JP2004014880A - フレキシブル配線基板およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】従来のフレキシブル配線基板が、基板全体が曲がりやすく、特定の個所で折り曲げることが困難であったのに対して、電子機器に搭載する際に、必要な個所で容易に折り曲げることが可能なフレキシブル配線基板を提供する。
【解決手段】フレキシブル配線基板のベースとなる絶縁フィルム層(12)に、幅の狭いスリットを有する銅マスク(16)を形成した後、そのフィルムのエッチングを行うことで、当該基板にハーフエッチング部(18b)を形成する。得られたフレキシブル配線基板は、形成されたハーフエッチング部(18b)で容易に屈曲するため、必要な個所での折曲げ加工がきわめて容易となる
【選択図】 図1
【解決手段】フレキシブル配線基板のベースとなる絶縁フィルム層(12)に、幅の狭いスリットを有する銅マスク(16)を形成した後、そのフィルムのエッチングを行うことで、当該基板にハーフエッチング部(18b)を形成する。得られたフレキシブル配線基板は、形成されたハーフエッチング部(18b)で容易に屈曲するため、必要な個所での折曲げ加工がきわめて容易となる
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、各種電気機器に使用するための各種半導体パッケージ用材料、特にフレキシブル配線基板、およびその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
フレキシブル配線基板は、例えばICカードや電子機器の配線材料等に用いられるが、その際に当該基板自身が折り曲げられて使用される。そのため、当該基板の材料としては、ポリイミドフィルムのような薄くて、折り曲げやすい絶縁樹脂材料がよく用いられる。
【0003】
図2(a)〜(b)は、従来のフレキシブル配線基板の製造方法の一例を示している。最初に、銅箔20と絶縁フィルム層22の2層からなる原材料に、金型による打抜き法や化学エッチング法などを用いて、所望の開口部24を形成する(図2(a))。次に、フォトレジストなどを用いて原材料の銅箔をエッチングすることで、所望のパターンに配線部26を形成する(図2(b))。それから、配線部26の表面にNiやAuなどの金属めっきを行い、所望の製品サイズに形成、切断する。必要に応じて、配線部26上に、絶縁膜、ソルダーレジストなどを形成する。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、従来のフレキシブル配線基板は、その全体が曲がりやすいため、これを曲げて電子機器に搭載しようとする際に、特定の個所で折り曲げることが困難であるという問題を有していた。
【0005】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明によるフレキシブル配線基板では、当該基板のベースとなる絶縁フィルム層にハーフエッチング加工を施すことにより、基板に折り曲げやすい個所を形成する。
【0006】
すなわち、これにより、フレキシブル配線基板の一部に、曲げ加工を容易に行える個所が作り込まれるため、必要な個所において当該基板を折り曲げることが可能となる。
【0007】
【発明の実施の形態】
以下、図1(a)〜(c)を参照しながら、本発明によるフレキシブル配線基板の製造方法の一例について説明する。
【0008】
最初に、図1(a)に示すように、銅箔10a、ポリイミド12、銅箔10bの3層構造からなる基材の片面の銅箔10bを、フォトリソグラフィ法などを用いてエッチングし、ポリイミドフィルム12に開口(図1(b))を行うためのポリイミドエッチング用レジスト(銅マスク)16を形成する。
【0009】
基板に所望の開口部18aを形成しながら、ポリイミドフィルム12にハーフエッチング部18bの加工を施すためには、その部分において当該フィルムを貫通させないようにする必要がある。そのため、次工程でポリイミド層を貫通させる加工(18(a))が伴う場合には、ハーフエッチングを行う個所の銅マスク開口部18bの幅を、貫通させる個所の開口部18aよりも狭くし、開口部18aの貫通のための所定時間のエッチングを行っても、ハーフエッチング部分18bではポリイミド層を貫通させないようにする。
【0010】
一般的に、ポリイミドエッチングにおいては、銅マスク側から開口部底面にかけてテーパ角を有し、開口部底面が小さくなる。従って、ハーフエッチングを行う個所の銅マスクは、貫通穴を形成する箇所の銅マスクよりかなり小さく規定することになり、その幅は、テーパ角、ポリイミド層の厚さから求めることができる。かかるテーパ角は、ポリイミドエッチングの条件、液組成およびポリイミドの種類によって異なる。
