JP2004045349A - 回路配線検査方法およびその装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】幹配線Mに対して並列的に接続された複数の枝配線Pを含む回路配線の枝配線間の短絡および断線の有無を検査するにあたって、隣接する任意の2本の枝配線P2,P3の一方の枝配線P3に測定信号発生源11を接続し、他方の枝配線P2にはオペアンプ131を有する電流検出手段13を接続するとともに、枝配線P2,P3の両側に位置する任意の2本の枝配線P1,P4に対してガード回路用のオペアンプ12をスイッチS1,S2を介して接続し、スイッチS1,S2がオンのときと、オフのときの電流検出手段13による検出電流に基づいて、枝配線P2,P3間の短絡および断線の有無を検査する。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、回路配線検査方法およびその装置に関し、さらに詳しく言えば、幹配線から分岐されている複数の枝配線間の短絡および各枝配線の断線の有無を検査する回路配線の検査技術に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
回路配線の検査項目の一つに配線パターンの断線(オープン)検査と、隣接する配線パターン間の短絡(ショート)検査とがある。
【0003】
図5に模式的に示すように、回路基板に2つの配線パターンA,Bが隣接して形成されているとして、断線検査は、配線パターンAの端点Aa,Ab間、配線パターンBの端点Ba,Bb間の各抵抗値Rを測定することにより行われる。R≒0であれば断線なし、R≒∞であれば断線ありと判定される。
【0004】
配線パターンA,B間の短絡検査は、例えば配線パターンAの一方の端点Aaと配線パターンBの一方の端点Baとの間の抵抗値Rを測定し、R≒∞であればパターン間に短絡なし、R≒0であればパターン間に短絡ありと判定される。
【0005】
また、パターンによっては、図6に示すように幹配線Mから複数の枝配線P1〜PNが分岐している回路がある。この場合、枝配線P1〜PNはそれらの各一端(幹側端点)が幹配線Mにより相互に接続されているが、やはり抵抗測定により各枝配線の断線検査と枝配線間の短絡検査とが行われる。
【0006】
例えば、隣接する枝配線P1とP2の断線・短絡を検査するには、それらの反幹側端点P1aとP2a間の抵抗値を低抵抗測定器にて測定する。そして、その測定値Rと、あらかじめ設定されている所定のしきい値±Thとを比較することにより、断線・短絡の有無が検査される。なお、しきい値±Thは良品基板から得た基準値に基づいて設定される。
【0007】
すなわち、図7に示すように、枝配線P1,P2間が短絡していると、抵抗値Rが低くなり、しきい値±Thから外れる。これにより、枝配線間に短絡ありと判定される。また、図8に示すように、いずれか一方の枝配線(この例では枝配線P2)が断線していればR≒∞となるため、これをもって断線ありと判定される。
【0008】
抵抗測定は、抵抗測定器の測定プローブを配線パターンの端点に接触させることにより行われるが、図9に模式的に示すように、例えば端点P1aに対するプローブの接触位置が、良品基板から基準値を得た際には図示実線位置であるのに対して、実際の検査時に図示鎖線位置のようにずれると、プローブ間の抵抗値が変わってしまうため、正確な測定ができず判定ミスが生ずることがある。
【0009】
また、プローブの接触位置に上記のようなずれがなく、正確に配線パターンの抵抗値が測定できたとしても、配線パターン形成時の製造誤差(線幅のばらつきなど)が大きいと、基準値に対する最適なしきい値を設定することが困難となる。
【0010】
ちなみに、配線パターン形成時の製造誤差により、例えば線幅が広く形成された場合には、短絡してしまっているパターンの抵抗値とほぼ同値になることがあり、このような場合には、しきい値を設定できなくなる。
