JP2004022150A - 磁気ヘッドおよびその製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】線材の破損に起因したリーク不良が防止され、生産性及び信頼性に優れた磁気ヘッド及びその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る磁気ヘッドは、少なくとも一方が巻き線溝を有する一対の磁気コア半体１１ａ，１１ｂが磁気ギャップを介して突き合わされてなり、上記磁気ギャップは、所定のアジマス角を有するとともに、上記巻き線溝の少なくとも鋭角の角部１６ａ，１６ｂが研磨処理されていることを特徴とする。また、本発明に係る磁気ヘッドの製造方法は、少なくとも一方に巻き線溝が形成された一対の磁気コア半体１１ａ，１１ｂを磁気ギャップ介して突き合わせて接合した後、磁気ギャップが所定のアジマス角を有するように切断し、さらに上記巻き線溝の少なくとも鋭角の角部１６ａ，１６ｂに対して研磨処理を施すことを特徴とする。
【選択図】　図２

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、磁気記録媒体に対して音声信号や映像信号、あるいはデータ信号等の情報信号を記録再生する磁気ヘッド及びその製造方法に関するものであり、特にコイルが巻回される巻き線溝を有する一対の磁気コア半体同士を突き合わせてなる磁気ヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、磁気テープ等を磁気記録媒体として用いているビデオテープレコーダ（ＶＴＲ）、デジタルオーディオテープレコーダ（ＤＡＴ）、あるいはデジタルデータ記録再生装置等は、磁気テープ等の記録トラック上に情報信号を磁気信号として書き込み、あるいは記録トラック上に記録されている情報信号を磁気信号として読み込む磁気ヘッドを備えている。
【０００３】
この磁気ヘッドは、磁気コアとこの磁気コアに巻回された線材等の部材により構成されており、磁気コアには微小間隙である磁気ギャップが形成されている。そして、記録時には該線材に電流を流して磁気記録媒体に書き込みを行い、再生時には磁気記録媒体からの読み込まれた磁束パターンを、線材を通して増幅アンプへ電気信号として送る。
【０００４】
図１８は、従来の磁気ヘッドの一例を示す斜視図、図１９は、その摺動面の拡大平面図である。この磁気ヘッド２００は、ギャップ材を介して互いに突き合わされ、ガラス融着等により接合一体化された２つの磁気コア半体２０１ａ、２０１ｂで構成されている。各磁気コア半体２０１ａ、２０１ｂの接合面間の高抗磁力磁気記録媒体が摺動する摺動面２００Ａ寄りには、磁気記録媒体に対して情報信号を記録再生するための磁束を発生する磁気ギャップｇが形成されている。
【０００５】
そして、磁気ギャップｇの両端部では、トラック幅方向に円弧状に形成されたトラック幅規制溝２０２ａ、２０２ｂによりトラック幅Ｔｗが規制されている。また、各磁気コア半体２０１ａ、２０１ｂの接合面近傍には、磁気ギャップｇのデプスを規制すると共に線材を通すための巻き線溝２０３ａ、２０３ｂが形成されており、各接合面と対向する側面には、線材を案内するための巻き線ガイド溝２０４ａ、２０４ｂが形成されている。
【０００６】
また、現在、このような磁気ヘッドを用いた磁気記録再生においては、磁気記録媒体面積の有効活用として記録再生時のガードバンドをなくしたベタ記録が主流となり、一つの磁気記録パターンに対して大きな角度を付与することで高周波におけるクロストークを軽減するアジマス記録方式が用いられている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、このようなアジマス記録方式の用いる磁気ヘッドにおいては、ヘッドチップを作製した後、自動巻き線機等によって例えば銅線に有機系の絶縁膜を被覆した線材をヘッドチップに巻回する。巻き線を行う際は、巻き線溝に効率良く巻き線を行うためにヘッド上部方向に整列巻きを行う。ここで、巻き線溝を通った線材を巻き線ガイド溝に這わせる際、巻き線位置を修正するために巻き線溝の縁に線材が擦りつけられてしまう。
【０００８】
このとき、ヘッドチップの巻き線溝の縁が鋭いエッジ部とされていると、線材の絶縁膜が巻き線溝の縁により破損し、線材におけるリーク不良の原因となってしまう。また、破損が激しい場合には線材の芯線までも破損、切断され、断線不良が発生する場合もある。そして、アジマス記録方式の場合、磁気ヘッドの巻き線溝の縁の一方は鋭く尖った鋭角とされているため、通常の磁気ヘッドよりも線材がより破損しやすいという問題がある。
【０００９】
また、近年、映像の高画質化等を目的として、あるいは記憶容量の大容量化を目的として、情報信号の波長をより短くしてより多くの情報信号が記録再生可能な高密度磁気記録方法が採られている。このため、磁気記録媒体の磁性層に用いられる磁性粉として強磁性金属粉末をベースフィルム上に塗布したメタルテープや、強磁性金属材料をベースフィルム上に直接蒸着した蒸着テープ等の高抗磁力磁気記録媒体が使用されている。