【0011】
例えば、東レエンジニアリング株式会社製のエッチング液(製品名:TPE3000)および鐘淵化学株式会社製のポリイミドフィルム(製品名:アピカルNPI)を用いた場合、このテーパ角は約60°となる。これらを使用した場合、厚さ75μmのポリイミドフィルム12に対して、ハーフエッチング18b用の銅マスク16の幅を85μm以下とすることが望ましい。
【0012】
次に、図1(b)に示すように、銅マスク16が形成された基材をポリイミドエッチング用の溶液に接させて、銅マスク16から露出している個所のポリイミド12を溶解させる。このとき、前工程で銅マスク16に形成されたハーフエッチング用の開口部18bは、その幅が狭くなっていることから、ポリイミド12の層を貫通することがない。よって、ポリイミド12の層に開口部18aを貫通させる加工を伴った場合においても、同時にハーフエッチング18bの加工が可能となる。
【0013】
その後、図1(c)に示すように、フォトリソグラフィ法などを用いて、ポリイミド開口を行った側と反対面の銅箔10aに所望パターンの配線14の加工を行い、さらにポリイミド加工で用いた銅マスク16をエッチング除去する。
【0014】
最後に、従来技術と同様に、配線部14およびポリイミド開口部18aの底面に金属めっきを行い、所望の製品サイズに形成、切断する。
【0015】
このように、基板の一部にハーフエッチングにより、折曲げ用の溝加工を施すことで、当該個所が他の個所よりもより曲がりやすい構造となる。かかる溝加工により、当該基板を電子機器に搭載する際に、曲げる必要のある特定個所において、容易に基板の曲げ加工が行える。
【0016】
【実施例】
(実施例1) 厚さ75μmのポリイミドフィルム12(製品名:アピカルNPI)と厚さ18μmの銅箔10a、10bからなる両面銅張り基材を使用した。
【0017】
まず、両面銅張り基材の両面に銅エッチングレジスト層を形成し、その片面のレジストにポリイミドエッチング用の銅マスクパターンを露光し、レジスト現像、銅エッチングを行った後、エッチングレジストを剥離した。これにより、基材の片側に直径460μmの開口部18aとハーフエッチング用の幅60μmのスリット18bを有する銅マスク16を得た。
【0018】
次に、市販のポリイミドエッチング液(製品名:TPE3000)によって、温度70℃で7分間の条件にて、銅マスクが形成された基材を接し、銅マスク開口部18a、18bに露出しているポリイミド12のエッチングを行った。
【0019】
さらに、基材の両面に銅エッチングレジスト層を再度形成し、ポリイミドエッチングを行った側には、ポリイミド開口部18a、18b内を銅エッチング液から保護するための保護レジストパターンを、他方の面には所望の配線パターン14を、それぞれ露光し、レジスト現像、銅エッチング、レジスト剥離を順次行った。これにより、その片面に、ポリイミド層を貫通させた個所18aとハーフエッチングさせた個所18bを併せ持つフレキシブル配線基板を得た。
【0020】
得られたフレキシブル配線基板を折り曲げたところ、形成されたハーフエッチング部18bで容易に屈曲した。形成されたハーフエッチング個所18bの幅および深さを測定した結果を表1に示す。この結果から、この実施例の製造方法によって、良好なハーフエッチングが行えることを確認した。
【0021】
【表1】
【0022】
(実施例2) ハーフエッチング用の銅マスク幅を30μmとした以外は、実施例1と同様の方法で、フレキシブル配線基板を作製した。得られたフレキシブル配線基板を折り曲げたところ、同様に、形成されたハーフエッチング部18bで容易に屈曲した。形成されたハーフエッチング個所18bの幅および深さを測定した結果を表2に示す。この結果から、この実施例の製造方法によっても、良好なハーフエッチングが行えることを確認した。
【0023】
【表2】
【0024】
(実施例3) 厚さ75μmのポリイミドフィルム12(デュポン株式会社製、製品名:カプトンEN)と厚さ18μmの銅箔10a、10bからなる両面銅張り基材を使用し、ハーフエッチング用の銅マスク幅を50μmとし、さらにポリイミドエッチング時間を14分間とした以外は、実施例1と同様の方法で、フレキシブル配線基板を作製した。得られたフレキシブル配線基板を折り曲げたところ、同様に、形成されたハーフエッチング部18bで容易に屈曲した。形成されたハーフエッチング個所18bの幅および深さを測定した結果を表3に示す。この結果から、この実施例の製造方法によっても、良好なハーフエッチングが行えることを確認した。
【0025】
【表3】
【0026】
【発明の効果】