【0011】
一例として、配線パターンの抵抗値100mΩを基準として、そのしきい値を±10%の90〜110mΩに設定したとして、例えば120mΩ位の抵抗値をもつ配線パターンが隣の配線パターンと短絡して110mΩになると、短絡しているにもかかわらず良品と判断されることになる。
【0012】
また、上記従来例ではしきい値を設定するうえで、あらかじめ良品である配線パターンをもった回路基板をビジュアル検査などにより探し出して、その抵抗値を測定しておく必要があるため、作成された回路基板の検査を1枚目から行うことができない。
【0013】
さらに、抵抗測定による短絡検出は微小な抵抗変化を捉える必要があるため、測定プローブの接触抵抗の影響が問題となる。そのため、微小抵抗の測定には4端子法が用いられるが、4端子法の測定プローブは他のプローブよりも高価であり、また、狭いピッチの配線パターンへのプロービングが困難となる。
【0014】
【発明が解決しようとする課題】
したがって、本発明の課題は、配線パターンの端点に対するプロービング位置によって検査精度が左右されることがなく、また、あらかじめ良品基板から判定基準となるデータを収集する必要をなくして、作成された回路基板の1枚目から隣接パターンの断線・短絡検査を行えるようにすることにある。
【0015】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本願の第1発明は、幹配線と、上記幹配線に対して並列的に接続された複数の枝配線とを含む回路配線の上記枝配線間の短絡および上記各枝配線の断線の有無を検査する回路配線検査方法において、所定の測定信号を出力する測定信号発生源および上記測定信号発生源に接続される信号印加用プローブと、一方の入力端子が接地電位とされたガード回路用の第1オペアンプと、上記第1オペアンプの他方の入力端子に第1スイッチを介して接続される第1ガード用プローブおよび上記第1オペアンプの出力側に第2スイッチを介して接続される第2ガード用プローブと、一方の入力端子が接地電位とされた第2オペアンプを含む電流検出手段および上記第2オペアンプの他方の入力端子に接続される電流検出用プローブとを備え、隣接する任意の第1,第2枝配線およびその両側に位置する任意の第3,第4枝配線を含む4本の枝配線の内、外側に位置する上記第3枝配線および上記第4枝配線の各端点に上記第1ガード用プローブと上記第2ガード用プローブとを接触させるとともに、上記第1,第2枝配線の内の一方の端点に上記信号印加プローブを接触させ、他方の端点に上記電流検出用プローブを接触させ、上記第1,第2スイッチが導通状態のときと、非導通状態のときの上記電流検出手段による検出電流に基づいて、上記第1,第2枝配線間の短絡と、上記第1,第2枝配線の断線の有無を検査することを特徴としている。
【0016】
上記第1,第2スイッチが導通状態のとき、外側に位置する第3枝配線および第4枝配線の各端点間に第1オペアンプによるガード回路が接続されることになる。したがって、電流検出用プローブが接触されている枝配線の幹側端点が接地電位となり、また、電流検出用プローブも第2オペアンプのバーチャルショートにより接地電位に維持されるため、電流検出用プローブが接触される枝配線には電流が流れない。
【0017】
よって、上記第1,第2スイッチが導通状態のときで、上記電流検出手段による検出電流AがA=0の場合には、上記第1,第2枝配線間に短絡なしと判定することができる。これに対して、A≠0の場合には、隣接する枝配線側から電流が流れ込んでいることを意味し、上記第1,第2枝配線間に短絡ありと判定されることになる。
【0018】
一方、上記第1,第2スイッチが非導通状態のときは、外側に位置する第3枝配線および第4枝配線の各端点間が第1オペアンプによるガード回路から切り離されることになるため、測定信号発生源に接続されている枝配線から、幹配線を介して電流検出用プローブが接触されている枝配線に電流が流れ込む。