【００１０】
そして、このような高抗磁力磁気記録媒体に対して情報信号を良好に記録再生するために、高透磁率かつ高飽和磁束密度を持つ金属系磁性材料、例えば鉄系合金、鉄−ニッケル系合金、鉄−コバルト系合金等で成る磁気コアを有する積層型磁気ヘッド、あるいは例えばＭｎＺｎフェライトで成る磁気コアを有するフェライト磁気ヘッド、あるいは例えばＭｎＺｎフェライトで成る磁気コアを有し、高透磁率かつ高飽和磁束密度を持つ金属系磁性膜を磁気ギャップに配したＭＩＧ（メタルインギャップ）型磁気ヘッド等が使用されている。
【００１１】
しかしながら、このような磁気ヘッドでは、加工したフェライトコア自体よりもさらに鋭い金属系磁性膜により線材が破損し易くなっている。
【００１２】
また、一方で、磁気記録及び再生の効率をさらに向上させるべく磁気ヘッドの回路上で磁束が流れる長さを極力短くすることでロスを減少させた磁気ヘッドが検討されている。このような磁気ヘッドでは、巻き線を施す穴面積が非常に小さくなるため、線材の巻き線数を減少させないために線材の外径を小さくしなければならず、線材の芯線はより細く、また、絶縁膜はより薄くする傾向にある。このため、線材はさらに破損しやすくなる傾向にある。
【００１３】
したがって、本発明は上述した従来の実情に鑑みて創案されたものであり、線材の破損に起因したリーク不良や断線不良が防止され、生産性及び信頼性に優れた磁気ヘッド及びその製造方法を提供することを目的とする。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
以上の目的を達成する本発明に係る磁気ヘッドは、少なくとも一方が巻き線溝を有する一対の磁気コア半体が磁気ギャップを介して突き合わされてなり、磁気ギャップは、所定のアジマス角を有するとともに巻き線溝の少なくとも鋭角の角部が研磨処理されていることを特徴とするものである。
【００１５】
また、以上の目的を達成する本発明に係る磁気ヘッドの製造方法は、少なくとも一方に巻き線溝が形成された一対の磁気コア半体を磁気ギャップ介して突き合わせて接合した後、磁気ギャップが所定のアジマス角を有するように切断し、さらに上記巻き線溝の少なくとも鋭角の角部に対して研磨処理を施すことを特徴とするものである。
【００１６】
以上のように構成された本発明に係る磁気ヘッドにおいては、巻き線溝の少なくとも鋭角の角部が研磨処理されているため、磁気ヘッドに巻回された線材が巻き線溝の鋭角の角部によって破損することが防止されている。すなわち、本発明に係る磁気ヘッド及び磁気ヘッドの製造方法では、少なくとも所定の角度のアジマス角を設けることによって形成される巻き線溝の鋭角の角部が研磨処理され、該角部の鋭く尖った鋭角部分が除去され、なだらかな形状とされる。
【００１７】
これにより、磁気ヘッドの製造時に磁気コア半体の周りに線材を巻回する際、線材位置を修正するために線材が巻き線溝の縁に擦りつけられても、線材を被覆している絶縁膜や線材の芯線が巻き線溝の角部により破損することを防止することができる。そして、線材の絶縁膜が該角部により破損することを大幅に減少させることができるため、従来の磁気ヘッドにおいて生じていた線材の絶縁膜の破損に起因したリーク不良の発生を大幅に低減させることができる。また、該角部による線材の芯線の破損も防止することができるため、断線不良の発生を大幅に低減させることができ、従来の磁気ヘッドにおいて生じていた問題を解消することができる。
【００１８】
したがって、本発明に係る磁気ヘッド及び磁気ヘッドの製造方法によれば、磁気ヘッドの製造歩留まりを大幅に向上させることができ、また、信頼性の高い磁気ヘッドを実現することが可能である。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を図面を参照しながら詳細に説明する。なお、本発明は、以下の記述に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において適宜変更可能である。
【００２０】
図１は、本発明を適用して構成したＭＩＧ型磁気ヘッド１０（以下、単に磁気ヘッド１０と呼ぶ。）の一構成例を示す斜視図である。また、図２は、図１中のＡ−Ａ’断面を示す横断面図である。この磁気ヘッド１０は、磁気ギャップｇが形成されている摺動面１０ｃを有する磁気コアからなり、摺動面１０ｃ上を摺動するテープ状磁気記録媒体に対してアジマス記録方式で情報信号を記録再生する磁気ヘッドである。このような磁気ヘッド１０は、ギャップ材を介して互いに突き合わされ、ガラス融着あるいは貴金属同士の熱拡散による低温熱拡散接合等により接合一体化された２つの磁気コア半体１１ａ、１１ｂで構成されている。そして、各磁気コア半体１１ａ、１１ｂの接合面間の高抗磁力磁気記録媒体が摺動する摺動面１０ｃ寄りには、高抗磁力磁気記録媒体に対して情報信号を記録再生するための磁束を発生する磁気ギャップｇが形成されている。
【００２１】
また、磁気ヘッド１０には、媒体摺動面１０ｃの両側部に、それぞれ当たり幅規制溝１０ｄが形成されている。磁気ヘッド１０は、当たり幅規制溝１０ｄが形成されていることにより、テープ状磁気記録媒体との当接状態が調整される。
