JP2003515869A - スティクションを低減させる凹状、溝状のレールを有するディスク・ヘッド・スライダ - Google Patents

スティクションを低減させる凹状、溝状のレールを有するディスク・ヘッド・スライダ

Info

Publication number
JP2003515869A
JP2003515869A JP2001542320A JP2001542320A JP2003515869A JP 2003515869 A JP2003515869 A JP 2003515869A JP 2001542320 A JP2001542320 A JP 2001542320A JP 2001542320 A JP2001542320 A JP 2001542320A JP 2003515869 A JP2003515869 A JP 2003515869A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
slider
support surface
edge
groove
disk
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2001542320A
Other languages
English (en)
Other versions
JP3787090B2 (ja
Inventor
サンニノ、アンソニー、ピー
− エディン ボウタゴー、ジーン
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seagate Technology LLC
Original Assignee
Seagate Technology LLC
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seagate Technology LLC filed Critical Seagate Technology LLC
Publication of JP2003515869A publication Critical patent/JP2003515869A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3787090B2 publication Critical patent/JP3787090B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B21/00—Head arrangements not specific to the method of recording or reproducing
    • G11B21/16—Supporting the heads; Supporting the sockets for plug-in heads
    • G11B21/20—Supporting the heads; Supporting the sockets for plug-in heads while the head is in operative position but stationary or permitting minor movements to follow irregularities in surface of record carrier
    • G11B21/21—Supporting the heads; Supporting the sockets for plug-in heads while the head is in operative position but stationary or permitting minor movements to follow irregularities in surface of record carrier with provision for maintaining desired spacing of head from record carrier, e.g. fluid-dynamic spacing, slider
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
    • G11B5/58—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head for the purpose of maintaining alignment of the head relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