【0019】
したがって、上記電流検出手段による検出電流AがA≠0の場合には、上記第1,第2枝配線のいずれにも断線がなく、A=0の場合には、上記第1,第2枝配線の少なくとも一方に断線あり、もしくは上記信号印加プローブ,上記電流検出用プローブの少なくとも一方が上記枝配線の端点と非接触であると判定することができる。
【0020】
なお、上記第1,第2スイッチが導通状態にあるにも関わらず、上記第1オペアンプの出力電圧がオペアンプの電源電位を示すときは、上記ガード回路のループが開ループとなっている場合であるから、上記第1,第2ガード用プローブの少なくとも一方が上記第3枝配線,上記第4枝配線の端点と非接触もしくは上記第3枝配線,上記第4枝配線の少なくとも一方が断線であると判定することができる。このように上記ガード用プローブの端点に対する接触・非接触および/または上記第3枝配線,上記第4枝配線の断線を検出(チェック)できることも、本発明の特徴の一つである。
【0021】
このように、本発明によれば、電流検出手段による検出電流Aが、A=0もしくはA≠0のいずれかを判定するだけでよいため、配線パターンの端点に対するプロービング位置によって検査精度が左右されることがない。また、あらかじめ良品基板から判定基準となるデータを収集する必要もなく、作成された回路基板の1枚目から隣接パターンの断線・短絡検査を行うことができる。
【0022】
さらには、測定プローブの接触抵抗による影響を受けないため、通常の安価な測定プローブを使用でき、しかも4端子法のように1ラインに付き4本の測定プローブをプロービングする必要もないため、狭いピッチの配線パターンの測定も容易にできる。
【0023】
上記測定信号発生源は、直流または交流のいずれであってもよい。また、測定信号も電圧もしくは電流のいずれであってもよい。すなわち、直流電圧発生器,直流電流発生器,交流電圧発生器,交流電流発生器のすべてが使用可能である。
【0024】
なお、上記電流検出手段に代えて電圧検出手段を用いてもよい。これは、上記第2オペアンプが実質的に電流−電圧変換手段であることによる。また、上記信号印加用プローブ,ガード用プローブ,電流検出用プローブは、その用途を示したに過ぎず、同一構成のプローブであってよい。ちなみに、上記電流検出手段に代えて電圧検出手段が採用される場合、上記電流検出用プローブは、電圧検出用プローブに読み替えられる。
【0025】
また、上記信号印加プローブ,ガード用プローブ,電流検出プローブの各々は、X−Y移動式であってもよいし、あらかじめ位置決めされてピンボードに植設されていてもよい。
【0026】
また、本願の第2発明は上記第1発明を装置化したもので、幹配線と、上記幹配線に対して並列的に接続された複数の枝配線とを含む回路配線の上記枝配線間の短絡および上記各枝配線の断線の有無を検査する回路配線検査装置において、所定の測定信号を出力する測定信号発生源および上記測定信号発生源に接続される信号印加用プローブと、一方の入力端子が接地電位とされたガード回路用の第1オペアンプと、上記第1オペアンプの他方の入力端子に第1スイッチを介して接続される第1ガード用プローブおよび上記第1オペアンプの出力側に第2スイッチを介して接続される第2ガード用プローブと、一方の入力端子が接地電位とされた第2オペアンプを含む電流検出手段および上記第2オペアンプの他方の入力端子に接続される電流検出用プローブと、隣接する任意の第1,第2枝配線およびその両側に位置する任意の第3,第4枝配線を含む4本の枝配線の各端点をプローブ接触ポイントとして、外側に位置する上記第3枝配線および上記第4枝配線の各端点に上記第1ガード用プローブと上記第2ガード用プローブとを接触させるとともに、上記第1,第2枝配線の内の一方の端点に上記信号印加プローブを接触させ、他方の端点に上記電流検出用プローブを接触させ、かつ、上記第1,第2スイッチを制御して、上記第1,第2スイッチが導通状態のときと、非導通状態のときの上記電流検出手段による検出電流に基づいて、上記第1,第2枝配線間の短絡と、上記第1,第2枝配線の断線の有無を判定する制御手段とを備えていることを特徴としている。
