
부착 수단(20)은 낱장의 박리용 테이프를 접착 시트(AS)에 압박하여 부착하는 구성이어도 된다.
테이프 지지 수단(21)은 조출 수단(22) 방향으로 가압되지 않고 박리용 테이프(PT)를 지지해도 되고, 이 경우, 조출 수단(22)은 회동 모터(22A)로 박리용 테이프(PT)를 무는 핀치 롤러 등을 채용하면 된다.
보유 지지 수단(23)은 흡인 수단(23F) 대신에 또는 병용하여, 메카니컬 척이나 척 실린더 등의 척 수단, 쿨롱력, 접착제, 점착제, 자력, 베르누이 흡착 등으로 박리용 테이프(PT)를 보유 지지하는 구성을 채용할 수 있다.
보유 지지 보조 수단(24)은 보조 롤러(24C) 대신에 또는 병용하여, 봉형 부재, 판형 부재, 에어의 분사로 박리용 테이프(PT)를 흡착면(23D)에 맞닿게 하는 구성을 채용할 수 있다.
보유 지지 보조 수단(24)은, 접착 시트(AS) 박리 후의 박리용 테이프(PT)를 보유 지지 수단(23)만으로 보유 지지할 수 있다면, 없어도 된다.
압박 수단(25)은 압박 헤드(25C) 대신에 또는 병용하여, 블레이드재, 고무, 수지, 스펀지, 에어의 분사 등에 의한 압박 부재를 채용할 수 있고, 박리용 테이프(PT)가 감압 접착성의 접착 시트인 경우, 가열 수단(25D)은 있어도 되며, 없어도 된다.
압박 수단(25) 및 절단 수단(70) 중 적어도 한쪽은 수용 수단(23C)에 수용되지 않고, 리니어 모터(25A, 71)가 도시되지 않은 프레임에 지지되어 있어도 된다.
가압 수단은 스프링(21D) 대신에 또는 병용하여, 고무나 수지 등을 채용해도 된다.
인장 수단(30)은, 조출 수단(22)의 구동만으로 접착 시트(AS)를 박리하거나, 회동 모터(52)의 구동만으로 접착 시트(AS)를 박리하거나 해도 된다.
인장 수단(30)은, 테이블(31D)을 고정해 두고, 부착 수단(20), 인장 수단(30), 이동 규제 수단(40), 압박 수단(50) 및 물림 수단(60) 등을 이동시켜도 되고, 그들 각 수단과 테이블(31D)을 이동시켜도 된다.
이동 수단(31)은, 메카니컬 척이나 척 실린더 등의 척 수단, 쿨롱력, 접착제, 점착제, 자력, 베르누이 흡착 등으로 피착체를 지지하는 구성이어도 된다.
유도 수단(32)은, 접착면의 반대측의 면끼리 대향하는 2단 절첩이 되도록 접착 시트(AS)를 유도해도 되고, 없어도 된다.
유도 수단(32)은, 유도 롤러(32C) 대신에 또는 병용하여, 봉상 부재나 판상 부재 등을 채용해도 되고, 에어의 분사 등으로 접착 시트(AS)가 2단 절첩이 되도록 유도해도 된다.
이동 규제 수단(40)은 이동 규제 플레이트(43) 대신에 또는 병용하여, 롤러 부재나 에어의 분사 등으로 웨이퍼(WF)의 이동을 규제해도 된다.
이동 규제 수단(40)은 이동 규제 플레이트(43)에서 접착 시트(AS) 좌측 단부를 박리한 후, 이동 규제 플레이트(43)를 초기 위치로 복귀시키지 않고, 테이블(31D)의 이동 및 압박 롤러(53)의 회전에 의해 접착 시트(AS)의 박리를 완료시켜도 되고, 이 경우, 해당 좌측 단부의 박리 전 또는 박리 후 혹은 박리 전후에, 압박 롤러(53)가 접착 시트(AS)를 압박해도 되고, 박리 전후에 압박하지 않아도 된다.
*이동 규제 수단(40)은 접착 시트(AS)의 좌측 단부(박리 개시측 단부), 중간부, 우측 단부(박리 종료측 단부) 등, 어느 위치에서 해당 접착 시트(AS)를 밀어붙여도 된다.
압박 수단(50)은 압박 롤러(53) 대신에 또는 병용하여, 판상 부재나 에어의 분사 등으로 접착 시트(AS)를 웨이퍼(WF) 방향으로 밀어붙여도 된다.
