JP2004087924A - プリント基板の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】1GHzにおいてQが150を超えるビニルベンジル等の層間絶縁樹脂層2を用いたプリント基板の製造方法であり、前記層間絶縁樹脂層2にUV−YAGレーザーにより直径200μm以下、30μm以上の孔3を形成後、少なくとも酸素を含む反応性ガスでドライエッチングすることでスミアの除去されたビアホール10を形成する。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、ビアホールを用いて導体層同士の電気接続を行うプリント基板の製造方法に係り、特にパワーアンプモジュール用受動部品内蔵基板等の高周波用基板の作製に用いて好適な、量産性に優れるプリント基板の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、この種のプリント基板にビアホールを形成する場合、層間絶縁樹脂層の所定の位置に、炭酸ガスレーザー、UV−YAGレーザー等を用いて、直径100〜50μmの孔を形成した後に、孔周囲の熱変成層(smear)を過マンガン酸ナトリウム、過マンガン酸カリウム等のデスミア(desmear)処理液を用いてエッチングして除去する。また、ビルドアップ工法等ではこの工程で前記層間絶縁樹脂層表面をエッチングし表面の粗度をあげて、次工程で形成される導体層の密着性を確保している。
【0003】
なお、炭酸ガスレーザーで層間絶縁樹脂層にビアホールを形成する技術を開示するものとして特開2000−22337号公報がある。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、前記層間絶縁樹脂層の材質が、例えばビニルベンジルのような電気的特性に優れる高信頼性の樹脂である場合、熱変成層はある程度デスミア処理液に溶解するものの、樹脂そのものは不溶であり、熱変性層表面部分と樹脂層との間の溶けにくい中間層が残り、信頼性に深刻な不具合を生じる場合がある。また、ビルドアップ工法等で、下地導体を無電解めっきで形成する場合は、通常、ウエットデスミアを行うと同時に樹脂表面を粗化して基板とめっき銅との密着性を確保するが、樹脂がエッチングされないために、この工程で前記層間絶縁樹脂層の表面粗化を行うことができない。
【0005】
スパッタリングもしくは蒸着法等のドライ工法により、ある程度の密着性を確保しつつ平滑な層間絶縁樹脂層表面に導体層を形成する方法はあるが、一般的に密着性が不十分であり、また、量産性が大幅に低下する。
【0006】
本発明は、上記の点に鑑み、特性に優れる高周波基板で信頼性に優れる層間接続を形成でき、かつ絶縁樹脂層と導体層の密着性を確保可能で、これらを量産性よく実現することが可能なプリント基板の製造方法を提供することを目的とする。
【0007】
本発明のその他の目的や新規な特徴は後述の実施の形態において明らかにする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本願請求項1の発明は、1GHzにおいてQが150を超える層間絶縁樹脂層を用いたプリント基板の製造方法において、
前記層間絶縁樹脂層にUV−YAGレーザーにより直径200μm以下、30μm以上の孔を形成後、少なくとも酸素を含む反応性ガスでドライエッチングすることでスミアの除去されたビアホールを形成することを特徴としている。
【0009】
本願請求項2の発明に係るプリント基板の製造方法は、請求項1において、前記層間絶縁樹脂層の樹脂が、ビニルベンジルであることを特徴としている。
【0010】
本願請求項3の発明に係るプリント基板の製造方法は、請求項1又は2において、前記層間絶縁樹脂層にフィラを含んでおり、前記ドライエッチング時に前記層間絶縁樹脂層の表面の樹脂を選択的にエッチングして、樹脂面から突出するフィラの平均高さを、少なくともフィラの平均粒径の1/4以上にすることを特徴としている。
【0011】
本願請求項4の発明に係るプリント基板の製造方法は、請求項1又は2において、前記層間絶縁樹脂層にフィラを含んでおり、前記ドライエッチング時に前記フィラを選択的にエッチングすることを特徴としている。
【0012】
本願請求項5の発明に係るプリント基板の製造方法は、請求項3又は4において、前記フィラが球状シリカであることを特徴としている。
【0013】
本願請求項6の発明は、1GHzにおいてQが150を超える層間絶縁樹脂層を用いたプリント基板の製造方法において、