【0027】
【発明の実施の形態】
次に、図1ないし図4により、本発明の実施形態について説明する。先の図6で説明した幹配線Mと、幹配線Mから分岐された複数の枝配線P1〜PNとを有する回路配線の枝配線の断線および枝配線間の短絡を検査するにあたって、本発明においては、1回の検査あたり4本の枝配線が選択される。
【0028】
図1に、幹配線Mに接続されている複数の枝配線のうち、1回の検査あたり選択される4本の枝配線をP1〜P4として示す。この例において、この4本の枝配線のうち、短絡および断線検査の対象となるのは、隣接する2本の枝配線P2,P3で、その外側に位置する枝配線P1,P4はガード用として採用される。
【0029】
すなわち、枝配線P2,P3が請求項1,7に記載の第1,第2枝配線に相当し、枝配線P1,P4が請求項1,7に記載の第3,第4枝配線に相当する。なお、枝配線P1,P4は、必ずしも枝配線P2,P3の隣に位置している必要はなく、例えば幹配線Mに接続されている複数の枝配線のうち、最外側に配置されている枝配線であってもよい。
【0030】
枝配線P2,P3間の短絡および断線を検査するため、この回路配線検査装置10は、基本的な構成として、測定信号発生源としての例えば直流電圧発生器11と、ガード回路用のオペアンプ(第1オペアンプ;演算増幅器)12と、電流検出手段13と、制御手段14とを備えている。なお、測定信号発生源は、直流電流発生器、交流電圧発生器もしくは交流電流発生器であってもよい。
【0031】
直流電圧発生器11には、信号印加用としての測定プローブ11aが接続される。オペアンプ12は、その+側入力端子が接地され、−側入力端子にはスイッチS1を介して一方のガード用プローブ12aが接続される。また、オペアンプ12の出力端子には、スイッチS2を介して他方のガード用プローブ12bが接続されている。さらに、オペアンプ12の出力端子とスイッチS2との間には電圧計121が接続されている。
【0032】
電流検出手段13はオペアンプ(第2オペアンプ)131を含み、その+側入力端子が接地され、−側入力端子には電流検出用としての測定プローブ13aが接続される。オペアンプ131は、−側入力端子と出力端子との間に帰還抵抗132を有し、その出力端子側には電流計133が接続されている。
【0033】
制御手段14には、例えばCPUやマイクロプロセッサなどが用いられる。制御手段14は、電流計133および電圧計121から検出信号を受けて、枝配線P2,P3間の短絡および断線の有無やプローブの接触状態の良否を判定するとともに、スイッチS1,S2のオンオフ制御を行う。なお図示しないが、制御手段14は判定結果などを表示する表示器を備えている。表示器はディスプレイパネルやプリンタなどであってよい。
【0034】
次に、図2および図3により、枝配線P2,P3間の短絡検査方法について説明する。なお、図3は枝配線P2,P3間が短絡(図2中に鎖線で示す)している場合の測定系を抵抗で表したものである。
【0035】
枝配線P2,P3間の短絡を検査するにあたっては、直流電圧発生器11の測定ブローブ11aを枝配線P3の端点に接触させ、電流検出手段13の測定プローブ13aを枝配線P2の端点に接触させる。また、オペアンプ12のガード用プローブ12a,12bを枝配線P1,P4の各端点に接触させる。スイッチS1,S2はともにオンとする。
【0036】
オペアンプ12の−入力端子はバーチャルショートにより接地電位(0V)となるから、枝配線P2と幹配線Mとの接続点をP2aとすると、その接続点P2aの電位も0Vとなる。また、電流検出手段13の第2オペアンプ131の−入力端子もバーチャルショートにより接地電位(0V)となるから、その−入力端子に接続されている測定プローブ13aも0Vとなる。
