JP2004087555A - ショットキーバリアダイオード - Google Patents
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Abstract
【解決手段】コンタクト領域9a、9bと分離領域4の間に分離領域4や基板1と同じ導電型の半導体領域11a、11bを形成する。半導体領域11a、11bの上面に第3の電極12a、12bを設け、第2の電極7a、7bと第3の電極12a、12bの間を導体で短絡する。これにより、ガードリング8をエミッタ、半導体領域11a、11bをコレクタとした特性改善トランジスタQcを形成し、この特性改善トランジスタQcのミラー回路動作により寄生電流を低減する。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、ショットキーバリアダイオードの内部に形成された寄生トランジスタによって生じる悪影響を軽減するための技術に関する。
【0002】
【従来の技術】
ショットキーバリアダイオードは通常のPN接合型のダイオードよりも順方向降下電圧が低く、損失発生が少ないとされている。しかし、半導体の所定の面にショットキー電極を設けただけの単純な構造のショットキーバリアダイオードでは、PN接合型のダイオードよりも逆バイアス時の特性、例えば逆方向降伏電圧などが大きく劣る。そこで、整流素子として使用されるショットキーバリアダイオードには、半導体とショットキー電極との接触部分を囲むようにガードリングが設けられていた。
図5にはガードリングが設けられた従来のショットキーバリアダイオードの構造の一例を示した。
【0003】
図5はショットキーバリアダイオードを具えた半導体チップの一部断面であり、P型の基板1の上に不純物濃度の低いN型のエピタキシャル成長層2(以下、エピ層と省略する)が積層形成され、基板1とエピ層2の境界付近には不純物濃度の高いN型の埋め込み層3が形成されている。エピ層2の中には、P型の分離領域4と、この分離領域4に囲まれて島状を呈した島状領域5が形成されている。島状領域5の上面のほぼ中央には第1の電極6が設置され、島状領域5の上面の周辺部には第2の電極7aおよび7bが設置されている。ここで、島状領域5の中には、島状領域5と第1の電極6の間の接合部10を取り囲み、なおかつ第1の電極6の外縁部と接合するようにP型のガードリング8が形成されている。なお、第2の電極7aおよび7bと島状領域5の接合部に形成された不純物濃度の高いN型の領域9a、9bは、それぞれ金属−半導体間でオーミック接合を実現するためのコンタクト領域である。
【0004】
以上のような構造となっている半導体チップでは、不純物濃度の低い島状領域5と第1の電極6との間の接合部10にショットキー障壁が発生する。そして、実質的には島状領域5内の各部分により、ショットキーバリアダイオードが構成されている。なお、図5に示すような構成では、第1の電極6がダイオードのアノード(A)、第2の電極7a、7bがダイオードのカソード(K)となる。
ここでガードリング8は、第1の電極6直下の島状領域5内に局所的に電界が集中する部分が発生するのを防ぎ、これにより耐圧を向上させてショットキーバリアダイオードの逆方向降伏電圧を高めるように作用する。あるいは、島状領域5との間で形成されるPN接合により、島状領域5上面の欠陥や反転層に起因する逆方向リーク電流の発生を防止するよう作用する。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
図6は図5の一部を拡大して表示したものである。
基板1と分離領域4がP型、島状領域5がN型で構成される半導体チップは、通常、基板1側あるいは分離領域4側から島状領域5内に電流が流入するのを防ぐため、基板1および分離領域4を島状領域5よりも低電位の状態とする。具体的には基板1と分離領域4をグランドに接続することが多い。ここでP型のガードリング8は、第1の電極8と一部が直接接合しているため、少なくともショットキーバリアダイオードが順方向にバイアスされている時には高い電位状態となる。
【0006】
各部の電位状態を念頭においてガードリング8が設けられたショットキーバリアダイオードの構造を検証すると、ガードリング8をエミッタ、島状領域5およびコンタクト領域7aをベース、分離領域4をコレクタとしたPNP型の第1の寄生トランジスタQaが形成され、さらに、ガードリング8をエミッタ、島状領域5、埋め込み層3およびコンタクト領域7aをベース、基板1をコレクタとしたPNP型の第2の寄生トランジスタQbが形成されていることが分かる。ここで、ショットキーバリアダイオードとその内部の各寄生トランジスタQa、Qbは、図7に示すような等価回路を構成している。
【0007】