【００２２】
各磁気コア半体１１ａ、１１ｂは、例えばＭｎ−Ｚｎ系フェライトやＮｉ−Ｚｎ系フェライト等の酸化物軟磁性材から成り、各磁気コア半体１１ａ、１１ｂの接合面には、磁気ギャップｇのトラック幅を規制するトラック幅規制溝１２ａ、１２ｂが、磁気ギャップｇの両端縁近傍部からそれぞれトラック幅方向に亘って三角状に形成され、各磁気コア半体１１ａ、１１ｂの接合面及びトラック幅規制溝１２ａ、１２ｂの内面には、高磁束密度高透磁率材料からなる強磁性高透磁率金属膜１３ａ、１３ｂが成膜されている。
【００２３】
そして、強磁性高透磁率金属膜１３ａと１３ｂとの間にはギャップ材となる非磁性膜が成膜され、磁気ギャップｇが形成されている。非磁性膜の材料としては、ＳｉＯ_２、Ｔａ_２Ｏ_５等の酸化物、Ｓｉ_３Ｎ_４等の窒化物、Ｃｒ、Ａｌ、Ｓｉ、Ｐｔ、Ａｕ等の金属又はそれらの合金を用いることが好ましい。また、非磁性膜は、例えばＣｒ／Ａｕ膜などのように、これらの金属材料よりなる金属膜を組み合わせた積層膜としてもよい。
【００２４】
さらに、各磁気コア半体１１ａ、１１ｂの接合面には、磁気ギャップｇのデプスを規制すると共に線材を通すための巻き線溝１４ａ、１４ｂが形成されており、各磁気コア半体１１ａ、１１ｂの接合面と反対側の側面には、線材を案内するための巻き線ガイド溝１５ａ、１５ｂが、側面形状を略矩形状として形成されている。なお、巻き線溝１４ａ、１４ｂは、一方の磁気コア半体のみに形成されていても良い。
【００２５】
ここで、強磁性高透磁率金属膜１３ａ、１３ｂは、高透磁率かつ高飽和磁束密度を持つ金属系磁性材料、例えば鉄系合金、鉄−ニッケル系合金、鉄−コバルト系合金等の金属材料からなり、各磁気コア半体１１ａ、１１ｂの接合面及び巻き線溝１４ａ、１４ｂ内を含む全面に成膜されている。強磁性高透磁率金属膜１３ａ、１３ｂは結晶質、非晶質であるかを問わず従来公知の物がいずれも使用できる。具体的には、強磁性高透磁率金属膜１３ａ、１３ｂを形成する材料としては、例えば、Ｆｅ−Ａｌ−Ｓｉ合金、Ｆｅ−Ｎｉ−Ａｌ−Ｓｉ合金、Ｆｅ−Ｇａ−Ｓｉ合金、Ｆｅ−Ａｌ−Ｇｅ合金、又はこれらの合金に８原子％以下程度の不純物を添加した結晶質材料を用いることができる。添加する不純物としては、例えば、Ｃｏ、Ｔｉ、Ｃｒ、Ｎｂ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｒｕ、Ａｕ、Ｐｄ、Ｎ、Ｃ、Ｏから選ばれる少なくとも１種を挙げることができる。
【００２６】
また、強磁性高透磁率金属膜１３ａ、１３ｂを形成する具体的な材料としては、例えば、Ｃｏを主材料として、Ｚｒ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｈｆ、Ｍｏ、Ｎｂ、Ａｕ、Ｐｄ、Ｒｕから選ばれる少なくとも１種を添加して構成されたアモルファス材料を用いることができる。また、Ｃｏ及びＦｅを主材料として、Ｎｉ、Ｚｒ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｈｆ、Ｍｏ、Ｎｂ、Ｓｉ、Ａｌ、Ｂ、Ｇａ、Ｇｅ、Ｃｕ、Ｓｎ、Ｒｕ、Ｂから選ばれる少なくとも１種と、Ｎ、Ｃ、Ｏから選ばれる少なくとも１種とを添加して構成された微結晶材料を用いることができる。
【００２７】
さらに、強磁性高透磁率金属膜１３ａ、１３ｂは、ヘッド効率を向上させる目的で、絶縁体膜を介して成膜されても良い。この縁体膜としては、例えばＳｉＯ_２、ＡｌＯ_３、ＳｉＮ_４等の酸化物や窒化物等の電気的絶縁材が挙げられる。強磁性高透磁率金属膜１３ａ、１３ｂの成膜方法としては、膜厚制御性に優れる装置によるスパッタリング法、真空蒸着法、イオンプレーティング法、イオンビーム法等に代表される真空薄膜形成技術を採用することができる。なお、強磁性高透磁率金属膜１３ａ、１３ｂは、巻き線溝１４ａ、１４ｂ内の少なくとも一部の面に成膜されていても良い。
【００２８】
そして、磁気ヘッド１０においては、巻き線溝１４ａ，１４ｂの縁の角部のうち、少なくとも鋭角の角部、正確には本来は鋭角である角部に研磨処理が施されることにより鋭く尖った鋭角部分が除去され、図２に示すようになだらかな形状を有する鈍角の角部１６ａ，１６ｂとされている。
【００２９】
図３及び図４に従来のアジマス記録方式の磁気ヘッド１０１を示す。なお、図４は、図３中のＢ−Ｂ’断面を示す横断面図である。このような従来のアジマス記録方式の磁気ヘッド１０１では、図４に示すように各磁気コア半体１１１ａ、１１１ｂにおいて、巻き線溝１１４ａ，１１４ｂの縁の一方の角部が鋭角に鋭く尖っている。そして、巻き線溝１１４ａ，１１４ｂに這わせるようにして磁気コア半体１１１ａ、１１１ｂの周りにそれぞれ例えば銅芯を有機系絶縁膜で被覆した線材１１７ａ，１１７ｂが図５に示すように巻回されるわけであるが、巻き線を行う際は巻き線溝１１４ａ，１１４ｂに効率良く巻き線を行うためにヘッド上部方向に整列巻きを行う。そして、巻き線溝１１４ａ，１１４ｂを通った線材１１７ａ，１１７ｂを巻き線ガイド溝１１５ａ，１１５ｂに這わせる際、線材位置を修正するために巻き線溝１１４ａ，１１４ｂの縁に線材１１７ａ，１１７ｂが擦りつけられてしまう。