前記層間絶縁樹脂層にフィラとして球状シリカを含んでおり、レーザーにより直径200μm以下、30μm以上の孔を形成後、酸素及びフッ素を含む反応性ガスでドライエッチングすることでスミアの除去されたビアホールを形成するとともに、前記層間絶縁樹脂層の表面の樹脂を選択的にエッチングして、樹脂面から突出するフィラの平均高さを、少なくともフィラの平均粒径の1/4以上とすることを特徴としている。
【0014】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係るプリント基板の製造方法の実施の形態を図面に従って説明する。
【0015】
図1は本発明に係るプリント基板の製造方法の実施の形態であり、まず、第1導体層となる銅箔1上に、1GHzにおいてQが150を超える層間絶縁樹脂層2を塗布、形成した基板を用意する。ここで、1GHzにおいてQが150を超える層間絶縁樹脂層2としては、例えば、ビニルベンジル樹脂(比誘電率2.5、1GHzでのQ値が260)に1〜30μmの球状シリカフィラを数10体積%混入したもの等を用いることができる。層間絶縁樹脂層2の厚さは数10μm〜数100μmである。
【0016】
1GHzにおいてQが150を超える層間絶縁樹脂層2を用いる理由は、パワーアンプモジュール用受動部品内蔵基板等の高周波用基板を作製するのを目的とする場合、1GHzにおけるQが150以下であると、高周波特性が低下して使用に適さなくなるからである。また、1GHzにおけるQが150を超える樹脂は、ビニルベンジルに見られるように化学的に安定で、レーザーで孔あけ加工をした際、ウエットデスミア処理では十分な効果が得られない材質が多い。
【0017】
層間絶縁樹脂層2に混入するフィラとしてシリカフィラを用いるのは、後述のドライエッチング工程におけるエッチングレートが樹脂と異なるため、選択的にエッチングする(又は選択的に残す)ことが可能であるからである。また、シリカフィラの粒径を1〜30μmとするのは、粒径1μm未満は入手が困難であり、またドライエッチング工程にて層間絶縁樹脂層2の表面に凹凸を形成する効果が薄れるからであり、粒径30μmを超える場合には層間絶縁樹脂層の厚さにバラツキを生じ、また、層間絶縁樹脂層2表面の凹凸が当該樹脂層の厚みに比べて過大となるからである。また、シリカフィラの形状は球状であるほうが表面積が小さく高周波の損失を少なくする上では好ましい。
【0018】
上記の基板に対して、図1(A)のようにUV−YAGレーザー加工機により、ビアホール形成位置に対してUV−YAGレーザーを照射して直径200μm以下、30μm以上の孔3を形成する。その際、孔3の内側側面及び孔周辺に層間絶縁樹脂層2の熱変成層(smear)2aが形成される。ここで、UV−YAGレーザーを用いる理由は、図2(A)のように、レーザー加工によって層間絶縁樹脂層2に孔3を形成したときに生じる熱変成層2aが孔底面には殆ど形成されないからである。これに反し、従来広く用いられている炭酸ガスレーザーでは、図2(B)のように、層間絶縁樹脂層2に孔3を形成したときに、レーザー加工中の発熱により樹脂が溶解して熱変成層2a(若しくは樹脂)が孔底部に残り、ビアホールにより導体層相互の接続を図るときに信頼性上問題が発生する恐れが強い。ドライエッチング処理で除去できる樹脂やその熱変成層の厚さは2μmが限度であり、それ以上の熱変成層2aが孔底部に残留すると、ビアホールによる導体接続の断線、ルーズコンタクト等の不具合の要因となる。なお、孔3の直径(ここでは孔3の開口径を言う)を30μm〜200μmの範囲とするのは、30μm未満では層間絶縁樹脂層の厚さに比較して孔径が過小となり、後工程で上層の導体層を形成する際にビアホール接続の信頼性が確保できなくなるきらいがあり、200μmを超える場合にはレーザー加工よりもコストの安い方法でビアホール形成が可能になるからである。
【0019】
上記のようにレーザー加工による孔3を形成した基板に対して、層間絶縁樹脂層2及びフィラに対して反応性を有するガス(例えばO2とCF4との混合ガス)を用いたドライエッチング処理により、図1(B)のように熱変成層2aを除去し(デスミア処理)、これと同時に層間絶縁樹脂層2の表面を粗化する。ドライエッチング処理において、O2+CF4の混合ガスを用いた場合、O2の割合を増やすと樹脂のエッチングレートが上がり、CF4の割合を増やすとシリカフィラのエッチングレートが上がる。従って、混合ガスにおけるO2とCF4との混合割合を変えて層間絶縁樹脂層2の樹脂とシリカフィラのエッチングレートを適切に設定することで層間絶縁樹脂層2の表面を適切に粗化できる。
【0020】
このドライエッチング処理により、孔3の内側面及びその周囲の熱変成層2aが除去されたビアホール10が形成されるとともに、次工程の第2導体層形成に適した粗さに層間絶縁樹脂層2の表面を粗化することができる。
【0021】