図7において、アノード端子(A)とカソード端子(K)の間には、接合部10のショットキー障壁接合に基づくダイオードSBDと、接合部10から第2の電極7に至る線路の電気抵抗に基づく抵抗RLが直列に接続されている。ここで、寄生トランジスタQa、Qbの各エミッタはアノード端子(A)に接続され、寄生トランジスタQa、Qbの各コレクタはグランドに接続されている。そして、寄生トランジスタQaのベースは島状領域5に電流が流れることによって生じるベース領域抵抗Raを介してカソード端子(K)に接続され、寄生トランジスタQa、Qbの各ベース間は電流経路の違いに基づくベース領域抵抗Rbを介して接続された構成となっている。
【0008】
ショットキー型のダイオードSBDの順方向降下電圧は、PNP型の寄生トランジスタQa、Qbのベース・エミッタ間のオン電圧よりも低い。しかし、アノード・カソード間を通過する電流がある程度以上大きくなると、抵抗RLの両端に生じる電圧降下とダイオードSBDの順方向降下電圧の和がPNPトランジスタのオン電圧よりも高くなり、寄生トランジスタQa、Qbがオンしてしまう。すると、アノード(A)(=第1の電極6)から流入した電流の一部が寄生電流として寄生トランジスタQa、Qbを介してグランドに漏出し、本来なら小さいはずのショットキーバリアダイオードの損失を増大させてしまう。
【0009】
このようなことから、図5に示すような構造を持つショットキーバリアダイオードは、大きな電流容量が要求される回路部分に使用される整流素子には不適当であった。なお、これと同様な問題は、特開2002−83878号公報においても指摘されている。
そこで本発明は、寄生トランジスタに起因する寄生電流を低減し、もって特性の良いショットキーバリアダイオードを提供することを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するための本発明は、第1導電型の基板と、基板上に積層形成された第2導電型の半導層と、半導体層内に形成された第1導電型のガードリングと、ガードリングの上面の一部とガードリング内側の窓に露出した半導体層の上面とを覆うように設けられた、半導体層との間にショットキー接合を生じる第1の電極と、半導体層の上面の所定位置に設けられた第2の電極とを備え、第1と第2の電極の一方をアノード、他方をカソードとしたショットキーバリアダイオードにおいて、第2の電極付近の半導体層内に形成された第1導電型の半導体領域と、半導体領域の上面に設けられ、第2の電極と電気的に接続される第3の電極と、を具備することを特徴とする。
【0011】
【発明の実施の形態】
第1導電型の基板上に積層形成された第2導電型の半導体層の中に分離領域と島状領域を形成し、その島状領域内にさらに第1導電型のガードリングと不純物濃度の高い第2導電型のコンタクト領域を形成する。ガードリングの上面の一部に被さり、なおかつガードリング内側に露出する島状領域の上面を覆うように第1の電極を設け、さらにコンタクト領域の上面に第2の電極を設ける。そして、第2の電極の付近の島状領域内、具体的にはコンタクト領域と分離領域の間に分離領域や基板と同じ導電型の半導体領域を形成する。この半導体領域の上面に第3の電極を設け、第2の電極と第3の電極の間を導体で結線し、短絡する。
【0012】
以上の構成によると、分離領域をコレクタとした第1の寄生トランジスタと、基板をコレクタとした第2の寄生トランジスタと、半導体領域をコレクタとした特性改善トランジスタが形成される。この第1と第2の寄生トランジスタおよび特性改善トランジスタはミラー回路を構成し、第1と第2の寄生トランジスタを流れる電流はダイオード接続状態となっている特性改善トランジスタを流れる電流に応じた大きさとなる。これにより第1と第2の寄生トランジスタに起因した寄生電流は抑制され、ショットキーバリアダイオードの特性が改善される。
【0013】
【実施例】
寄生トランジスタに起因する寄生電流を低減し得る本発明によるショットキーバリアダイオードを具えた半導体チップの一部断面を図1に示した。
基板1の上にエピ層2が積層形成され、基板1とエピ層2の境界付近に埋め込み層3が形成されている。エピ層2の中には、分離領域4と、分離領域4に囲まれて島状を呈した島状領域5が形成されている。島状領域5の上面のほぼ中央には第1の電極6が設置され、島状領域5の上面の周辺部には第2の電極7aおよび7bが設置されている。そして、島状領域5の中には、島状領域5と第1の電極6との接合部10を取り囲み、なおかつ第1の電極6の外縁部と接合するようにガードリング8が形成され、第2の電極7aおよび7bと島状領域5の接合部にはコンタクト領域9a、9bが形成されている。なお、ここまでの構造は従来と同じである。
【0014】
そして本発明によるショットキーバリアダイオードは、その構造上の特徴として、コンタクト領域9aと分離領域4との間に新たなP型の半導体領域11aを形成し、コンタクト領域9bと分離領域4との間に新たなP型の半導体領域11bを形成する。各半導体領域11a、11bの上面には第3の電極12a、12bをそれぞれ設け、さらに第2の電極7aと第3の電極12aの間、第2の電極7bと第3の電極12bの間をそれぞれ導体で結線し、電気的に短絡した構造を有している。