【００３０】
ここで、従来の磁気ヘッド１０１では、磁気コア半体１１１ａ，１１１ｂの巻き線溝１１４ａ，１１４ｂの縁の鋭角の角部１１６ａ，１１６ｂが鋭く尖った状態とされているため、線材１１７ａ，１１７ｂは、その周りを被覆している絶縁膜が巻き線溝１１４ａ，１１４ｂの鋭角の角部１１６ａ，１１６ｂにより破損してしまう。そして、線材１１７ａ，１１７ｂが破損した場合、破損部から電流のリークが生じ、リーク不良となってしまう。また、場合によっては絶縁膜だけではなく、線材１１７ａ，１１７ｂの芯線まで破損してしまい、破損がひどい場合には線材が切断され、断線不良が生じてしまう。
【００３１】
このようなリーク不良の発生率は、アジマス角が大きくなるに従って、すなわち鋭角の角部の角度が小さくなるに従って顕著となり、また、磁気ヘッド１０１のように強磁性高透磁率金属膜１１３ａ，１１３ｂを配して磁気コア半体を構成する場合には、強磁性高透磁率金属膜が刃物のように鋭く、より線材を破損しやすくなる。また、強磁性高透磁率金属膜の材料の選択によってもさらに線材１１７ａ，１１７ｂを破損しやすくなり、該角部１１６ａ，１１６ｂにおいて線材１１７ａ，１１７ｂが損傷し、リーク不良および断線不良が頻発してしまう。したがって、従来の磁気ヘッド１０１においては、製造途中における線材１１７ａ，１１７ｂの破損により製品化できないものが発生して製品歩留まりが著しく低下してしまい、また、磁気ヘッドの信頼性においても問題が生じる場合がある。
【００３２】
また、最近では、磁気記録及び再生の効率をさらに向上させるべく磁気ヘッドの回路上で磁束が流れる長さを極力短くすることでロスを減少させた磁気ヘッドが検討されているが、このような磁気ヘッドでは、巻き線を施す穴面積が非常に小さくなるため、線材の巻き線数を減少させないために線材の外径を小さくしなければならず、線材の芯線はより細く、また、絶縁膜はより薄くする傾向にある。このため、巻き線溝１１４ａ，１１４ｂの縁の鋭角の角部１１６ａ，１１６ｂが鋭く尖った状態にあると、線材はさらに破損しやすくなる。
【００３３】
しかしながら、本発明を適用した磁気ヘッド１０においては、図２に示すように鋭角の角部を構成する高透磁率金属薄膜１３ａ、１３ｂが研磨処理され、さらに磁気コア半体の母材である酸化物軟磁性材も研磨処理されうことにより鋭く尖った鋭角部分が除去され、該角部が鈍角を有するなだらかな形状とされている。そして、この状態で図６に示すように磁気コア半体１１ａ，１１ｂの周りに線材１７ａ，１７ｂが巻回される。
【００３４】
これにより、磁気ヘッド１０においては、磁気コア半体１１ａ、１１ｂの周りに線材１７ａ，１７ｂを巻回する際、線材位置を修正するために巻き線溝１４ａ，１４ｂの縁に線材１７ａ，１７ｂが擦りつけられても、角部１６ａ，１６ｂにより線材１７ａ、１７ｂが破損することを防止することができる。すなわち、線材１７ａ，１７ｂの絶縁膜が角部１６ａ，１６ｂにより破損することを大幅に減少させることができるため、上述したような従来の磁気ヘッドにおいて生じていた線材の絶縁膜の破損に起因したリーク不良の発生を大幅に低減させることができる。また、当然、角部１６ａ，１６ｂによる線材の芯線の破損も防止することができるため、断線不良の発生を大幅に低減させることができ、従来の磁気ヘッドにおいて生じていた問題が解消される。
【００３５】
そして、巻き線溝１４ａ，１４ｂには、例えば直径が０．０４８ｍｍ（芯線の直径０．０３ｍｍ、絶縁膜厚み０．００９ｍｍ）の線材や、細いものでは直径が０．０２８ｍｍ（芯線の直径０．０２ｍｍ、絶縁膜厚み０．００４ｍｍ）の線材などが例えば２６〜２８ターン巻回されるが、このような非常に細く、しかも絶縁膜厚みの薄い線材を巻回した場合においても、リーク不良や断線不良を発生させることなく、良好な状態で線材を整然と巻回することができる。その結果、磁気ヘッド１０では、このような構成を有することによりリーク不良の発生を１％以下程度の極めて低い発生率に抑制することが可能である。
【００３６】
したがって、磁気ヘッド１０では、巻き線溝１４ａ，１４ｂの鋭角の角部に研磨処理が施され、該角部が鈍角を有するなだらかな形状とされているため、線材１７ａ、１７ｂの破損を防止することができる。その結果、リーク不良や断線不良の発生が大幅に低減され、高品質で信頼性に優れた磁気ヘッドが実現されている。また、リーク不良や断線不良の発生が大幅に低減されるため、製造歩留まりを大幅に向上させることができ、生産性に優れた磁気ヘッドが実現されている。
【００３７】
ここで、該角部の形状は特に限定されるものではなく、角部１６ａ，１６ｂの形状は曲面でも良く、また、一部に平面を有するような形状とされても良い。すなわち、上述したように線材位置を修正するために巻き線溝１４ａ，１４ｂの縁に線材１７ａ，１７ｂが擦りつけられた際に、線材１７ａ，１７ｂの絶縁膜が該角部により破損することがない程度の形状とされればよく、角部１６ａ，１６ｂの角度も特に限定されるものではない。しかしながら、より確実に線材１７ａ、１７ｂの破損を防止するためには、該角部の角度は大きいことが好ましく、鈍角とされることが好ましい。