    • G11B5/60—Fluid-dynamic spacing of heads from record-carriers
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
    • G11B5/58—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head for the purpose of maintaining alignment of the head relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
    • G11B5/60—Fluid-dynamic spacing of heads from record-carriers
    • G11B5/6005—Specially adapted for spacing from a rotating disc using a fluid cushion
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
    • G11B5/58—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head for the purpose of maintaining alignment of the head relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
    • G11B5/60—Fluid-dynamic spacing of heads from record-carriers
    • G11B5/6005—Specially adapted for spacing from a rotating disc using a fluid cushion
    • G11B5/6082—Design of the air bearing surface

Landscapes

  • Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)

Abstract

(57)【要約】 ディスク・ヘッド・スライダ（１１０、５００）は、キャビティ・ダム（２３０、５０６）と、亜大気圧キャビティ（２３６、５１０）と、第１および第２の細長いレール（２１０、２１２、５０２、５１０）とを含んでいる。第１および第２のレール（２１０、２１２、５０２、５０４）は、亜大気圧キャビティ（２３６、５１０）の周りに配設されている。各レール（２１０、２１２、５０２、５０４）は、内側のレール縁部（２１４）から外側のレール縁部（２１６）まで測定されたレール幅と、前方の支持面（２１８）と、後方の支持面（２２０）と、前方の支持面と後方の支持面（２１８、２２０）との間に延びる凹状領域（２２２、５１２）とを有している。凹状領域（２２２、５１２）は、レール幅にわたって、支持面に対して凹み、キャビティ・フロアに対して凸状に形成されている。第１および第２のレール（２１０、２１２、５０２、５０４）の後方の支持面（２２０）にそれぞれ第１および第２の収束溝（２６０、２６２、５１４）が設けられている。各溝（２６０、２６２、５１４）は、それぞれの凹状領域（２２２、５１２）からの流体流に対して開放された前方の溝端部と、非拡散溝側壁（２６８）と、流体流に対して閉鎖されており、それぞれの後方の支持面（２２０）の局部領域の前方に位置する後方の溝端部（２７０）とを有している。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】 （発明の背景） 本発明は、ディスク・ドライブ・データ記憶システムに関し、特に、十分な支
持剛性をもたらしつつディスク面とのスティクションを低減させるスライダを有
するディスク・ドライブ・データ記憶システムに関する。
【０００２】 「ウインチェスタ」型および光学型のディスク・ドライブが当業界では公知で
ある。このようなドライブは剛性のディスクを使用しており、ディスクは、円形
の複数の同心円状データ・トラックにデジタル情報を記憶できるように磁化可能
な媒体で覆われている。ディスクは、スピンドル・モータ上に取り付けられてお
り、スピンドル・モータによってディスクが回転すると共に、ディスクの表面が
それぞれの流体（たとえば、空気）軸受ディスク・ヘッド・スライダの下方を通
過する。スライダはトランスデューサを保持しており、トランスデューサはディ
スク面に情報を書き込むと共に、ディスク面から情報を読み取る。
【０００３】 アクチュエータ機構は、電子回路の制御下でディスクの表面を横切ってトラッ
