JP2004033925A - 清浄空気供給システム及びその運転方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】最終段の回転式吸着装置31の下流側にULPAフィルタ42設置すると共に,ULPAフィルタ42の上流側に電気ヒータ41を設置し,電気ヒータ41で加熱された空気を積極的に冷却することなく高性能フィルタ42に導入する。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は,清浄空気の供給システム及びその運転方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
たとえば半導体デバイスの製造プロセスにおいては,高集積化が進むにつれてクリーンルーム中のガス状不純物による汚染が問題となっている。また製造プロセスに供給する給気の中に水分が含まれていると,ウエハに自然酸化膜が形成されてしまうことが知られている。そのため最近ではガス状不純物が殆どない,いわゆるケミカルフリーの乾燥空気を用いることが提案されている。
【0003】
かかる観点から,例えば特開2001−38137号公報においては,乾式減湿装置を用いた清浄空気の浄化システムが提案されている。この先行技術においては,ガス状不純物濃度が1ppb以下の清浄空気を製造する方法において,シリカゲル又は金属珪酸塩を有する回転自在なロータ内に処理空気を通過させて当該処理空気を減湿させる回転式吸着装置を直列に系統接続し,処理空気を順次減湿処理して清浄化するようにしていた。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
ところで,上記システムにおいて,仮にロータを出た空気に吸着剤からの粒子成分が含まれている場合,これら粒子成分の目的室への侵入を防止するため,下流側にULPAフィルタやHEPAフィルタなどの高性能フィルタを使用するようになる。
【0005】
しかしながら前記した高性能フィルタは,フィルタの濾材をフレームに接着する際に使用された接着剤や,フレームとフィルタの外装パネルのシールに使用されるパッキンからガス状の有機物が発生するおそれがある。
【0006】
前記したフィルタの接着剤やパッキンからの有機物の発生を防止するため,例えば特開平9−220425号公報に開示されたように,予めフィルタ全体を高温の空気に曝して有機物を接着剤やパッキンから除去する,「ベーキング」と呼ばれる熱処理をすることが提案されている。
【0007】
しかし,そのように予めベーキングしたとしても運搬・保管時に梱包材が破損したり,設置後周囲空気との接触で濾材が有機成分を吸着してしまい,システムに組み込んで使用した場合,そのまま濾材から脱離して負荷側に流出するおそれがある。かかる場合,そのまま運転し続けると,いずれは有機物をそれら接着剤やパッキンから追い出すことは可能であるが,そうすると実際に稼動可能な状態になるまでのいわゆる立ち上がり時まで長時間を要することとなって好ましくない。
また高性能フィルタの表面には水分が付着しているために,立ち上がり時に水分を除去する必要があるが,予め高温の空気に曝してベーキングをしても,運搬や保管時に水分がフィルタのろ材に吸着されるため,立ち上がり時間を短縮するという点からは,ほとんどその効果が期待できない。
【0008】
本発明は,かかる点に鑑みてなされたものであり,高性能フィルタを予めベーキングすることなくそのままシステムに組み込んで,システム内でベーキング処理ができ,しかも立ち上がり時間が短い,清浄空気の供給システム及びその運転方法を提供して,前記問題の解決を図る事をその目的としている。
【0009】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するため,本発明の清浄空気供給システムは,ロータ内に吸着剤を設けた回転式吸着装置で処理空気中の有機物又は水分を除去した後,目的室に供給する清浄空気供給システムであって,前記回転式吸着装置の下流側に高性能フィルタを設置すると共に,前記回転式吸着装置と高性能フィルタとの間の空気の流路にヒータを設置し,前記ヒータで加熱された空気を積極的に冷却することなく前記高性能フィルタに導入可能としたことを特徴としている。