【0037】
したがって、枝配線P2,P3間が短絡(ショート)していない場合、枝配線P2には電流が流れず、電流計133の測定値AはA=0(アンペア)となる。これにより、制御手段14は枝配線P2,P3間に短絡なしと判定し、その結果を図示しない表示器に表示する。
【0038】
これに対して、枝配線P2,P3間が図2の鎖線で示すように短絡している場合は次のようになる。枝配線P2の短絡箇所をP2bとすると、直流電圧発生器11に接続されている枝配線P3から短絡箇所P2bに向けて短絡電流が流れ、短絡箇所P2bに電位が発生する。このとき、接続点P2aおよびオペアンプ131の−入力端子は依然として0Vである。
【0039】
ここで、短絡箇所P2bにて2分された枝配線P2の配線抵抗をr1,r2とすると、短絡箇所P2bから短絡電流の一部が配線抵抗r2およびオペアンプ131の帰還抵抗132に流れるため、電流計133の測定値AはA≠0(アンペア)となる。
【0040】
これにより、制御手段14は枝配線P2,P3間に短絡ありと判定する。ちなみに、短絡箇所P2bに発生した電位をV2bとし、帰還抵抗132の抵抗値をVrefとすると、オペアンプ131の出力端子には、Vo=(Vref/r2)×V2bなる電圧が発生する。
【0041】
次に、図4を参照して、枝配線P2,P3の短絡検査方法について説明する。この場合には、各測定プローブ11a,12a,12b,13aを上記短絡検査時の接触状態としたまま、スイッチS1,S2をともにオフとし、枝配線P1,P4をオペアンプ12のガード回路から外す。
【0042】
枝配線P2,P3のいずれにも断線がなければ、直流電圧発生器11から枝配線P3に印加される電圧により発生した電流が枝配線P2側に流れるため、電流計133の測定値AはA≠0(アンペア)となる。
【0043】
これにより、制御手段14は、枝配線P2,P3のいずれにも断線がないと判定する。また、枝配線P2,P3の各端点に対する測定プローブ11a,13aの接触状態も良好であることが分かる。
【0044】
これに対して、電流計133の測定値AがA=0(アンペア)であれば、制御手段14は、枝配線P2,P3の少なくとも一方に断線あり、もしくは枝配線P2,P3の各端点に対する測定プローブ11a,13aの接触不良と判定する。
【0045】
なお、断線検査時にはスイッチS1,S2をともにオフとするが、上記短絡検査時にスイッチS1,S2をともにオンにする場合、電圧計121の測定値を観察することにより、枝配線P1,P4の各端点に対するガード用プローブ12a,12bの接触状態や枝配線P1,P4の断線をチェックすることができる。
【0046】
すなわち、スイッチS1,S2がオンの状態で、ガード用プローブ12a,12bの少なくとも一方が端点から外れていれば、オペアンプ12によるガード回路のループが開ループとなるため、オペアンプ12の出力はオペアンプの電源電位に張り付く。この現象は、ガード用プローブ12a,12bの端点に対する接触が良好で、枝配線P1,P4のいずれかに断線がある場合も同様に生ずる。
【0047】
これに対して、枝配線P1,P4の各端点に対するガード用プローブ12a,12bの接触が良好である場合には、オペアンプ12によるガード回路のループが閉ループとなるため、オペアンプ12の出力は0V近辺(例えば数10mV)となる。したがって、制御手段にて電圧計121の測定値を監視することにより、ガード用プローブ12a,12bの接触状態や枝配線P1,P4の断線をもチェックすることができる。
【0048】
上記実施形態では、短絡検査時にはスイッチS1,S2をオンとして、オペアンプ12によるガード回路のループを閉ループとし、断線検査時にはスイッチS1,S2をオフとしてオペアンプ12によるガード回路のループを開ループとしているが、別の例として、スイッチS1,S2を用いずに、枝配線P1,P4の各端点に対して、短絡検査時にはガード用プローブ12a,12bを接触させ、断線検査時にはガード用プローブ12a,12bを外すようにしてもよい。