ク間を移動する。アクチュエータ機構は、トラック・アクセス・アームと、各ヘ
ッド・ジンバル・アセンブリごとのサスペンションとを含んでいる。サスペンシ
ョンは、ロード・ビームおよびジンバルを含んでいる。ロード・ビームは、スラ
イダをディスク面の方へ押し付ける荷重力を与える。ジンバルは、スライダとロ
ード・ビームとの間に位置するか、またはロード・ビームに一体化されており、
スライダがディスクの形状に従いつつ縦揺れしかつ横揺れすることができるよう
にする弾性連結部を形成する。
【０００４】 スライダは、ディスク面に面する支持面を含んでいる。ディスクは、回転する
につれて、空気をスライダの下方に引き込み、ディスクの接線方向速度にほぼ平
行な方向に支持面に沿って引っ張る。空気が支持面の下方を通過するにつれて、
空気の流路に沿った空気の圧縮によって、ディスクと支持面との間の空気圧が高
くなり、流体揚力が生じる。流体揚力は、荷重力に反作用し、スライダを持ち上
げ、ディスク面の上方またはその近くを浮動させる。
【０００５】 スライダの一種として「自己負荷」空気軸受スライダがある。このスライダは
、前方のテーパ（または段状テーパ）、一対の凸状のサイド・レール、キャビテ
ィ・ダム、亜大気圧キャビティを含んでいる。前方のテーパは通常、スライダの
、記録ヘッドの反対側の端部上に、折り重ねられるかまたはエッチングされる。
前方のテーパは、空気がディスク面によってスライダの下方に引き込まれるとき
に空気を加圧する。前方のテーパの他の効果は、スライダの下方の圧力分布が、
テーパすなわち段の高圧縮角度によってテーパ端部または「前縁部」の近くに第
１のピークを有し、磁気記録を効率的に行えるようにする小さな軸受すきまによ
って記録端部すなわち「後縁部」の近くに第２のピークを有することである。こ
の２ピーク圧力分布の結果として、高いピッチ剛性を有する軸受が得られる。
【０００６】 スライダと記録ヘッドのところのディスク面との間の軸受すきまは、ディスク
・ドライブ性能の重要なパラメータである。平均浮動高さが引き続き小さくされ
ているので、プロセス変動、大気圧（たとえば、高度）変動、ディスク面の上方
のスライダの半径方向位置の変化およびその結果生じるヘッド・スキュー、ある
半径方向位置から他の半径方向位置へのスライダの高速の移動に対する浮動高さ
感度のような、いくつかの浮動高さ性能測定値を調節することが重要である。
【０００７】 上記の感度は、スライダにピッチ方向およびロール方向における高い支持剛性
を付与することによって低下する。高いピッチ剛性およびロール剛性を実現する
ために、空気軸受は、正圧をスライダの中心から分散させる形状を利用している
。しかし、軸受の形状によっては、支持面のある領域に沿って十分な局部圧力を
生成するのが難しい場合がある。たとえば、打ち切られたサイド・レールと後縁
部に位置する離散したセンター・パッドとを有するスライダの後縁部の近くで局
部正圧を生成するのは難しい。
【０００８】 さらに、スライダは、ディスクが回転し始めた後できるだけ速くディスク面か
ら離れるべきである。したがって、回転の開始時および停止時の、スライダとデ
ィスク面との間の付着摩擦（「スティクション」を制限することが望ましい。ス
ティクションを制限する１つの方法は、テクスチャ加工されたランディング・ゾ
ーンをディスク面に設け、それにより、スライダがこのランディング・ゾーン内
で休止するときにスライダとディスク面との間の接触面積を小さくすることであ
る。しかし、浮動高さを小さくしてより高い記録密度を実現すると、テクスチャ
加工されたランディング・ゾーンを実施することはより難しくなる。というのは
、浮動高さが、テクスチャ加工されたランディング・ゾーン内のスティクション
力を制限するのに必要な粗さピークの高さよりも小さくなる可能性があるからで
ある。
【０００９】 この難点により、ランディング・ゾーンの粗さの一部がスライダ本体の支持面
に移されるヘッド−ディスク・インタフェースが使用されている。テクスチャ加
工された支持面は通常、離散したパッドを支持面上に形成することによって得ら
れる。このようなパッドでは、支持特性にそれほど影響を与えずにディスク面に
接触する表面積が小さくなる。
【００１０】 しかし、テクスチャ加工された支持面を使用すると、パッドによる追加の離隔
距離により滑らかなデータ・ゾーン内でヘッドとディスクとの間に所望の間隔を
維持することがより難しくなる。ヘッドは通常、スライダ本体の後縁部に沿って
位置する。パッドが、ヘッド−ディスク間間隔に干渉するのを妨げるために、パ
ッドは通常、後縁部のいくらか前方に位置している。これによって、ヘッドは、
