JP2006118911A5 - - Google Patents

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  1. 被測定物の表面に接触させる測定子と、この測定子を所定の第１の方向に移動可能に支持する駆動部とを備え、前記駆動部は、前記測定子を保持するホルダを係合保持できるように構成された駆動部側アタッチメントを有し、前記駆動部の移動方向に沿って前記被測定物の表面形状を測定する表面粗さ／輪郭形状測定装置であって、
    前記ホルダと前記駆動部との間に、前記測定子を前記駆動部に対して所定の第２の方向に駆動する連結部材が設けられ、
    該連結部材は、該連結部材の第１面に設けられ前記駆動部側アタッチメントに係合可能な第１アタッチメントと、該連結部材の第１面と異なる面である第２面に設けられ前記所定の第２の方向にスライドするように駆動される可動部と、該可動部に設けられ前記ホルダに係合可能な第２アタッチメントと、を有することを特徴とする表面粗さ／輪郭形状測定装置。
  2. 前記連結部材が前記測定子を駆動する前記所定の第２の方向は、前記駆動部が前記測定子を駆動する前記所定の第１の方向と異なる方向であることを特徴とする請求項１に記載の表面粗さ／輪郭形状測定装置。
  3. 前記連結部材が前記測定子を駆動する前記所定の第２の方向は、前記駆動部が前記測定子を駆動する前記所定の第１の方向と同じ方向であることを特徴とする請求項１に記載の表面粗さ／輪郭形状測定装置。
  4. 被測定物の表面に接触させる測定子と、この測定子を所定の第１の方向に移動可能に支持する駆動部とを備え、前記駆動部は、前記測定子を保持するホルダを係合保持できるように構成された駆動部側アタッチメントを有し、前記駆動部の移動方向に沿って前記被測定物の表面形状を測定する表面粗さ／輪郭形状測定装置に付加される連結部材であって、
    該連結部材の第１面に設けられ前記駆動部側アタッチメントに係合可能な第１アタッチメントと、該連結部材の第１面と異なる面である第２面に設けられ所定の第２の方向にスライドするように駆動される可動部と、該可動部に設けられ前記ホルダに係合可能な第２アタッチメントと、を有し、
    前記駆動部に前記測定子を取り付けるために前記ホルダと前記駆動部との間に設けられ、前記測定子を前記駆動部に対して前記所定の第２の方向に駆動することを特徴とする連結部材。
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