【0049】
上記4本の各プローブはX−Y方式にて駆動されてもよく、また、各枝配線の端点に対して位置的に対応するように複数のプローブをピンボードに植設し、その内の4本のプローブを選択するようにしてもよい。ピンボード式によれば、枝配線のパターン分のプローブを必要とするが、高速検査が可能になる。
【0050】
さらには、上記枝配線P1,P4を幹配線Mに接続された複数の枝配線のうちの最外側に位置する枝配線に指定する場合には、ガード用プローブ12a,12bを固定式とし、信号印加用の測定プローブ11aおよび電流検出用の測定プローブ13aを可動式とすることもできる。
【0051】
なお、例えば図1に示すように、幹配線Mが末端の枝配線よりも長く延びている場合には、その延びた部分の幹配線Mに一方のガード用プローブを接触させることにより、末端側に位置する2本の枝配線間の短絡およびその各枝配線の断線を検査することができる。
【0052】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、幹配線に対して並列的に接続された複数の枝配線を含む回路配線の枝配線間の短絡および断線の有無を検査するにあたって、隣接する任意の第1,第2枝配線の一方に測定信号発生源を接続し、他方の枝配線にはオペアンプを有する電流検出手段を接続するとともに、第1,第2枝配線の両側に位置する任意の第3,第4枝配線に対してガード回路用のオペアンプをスイッチを介して接続し、スイッチがオンのときと、オフのときの電流検出手段による検出電流に基づいて、第1,第2枝配線間の短絡および断線の有無を検査するようにしたことにより、各枝配線の端点に対するプロービング位置によって検査精度が左右されることなく、高精度の検査を行うことができる。
【0053】
また、あらかじめ良品基板から判定基準となるデータを収集する必要がないため、作成された回路基板の1枚目から隣接パターンの断線・短絡検査を行うことができる。
【0054】
さらには、測定プローブの接触抵抗による影響を受けないため、通常の安価な測定プローブを使用でき、しかも4端子法のように1ラインに付き4本の測定プローブをプロービングする必要もないため、狭いピッチの配線パターンの測定も容易にできる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による回路配線検査装置の構成を示す模式図。
【図2】上記回路配線検査装置での短絡検査方法を説明するための模式図。
【図3】上記短絡検査時の測定系を抵抗で表した回路図。
【図4】上記回路配線検査装置での断線検査方法を説明するための模式図。
【図5】一般的な隣接配線パターン間の短絡および断線検査を説明するための模式図。
【図6】幹配線から分岐された枝配線の従来技術による短絡・断線検査を説明するための模式図。
【図7】上記枝配線間が短絡している場合の説明図。
【図8】上記枝配線が断線している場合の説明図。
【図9】上記従来技術における問題点を説明するための説明図。
【符号の説明】
10 回路配線検査装置
11 直流電圧発生器
12 ガード回路用のオペアンプ
121 電圧計
13 電流検出手段
131 電流検出手段のオペアンプ
133 電流計
14 制御手段
11a 信号印加用のプローブ
12a,12b ガード用プローブ
13a 電流検出用のプローブ
S1,S2 スイッチ
M 幹配線
P1〜P4 枝配線
P2a 短絡箇所
Claims (7)
- 幹配線と、上記幹配線に対して並列的に接続された複数の枝配線とを含む回路配線の上記枝配線間の短絡および上記各枝配線の断線の有無を検査する回路配線検査方法において、