スライダが正のピッチ角で浮動するときに近接点浮動高さに残ることができる。
パッドが後縁部からわずかな距離しか離れていない場合、スライダは、所望のヘ
ッド−媒体間隔を維持するために比較的大きなピッチ角で浮動しなければならな
い。ピッチ角が大きいほど支持剛性が小さくなり、通常は製造感度に悪影響が及
ぶ。パッドが後縁部からかなり離れて位置している場合、支持面上に、パッドを
有さない比較的大きな領域が生じる。この場合、ディスクが、停止時に、ディス
クおよびスピンドル・モータ・コイル内に残っているエネルギーが散逸するため
に、ディスクが前後にわずかに振動した場合に、スライダが後方に傾くことがあ
る。スライダが後方に傾くと、スライダの後縁部とディスク面が接触し、その結
果、接触領域にディスクの潤滑油メニスカスが形成されると共に、ディスク表面
が過度に滑らかである場合には受け入れられないスティクション力が生じる。
【００１１】 ヘッド−ディスク間の小さな間隔と高い支持剛性特性を維持しつつディスク面
とのスティクションを最小限に抑えるスライダが望ましい。
【００１２】 （発明の概要） 本発明の一態様は、キャビティ・ダムと、亜大気圧キャビティと、第１および
第２の細長いレールとを含むディスク・ヘッド・スライダに関する。亜大気圧キ
ャビティは、キャビティ・ダムの後方に位置しており、キャビティ・フロアを有
している。第１および第２のレールは、亜大気圧キャビティの周りに配設されて
いる。各レールは、内側のレール縁部から外側のレール縁部まで測定されたレー
ル幅と、前方の支持面と、後方の支持面と、前方の支持面と後方の支持面との間
に延びる凹状領域とを有している。凹状領域は、レール幅にわたって、支持面に
対して凹み、キャビティ・フロアから隆起している。第１および第２のレールの
後方の支持面にそれぞれ第１および第２の収束溝が設けられている。各溝は、そ
れぞれの凹状領域からの流体流に対して開放された前方の溝端部と、非拡散溝側
壁と、流体流に対して閉鎖されており、それぞれの後方の支持面の局部領域の前
方に位置する後方の溝端部とを有している。
【００１３】 本発明の他の態様は、ハウジング、ディスク、アクチュエータ、およびスライ
ダを含むディスク・ドライブ・アセンブリに関する。ディスクは、ハウジング内
の中心軸の周りで回転することができ、テクスチャ加工されていないデータ領域
およびランディング領域を備えた記録面を有している。アクチュエータはハウジ
ング内に取り付けられている。スライダは、アクチュエータによって記録面の上
方に支持されており、キャビティ・ダムと、亜大気圧キャビティと、第１および
第２の細長いレールとを含んでいる。亜大気圧キャビティは、キャビティ・ダム
の後方に位置しており、キャビティ・フロアを有している。第１および第２のレ
ールは、亜大気圧キャビティの周りに配設されている。各レールは、内側のレー
ル縁部から外側のレール縁部まで測定されたレール幅と、前方の支持面と、後方
の支持面と、前方の支持面と後方の支持面との間に延びる凹状領域とを有してい
る。凹状領域は、レール幅にわたって、支持面に対して凹み、キャビティ・フロ
アから隆起している。第１および第２のレールの後方の支持面にそれぞれ第１お
よび第２の収束溝が設けられている。各溝は、それぞれの凹状領域からの流体流
に対して開放された前方の溝端部と、非拡散溝側壁と、流体流に対して閉鎖され
ており、それぞれの後方の支持面の局部領域の前方に位置する後方の溝端部とを
有している。
【００１４】 本発明の他の態様は、ディスクおよびスライダを含むディスク・ドライブ・ア
センブリに関する。ディスクは、中心軸の周りで回転することができ、テクスチ
ャ加工されていないデータ領域およびスライダ・ランディング領域を有している
。スライダは、ディスクの上方に支持されており、収束溝および凹状ウエスト領
域を備えた細長いレールを有しており、ディスクがスライダの下方で中心軸の周
りで回転するときにスライダとディスクとの間に流体軸受を生成すると共に、ス
ライダがランディング・ゾーン内で休止しているときにスライダとディスクとの
間のスティクションを低減させる。
【００１５】 （好ましい実施形態の詳細な説明） 図１は、本発明が有用なディスク・ドライブ１００の斜視図である。ディスク
・ドライブ１００は、たとえば、従来の磁気ディスク・ドライブや、光磁気ディ
スク・ドライブや、光ディスク・ドライブとして構成することができる。ディス
ク・ドライブ１００は、ベース１０２および頂部カバー（図示せず）を有するハ
ウジングを含んでいる。ディスク・ドライブ１００は、ディスク・クランプ１０
８によってスピンドル・モータ（図示せず）上に取り付けられたディスク・パッ