압박 수단(50)은 접착 시트(AS) 좌측 단부의 박리 전에 압박 롤러(53)로 해당 좌측 단부를 밀어붙이고, 테이블(31D)의 이동 및 압박 롤러(53)의 회전에 의해 접착 시트(AS) 전체를 박리해도 되고, 이 경우, 접착 시트(AS) 좌측 단부의 박리 전 또는 박리한 후에 이동 규제 플레이트(43)가 접착 시트(AS)를 밀어붙여도 되고, 박리 전후에 이동 규제 플레이트(43)가 접착 시트를 억압하지 않아도 된다.
압박 수단(50)이 압박 롤러(53)로 접착 시트(AS)의 좌측 단부를 박리한 후, 해당 압박 롤러(53)를 초기 위치로 복귀시킴과 함께, 이동 규제 수단(40)이 이동 규제 플레이트(43)로 접착 시트(AS)를 밀어붙이고, 테이블(31D)의 이동 및 압박 롤러(53)의 회전에 의해 접착 시트(AS)의 박리를 완료시켜도 된다.
압박 수단(50)은 접착 시트(AS)의 좌측 단부, 중간부, 우측 단부 등, 어느 위치에서 해당 접착 시트(AS)를 밀어붙여도 된다.
압박 수단(50)은 웨이퍼(WF)로부터 박리된 접착 시트(AS)를 웨이퍼(WF)에 부착되어 있는 접착 시트(AS)에 접촉(맞닿도록)하도록 밀어붙여도 되고, 접촉하지 않도록 밀어붙여도 된다.
압박 수단(50)은 압박 롤러(53)의 최하부 이외의 위치에서 접착 시트(AS)의 절곡부를 밀어붙여도 되고, 압박 롤러(53)로 접착 시트(AS)의 절곡부를 억압할 수 있으면 어느 위치에서 밀어붙여도 된다.
물림 수단(60)은 핀치 롤러(62) 대신에 또는 병용하여, 판상 부재나 에어의 분사 등으로 압박 롤러(53)와의 사이에 박리용 테이프(PT) 등을 물어도 되고, 없어도 된다.
절단 수단(70)은 절단날((72) 대신에 또는 병용하여, 레이저 커터, 열커터, 에어 커터, 압축수 커터 등의 다른 구성의 것을 채용해도 된다.
절단 수단(70)은 박리용 테이프(PT)의 파지 위치(지지 롤러(21C) 및 조출 롤러(22B)에 의한 파지 위치)로부터, 해당 박리용 테이프(PT)의 접착 시트(AS)에의 부착 위치까지의 사이에서 해당 박리용 테이프(PT)를 절단해도 되고, 예를 들어 특허문헌 1에 기재된 바와 같은 종래의 시트 박리 장치와 같이, 박리용 테이프(PT)의 파지 위치에서 해당 박리용 테이프(PT)를 지지하는 지지 위치까지의 사이에서 해당 박리용 테이프(PT)를 절단해도 된다.
*이동 규제 수단(40) 및 압박 수단(50)의 한쪽을 사용한 접착 시트(AS) 좌측 단부의 박리에 실패한 것이 도시되지 않은 검지 수단에 검지된 경우, 다른 쪽 수단을 사용하여 또는 양쪽 수단을 사용하여 해당 좌측 단부의 박리 동작을 행해도 된다.
피착체 및 접착 시트 중 적어도 한쪽 재질, 종별, 형상 등에 따라, 이동 규제 수단(40)이나 압박 수단(50)을 자동적으로 선택하도록 해도 되고, 수동으로 선택하도록 해도 된다.
또한, 본 발명에 있어서의 접착 시트(AS), 박리용 테이프(PT) 및 피착체의 재질, 종별, 형상 등은, 특별히 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 접착 시트(AS) 및 박리용 테이프(PT)는, 원형, 타원형, 삼각형이나 사각형 등의 다각형, 그 외의 형상이어도 되고, 감압 접착성, 감열 접착성 등의 접착 형태의 것이어도 되고, 감열 접착성의 접착 형태의 것이 채용된 경우의 피착체에의 부착은 접착 시트(AS)나 박리용 테이프(PT)를 가열하는 적절한 코일 히터나 히트 파이프 등의 가열측 등의 가열 수단을 설치한다는 적절한 방법으로 접착하면 된다. 또한, 이러한 접착 시트(AS) 및 박리용 테이프(PT)는 예를 들어 접착제층만 있는 단층인 것, 기재 시트와 접착제층 사이에 중간층을 갖는 것, 기재 시트의 상면에 커버층을 갖는 등 3층 이상인 것, 또한, 기재 시트를 접착제층으로부터 박리할 수 있는 소위 양면 접착 시트와 같은 것이어도 되고, 양면 접착 시트는, 단층 또는 복층의 중간층을 갖는 것이나, 중간층이 없는 단층 또는 복층인 것이어도 된다. 또한, 피착체로서는, 예를 들어 식품, 수지 용기, 실리콘 반도체 웨이퍼나 화합물 반도체 웨이퍼 등의 반도체 웨이퍼, 회로 기판, 광 디스크 등의 정보 기록 기판, 유리판, 강판, 도자기, 목판 또는 수지판 등, 임의의 형태의 부재나 물품 등도 대상으로 할 수 있다. 또한, 접착 시트(AS)를 기능적, 용도적인 사고 방식으로 바꾸어, 예를 들어 정보 기재용 라벨, 장식용 라벨, 보호 시트, 다이싱 테이프, 다이 어태치 필름, 다이 본딩 테이프, 기록층 형성 수지 시트 등의 임의의 형상의 임의의 시트, 필름, 테이프 등을 상술한 바와 같은 임의의 피착체에 부착할 수 있다.