【0010】
本発明は前記した構成をとるので,既存の汎用の高性能フィルタであっても,これを予めベーキングすることなく,そのままシステムに組み込んで使用しても,前記ヒータで処理空気を加熱することによって,高温の空気を高性能フィルタに流すことができ,これによって該高性能フィルタに対してベーキング処理を実施して,接着剤やシール材,パッキン等からガス状有機不純物を脱離させることができる。また高性能フィルタ表面に付着している水分も同時に脱離することができる。したがって従来よりも立ち上げ時間を短縮させることができる。
また高性能フィルタからの水分,ガス状有機不純物にとどまらず,ヒータの下流側の部材,例えばヒータと高性能フィルタを結ぶダクト,高性能フィルタから対象空間入口までのダクトの接合部,継ぎ目に存在するパッキン,シール材や,ダンパのグリースに含まれる有機物等も除去可能である。
【0011】
前記高性能フィルタを通過した空気を,前記回転式吸着装置の入口側に戻すための戻し流路を備え,前記高性能フィルタを通過した後の空気を,前記目的室又は戻し流路側へと流すことを切り替え自在とすれば,例えば有機物が離脱している間は,戻し流路側へと流すことで目的室への有機物の流入を防止することができ,その後有機物の発生をみなくなった時点で目的室側へと流すことができ,目的室に有機物が流入すること自体を防止することができる。
【0012】
前記回転式吸着装置の上流側に,外気を処理するエアワッシャを設ければ,エアワッシャによって外気を処理した後の空気を処理空気として回転式吸着装置に導入して処理することができる。エアワッシャで予め外気を処理することで,無機・有機の汚染ガスが低減される。これによってさらに高い清浄度の空気を目的室に供給することが可能になる。発明者らの実験によれば,無機ガス成分は,従来よりも,約1/10まで低減することができた。また回転式吸着装置の入口空気の温湿度条件が安定するため,供給する清浄空気の露点温度も安定する。
単純にみれば,冬期にはエアワッシャで加湿した一次処理済みの外気を回転式吸着装置によって減湿処理することになり消費エネルギーが多くなるが,最終的には低エンタルピーの清浄空気を目的室内に供給できるため,目的室の浄化システム全体で考えた場合にはロスはそれほど多くはない。
【0013】
前記回転式吸着装置において複数段のロータが直列多段に接続されている場合,1段目のロータの処理区域入口側にのみ冷却器を設置して2段目以降には冷却器を設置せず,当該回転式吸着装置内の各ロータについての処理空気系統と再生系統には,当該回転式吸着装置全体に対して各々送風機を1つずつのみを備えるようにして,システム全体の簡素化を図ってもよい。
【0014】
従来のこの種の回転吸着装置でロータを多段に接続して使用する場合,各々のロータにおいて,処理区域入口側に冷却器を1つ設置し,さらに処理空気系統と再生系統にも各々のロータ毎に送風機を設置するようにしていた。そのため設置面積の肥大化,設備費の高騰を招いていた。この点,本発明によれば,設置面積,設備費とも従来よりも20%低減させることが可能である。
【0015】
また本発明の清浄空気供給システムを運転する場合,運転開始時には,前記ヒータを作動させると共に前記高性能フィルタを通過した空気を全量戻し流路側へと流し,所定時間経過後は,前記ヒータを停止させると共に前記高性能フィルタを通過した空気を全量目的室側へと流すようにしてもよい。
それによって,例えば有機物が離脱している間は目的室への有機物の流入を防止することができ,その後所定時間かかるプロセスを実施することで,有機物を高性能フィルタから脱離させることができる。そして所定時間経過後に目的室側へと流すようにすることで,有機物の離脱処理と目的室への清浄空気の供給とを自動的に切り換えることも可能となって,全体として効率のよい運用が行える。またヒータの使用も必要以下に抑えて消費エネルギーの低減が図れる。
【0016】