ク１０６をさらに含んでいる。ディスク・パック１０６は、中心軸１０９の周り
で同時に回転するように取り付けられた複数の個々のディスク１０７を含んでい
る。各ディスク面は、ディスク・ドライブ１００に取り付けられ、ディスク面と
通信できるように読取り／書込みヘッドを保持する、関連するスライダ１１０を
有している。
【００１６】 図１に示されている例では、スライダ１１０はサスペンション１１２によって
支持されており、サスペンション１１２は、アクチュエータ１１６のトラック・
アクセス・アーム１１４に取り付けられている。図１に示されているアクチュエ
ータは、回転移動コイル・アクチュエータと呼ばれる種類のものであり、全体的
に１１８で示されているボイス・コイル・モータ（ＶＣＭ）を含んでいる。ボイ
ス・コイル・モータ１１８は、アクチュエータ１１６をそれに取り付けられたス
ライダ１１０と共にピボット軸１２０の周りで回転させ、スライダ１１０をディ
スクの内径１２４とディスクの外径１２６との間の経路１２２に沿って所望のデ
ータ・トラックの上方に位置決めする。ボイス・コイル・モータ１１８は、内部
回路１２８の制御下で動作する。線形アクチュエータのような他の種類のアクチ
ュエータを使用することもできる。
【００１７】 以下に詳しく論じるように、スライダ１１０は流体（たとえば、空気）軸受を
有しており、これにより、ディスク面との接触面積を小さくしてスライダの「腹
部」位置にディスクの潤滑油のメニスカスが形成されるのを防止しつつ、局部圧
力の離散した領域を生成することによってディスク面とのスティクションを最小
限に抑える。これによって、滑らかであり、すなわちテクスチャの少ないスライ
ダ・ランディング・ゾーン１１１を有するディスク１０７を製造することができ
、従来のテクスチャ加工されたランディング・ゾーンと比べて、スライダとディ
スク面との間のスティクション力を必要以上に高くすることなしに極先端浮動高
さを小さくすることができる。
【００１８】 図２は、ディスク１０７の表面から見た、図１のスライダ１１０のうちの１つ
の底面図である。スライダ１１０は、前縁部２００と、後縁部２０２と、側縁部
２０４および２０６と、横方向の中心線２０８とを有している。細長い凸状のサ
イド・レール２１０および２１２がそれぞれ側縁部２０４および２０６に沿って
位置している。レール２１０および２１２は概ね、前方のスライダ縁部２００か
ら後方のスライダ縁部２０２の方へ延びており、後縁部２０２に達する前に終わ
っている。各レール２１０および２１２は、内側のレール縁部２１４と、外側の
レール縁部２１６と、前方の支持面２１８と、後方の支持面２２０と、凹状ウエ
スト部２２２とを有している。凹状ウエスト部２２２は、前方の支持面２１８か
ら後方の支持面２２０まで延びている。一実施形態では、ウエスト部２２２は概
ね支持面２１８および２２０に平行であり、支持面２１８および２２０からたと
えば、段深さ０．１ｕｍから０．５ｕｍだけ凹んでおり、したがって、ウエスト
部は、スライダ１１０がディスク１０７の表面上で休止しているときスライダ１
１０の接触面積を小さくする。凹状ウエスト部は、浮動時に実質的な大気圧を生
じさせる。他の実施形態では他の深さを使用することもできる。
【００１９】 レール２１０と２１２の間に、前方のスライダ縁部２００に沿ってキャビティ
・ダム２３０が延びている。キャビティ・ダム２３０は、前縁部２３２と後縁部
２３４とを有している。キャビティ・ダム２３０とサイド・レール２１０および
２１２は亜大気圧キャビティ２３６を形成しており、亜大気圧キャビティ２３６
の後方に、前方のスライダ縁部２００から後方のスライダ縁部２０２の方への空
気流の方向に対してキャビティ・ダム２３０が位置している。一実施形態では、
亜大気圧キャビティ２３６は前方の支持面２１８および後方の支持面２２０から
１ｕｍから３ｕｍだけ凹んでいる。凹状ウエスト部２２２は支持面２１８および
２２０から凹んでいるが、引き続きキャビティ２３６の形状を形成し、キャビテ
ィ２３６内に亜大気圧を含むようにキャビティ２３６のフロアから隆起している
。
【００２０】 一実施形態では、キャビティ・ダム２３０は、概ね支持面２１８および２２０
に平行であり、支持面２１８および２２０からたとえば、段深さ０．１ｕｍから
０．５ｕｍだけ凹んでいる。他の深さを使用することもできる。さらに、他の実
施形態では必要に応じて、キャビティ・ダム２３０にテーパ付き前縁部を設ける
ことができる。
【００２１】 凸状のセンター・パッドすなわちレール２４０は、後方のスライダ縁部２０２
に沿って位置しており、横方向の中心線２０８に沿って心合わせされている。他