その後、図1(C)のように、無電解銅めっき等により第2導体層の下地導体層11を層間絶縁樹脂層2上及びビアホール10の内面に形成することで、ビアホール10を介しての第1導体層1と第2導体層の下地導体層11の電気接続が行われる。そして、図示しないが、下地導体層11上には所要厚みとなるように銅等の電解めっきでめっき導体層を形成して第2導体層とする。
【0022】
なお、前記第1導体層及び第2導体層の少なくとも一方は所定の配線パターンとなるようにパターニングする。
【0023】
図3は球状シリカフィラを含む層間絶縁樹脂層2をドライエッチングし、層間絶縁樹脂層2の表面のビニルベンジル樹脂を選択的にエッチングすることで樹脂面からフィラを突出させたとき、{フィラの平均突出高さ/フィラ平均粒径}と第2導体層のピール強度との関係を示す。この図から、フィラの平均突出高さがフィラの平均粒径の1/4以上であれば、上限値の90%以上のピール強度が得られることがわかる。
【0024】
なお、前記ドライエッチング処理において、球状シリカフィラの方が選択的にエッチングされるようにO2+CF4の混合ガスの混合割合を変えて、層間絶縁樹脂層の表面において球状シリカフィラの部分がエッチングされて窪んだ状態とすることで表面粗化を図ってもよい。ドライエッチング時に樹脂表面の粗化はデスミアと同時に行うことが好ましいが、条件の設定が難しいときにはデスミアで有効な条件で処理を行った後に表面粗化に有効な条件で処理することができる。また、処理工程順序を反対にしても良い。上記処理はドライエッチングの同一バッチで行える。
【0025】
この実施の形態によれば、次の通りの効果を得ることができる。
【0026】
(1) 導体層間に介在する層間絶縁層樹脂層2としてビニルベンジル等の高Q材料(1GHzにおいてQが150より大)を使用するので高周波特性に優れる。
【0027】
(2) 球状シリカ等の低損失フィラを層間絶縁樹脂層2に混入するとQが上がり、さらに高周波特性が改善される。
【0028】
(3) レーザーによる孔あけ加工後のデスミア(熱変成層除去)をドライエッチングで行っているので信頼性が良好である。ウエットエッチングの場合、ビニルベンジルのような電気的特性に優れる高信頼性の樹脂では、熱変性層表面部分と樹脂層との間の溶けにくい中間層が残り、信頼性が不十分である。
【0029】
(4) 上記のデスミア工程と同時に層間絶縁樹脂層の粗面化が行われるので、工程が短く、量産性に優れる。
【0030】
(5) 処理後の層間絶縁樹脂層2の表面には、フィラの粒径と同程度の凹凸がきめ細かく形成されるので、その上に形成される導体層の密着性に優れる。とくに、樹脂表面からのフィラの平均突出高さを、フィラの平均粒径の1/4以上とすることでピール強度を十分大きくできる。
【0031】
(6) 層間絶縁樹脂層表面の凹凸がフィラの粒径で決まるので、粗化の制御が容易である。すなわち、表面の表面粗さを上げる場合は、フィラの粒径を大きくする。また、凹凸の総数を上げる場合は、フィラの混入割合を上げればよい。
【0032】
(7) 上記に類似の考え方は、ウエットデスミア処理でもある。すなわち樹脂中に炭酸カルシウム等のエッチングされやすいフィラを混入し、デスミア等の薬液処理でフィラを溶解し、凹凸を形成する。この場合、処理液の浸透により内部のフィラをも溶解する場合があり、その場合、層間絶縁不良を生じる。本発明では、ドライエッチングにより表層の樹脂又はフィラをエッチングするので(エッチングは表層に限られるので)絶縁不良は起こらない。
【0033】
(8) フィラの粒径を1μm程度にすると、密着性に優れ、かつ高周波特性も良好な導体層を層間絶縁樹脂層上に形成することができる。つまり、導体層が銅である場合、そのスキンデプスは1GHzで約2μmであり、高周波特性の上からは層間絶縁樹脂層表面の凹凸はスキンデプスより小さいことが好ましい。
【0034】
(9) UV−YAGレーザーで孔あけ加工することで、層間絶縁樹脂層2にあけた孔3の周囲にできる熱変成層2aは少なく、孔底面には熱変成層が殆ど形成されないため(図2(A)参照)、ビアホールによる導体接続の断線、ルーズコンタクト等の不具合の発生は無い。
【0035】
【実施例】
以下、本発明に係るプリント基板の製造方法を実施例で詳述する。
【0036】
本実施例に使用した基板は、第1導体層としての銅箔上に、層間絶縁樹脂層としてのビニルベンジル樹脂を塗布したものである。ビニルベンジル樹脂には1〜30μmの球状シリカフィラが40体積%混入している。層間絶縁樹脂層となるビニルベンジル樹脂の膜厚は約0.1mmである。
【0037】
層間絶縁樹脂層に形成するビアホールのレーザー加工には、三菱電機製605DLXのレーザー加工機を用いた。レーザー加工機の種類はUV−YAGである。レーザー加工条件は、周波数:30kHz、パルス幅:200μs、マスク:直径0.9mm、パルスエネルギー:0.5mJ、ショット数:20である。