かかる場合,目的室側へと流す判断基準として,前記高性能フィルタを通過した空気中の不純物の濃度,あるいは露点温度を測定し,所当該濃度又は露点温度が所定値以下になった後にヒータを停止して目的室側へと切り換えるようにしてもよい。この場合は,さらに必要最小限のヒータの使用で済み,また戻し流路側へ流す時間も必要最小限に抑えることができ,立ち上げ時間の一層の短縮化を図ることができる。
【0017】
さらにまた,上記したように運転開始後直ちに高性能フィルタを通過した空気を全量戻し流路側へと流すのではなく,請求項7に記載したように,まず前記戻し流路の上流側の接続部分に別途排気ダクトを設ける。そして運転開始後所定時間経過するまで,あるいは運転開始後前記高性能フィルタを通過した空気中の不純物の濃度又は露点温度が所定値以下になるまでは,前記ヒータを作動させると共に前記高性能フィルタを通過した空気を全量前記排気ダクトを通じて排気するようにする。そしてその後,前記高性能フィルタを通過した空気を全量戻し流路側へと流し,以後所定時間経過後,あるいは前記高性能フィルタを通過した空気中の不純物の濃度又は露点温度が所定値以下になった後に,前記ヒータを停止させると共に前記高性能フィルタを通過した空気を全量目的室側へと流すようにしてもよい。
このようにすれば,運転開始当初に濃度の高い不純物が戻し流路内に流入して,戻し流路内を汚染することを防止することが可能になる。
【0018】
【発明の実施の形態】
以下に,本発明の好ましい実施の形態を図面に基いて説明する。図1は,本実施の形態にかかる清浄空気供給システムの系統の概略を示しており,このシステムは,−80℃以下の超低露点の清浄化空気を製造して,たとえば半導体ウエハの保管庫Sに供給するシステムとして構成されている。
【0019】
原料空気としての外気OAはまず,外気調和機として機能しているエアワッシャ1,1によって一次処理された後,処理ファン2によって処理系統ダクト3に導かれる。かかる一次処理によって,外気OA中の80%以上のガス状無機不純物と一部のガス状有機不純物が除去される。なお本実施の形態では,2系統の外気導入系を有し,各々にエアワッシャ1が設置されている。
【0020】
処理系統ダクト3に導かれた処理空気は,まずクーラ4によって冷却減湿される。冷却減湿された空気はその後,1段目の回転式吸着装置10のロータ11の処理区域11aを通過して,減湿処理される。
【0021】
1段目の回転式吸着装置10は,図2に示したように,回転するロータ11の両端面にチャンバ12,13が配置された構成を有している。各チャンバ12,13は,内部に3つの仕切板14,14,14が放射状に配置されており,チャンバ12,13内の空間を3つに仕切っている。これに対応して,ロータ11の端面には,図2中の細矢印に示したロータ11の回転方向順に,処理区域11a,再生区域11b,パージ区域11cの3つの空気の通過域が仕切板14によって区画形成されている。そしてチャンバ12の外側端面には,これら各区域に対応して,ダクトなどに接続するための処理出口12a,再生入口12b,パージ出口12cが形成されている。なおチャンバ13の外方端面にも,前記3つの区域に対応して処理入口13a,再生出口13b,パージ入口13cが各々形成されている。
【0022】
なおロータ11には,シリカゲルにAl(アルミニウム),Zn(亜鉛)を若干量添加したものを母材に含浸させたものを使用している。すなわち,例えばハニカム状繊維紙やセラミックの焼成体の細かい繊維に,シリカゲルを主体としてAl(アルミニウム),Zn(亜鉛)を少し混ぜた金属珪酸塩を含浸させ,繊維の周りに当該金属珪酸塩をびっしりと張り付けたものを使用することができる。またロータ11の厚みは400mmであり,またロータ11の回転速度は,4回転/時に設定されている。
【0023】
1段目の回転式吸着装置10のロータ11の処理区域11aを通過した空気は,露点温度が例えば−50℃まで減湿処理されているが,その一部はパージ区域11cに戻される。一方,1段目の回転式吸着装置10のロータ11の処理区域11aを通過した空気は,処理ファン5によってクーラ6へと送られ,クーラ6によって冷却された後,2段目の回転式吸着装置20のロータ21の処理区域21aに導かれ,減湿処理される。
【0024】