【0015】
このようにP型の半導体領域11a、11bを設けると、図2に示すように、ガードリング8をエミッタ、島状領域5およびコンタクト領域7aをベース、半導体領域11aをコレクタとしたPNP型の特性改善トランジスタQcが新たに形成される。この特性改善トランジスタQcを含めたショットキーバリアダイオードとその内部の寄生トランジスタは、図3に示すような等価回路を構成することになる。
【0016】
すなわち、アノード端子(A)とカソード端子(K)の間にダイオードSBDと抵抗RLが直列接続され、アノード端子(A)には寄生トランジスタQa、Qbと特性改善トランジスタQcの各エミッタが共通接続される。寄生トランジスタQa、Qbの各コレクタはグランドに接続される。一方、特性改善トランジスタQcのコレクタは、第2の電極7aと第3の電極12aの間が短絡されることにより、自らのベースに接続される。そして、特性改善トランジスタQcのベースはカソード(K)に接続され、第1の寄生トランジスタQaのベースはベース領域抵抗Raを介してカソード端子(K)に接続され、さらに第2の寄生トランジスタQbのベースはベース領域抵抗Rbを介して寄生トランジスタQaのベースに接続された構成となっている。
【0017】
図3において、アノード(A)・カソード(K)間を流れる電流が大きくなると、これに伴ってダイオードSBDの順方向降下電圧と抵抗RLの電圧降下の和も大きくなり、第1と第2の寄生トランジスタQa、Qbおよび特性改善トランジスタQcがオンする。ここで、寄生トランジスタQa、Qbを流れる電流が実質的に寄生電流となる。図3の等価回路を見て分かるように、第1と第2の寄生トランジスタQa、Qbおよび特性改善トランジスタQcはミラー回路を構成している。このため、特性改善トランジスタQcを流れる電流はカソード(K)に回生される一方で、寄生トランジスタQa、Qbを流れる電流は実質的に特性改善トランジスタQcを流れる電流によって制限される。このような特性改善トランジスタQcの作用により、本発明によるショットキーバリアダイオードは、従来のような大きな寄生電流を生じないようにすることができる。
【0018】
図4はショットキーバリアダイオードのカソード(K)から取り出される出力電流に対する寄生電流の測定結果である。図4中の線(イ)は本発明の構造を持つショットキーバリアダイオードの寄生電流の特性、線(ロ)は従来の構造を持つショットキーバリアダイオードの寄生電流の特性である。この図4の各特性曲線から、本発明の構造を採用することによって寄生電流を効果的に低減できることが判る。
なお、ガードリング8と分離領域4との間隔を広くすると、第1の寄生トランジスタQaの電流増幅率hfeを低くすることができる。このため、寄生電流を低減するのに際しては、チップ面積が許す限りガードリング8と分離領域4との間隔を広くすることが望ましい。
【0019】
【発明の効果】
以上に説明したように本発明によるショットキーバリアダイオードは、従来のショットキーバリアダイオードの構造に対し、ダイオードのカソードとなる第2の電極の付近、具体的には第2の電極を接合するためのコンタクト領域と分離領域の間に分離領域や基板と同じ導電型の半導体領域を新たに形成する。そして、半導体領域の上面に第3の電極を設け、第2の電極と第3の電極間を導体で短絡した構造を持つことを特徴としている。
【0020】
このような構造とすると、ショットキーバリアダイオード内に、ガードリングをエミッタ、半導体領域をコレクタとした特性改善トランジスタが形成され、この特性改善トランジスタは寄生トランジスタとミラー回路を構成する。この各トランジスタのミラー回路としての動作により寄生トランジスタを通過する電流の流通が抑制され、寄生電流が低減される。その結果、出力電流に対する寄生電流の特性が改善され、損失の少ないショットキーバリアダイオードを提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明によるショットキーバリアダイオードを備えた半導体チップの一部断面図。
【図2】図1の部分拡大図。
【図3】図1の構造を持つショットキーバリアダイオードの等価回路図。
【図4】出力電流に対する寄生電流の特性図。
【図5】従来のショットキーバリアダイオードを備えた半導体チップの一部断面図。
【図6】図5の部分拡大図。
【図7】図5のショットキーバリアダイオードの等価回路図。
【符号の説明】
1:基板 2:エピ層(半導体層) 3:埋め込み層 4:分離領
域 5:島状領域 6:第1の電極 7a、7b:第2の電極
8:ガードリング 9a、9b:コンタクト領域 10:接合部
11a、11b:半導体領域 12a、12b:第3の電極 SBD:ショットキー型のダイオード Qa:第1の寄生トランジスタ Qb:第2の寄生トランジスタ Qc:特性改善トランジスタ
Claims (4)