の実施形態では、センター・パッド２４０を中心線２０８に対して斜めにするか
、またはずらすことができる。センター・パッド２４０は、前方の段状面２４１
と支持面２４２とを有している。前方の段状面２４１は、概ね支持面２４２に平
行であり、支持面２４２からたとえば、段深さ０．１ｕｍから０．５ｕｍだけ凹
んでおり、これにより、キャビティ２３６から排気される空気流で支持面２４２
を加圧することができる。センター・レール２４０は、後方のスライダ縁部２０
２に沿って読取り／書込みトランスデューサ２４４を支持している。他の実施形
態では、トランスデューサ２４４をスライダ１１０上の他の位置に配置すること
ができる。しかし、トランスデューサ２４４は、後方のスライダ縁部２０２に配
置されるかまたはその近くに配置されると、スライダ１１０が正のピッチ角で浮
動する際に、スライダ１１０上の、ディスク１０７の表面（図１に示されている
）に最も近い点に位置する。正のピッチ角の場合、後方のスライダ縁部２０２は
、前方のスライダ縁部２００よりもディスク１０７の表面に近くなる。
【００２２】 レール２１０および２１２は、後方のスライダ縁部２０２に達する前に終わっ
ており、そのため、スライダ１１０は、後方のレール縁部２２４とディスク面を
接触させることなしに横方向の中心線２０８の周りで横揺れすることができる。
したがって、センター・パッド２４０の後縁部は、比較的大きなロール角での浮
動時にスライダ１１０上の、ディスク面に最も近い位置に残り、それによって読
取り・書込み性能が向上する。しかし、サイド・レール２１０および２１２を打
ち切ると、後方のスライダ縁部２０２の近くでレールに沿って生じる正圧の量が
少なくなり、ピッチ・ロール剛性が低下する。
【００２３】 ピッチ・ロール剛性の低下を制限するために、スライダ１１０は、サイド・レ
ール２１０および２１２の後方の支持面２２０およびセンター・レール２４０の
支持面２４２に設けられた収束溝部２６０、２６２、および２６４をさらに含ん
でいる。これらの溝をトレンチと呼ぶこともできる。溝２６０、２６２、および
２６４はそれぞれ、前方の溝端部２６６と、非拡散側壁２６８と、後方の溝端部
２７０と、溝床部（すなわち「段状面」）２７２とを有している。溝２６０、２
６２、および２６４は、前方の溝端部２６６の各側面に側壁２８０を有している
。溝２６０、２６２、および２６４は、イオン・ミリング、化学エッチング、反
応性イオン・エッチング（ＲＩＥ）などのフォトリソグラフィ・プロセスによっ
て形成される。これらのプロセスを用いた場合、溝の深さおよび位置を正確に調
節することができる。一実施形態では、溝２６０および２６２の溝床部２７２は
、レール２１０および２１２の凹状ウエスト部２２２と同一平面を形成しており
、該凹状ウエスト部２２２に連続しており、一方、溝２６４の溝床部２７２は、
センター・レール２４０の前方の段状面２４１と同一平面を形成しており、該段
状面２４１に連続している。
【００２４】 溝２６０および２６２内で、前方の溝端部２６６はそれぞれ、サイド・レール
２１０および２１２の凹状領域２２２からの流体流に対して開放されている。し
かし、後方の溝端部２７０は流体流に対して閉鎖されている。凹状領域２２２か
らの流体流の一部は、溝２６０および２６２内に向けられ、後方の溝端部２７０
を介してこれらの溝から押し出される。これによって、後方の溝端部２７０の後
方にある後方の支持面２２０上に局部正圧領域が形成される。一実施形態では、
後方の支持面２２０は、側壁２６８間で測定された溝２６０および２６２の幅以
上の、後方の溝端部２７０から後方のレール縁部２２４まで測定された長さを有
している。このため、局部正圧が作用できる十分な支持面が形成される。後方の
支持面２２０上に局部正圧が生じると、スライダ１１０のロール剛性が高くなる
。
【００２５】 センター・レール２４０上の溝２６４に関しては、この溝の前縁部２６６はキ
ャビティ２３６からの流体流に対して開放されており、後方の溝端部２７０は流
体流に対して閉鎖されている。キャビティ２３６からの流体流の一部は、溝２６
４内に向けられ、後方の溝端部２７０を介してこの溝から押し出される。この場
合も、これによって、後方の溝端部２７０の後方にある支持面２４２上に局部正
圧領域が形成される。一実施形態では、センター・レール支持面２４２は、側壁
２６８間で測定された、少なくとも溝２６４の幅である、後方の溝端部２７０と
後方のスライダ縁部２０２との間の長さを有している。センター・レール支持面
２４２上に局部正圧が生じると、スライダ１１０のピッチ剛性が高くなる。
【００２６】 動作時には、前方の溝端部２６６の側壁において局部流体流の圧力がかなり上