2段目の回転式吸着装置20は,1段目の回転式吸着装置10と基本的に同一の構成を有する回転式吸着装置21,31とによって構成されている。すなわち回転式吸着装置20における初段の回転吸着装置21のロータ22の端面は,ロータ22の回転方向順に,処理区域22a,再生区域22b,パージ区域22cの3つの空気通過区域に区画されている。この初段の回転式吸着装置21のロータ22の処理区域22aを通過した空気は,例えば,その露点温度が−80℃の低露点の空気にまで減湿処理されるようになっている。
【0025】
回転式吸着装置20における初段のロータ22の処理区域22aを通過した空気は,その一部はパージ区域22cに戻される。一方残りの空気は,そのまま2段目の回転式吸着装置20における次段の回転式吸着装置32のロータ3の処理区域32aに導かれる。
【0026】
回転式吸着装置20における,次段の回転式吸着装置31は,前記したように,1段目の回転式吸着装置10と基本的に同一の構成を有している。すなわち回転式吸着装置20における,次段のロータ32の端面は,ロータ32の回転方向順に,処理区域32a,再生区域32b,パージ区域32cの3つの空気通過区域に区画されている。このロータ32は,回転式吸着装置20においては,2段目のロータということになり,その処理区域32aを通過した空気は,例えば,その露点温度が−110℃の超低露点にまで減湿処理されるようになっている。
【0027】
回転式吸着装置31におけるのロータ32の処理区域32aを通過した空気は,その一部はパージ区域32cに戻される。一方残りの空気は,さらに一部が分流されて後述の再生ヒータ51に送られ,残りの空気が電気ヒータ41を経て,その後ULPAフィルタ42によって粒子等が除去されて清浄化された後,保管庫Sに給気SAとして供給されるようになっている。
ここで電気ヒータ41の下流側,すなわち電気ヒータ41の出口から,対象空間である保管庫Sに至るまでのダクト(清浄空気流通路)には,冷却手段を一切設けていない。したがって自然降温は別として,前記ダクト内の空気温度は電気ヒータ41の温度と同等である。
【0028】
次に上記システムのパージ,再生系統について説明する。電気ヒータ41の直前で分流された処理空気の一部は,再生ヒータ51に送られ,例えば120℃まで昇温された後,ロータ32の再生区域32bに送られ,ロータ32の再生処理に使用される。再生区域32bを出た空気は,前出パージ区域32cでロータ32のパージ処理に供された空気と混合されて,再生ヒータ52に送られ,例えば120℃まで昇温される。
【0029】
再生ヒータ52によって昇温された空気は,ロータ22の再生区域22bに送られ,ロータ22の再生処理に使用される。再生区域22bを出た空気は,前出パージ区域22cでロータ22のパージ処理に供された空気と混合され,さらに前出一段目の回転式吸着装置10のロータ11のパージ区域11cでロータ11のパージ処理に供された空気とも混合されて,処理ファン53によって再生ヒータ54に送られる。再生ヒータ54では,流入した空気が例えば120℃まで昇温される。
【0030】
再生ヒータ54によって昇温された空気は,ロータ11の再生区域11bに送られ,ロータ11の再生処理に使用され,再生区域22bを出た空気は,排気ファン55によって排気EAとして外部へと排気される。
【0031】
そしてULPAフィルタ42の下流側と,処理ファン2の上流側であってエアワッシャの下流側との間の処理系統ダクト3との間には,戻し流路としてのリターンダクト61が設けられている。なお図1中,D1〜D15は空気ダンパ(少なくとも開閉機能を持ち,必要に応じ信号を受けて開度の制御が可能)であり,リターンダクト61の両端に位置する空気ダンパD1,D2の操作によって,ULPAフィルタ42を通過した空気を目的室S側へと送るか,リターンダクト61側へと送るか切替可能となっている。
【0032】
また処理ファン2,5,再生ファン53,排気ファン55は全てダクト内を流れる風量や温度に基づくインバータ制御が可能である。また図1の系統中,「◎」で示されるものは,露点測定口である。またT1〜T7は,温度検出器である。
【0033】
以上の本実施の形態にかかる清浄空気供給システムの主要の空気の流れを図示すると,図3に示したようになる。なお図3中,各ロータのパージ区域を出た空気の流れは省略されている。