本発明によるフレキシブル配線基板の製造方法では、ポリイミドエッチングによってポリイミド層を貫通させて開口を得る工程を伴う場合でも、同時にハーフエッチング部分を設けることができる。この製造方法によって作製されたフレキシブル配線基板は、形成されたハーフエッチング部で容易に屈曲するため、所定の個所に当該ハーフエッチング部を設けることで、当該基板を電子機器に搭載する際に、必要な個所での容易な折曲げが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明によるフレキシブル配線基板の製造方法の一例を示す。
【図2】従来技術によるフレキシブル配線基板の製造方法の一例を示す。
【発明の属する技術分野】
本発明は、各種電気機器に使用するための各種半導体パッケージ用材料、特にフレキシブル配線基板、およびその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
フレキシブル配線基板は、例えばICカードや電子機器の配線材料等に用いられるが、その際に当該基板自身が折り曲げられて使用される。そのため、当該基板の材料としては、ポリイミドフィルムのような薄くて、折り曲げやすい絶縁樹脂材料がよく用いられる。
【0003】
図2(a)〜(b)は、従来のフレキシブル配線基板の製造方法の一例を示している。最初に、銅箔20と絶縁フィルム層22の2層からなる原材料に、金型による打抜き法や化学エッチング法などを用いて、所望の開口部24を形成する(図2(a))。次に、フォトレジストなどを用いて原材料の銅箔をエッチングすることで、所望のパターンに配線部26を形成する(図2(b))。それから、配線部26の表面にNiやAuなどの金属めっきを行い、所望の製品サイズに形成、切断する。必要に応じて、配線部26上に、絶縁膜、ソルダーレジストなどを形成する。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、従来のフレキシブル配線基板は、その全体が曲がりやすいため、これを曲げて電子機器に搭載しようとする際に、特定の個所で折り曲げることが困難であるという問題を有していた。
【0005】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明によるフレキシブル配線基板では、当該基板のベースとなる絶縁フィルム層にハーフエッチング加工を施すことにより、基板に折り曲げやすい個所を形成する。
【0006】
すなわち、これにより、フレキシブル配線基板の一部に、曲げ加工を容易に行える個所が作り込まれるため、必要な個所において当該基板を折り曲げることが可能となる。
【0007】
【発明の実施の形態】
以下、図1(a)〜(c)を参照しながら、本発明によるフレキシブル配線基板の製造方法の一例について説明する。
【0008】
最初に、図1(a)に示すように、銅箔10a、ポリイミド12、銅箔10bの3層構造からなる基材の片面の銅箔10bを、フォトリソグラフィ法などを用いてエッチングし、ポリイミドフィルム12に開口(図1(b))を行うためのポリイミドエッチング用レジスト(銅マスク)16を形成する。
【0009】
基板に所望の開口部18aを形成しながら、ポリイミドフィルム12にハーフエッチング部18bの加工を施すためには、その部分において当該フィルムを貫通させないようにする必要がある。そのため、次工程でポリイミド層を貫通させる加工(18(a))が伴う場合には、ハーフエッチングを行う個所の銅マスク開口部18bの幅を、貫通させる個所の開口部18aよりも狭くし、開口部18aの貫通のための所定時間のエッチングを行っても、ハーフエッチング部分18bではポリイミド層を貫通させないようにする。
【0010】
一般的に、ポリイミドエッチングにおいては、銅マスク側から開口部底面にかけてテーパ角を有し、開口部底面が小さくなる。従って、ハーフエッチングを行う個所の銅マスクは、貫通穴を形成する箇所の銅マスクよりかなり小さく規定することになり、その幅は、テーパ角、ポリイミド層の厚さから求めることができる。かかるテーパ角は、ポリイミドエッチングの条件、液組成およびポリイミドの種類によって異なる。
【0011】
例えば、東レエンジニアリング株式会社製のエッチング液(製品名:TPE3000)および鐘淵化学株式会社製のポリイミドフィルム(製品名:アピカルNPI)を用いた場合、このテーパ角は約60°となる。これらを使用した場合、厚さ75μmのポリイミドフィルム12に対して、ハーフエッチング18b用の銅マスク16の幅を85μm以下とすることが望ましい。
【0012】
次に、図1(b)に示すように、銅マスク16が形成された基材をポリイミドエッチング用の溶液に接させて、銅マスク16から露出している個所のポリイミド12を溶解させる。このとき、前工程で銅マスク16に形成されたハーフエッチング用の開口部18bは、その幅が狭くなっていることから、ポリイミド12の層を貫通することがない。よって、ポリイミド12の層に開口部18aを貫通させる加工を伴った場合においても、同時にハーフエッチング18bの加工が可能となる。
