JP2004047665A5 - - Google Patents

Claims (8)

1. ボンディング対象を保持する載物テーブルと、
   ボンディングワイヤを挿通するキャピラリを先端に有するキャピラリ保持体と、
   前記キャピラリ保持体を保持する保持体ホルダと、
   前記保持体ホルダを前記載物テーブルの上面に対し相対的に移動駆動し、前記キャピラリを前記載物テーブルに接離可能に移動させるホルダアクチュエータと、
   前記保持体ホルダと前記キャピラリ保持体との間に設けられ、前記キャピラリ保持体を前記保持体ホルダに対し相対的に移動駆動する保持体アクチュエータと、
   を備え、
   前記保持体アクチュエータは、前記ホルダアクチュエータによる前記キャピラリと前記載物テーブル上面との間の近接に基づいて、前記キャピラリを上方に移動させることを特徴とするワイヤボンディング装置。
2. 請求項１に記載のワイヤボンディング装置において、
   前記キャピラリの前記載物テーブル上面に対する接触により、前記キャピラリが前記載物テーブル上面から受ける衝撃を検知して検知信号を出力する衝撃検知センサと、
   前記検知信号に基づいて、前記保持体アクチュエータの駆動を制御する制御手段と、
   を備えることを特徴とするワイヤボンディング装置。
3. 請求項１または請求項２に記載のワイヤボンディング装置において、
   前記キャピラリ保持体は、前記載物テーブルの上面に沿い延伸し、その先端に前記載物テーブルの上面に向かって垂下して設けられるキャピラリを有しており、
   前記保持体アクチュエータは、前記キャピラリ保持体にその延伸方向に離隔して設けられた一対の保持体側取付位置と、その保持体側取付位置に対応して前記保持体ホルダに設けられたホルダ側取付位置との間に取付けられた一対の相補動作型伸縮駆動素子を含み、
   前記一対の相補動作型伸縮駆動素子は、一方の素子が伸長動作するとき他方が収縮動作をすることを特徴とするワイヤボンディング装置。
4. 請求項３に記載のワイヤボンディング装置において、
   前記一対の相補動作型伸縮駆動素子は、
   一方の素子の保持体側取付位置から、その保持体側取付位置に印加される伸縮駆動力の方向に対して直交する方向に延ばした第１の法線と、
   他方の素子の保持体側取付位置から、その保持体側取付位置に印加される伸縮駆動力の方向に対して直交する方向に延ばした第２の法線と、
   が交わる法線交点が載物テーブルの上面に対応する位置にくるように配置され、
   前記保持体アクチュエータは、前記法線交点を揺動中心として、前記キャピラリ保持体を前記揺動中心の周りに揺動駆動することを特徴とするワイヤボンディング装置。
5. 請求項４に記載のワイヤボンディング装置において、
   前記揺動中心は、前記キャピラリ保持体の重心位置と前記キャピラリが設けられる位置との間の位置に設けられることを特徴とするワイヤボンディング装置。
6. 請求項１ないし請求項５に記載のワイヤボンディング装置において、
   前記保持体アクチュエータは圧電素子であることを特徴とするワイヤボンディング装置。
7. 請求項６に記載のワイヤボンディング装置において、
   前記圧電素子は、前記保持体ホルダに対する前記キャピラリ保持体の相対的な移動駆動を行っていない場合において、前記キャピラリが前記載物テーブル上面から受ける衝撃を検知して検知信号を出力することを特徴とするワイヤボンディング装置。
8. 請求項１ないし請求項７に記載のワイヤボンディング装置において、
   前記キャピラリ保持体は、超音波トランスデューサであることを特徴とするワイヤボンディング装置。