【0034】
本実施の形態にかかる清浄空気供給システムは,以上のように構成されており,ULPAフィルタ42を新たにシステム内に組み込んだ後は,まず該ULPAフィルタ42から有機物を脱離させるためのベーキング運転がなされる。このとき,空気ダンパD1,D2を開放し,空気ダンパD15は閉鎖する。また電気ヒータ41は作動状態とする。この状態でエアワッシャ1によって一次処理された空気を,回転式吸着装置10,21,31によって処理すると,最終段の回転式吸着装置31におけるのロータ32の処理区域32aを通過して電気ヒータ41を経て,例えば50〜60℃まで加熱される。かかる温度まで昇温された空気は,積極的に冷却されることなくそのまま全量,ULPAフィルタ42を通過し,リターンダクト61を流れて処理ファン2の上流側へと戻される。
リターンダクト61,すなわち電気ヒータ41の下流で分岐し,加熱された空気の一部を,後述する一次処理済み空気の導入ダクト3の合流部まで戻すダクトにも,前述の電気ヒータ41−対象空間の入口間のダクトと同様,冷却手段は一切設けられていない。
【0035】
かかるベーキング運転によって,ULPAフィルタ42のシール材や接着剤等から有機ガス成分が脱離する。なお脱離した有機ガス成分は,一段目のロータ11の上流側に戻されることになるが,この段階でもともと多くの有機ガス成分があるため,ULPAフィルタ42から脱離した有機物によってロータ11の性能が劣化するということはない。しかもULPAフィルタ42には,極めて低露点でかつ高温の空気が供給されるため,有機ガス成分の離脱と同時に,ULPAフィルタ42に付着している水分も蒸発して早くなくなる。
【0036】
なおベーキング運転の間,エアワッシャ1からの一次処理済み空気の供給は停止せず,リターンダクト61によって戻される空気の分,空気ダンパD3,D9を絞るなどして,エアワッシャ1からの供給空気量を減らす。これは,本実施の形態では,ロータのパージ,再生に処理空気の一部を使用して排気しているため,その不足分を補うためである。
【0037】
そしてそのようなベーキング運転開始後所定時間,例えば48時間経過した後は,定常運転に入る。すなわち空気ダンパD1,D2を閉鎖し,空気ダンパD15は開放する。また電気ヒータ41は停止状態とする。これによって最終段の回転式吸着装置31におけるのロータ32の処理区域32aを通過した空気は,ULPAフィルタ42によって粒子成分が除去された後,保管庫Sへと供給されるのである。
【0038】
以上の清浄空気供給システムによれば,システムに組み込んだULPAフィルタ42に対してベーキング処理して,ガス状有機不純物をULPAフィルタ42から除去することができる。しかも同時にULPAフィルタ42中の水分も除去できる。
【0039】
そして所定時間経過後は直ちにガス状不純物が高い程度まで除去された高清浄度の乾燥空気を直ちに保管庫Sに供給することができるので,従来のガス状有機不純物の自然放出による脱離運転と比較すると,立ち上げ時間も約半分程度まで短縮できる。しかもベーキング運転の間はガス状有機不純物は保管庫Sへは流入しないので,システムの稼働による保管庫S内の汚染はない。
【0040】
そのうえシステム内でULPAフィルタ42のベーキング処理が可能であるから,ULPAフィルタ42の設置,搬送,梱包等に対して従来よりも余計な注意を払う必要がない。
【0041】
さらにまた処理空気としてエアワッシャ1によって一次処理された後の空気を使用しているので,無機ガス成分,特に可溶性の無機ガス成分を事前に大幅に除去することができ,全体として無機ガス成分,有機ガス成分が大幅に除去された極めて高い清浄度の空気を保管庫Sに供給することが可能になっている。
【0042】
さらに2段目の回転式吸着除去装置20は。ロータ22,32を多段に直列接続した構成を有しているが,回転式吸着除去装置20全体としてみれば,1段目のロータとなるロータ22の処理区域32a入口側には,1台のクーラ6しかなく,また送風機についても,1台の処理ファン5,1台の再生ファン53しか設けていないので,設置面積,設備費とも従来よりも20%低減させることが可能となっている。
【0043】