【0013】
その後、図1(c)に示すように、フォトリソグラフィ法などを用いて、ポリイミド開口を行った側と反対面の銅箔10aに所望パターンの配線14の加工を行い、さらにポリイミド加工で用いた銅マスク16をエッチング除去する。
【0014】
最後に、従来技術と同様に、配線部14およびポリイミド開口部18aの底面に金属めっきを行い、所望の製品サイズに形成、切断する。
【0015】
このように、基板の一部にハーフエッチングにより、折曲げ用の溝加工を施すことで、当該個所が他の個所よりもより曲がりやすい構造となる。かかる溝加工により、当該基板を電子機器に搭載する際に、曲げる必要のある特定個所において、容易に基板の曲げ加工が行える。
【0016】
【実施例】
(実施例1) 厚さ75μmのポリイミドフィルム12(製品名:アピカルNPI)と厚さ18μmの銅箔10a、10bからなる両面銅張り基材を使用した。
【0017】
まず、両面銅張り基材の両面に銅エッチングレジスト層を形成し、その片面のレジストにポリイミドエッチング用の銅マスクパターンを露光し、レジスト現像、銅エッチングを行った後、エッチングレジストを剥離した。これにより、基材の片側に直径460μmの開口部18aとハーフエッチング用の幅60μmのスリット18bを有する銅マスク16を得た。
【0018】
次に、市販のポリイミドエッチング液(製品名:TPE3000)によって、温度70℃で7分間の条件にて、銅マスクが形成された基材を接し、銅マスク開口部18a、18bに露出しているポリイミド12のエッチングを行った。
【0019】
さらに、基材の両面に銅エッチングレジスト層を再度形成し、ポリイミドエッチングを行った側には、ポリイミド開口部18a、18b内を銅エッチング液から保護するための保護レジストパターンを、他方の面には所望の配線パターン14を、それぞれ露光し、レジスト現像、銅エッチング、レジスト剥離を順次行った。これにより、その片面に、ポリイミド層を貫通させた個所18aとハーフエッチングさせた個所18bを併せ持つフレキシブル配線基板を得た。
【0020】
得られたフレキシブル配線基板を折り曲げたところ、形成されたハーフエッチング部18bで容易に屈曲した。形成されたハーフエッチング個所18bの幅および深さを測定した結果を表1に示す。この結果から、この実施例の製造方法によって、良好なハーフエッチングが行えることを確認した。
【0021】
【表1】
【0022】
(実施例2) ハーフエッチング用の銅マスク幅を30μmとした以外は、実施例1と同様の方法で、フレキシブル配線基板を作製した。得られたフレキシブル配線基板を折り曲げたところ、同様に、形成されたハーフエッチング部18bで容易に屈曲した。形成されたハーフエッチング個所18bの幅および深さを測定した結果を表2に示す。この結果から、この実施例の製造方法によっても、良好なハーフエッチングが行えることを確認した。
【0023】
【表2】
【0024】
(実施例3) 厚さ75μmのポリイミドフィルム12(デュポン株式会社製、製品名:カプトンEN)と厚さ18μmの銅箔10a、10bからなる両面銅張り基材を使用し、ハーフエッチング用の銅マスク幅を50μmとし、さらにポリイミドエッチング時間を14分間とした以外は、実施例1と同様の方法で、フレキシブル配線基板を作製した。得られたフレキシブル配線基板を折り曲げたところ、同様に、形成されたハーフエッチング部18bで容易に屈曲した。形成されたハーフエッチング個所18bの幅および深さを測定した結果を表3に示す。この結果から、この実施例の製造方法によっても、良好なハーフエッチングが行えることを確認した。
【0025】
【表3】
【0026】
【発明の効果】
本発明によるフレキシブル配線基板の製造方法では、ポリイミドエッチングによってポリイミド層を貫通させて開口を得る工程を伴う場合でも、同時にハーフエッチング部分を設けることができる。この製造方法によって作製されたフレキシブル配線基板は、形成されたハーフエッチング部で容易に屈曲するため、所定の個所に当該ハーフエッチング部を設けることで、当該基板を電子機器に搭載する際に、必要な個所での容易な折曲げが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明によるフレキシブル配線基板の製造方法の一例を示す。
【図2】従来技術によるフレキシブル配線基板の製造方法の一例を示す。
Claims (4)
- 主として絶縁フィルム層および金属配線層から構成される配線基板において、絶縁フィルム層に折曲げ用の溝加工が施されていることを特徴とするフレキシブル配線基板。