본 발명에 있어서의 수단 및 공정은, 이들 수단 및 공정에 대해 설명한 동작, 기능 또는 공정을 달성할 수 있는 한 하등 한정되지 않고, 더욱이, 상기 실시 형태로 나타낸 단순한 일 실시 형태의 구성물이나 공정에 전혀 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 부착 수단은, 박리용 테이프를 접착 시트에 부착 가능한 것이면, 출원 당초의 기술 상식에 비추어, 그 기술 범위 내의 것이면 하등 한정되는 일은 없다(다른 수단 및 공정에 관한 설명은 생략함).
또한, 상기 실시 형태에서의 구동 기기는, 회동 모터, 직동 모터, 리니어 모터, 단축 로봇, 다관절 로봇 등의 전동기기, 에어 실린더, 유압 실린더, 로드리스 실린더 및 로터리 실린더 등의 액추에이터 등을 채용할 수 있는 데다가, 그것들을 직접적 또는 간접적으로 조합한 것을 채용할 수도 있다(실시 형태에서 예시한 것과 중복되는 경우도 있음).
10: 시트 박리 장치
20: 부착 수단
22: 조출 수단
30: 인장 수단
40: 이동 규제 수단
50: 압박 수단
AS: 접착 시트
AS1: 미박리 접착 시트 부분
AS2: 기박리 접착 시트 부분
PT: 박리용 테이프
WF: 웨이퍼(피착체)

Claims (4)

  1. 피착체에 부착된 접착 시트를 박리하는 시트 박리 장치이며,
    박리용 테이프를 상기 접착 시트에 부착하는 부착 수단과,
    상기 접착 시트에 부착된 박리용 테이프에 장력을 부여하여 상기 피착체로부터 상기 접착 시트를 박리하는 인장 수단과,
    상기 인장 수단에 의한 상기 접착 시트의 박리에 의해 상기 피착체가 상기 접착 시트의 박리 방향으로 이동하는 것을 규제하는 이동 규제 수단과,
    상기 피착체로부터 박리된 접착 시트를 상기 피착체 방향으로 밀어붙이는 압박 수단을 구비하고,
    상기 이동 규제 수단과 상기 압박 수단을 선택적으로 이용하여 1매의 상기 접착 시트를 박리하는 것을 특징으로 하는 시트 박리 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 이동 규제 수단은, 상기 접착 시트의 박리 개시측 단부만의 박리에 이용되는 것을 특징으로 하는 시트 박리 장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 압박 수단은, 상기 이동 규제 수단에 의한 상기 박리 개시측 단부의 박리 후에 상기 접착 시트의 박리에 이용되는 것을 특징으로 하는 시트 박리 장치.
  4. 피착체에 부착된 접착 시트를 박리하는 시트 박리 방법이며,
    박리용 테이프를 상기 접착 시트에 부착하는 부착 공정과,
    상기 접착 시트에 부착된 박리용 테이프에 장력을 부여하여 상기 피착체로부터 상기 접착 시트를 박리하는 인장 공정을 구비하고,
    상기 인장 공정에 있어서, 상기 접착 시트의 박리에 의해 상기 피착체가 상기 접착 시트의 박리 방향으로 이동하는 것을 규제하는 이동 규제 공정과, 상기 피착체로부터 박리된 접착 시트를 상기 피착체 방향으로 밀어붙이는 압박 공정을 선택적으로 행하여 1매의 상기 접착 시트를 박리하는 것을 특징으로 하는 시트 박리 방법.
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