所定の測定信号を出力する測定信号発生源および上記測定信号発生源に接続される信号印加用プローブと、一方の入力端子が接地電位とされたガード回路用の第1オペアンプと、上記第1オペアンプの他方の入力端子に第1スイッチを介して接続される第1ガード用プローブおよび上記第1オペアンプの出力側に第2スイッチを介して接続される第2ガード用プローブと、一方の入力端子が接地電位とされた第2オペアンプを含む電流検出手段および上記第2オペアンプの他方の入力端子に接続される電流検出用プローブとを備え、
隣接する任意の第1,第2枝配線およびその両側に位置する任意の第3,第4枝配線を含む4本の枝配線の内、外側に位置する上記第3枝配線および上記第4枝配線の各端点に上記第1ガード用プローブと上記第2ガード用プローブとを接触させるとともに、上記第1,第2枝配線の内の一方の端点に上記信号印加プローブを接触させ、他方の端点に上記電流検出用プローブを接触させ、
上記第1,第2スイッチが導通状態のときと、非導通状態のときの上記電流検出手段による検出電流に基づいて、上記第1,第2枝配線間の短絡と、上記第1,第2枝配線の断線の有無を検査することを特徴とする回路配線検査方法。 - 上記第1,第2スイッチが導通状態のときで、上記電流検出手段による検出電流AがA=0の場合には上記第1,第2枝配線間に短絡なしと判定し、A≠0の場合には上記第1,第2枝配線間に短絡ありと判定する請求項1に記載の回路配線検査方法。
- 上記第1,第2スイッチが非導通状態のときで、上記電流検出手段による検出電流AがA≠0の場合には上記第1,第2枝配のいずれにも断線がなく、A=0の場合には上記第1,第2枝配の少なくとも一方に断線あり、もしくは上記信号印加プローブ,上記電流検出用プローブの少なくとも一方が上記枝配線の端点と非接触であると判定する請求項1に記載の回路配線検査方法。
- 上記第1,第2スイッチが導通状態のとき、上記第1オペアンプの出力電圧がオペアンプの電源電位を示す場合には、上記第1,第2ガード用プローブの少なくとも一方が上記第3枝配線,上記第4枝配線の端点と非接触もしくは上記第3枝配線,上記第4枝配線の少なくとも一方が断線であると判定する請求項1ないし3のいずれか1項に記載の回路配線検査方法。
- 上記測定信号発生源として、直流または交流の電圧もしくは電流発生手段が用いられる請求項1ないし4のいずれか1項に記載の回路配線検査方法。
- 上記電流検出手段に代えて電圧検出手段を用いる請求項1ないし5のいずれか1項に記載の回路配線検査方法。
- 幹配線と、上記幹配線に対して並列的に接続された複数の枝配線とを含む回路配線の上記枝配線間の短絡および上記各枝配線の断線の有無を検査する回路配線検査装置において、
所定の測定信号を出力する測定信号発生源および上記測定信号発生源に接続される信号印加用プローブと、
一方の入力端子が接地電位とされたガード回路用の第1オペアンプと、
上記第1オペアンプの他方の入力端子に第1スイッチを介して接続される第1ガード用プローブおよび上記第1オペアンプの出力側に第2スイッチを介して接続される第2ガード用プローブと、
一方の入力端子が接地電位とされた第2オペアンプを含む電流検出手段および上記第2オペアンプの他方の入力端子に接続される電流検出用プローブと、
隣接する任意の第1,第2枝配線およびその両側に位置する任意の第3,第4枝配線を含む4本の枝配線の各端点をプローブ接触ポイントとして、外側に位置する上記第3枝配線および上記第4枝配線の各端点に上記第1ガード用プローブと上記第2ガード用プローブとを接触させるとともに、上記第1,第2枝配線の内の一方の端点に上記信号印加プローブを接触させ、他方の端点に上記電流検出用プローブを接触させ、かつ、上記第1,第2スイッチを制御して、上記第1,第2スイッチが導通状態のときと、非導通状態のときの上記電流検出手段による検出電流に基づいて、上記第1,第2枝配線間の短絡と、上記第1,第2枝配線の断線の有無を判定する制御手段とを備えていることを特徴とする回路配線検査装置。
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