JP2015230179A - 基板検査装置 - Google Patents
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- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims abstract description 100
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 101
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 89
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 57
- 238000012937 correction Methods 0.000 claims description 29
- 230000003321 amplification Effects 0.000 claims description 15
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 claims description 15
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 13
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 21
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 5
- 230000014509 gene expression Effects 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 2
- 230000004044 response Effects 0.000 description 2
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
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Abstract
【解決手段】基板検査装置は、回路基板11の導体パターン110に電気信号を印加し、当該回路基板11の電気特性を検査する。この基板検査装置は、電圧測定端子156及び電流供給端子154と、電圧補正部3と、を備える。電圧測定端子156及び電流供給端子154は、導体パターン110と接触する。電圧補正部3は、電圧測定端子156と、電流供給端子154と、導体パターン110と、から構成される回路内のノイズを除去可能なインスツルメンテーションアンプ30を備える。電圧補正部3は、インスツルメンテーションアンプ30から構成された制御ループを通じて、電圧測定端子156と電流供給端子154との間の電位差を補正する。
【選択図】図6
Description
V1=V10
V2=V20
V2−V1=V20−V10=(VB−VA)Rg/(R2+Rg+R1) ・・・(1)
VOC=VB−VA=(R2+Rg+R1)(V2−V1)/Rg ・・・(2)
なお、Rgは、インスツルメンテーションアンプ30のゲインを決定する抵抗値である。
VIC=V1=V2 ・・・(3)
(2)及び(3)の関係式から、VOC=0が得られる。以上のように、図7に示す回路は、共通入力信号を除去することができる。
10 基板検査装置
11 回路基板
15 プローブ(端子)
17 電流供給部
18 電流測定部
19 電圧測定部
30 インスツルメンテーションアンプ
31 非反転入力端子
32 反転入力端子
33 出力端子
40 オペアンプ
41 非反転インプット端子
42 反転インプット端子
43 アウトプット端子
151 プローブ
152 プローブ
153 電流供給端子
154 電流供給端子(第2測定端子)
155 電圧測定端子
156 電圧測定端子(第1測定端子)
Claims (7)
- 回路基板の導体パターンに電気信号を印加し、当該回路基板の電気特性を検査する基板検査装置であって、
前記導体パターンと接触する第1測定端子及び第2測定端子と、
電圧補正部と、
を備え、
前記電圧補正部は、前記第1測定端子と、前記第2測定端子と、前記導体パターンと、から構成される回路内のノイズを除去可能なインスツルメンテーションアンプを備え、
前記電圧補正部は、前記インスツルメンテーションアンプを含んだ制御ループを通じて、前記第1測定端子と前記第2測定端子との間の電位差を補正することを特徴とする基板検査装置。 - 請求項1に記載の基板検査装置であって、
前記インスツルメンテーションアンプは、互いに対称である2つの差動増幅回路を有することを特徴とする基板検査装置。 - 請求項1又は2に記載の基板検査装置であって、
前記制御ループに含まれるアンプの数が、前記インスツルメンテーションアンプを含めて1個又は2個であることを特徴とする基板検査装置。 - 請求項1から3までの何れか一項に記載の基板検査装置であって、
前記インスツルメンテーションアンプの増幅率が1倍に設定されていることを特徴とする基板検査装置。 - 請求項1から4までの何れか一項に記載の基板検査装置であって、
増幅率が−1倍であるオペアンプを更に備えることを特徴とする基板検査装置。 - 請求項5に記載の基板検査装置であって、
前記インスツルメンテーションアンプは、
非反転入力端子と、
反転入力端子と、
出力端子と、
を備え、
前記オペアンプは、
非反転インプット端子と、
反転インプット端子と、
アウトプット端子と、
を備え、
前記非反転入力端子と、前記第1測定端子と、が電気的に接続され、
前記反転入力端子と、前記アウトプット端子と、前記第2測定端子と、が電気的に接続され、
前記出力端子と、前記反転インプット端子と、が電気的に接続され、
前記非反転インプット端子がグランドと電気的に接続されることを特徴とする基板検査装置。 - 請求項1から6までの何れか一項に記載の基板検査装置であって、
前記第1測定端子を含むように2つの電圧測定端子を備え、
前記第2測定端子を含むように2つの電流測定端子を備え、
前記2つの電流測定端子を介して前記導体パターンに電流を印加し、前記2つの電圧測定端子から前記導体パターンの電圧を検出する4端子法を用いて基板を検査することを特徴とする基板検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2014114958A JP6418376B2 (ja) | 2014-06-03 | 2014-06-03 | 基板検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2014114958A JP6418376B2 (ja) | 2014-06-03 | 2014-06-03 | 基板検査装置 |
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Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015230179A true JP2015230179A (ja) | 2015-12-21 |
JP6418376B2 JP6418376B2 (ja) | 2018-11-07 |
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2014114958A Active JP6418376B2 (ja) | 2014-06-03 | 2014-06-03 | 基板検査装置 |
Country Status (1)
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JP (1) | JP6418376B2 (ja) |
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