【００３８】
また、上記においては、巻き線溝１４ａ，１４ｂの縁の鋭角の角部のみが研磨処理され、該角部がなだらかな形状とされている場合について説明しているが、巻き線溝１４ａ，１４ｂの縁の他方の角部、すなわち鈍角の角部も同様に研磨処理が施され、さらになだらかな形状とされても良い。巻き線溝１４ａ，１４ｂの縁の他方の角部、すなわち鈍角の角部にも研磨処理が施され、さらになだらかな形状とされることにより、線材の破損防止の効果をより高めることができ、より効果的に上述したリーク不良や断線不良の発生を防止することができる。
【００３９】
次に、以上のように構成された磁気ヘッド１０の製造方法について図７〜図１３を参照しながら説明する。
【００４０】
先ず、例えばＭｎ−Ｚｎ系フェライトの酸化物軟磁性材からなり、略直方体形状を呈する磁気コア半体１１ａ、１１ｂとなる２つの磁気コア半体ブロック１１を、研削水を用いた砥石加工により作製する。続いて、図７に示すように各磁気コア半体ブロック１１の長手方向に磁気ギャップｇのギャップデプスを規制し、線材を巻回するための巻き線溝１４ａ、１４ｂとなる溝１４を研削水を用いた砥石加工によりそれぞれ形成する。
【００４１】
次に、各磁気コア半体ブロック１１の短手方向にトラック幅規制溝１２ａ、１２ｂとなる溝１２を研削水を用いた砥石加工により形成する。そして、各磁気コア半体ブロック１１の溝形成面を研磨加工により表面粗度が例えば２０Å〜１００Å程度になるように鏡面研磨した後、図８に示すように鉄系合金の強磁性高透磁率金属膜１３ａ、１３ｂをスパッタリング法により成膜する。その後、ギャップ材としてＳｉＯ_２を成膜する。なお、強磁性高透磁率金属膜１３ａ、１３ｂの成膜方法としては、スパッタリング法に限られることはなく、膜厚制御性に優れる真空蒸着法、イオンプレーティング法、クラスタ・イオンビーム法等に代表される真空薄膜形成技術を採用することができる。
【００４２】
次に、図９に示すように各磁気コア半体ブロック１１を互いに突き合わせ、ガラス１８を用いたガラス融着により接合一体化して磁気コアブロック１とする。これにより、磁気ギャップｇが形成される。
【００４３】
次に、磁気コアブロック１の磁気ギャップｇの形成面を円筒研削加工により所定のデプス深さまで曲率を持たせてラッピングして摺動面１０ｃとし、摺動面１０ｃが所定の当たり幅Ｃ−Ｄを有するように幅加工を施して当たり幅規制溝１０ｄを形成する。なお、摺動面形成のラッピングは、ヘッドチップ完成時に行っても良い。
【００４４】
そして、磁気コアブロック１の長手方向に巻き線ガイド溝１５ａ、１５ｂとなる溝１５を、研削水を用いた砥石加工によりそれぞれ形成する。その後、図１０に示すように所定のチップ厚、チップ長となるように、磁気コアブロック１の短手方向から所定のアジマス角だけ傾けて磁気ヘッド１０となるヘッドチップ１０’を切り出す。
【００４５】
次に、図１１に示すように切り出したヘッドチップ１０’の巻き線溝１４ａ，１４ｂにより形成される穴に例えばダイヤモンド砥石を電着等により固着させたワイヤ２１を挿通する。そして、この状態で超音波洗浄を行うとワイヤ２１が巻き線溝１４内で細かく振動する。このとき、ワイヤ２１には研磨材が固着されているため、巻き線溝１４内の角部の研磨処理が行われる。これにより、少なくとも巻き線溝１４の鋭角の角部、すなわち従来の磁気ヘッドにおける鋭角の角部１１６ａ，１１６ｂに研磨処理を施すことができ、鋭く尖った鋭角部分を除去して該角部をなだらかな形状とすることができる。また、同時に超音波洗浄によりヘッドチップの洗浄が行われ、図１及び図２に示すような磁気ヘッド１０が完成する。
【００４６】
これにより、図１２および図１３に示すように磁気ヘッド１０の巻き線溝１４の周囲にリーク不良や断線不良の発生させることなく線材１７ａ，ｂを巻回することが可能であり、高品質で信頼性に優れた磁気ヘッドを効率良く製造することができる。
【００４７】
ここで、ワイヤ２１の直径は特に限定されるものではなく、巻き線溝１４ａ，１４ｂにより形成される穴にスムーズに挿通でき、確実に研磨処理が行える程度の大きさであればよい。したがって、巻き線溝１４ａ，１４ｂにより形成される穴の大きさにより適宜選択すれば良く、例えば０．１５ｍｍ〜０．２ｍｍとすることができる。
【００４８】
また、ワイヤに固着する研磨材としては、特に限定されず、磁気コア半体ブロック１１や強磁性高透磁率金属膜１３ａ、１３ｂの材質や硬度により選択することができ、例えばダイヤモンド砥石などを用いることができる。また、研磨材の大きさも特に限定されず、例えば１０μｍ〜１５μｍ程度のものを用いることができる。
【００４９】
なお、研磨処理時間も特に限定されるものではなく、磁気コア半体ブロック１１や強磁性高透磁率金属膜１３ａ、１３ｂの材質や硬度、超音波の強度などの諸条件によって、確実に研磨処理が施せる時間に適宜設定すれば良い。
【００５０】