なお前記実施の形態では,ULPAフィルタ42を高性能フィルタとして使用していたので,電気ヒータ41による加熱温度は50〜60℃としていたが,ULPAフィルタ42の代わりにメタル系のフィルタも使用可能であり,その場合には,電気ヒータ41による加熱温度も,それに応じて例えば200℃とすればよい。要するにフィルタの耐熱温度まで電気ヒータ41によって加熱して,フィルタに供給すればよい。もちろん電気ヒータに代えて,各種のヒータ,例えば温水のヒータでも蒸気ヒータでも使用することが可能である。
【0044】
なおベーキング運転の際には,高温空気をリターンダクト61によって上流側に戻しているため,その分クーラ4,6に対しての負荷がかかることになるが,クーラ4,6では,ガス状有機不純物の一部が水分と共に凝縮して,除去されているので,ガス状有機物の除去という点ではメリットがある。
【0045】
さらにまた前記実施の形態では,ベーキング運転から定常運転に切り換えるに当たっては,時間を基準として,所定時間経過後に切り換えるようにしていたが,ULPAフィルタ42の下流側に,例えば特定の有機不純物の濃度を測定するセンサを設置し,このセンサからの検出結果が,所定のしきい値を下まわった時点で,ベーキング運転から定常運転に切り換えるようにしてもよい。あるいは露点温度を測定するセンサ,装置などを設置するなどして露点温度を測定し,所定の露点温度以下になったら定常運転に切り換えるようにしてもよい。それによって,不必要なべーキング運転時間を減らすことができ,さらに立ち上げ時間を短縮することも可能になる。
【0046】
以上の実施の形態では,ヒータ(加熱手段)として電気ヒータを用いたが,工場など蒸気ヒータが既設である場合には,蒸気コイルを用いればコスト的に有利である。また外調機としてエアワッシャを用いたが,エアワッシャを内蔵しかつ空気加熱,空気冷却用の熱交換器とフィルタを備えたユニットを使用すれば,以降の冷却コイル処理負荷が減り,制御制度も向上する。この際,外調機内の冷却コイルをエアワッシャにより上流側に設置すると,エアワッシャに導かれる空気は低温となり,エアワッシャ水槽などでの菌や藻の繁殖が抑制される。
【0047】
さらにまた処理系ダクト3とリターンダクト61との接続部分に,別途排気ダクト(図示せず)を設けてもよい。この排気ダクトを設ければ,例えば運転開始後所定時間経過するまで,又は運転開始後前記高性能フィルタを通過した空気中の不純物の濃度又は露点温度が所定値以下になるまでは,電気ヒータ41を作動させると共にULPAフィルタ42を通過した空気を全量当該排気ダクトを通じて排気するようにし,その後にULPAフィルタ42を通過した空気を全量リターンダクト61へと流し,以後所定時間経過後,又はULPAフィルタ42を通過した空気中の不純物の濃度又は露点温度が所定値以下になった後は,電気ヒータ41を停止させると共にULPAフィルタ42を通過した空気を保管庫S側へと流すような運転が可能になる。
【0048】
システムの立ち上げ時は,濃度の高い不純物が発生する可能性が高い。したがって運転開始直後にリターンダクト61へ流すのを止めて,上記のように一旦排気ダクトを通じて強制排気することで,当該濃度の高い不純物当は系外に排出することができ,その結果以後のベーキング運転の際にリターンダクト61内が汚染されるのを防止することができる。そしてその後は,既述したようにリターンダクト61へ流し始めてから所定時間経過後,あるいは不純物濃度や露点温度が所定値以下になった際に,保管庫S側に流すようにすればよい。なおULPAフィルタ42を通過した空気の前記排気ダクト,リターンダクト61,保管庫Sへの切替は,例えば前記排気ダクトに空気ダンパを設け,各々のダンパの切替操作によって容易にこれをなし得る。
【0049】
【発明の効果】
本発明によれば,高性能フィルタを予めベーキングすることなくそのままシステムに組み込んで使用しても,システム内でベーキング処理ができる。またシステムの立ち上げ時間も従来より短縮できる。さらにまた戻し流路を設ければ,有機物の脱離処理を実施する間,目的室内に有機物が流入すること自体を防止することができる。エアワッシャを使用すれば,無機ガス成分も,従来より約1/10まで低減することができる。設置面積,設備費とも従来よりも20%低減させることが可能である。