【0038】
上記条件で層間絶縁樹脂層にレーザー加工した孔のSEM(走査電子顕微鏡)写真を図4の(写真1)に示す。図4の(写真2)は加工孔の付近(写真1のA付近)で、飛散物(スミア)が付着している。図4の(写真3)は加工孔から離れた位置(写真1のB付近)で、飛散物はみられない。
【0039】
前記レーザー加工による孔内面及び周辺の飛散物の除去並びに層間絶縁樹脂層表面の粗化のためのドライエッチング処理に用いた装置は、TELPA AG製の多用途プラズマ装置SYSTEM400である。ガスの種類は、O2+CF4で、エッチング条件は、O2:700cc/min,CF4:100cc/min、圧力:100Pa、プラズマ出力:1kW、RFバイアス:100W、エッチング時間:10分である。上記条件でエッチングした基板の表面SEM像を図5に示す。層間絶縁樹脂層の表面に球状シリカフィラがエッチングされずに残っているのがわかる。
【0040】
上記のようにRFバイアス:100W、エッチング時間:10分でドライエッチングした基板に、次工程の下地導体処理を銅の無電解めっきで行いピール強度を測定したところ、約0.6kgf/cm2 (約6×104N/m2)であった。これは、ロープロファイル品(表面粗さが小さい製品)の銅箔にビニルベンジルを塗布したもののピール強度が、約0.4kgf/cm2 (約4×104N/m2)であるのと比較して、同程度以上であることがわかる。
【0041】
以上本発明の実施の形態及び実施例について説明してきたが、本発明はこれに限定されることなく請求項の記載の範囲内において各種の変形、変更が可能なことは当業者には自明であろう。
【0042】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係るプリント基板の製造方法によれば、特性に優れる高周波基板において信頼性に優れるビアホールによる層間接続を形成でき、かつ絶縁樹脂層と導体層の密着性を確保可能で、それらを量産性よく実現可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係るプリント基板の製造方法の実施の形態を示す説明図である。
【図2】UV−YAGレーザー及び炭酸ガスレーザーによる孔あけ加工の際に発生する熱変性層(スミア)の様子を示し、(A)はUV−YAGレーザー、(B)は炭酸ガスレーザーの場合の説明図である。
【図3】層間絶縁樹脂層表面の{フィラの平均突出高さ/フィラ平均粒径}と、層間絶縁樹脂層上に形成した第2導体層のピール強度との関係を示すグラフである。
【図4】層間絶縁樹脂層に対するレーザー孔あけ加工後の孔周辺の写真図である。
【図5】ドライエッチング処理後の層間絶縁樹脂層表面の写真図である。
【符号の説明】
1 銅箔
2 層間絶縁樹脂層
2a 熱変成層
3 孔
10 ビアホール
11 下地導体層
Claims (6)
- 1GHzにおいてQが150を超える層間絶縁樹脂層を用いたプリント基板の製造方法において、
前記層間絶縁樹脂層にUV−YAGレーザーにより直径200μm以下、30μm以上の孔を形成後、少なくとも酸素を含む反応性ガスでドライエッチングすることでスミアの除去されたビアホールを形成することを特徴とするプリント基板の製造方法。 - 前記層間絶縁樹脂層の樹脂が、ビニルベンジルである請求項1記載のプリント基板の製造方法。
- 前記層間絶縁樹脂層にフィラを含んでおり、前記ドライエッチング時に前記層間絶縁樹脂層の表面の樹脂を選択的にエッチングして、樹脂面から突出するフィラの平均高さを、少なくともフィラの平均粒径の1/4以上にする請求項1又は2記載のプリント基板の製造方法。
- 前記層間絶縁樹脂層にフィラを含んでおり、前記ドライエッチング時に前記フィラを選択的にエッチングする請求項1又は2記載のプリント基板の製造方法。
- 前記フィラが球状シリカである請求項3又は4記載のプリント基板の製造方法。
- 1GHzにおいてQが150を超える層間絶縁樹脂層を用いたプリント基板の製造方法において、
前記層間絶縁樹脂層にフィラとして球状シリカを含んでおり、レーザーにより直径200μm以下、30μm以上の孔を形成後、酸素及びフッ素を含む反応性ガスでドライエッチングすることでスミアの除去されたビアホールを形成するとともに、前記層間絶縁樹脂層の表面の樹脂を選択的にエッチングして、樹脂面から突出するフィラの平均高さを、少なくともフィラの平均粒径の1/4以上とすることを特徴とするプリント基板の製造方法。
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