また、上記の操作においては、巻き線溝１４ａ，１４ｂの縁の鋭角の角部だけでなく、巻き線溝１４ａ，１４ｂの縁の他方の角部、すなわち鈍角の角部も多少の研磨処理が施され、該角部がなだらかな形状とされる。そして、本発明においては、巻き線溝１４ａ，１４ｂの縁の他方の角部、すなわち鈍角の角部がなだらかな形状となることにより、線材の破損防止の効果をより高めることができ、より効果的に本発明の効果を得ることができる。したがって、本発明においては、巻き線溝１４ａ，１４ｂの縁の鋭角の角部だけでなく、巻き線溝１４ａ，１４ｂの縁の他方の角部、すなわち鈍角の角部においても積極的に研磨処理を施すことが好ましい。
【００５１】
また、上記においては、研磨処理と超音波洗浄とを同時に行う場合について説明しているが、研磨処理と超音波洗浄とは必ずしも同一工程で行う必要はなく、研磨処理と超音波洗浄とを別工程としても構わない。
【００５２】
ところで、本発明は上述した構成に限定されるものではなく、ヘッドチップ形成後に巻き線溝に線材を巻回する磁気ヘッド全般に適用可能である。以下に、本発明を適用して構成した磁気ヘッドの他の例について説明する。
【００５３】
図１４は、本発明を適用して構成した磁気ヘッド２０の他の構成例を示す斜視図である。この磁気ヘッド２０は、磁気ギャップｇが形成されている摺動面２０ｃを有する磁気コアからなり、摺動面２０ｃ上を摺動するテープ状磁気記録媒体に対してアジマス記録方式で情報信号を記録再生する磁気ヘッドである。
【００５４】
磁気ヘッド２０は、図１４に示すように、一対の磁気コア半体２１ａ，２１ｂが突き合わされて接合一体化されてなり、その一側面が、磁気記録媒体が摺動する摺動面２０ｃとされている。この摺動面２０ｃは、所定の曲率で形成されている。一対の磁気コア半体２１ａ，２１ｂは、それぞれ、非磁性材料を主成分とする一対のベース材２２によって、磁気コアを構成する金属磁性膜２３を挟み込んでなる構成とされている。
【００５５】
また、磁気ヘッド２０は、一対の磁気コア半体２１ａ，２１ｂの突き合わせ面に、磁気ギャップを構成する非磁性膜２４が形成されている。さらに、一対の磁気コア半体２１ａ，２１ｂの突き合わせ面には、磁気ギャップのデプスを規制するとともに、線材（図示せず。）を巻回するための巻線溝２５ａ，２５ｂが形成されている。巻線溝２５ａ，２５ｂには、摺動面２０ｃ側の端部に、一対の磁気コア半体２１ａ，２１ｂの接合強度を向上する目的で、低融点ガラス２６が充填されている。
【００５６】
また、一対の磁気コア半体２１ａ，２１ｂには、それぞれ摺動面２０ｃの端部となる一側に、所定の幅及び深さで巻き線ガイド溝２７ａ，２７ｂが形成されている。巻き線ガイド溝２７ａ，２７ｂは、磁気ヘッド２０に巻回される線材のガイドとしての機能を有している。
【００５７】
また、磁気ヘッド２０には、摺動面２０ｃの両側部に、それぞれ当たり幅規制溝２０ｄが形成されている。磁気ヘッド２０は、当たり幅規制溝２０ｄが形成されていることにより、磁気記録媒体との当接状態が調整されている。
【００５８】
ベース材２２は、その材料を特に限定されるものではないが、Ｃａ，Ｔｉ，Ｎｉを主成分とするセラミックス材料により形成することができる。これにより、ヘッド効率及び耐摩耗性を向上することができる。具体的には、例えば、ＣａＯ：１５〜４５ｍｏｌ％、ＴｉＯ_２：４０〜８０ｍｏｌ％、ＮｉＯ：５〜３０ｍｏｌ％なる組成を有するセラミックス材料により形成することができる。これにより、ベース材２２は、金属磁性膜２３と略同等の熱膨張係数を有するとともに、磁気記録媒体に対する摩耗量と偏摩耗量とのバランスに優れたものとなる。
【００５９】
金属磁性膜２３は、複数の金属磁性層が、絶縁層を介して積層されてなる。これにより、磁気ヘッド２０は、金属磁性膜２３、すなわち磁気コアでの渦電流損失を低減することができ、高周波帯域での高出力化を実現することができる。
【００６０】
金属磁性層を形成する材料としては、例えば、Ｆｅ−Ａｌ−Ｓｉ合金、Ｆｅ−Ｎｉ−Ａｌ−Ｓｉ合金、Ｆｅ−Ｇａ−Ｓｉ合金、Ｆｅ−Ａｌ−Ｇｅ合金、又はこれらの合金に８原子％以下程度の不純物を添加した結晶質材料を用いることができる。添加する不純物としては、例えば、Ｃｏ、Ｔｉ、Ｃｒ、Ｎｂ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｒｕ、Ａｕ、Ｐｄ、Ｎ、Ｃ、Ｏから選ばれる少なくとも１種を挙げることができる。
【００６１】
また、金属磁性層を形成する材料としては、例えば、Ｃｏを主材料として、Ｚｒ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｈｆ、Ｍｏ、Ｎｂ、Ａｕ、Ｐｄ、Ｒｕから選ばれる少なくとも１種を添加して構成されたアモルファス材料を用いることができる。また、Ｃｏ及びＦｅを主材料として、Ｎｉ、Ｚｒ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｈｆ、Ｍｏ、Ｎｂ、Ｓｉ、Ａｌ、Ｂ、Ｇａ、Ｇｅ、Ｃｕ、Ｓｎ、Ｒｕ、Ｂから選ばれる少なくとも１種と、Ｎ、Ｃ、Ｏから選ばれる少なくとも１種とを添加して構成された微結晶材料を用いることができる。