【0050】
さらに本発明のシステムの運転方法によれば,有機物の脱離処理と目的室への清浄空気の供給とを自動的に切り換えることも可能であり,全体として効率のよい運用が行える。またヒータの使用も必要最小限に抑えて消費エネルギーの低減を図ることが可能になっている。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態にかかる清浄空気供給システムの構成の概略を示す説明図である。
【図2】図1の清浄空気供給システムに用いた1段目の乾式減湿装置のロータ部分の斜視図である。
【図3】本発明の実施の形態にかかる清浄空気供給システムにおける主要な空気の流れを示す説明図である。
【符号の説明】
1 エアワッシャ
3 処理系統ダクト
10 乾式減湿装置(1段目)
11 ロータ
11a 処理区域
11b 再生区域
11c パージ区域
20 乾式減湿装置(2段目)
22 ロータ
32 ロータ
41 電気ヒータ
42 ULPAフィルタ
61 リターンダクト
D1〜D15 ダンパ
S 保管庫
Claims (7)
- ロータ内に吸着剤を設けた回転式吸着装置で処理空気中の有機物又は水分を除去した後,目的室に供給する清浄空気供給システムであって,前記回転式吸着装置の下流側に高性能フィルタを設置すると共に,
前記回転式吸着装置と高性能フィルタとの間の空気の流路にヒータを設置し,
前記ヒータで加熱された空気を積極的に冷却することなく前記高性能フィルタに導入可能としたことを特徴とする,清浄空気供給システム。 - 前記高性能フィルタを通過した空気を,前記回転式吸着装置の入口側に戻すための戻し流路を備え,
前記高性能フィルタを通過した後の空気を,前記目的室又は戻し流路側へと流すことが切り替え自在であることを特徴とする,請求項1に記載の清浄空気供給システム。 - 前記回転式吸着装置の上流側に,外気を処理するエアワッシャを備えたことを特徴とする,請求項1又は2に記載の清浄空気供給システム。
- 前記回転式吸着装置において複数段のロータが直列多段に接続されている場合,
1段目のロータの処理区域入口側にのみ冷却器を設置して2段目以降には冷却器を設置せず,
当該回転式吸着装置内の各ロータについての処理空気系統と再生系統には,当該回転式吸着装置全体に対して各々送風機を1つずつのみを備えたことを特徴とする,請求項1,2又は3に記載の清浄空気供給システム。 - 請求項2に記載の清浄空気供給システムの運転方法であって,
運転開始時には,前記ヒータを作動させると共に前記高性能フィルタを通過した空気を全量戻し流路側へと流し,
所定時間経過後は,前記ヒータを停止させると共に前記高性能フィルタを通過した空気を全量目的室側へと流すことを特徴とする,清浄空気供給システムの運転方法。 - 請求項2に記載の清浄空気供給システムの運転方法であって,
運転開始時には,前記ヒータを作動させると共に前記高性能フィルタを通過した空気を全量戻し流路側へと流し,
前記高性能フィルタを通過した空気中の不純物の濃度又は露点温度が所定値以下になった後は,前記ヒータを停止させると共に前記高性能フィルタを通過した空気を全量目的室側へと流すことを特徴とする,清浄空気供給システムの運転方法。 - 請求項2に記載の清浄空気供給システムの運転方法であって,
さらに前記戻し流路の上流側の接続部分に別途排気ダクトを設け,
運転開始後所定時間経過するまで,又は運転開始後前記高性能フィルタを通過した空気中の不純物の濃度又は露点温度が所定値以下になるまでは,前記ヒータを作動させると共に前記高性能フィルタを通過した空気を全量前記排気ダクトを通じて排気するようにし,
その後に前記高性能フィルタを通過した空気を全量戻し流路側へと流し,以後所定時間経過後,又は前記高性能フィルタを通過した空気中の不純物の濃度又は露点温度が所定値以下になった後は,前記ヒータを停止させると共に前記高性能フィルタを通過した空気を全量目的室側へと流すことを特徴とする,清浄空気供給システムの運転方法。
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