- 第1導電型の基板と、該基板上に積層形成された第2導電型の半導層と、該半導体層内に形成された第1導電型のガードリングと、該ガードリングの上面の一部と該ガードリング内側の窓に露出した該半導体層の上面とを覆うように設けられた、該半導体層との間にショットキー接合を生じる第1の電極と、該半導体層の上面の所定位置に設けられた第2の電極とを備え、該第1と第2の電極の一方をアノード、他方をカソードとしたショットキーバリアダイオードにおいて、
該第2の電極付近の該半導体層内に形成された第1導電型の半導体領域と、
該半導体領域の上面に設けられ、該第2の電極と電気的に接続される第3の電極と、
を具備することを特徴とするショットキーバリアダイオード。 - 前記基板をコレクタ、前記半導体層をベース、前記ガードリングをエミッタとして寄生トランジスタが形成され、前記半導体領域をコレクタ、該半導体層をベース、該ガードリングをエミッタとして特性改善トランジスタが形成され、ここで該寄生トランジスタと該特性改善トランジスタがミラー回路を等価的に形成する
ことを特徴とする、請求項1に記載したショットキーバリアダイオード。 - 第1導電型の基板と、該基板上に積層形成された半導層と、所定位置の該半導体層内に、該半導体層の上面から該基板に至るまで形成された第1導電型の分離領域と、該分離領域により囲まれてなる第2導電型の島状領域と、該島状領域内に形成された第1導電型のガードリングと、該ガードリングの上面の一部と該ガードリング内側の窓に露出した該島状領域の上面とを覆うように設けられた、該島状領域との間にショットキー接合を生じる第1の電極と、該島状領域内の該ガードリングから離れた位置に設けられたコンタクト領域と、該コンタクト領域の上面に設けられた第2の電極とを備え、該第1と第2の電極の一方をアノード、他方をカソードとしたショットキーバリアダイオードにおいて、該島状領域内の該コンタクト領域と該分離領域の間の位置に設けられた第1導電型の半導体領域と、
該半導体領域の上面に設けられ、該第2の電極と電気的に接続される第3の電極と、
を具備することを特徴とするショットキーバリアダイオード。 - 前記基板をコレクタ、前記島状領域をベース、前記ガードリングをエミッタとして第1の寄生トランジスタが形成され、前記分離領域をコレクタ、前記島状領域をベース、前記ガードリングをエミッタとして第2の寄生トランジスタが形成され、前記半導体領域をコレクタ、該島状領域をベース、該ガードリングをエミッタとして特性改善トランジスタが形成され、ここで該第1と第2の寄生トランジスタと該特性改善トランジスタがミラー回路を等価的に形成する
ことを特徴とする、請求項3に記載したショットキーバリアダイオード。
Priority Applications (1)
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JP2002243112A JP2004087555A (ja) | 2002-08-23 | 2002-08-23 | ショットキーバリアダイオード |
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JP2002243112A JP2004087555A (ja) | 2002-08-23 | 2002-08-23 | ショットキーバリアダイオード |
Publications (1)
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Cited By (3)
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JP2008085187A (ja) * | 2006-09-28 | 2008-04-10 | Sanyo Electric Co Ltd | 半導体装置 |
WO2014132689A1 (ja) * | 2013-03-01 | 2014-09-04 | 住友電気工業株式会社 | 炭化珪素半導体装置 |
US20180151756A1 (en) * | 2016-11-29 | 2018-05-31 | Rohm Co., Ltd. | Schottky barrier diode |
-
2002
- 2002-08-23 JP JP2002243112A patent/JP2004087555A/ja active Pending
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JP2008085187A (ja) * | 2006-09-28 | 2008-04-10 | Sanyo Electric Co Ltd | 半導体装置 |
WO2014132689A1 (ja) * | 2013-03-01 | 2014-09-04 | 住友電気工業株式会社 | 炭化珪素半導体装置 |
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