【００６２】
絶縁層を形成する材料としては、電気絶縁性を示す材料であれば特に限定されるものではないが、例えば、ＳｉＯ_２、Ａｌ_２Ｏ_３、Ｓｉ_３Ｎ_４などのような酸化物や窒化物を用いることができる。
【００６３】
そして、磁気ヘッド２０においても、巻き線溝２５ａ，２５ｂの縁の角部のうち、少なくとも鋭角の角部、正確には本来は鋭角である角部に研磨処理が施され、鋭く尖った鋭角部分が除去され、図１５に示すように該角部がなだらかな形状を有する角部３３ａ，３３ｂとされている。なお、図１５は、図１４中のＥ−Ｅ’断面を示す横断面図である。そして、この状態で磁気コア半体２１ａ，２１ｂの周りに線材が巻回される。
【００６４】
これにより、磁気ヘッド２０においては、磁気コア半体２１ａ，２１ｂの周りに線材を巻回する際、線材位置を修正するために巻き線溝２５ａ，２５ｂの縁に線材が擦りつけられても、角部３３ａ，３３ｂにより線材が破損することを防止することができる。そして、線材の絶縁膜が角部３３ａ，３３ｂにより破損することを大幅に減少させることができるため、従来の磁気ヘッドにおいて生じていた線材の絶縁膜の破損に起因したリーク不良の発生を大幅に低減させることができる。また、当然、角部３３ａ，３３ｂによる線材の芯線の破損も防止することができるため、断線不良の発生を大幅に低減させることができ、従来の磁気ヘッドにおいて生じていた問題が解消される。
【００６５】
その結果、非常に細く、しかも絶縁膜厚みの薄い線材を巻回した場合においても、リーク不良や断線不良を発生させることなく、良好な状態で線材を整然と巻回することが可能であり、リーク不良および断線不良の発生を１％以下程度の極めて低い発生率に抑制することが可能である。
【００６６】
したがって、磁気ヘッド２０においては、巻き線溝２５ａ，２５ｂの鋭角の角部に研磨処理が施され、該角部がなだらかな形状とされているため、線材の破損を防止することができる。その結果、リーク不良や断線不良の発生が大幅に低減され、高品質で信頼性に優れた磁気ヘッドが実現されている。また、リーク不良や断線不良の発生が大幅に低減されるため、製造歩留まりを大幅に向上させることができ、生産性に優れた磁気ヘッドが実現されている。
【００６７】
つぎに、本発明を適用して構成した磁気ヘッドのさらに他の構成例を図１６に示す。図１６に示す磁気ヘッドは４０、前述の磁気ヘッド１０の変形例であり、磁気ヘッド１０の構成において、磁気コア半体１１ａと磁気コア半体１１ｂとの対向面の全面ではなく、一部に強磁性高透磁率金属膜４１ａ，４１ｂを形成したものである。すなわち、磁気ヘッド４０は、図１６に示すように磁気コア半体１１ａ、１１ｂには、その巻き線溝１４ａ，１４ｂのフロント斜面部に強磁性高透磁率金属膜４１ａ，４１ｂを形成した構成とされている。なお、磁気ヘッド４０が磁気ヘッド１０と異なる点は、上述した強磁性高透磁率金属膜４１ａ，４１ｂのみであるため、磁気ヘッド１０と同様の部分については同じ符号を付すことで詳細な説明は省略する。
【００６８】
そして、この磁気ヘッド４０においても、巻き線溝１４ａ，１４ｂの縁の角部のうち、少なくとも鋭角の角部、正確には本来は鋭角である角部に研磨処理が施され、鋭く尖った鋭角部分が除去され、図１７に示すように該角部がなだらかな形状を有する角部４２ａ，４２ｂとされている。なお、図１７は、図１６中のＦ−Ｆ’断面を示す横断面図である。そして、この状態で磁気コア半体１１ａ，１１ｂの周りに線材が巻回される。
【００６９】
これにより、磁気ヘッド４０においては、磁気コア半体１１ａ，１１ｂの周りに線材を巻回する際、線材位置を修正するために巻き線溝１４ａ，１４ｂの縁に線材が擦りつけられても、角部４２ａ，４２ｂにより線材が破損することを防止することができる。そして、線材の絶縁膜が角部４２ａ，４２ｂにより破損することを大幅に減少させることができるため、従来の磁気ヘッドにおいて生じていた線材の絶縁膜の破損に起因したリーク不良の発生を大幅に低減させることができる。また、当然、角部４２ａ，４２ｂによる線材の芯線の破損も防止することができるため、断線不良の発生を大幅に低減させることができ、従来の磁気ヘッドにおいて生じていた問題が解消される。
【００７０】
その結果、非常に細く、しかも絶縁膜厚みの薄い線材を巻回した場合においても、リーク不良や断線不良を発生させることなく、良好な状態で線材を整然と巻回することが可能であり、リーク不良の発生を１％以下程度の極めて低い発生率に抑制することが可能である。
【００７１】
したがって、磁気ヘッド４０においても、巻き線溝１４ａ，１４ｂの鋭角の角部に研磨処理が施され、該角部がなだらかな形状とされているため、上述した磁気ヘッド１０や磁気ヘッド２０と同様に線材の破損を防止することができる。その結果、リーク不良や断線不良の発生が大幅に低減され、高品質で信頼性に優れた磁気ヘッドが実現されている。また、リーク不良や断線不良の発生が大幅に低減されるため、製造歩留まりを大幅に向上させることができ、生産性に優れた磁気ヘッドが実現されている。
【００７２】
【発明の効果】