- 絶縁フィルムとしてポリイミドフィルムが用いられており、ポリイミドフィルムにハーフエッチングにより溝加工が施されていることを特徴とする請求項1に記載のフレキシブル配線基板。
- 主として絶縁フィルム層および金属配線層から構成される配線基板の製造方法において、絶縁フィルム層にハーフエッチングを施すことにより、折曲げ用の溝加工を行うことを特徴とするフレキシブル配線基板の製造方法。
- 絶縁フィルムとしてポリイミドフィルムが用いられており、ポリイミドフィルムにハーフエッチング加工を行う際に、当該フィルムに溝加工を施す部分のエッチングレジスト間隔を当該フィルムに貫通加工を施す部分のエッチングレジスト間隔よりも狭くすることにより、貫通加工と溝加工を同時に行うことを特徴とする請求項3に記載のフレキシブル配線基板の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002167681A JP2004014880A (ja) | 2002-06-07 | 2002-06-07 | フレキシブル配線基板およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2002167681A JP2004014880A (ja) | 2002-06-07 | 2002-06-07 | フレキシブル配線基板およびその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2004014880A true JP2004014880A (ja) | 2004-01-15 |
Family
ID=30434857
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002167681A Pending JP2004014880A (ja) | 2002-06-07 | 2002-06-07 | フレキシブル配線基板およびその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2004014880A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008117846A (ja) * | 2006-11-01 | 2008-05-22 | Nippon Mektron Ltd | 多層フレキシブルプリント配線板およびその製造法 |
JP2008544550A (ja) * | 2005-06-22 | 2008-12-04 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | ホールを有する誘電体基板及び製造分野における方法 |
JP2009196310A (ja) * | 2008-02-25 | 2009-09-03 | Fujifilm Corp | 接続構造及び接続方法、並びに液滴吐出ヘッドとその製造方法 |
CN102223764A (zh) * | 2010-04-16 | 2011-10-19 | 富葵精密组件(深圳)有限公司 | 软性电路板的制作方法 |
CN113838761A (zh) * | 2021-11-24 | 2021-12-24 | 新恒汇电子股份有限公司 | 物联网工业级卡的制备方法 |
-
2002
- 2002-06-07 JP JP2002167681A patent/JP2004014880A/ja active Pending
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008544550A (ja) * | 2005-06-22 | 2008-12-04 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | ホールを有する誘電体基板及び製造分野における方法 |
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KR101329687B1 (ko) | 2006-11-01 | 2013-11-14 | 니폰 메크트론 가부시키가이샤 | 다층 플렉시블 프린트 배선판 및 그 제조방법 |
JP2009196310A (ja) * | 2008-02-25 | 2009-09-03 | Fujifilm Corp | 接続構造及び接続方法、並びに液滴吐出ヘッドとその製造方法 |
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CN113838761A (zh) * | 2021-11-24 | 2021-12-24 | 新恒汇电子股份有限公司 | 物联网工业级卡的制备方法 |
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