本発明に係る磁気ヘッドは、少なくとも一方が巻き線溝を有する一対の磁気コア半体が磁気ギャップを介して突き合わされてなり、上記磁気ギャップは、所定のアジマス角を有するとともに、上記巻き線溝の少なくとも鋭角の角部が研磨処理されてなるものである。
【００７３】
また、本発明に係る磁気ヘッドの製造方法は、少なくとも一方に巻き線溝が形成された一対の磁気コア半体を磁気ギャップ介して突き合わせて接合した後、磁気ギャップが所定のアジマス角を有するように切断し、さらに上記巻き線溝の少なくとも鋭角の角部に対して研磨処理を施すものである。
【００７４】
以上のような本発明に係る磁気ヘッド及び磁気ヘッドの製造方法では、巻き線溝の少なくとも鋭角の角部が研磨処理されるため、磁気ヘッドに巻回された線材が巻き線溝の鋭角の角部によって破損することを防止することができる。これにより、磁気ヘッドにおける線材の破損に起因したリーク不良や断線不良の発生を防止することができる。
【００７５】
したがって、本発明に係る磁気ヘッド及び磁気ヘッドの製造方法によれば、高品質で信頼性が高く、生産性に優れた磁気ヘッドを提供することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明を適用して形成した磁気ヘッドの一構成例を示す斜視図である。
【図２】図１中のＡ−Ａ’断面を示す横断面図である。
【図３】従来の磁気ヘッドの一構成例を示す斜視図である。
【図４】図３中のＢ−Ｂ’断面を示す横断面図である。
【図５】従来の磁気ヘッドに線材を巻回した状態を示す横断面図である。
【図６】本発明を適用して形成した磁気ヘッドに線材を巻回した状態を示す横断面図である。
【図７】各磁気コア半体ブロックの長手方向に、巻き線溝となる溝を砥石加工により形成した状態を示す斜視図である。
【図８】強磁性高透磁率金属膜をスパッタリング法により成膜した状態を示す斜視図である。
【図９】各磁気コア半体ブロックを互いに突き合わせ、ガラス融着により接合一体化して磁気コアブロックとした状態を示す斜視図である。
【図１０】磁気コアブロックの短手方向から所定のアジマス角だけ傾けて磁気ヘッドとなるヘッドチップを切り出した状態を示す斜視図である。
【図１１】切り出したヘッドチップの巻き線溝により形成される穴にワイヤを挿通した状態を示す斜視図である。
【図１２】本発明を適用して形成した磁気ヘッドに線材を巻回した状態を示す斜視図である。
【図１３】本発明を適用して形成した磁気ヘッドに線材を巻回した状態を示す横断面図である。
【図１４】本発明を適用して形成した磁気ヘッドの他の構成例を示す斜視図である。
【図１５】図１４中のＥ−Ｅ’断面を示す横断面図である。
【図１６】本発明を適用して形成した磁気ヘッドの一構成例を示す斜視図である。
【図１７】図１６中のＦ−Ｆ’断面を示す横断面図である。
【図１８】従来の磁気ヘッドの一構成例を示す斜視図である。
【図１９】従来の磁気ヘッドの一構成例を示す平面図である。
【符号の説明】
１０　磁気ヘッド
１１ａ，１１ｂ　磁気コア半体
１２ａ，１２ｂ　トラック幅制御溝
１３ａ、１３ｂ　強磁性高透磁率金属膜
１４ａ，１４　巻き線溝
１５　巻き線ガイド溝
１６　角部
１７　線材

Claims (8)

1. 少なくとも一方が巻き線溝を有する一対の磁気コア半体が磁気ギャップを介して突き合わされてなり、
   上記磁気ギャップは、所定のアジマス角を有するとともに、上記巻き線溝の少なくとも鋭角の角部が研磨処理されていること
   を特徴とする磁気ヘッド。
2. 上記一対の磁気コア半体は、それぞれ磁性基板上に該磁性基板よりも高磁束密度高透磁率材料からなる金属磁性膜が形成されてなり、該一対の磁気コアが上記金属磁性膜を対向させて上記磁気ギャップを介して突き合わされてなること
   を特徴とする請求項１記載の磁気ヘッド。
3. 上記磁性基板がフェライト基板であること
   を特徴とする請求項２記載の磁気ヘッド。
4. 少なくとも一方に巻き線溝が形成された一対の磁気コア半体を磁気ギャップ介して突き合わせて接合した後、磁気ギャップが所定のアジマス角を有するように切断し、さらに上記巻き線溝の少なくとも鋭角の角部に対して研磨処理を施すこと
   を特徴とする磁気ヘッドの製造方法。
5. 上記巻き線溝に研磨材が固着されたワイヤを挿通した状態で超音波振動を加えて上記研磨処理を施すこと
   を特徴とする請求項４記載の磁気ヘッドの製造方法。
6. 上記研磨材がダイヤモンド砥石であること
   を特徴とする請求項５記載の磁気ヘッドの製造方法。
7. 上記研磨処理と超音波洗浄とを同時に行うこと
   を特徴とする請求項４記載の磁気ヘッドの製造方法。
8. 少なくとも一方に巻き線溝が形成された一対の磁性基板上に該磁性基板よりも高磁束密度高透磁率材料からなる金属磁性膜を形成して上記一対の磁気コア半体を形成した後、該一対の磁気コア半体を上記磁気ギャップを介して突き合わせて接合すること
   を特徴とする請求項４記載の磁気ヘッドの製造方法。

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