昇する。前方の溝端部２６６のところの、各溝の開口部では、同様な圧力上昇が
起こらないので、この開口部は、流体流が流れるのに好ましい経路とみなされる
。流体流は、溝２６０、２６２、および２６４に進入すると、主として溝の側壁
２６８および後方の溝端部２７０に囲まれ、後方の溝端部２７０を越えて押し出
される。これによって、後方のスライダ縁部２０２の近くの離散した領域に局部
圧力領域が形成される。溝２６０、２６２、および２６４は、図２に示されてい
るように、横方向の中心線に対して対称的２０８であっても、あるスライダ・ス
キュー角で優先的に加圧するように非対称的であってもよい。
【００２７】 局部正圧領域の大きさおよび強度は、溝の長さと幅の比と、溝の絶対寸法と、
溝床部の深さおよび形状とに依存する。一実施形態では、溝の長さと溝の幅との
比は、０．５から５．０の範囲であるが、溝部の構成目的に応じてこの範囲外で
あってもよい。他の実施形態では、長さと幅の比は２．０から２．５の範囲であ
る。
【００２８】 スライダ１１０は、支持面２１８および２２０からわずかに延びる凸状のパッ
ドすなわち「バンプ」２８２〜２８５をさらに含んでいる。一実施形態では、パ
ッド２８２〜２８５は、支持面２１８および２２０から約１０ナノメートル（ｎ
ｍ）から約３０ｎｍだけ延びている。パッド２８２〜２８５は、スライダ１１０
がディスク面上で休止しているときに支持面２１８および２２０とディスク面と
の間にわずかに離隔距離を形成し、一方、スライダ１１０の全体的な浮動特性に
対する影響をほとんどまたはまったく有さない表面積を有している。この離隔距
離によってスライダとディスク面との間のスティクション力は著しく弱まる。パ
ッド２８２〜２８５は、円形、矩形、楕円形のような様々な断面形状を有してよ
い。他の形状を使用してもよい。
【００２９】 図２に示されているスライダ１１０を含む従来のディスク・ヘッド・スライダ
は、支持面が、スライダの、前縁部から後縁部まで測定された長さに沿って正の
曲率を有するように製造されている。長さ曲率は頂部曲率とも呼ばれている。長
さ曲率を適切に設定すると、支持条件に対する浮動高さの可変性が改善され、ス
ライダおよびディスク面の磨耗が改善され、スライダとディスク面との間のステ
ィクションをさらに低減させることによってテイクオフ性能が改善される。しか
し、この曲率によって、従来のスライダでは、スライダがディスク面上で休止し
ているとき、特に、スライダが４つの隅部の近くにバンプまたはパッドを有して
いる場合に、各レールの中央部間に望ましくない小さな間隔が形成されることが
ある。スライダ１１０は、ウエスト部２２２を凹状にすることによってこの難点
を解消している。
【００３０】 図３は、スライダ１１０の概略的な側面図であり、図を明確にするために長さ
曲率とパッド２８２および２８４の高さが大幅に誇張されている。スライダ１１
０は、支持面２１８、２２０、および２４２に沿って長さ曲率２９２を有してい
る。長さ曲率すなわち「頂部高さ」を測定する場合は一般に、スライダ１１０の
長さに沿った最高の点とスライダ１１０の長さに沿った最低の点との差が求めら
れる。たとえば、長さ曲率２９２の頂部高さ２９４は１２ｎｍから１７ｎｍであ
ってよい。ウエスト部２２２が支持面２１８および２２０に対して凹んでいない
場合、長さ曲率２９２によって、レールの中央部（点線２９５で示されている）
はディスク１０７の表面から小さな間隔２９６を有する。パッド２８２および２
８４の高さがたとえば１８ｎｍから３２ｎｍである場合、間隔２９６は１０ｎｍ
から２０ｎｍ程度の小さな間隔になる。毛管圧力の下で、スライダ面の下方にあ
るディスクの潤滑油のメニスカスがこの幅の狭いすきま領域に引き込まれ、場合
によっては大きな他のメニスカス２９７に至る。このメニスカスにより、パッド
２８２および２８４の高さと有効頂部高さ２９４（すなわち、同じレール上の２
つのパッド間の頂部高さ）との差によって規定される「腹部高さ」の逆数に正比
例するスライダ１１０とディスク１０７との間に大きなスティクション力が生じ
る可能性がある。このことは、ディスク面上のスライダ・ランディング・ゾーン
が過度に滑らかである場合に特に当てはまる。しかし、スライダ１１０上のウエ
スト部２２２は支持面２１８および２２０に対して凹状になっており、したがっ
て、「腹部高さ」がかなり大きくなり、メニスカス２９７が形成される可能性が
低くなる。これによって、スライダ１１０とディスク１０７の表面との間のステ
ィクションがさらに低減する。
【００３１】 図４は、本発明の一実施形態によるスライダ１１０の支持面に沿った圧力プロ
ファイルを示す三次元図である。軸３００は、スライダ１１０の側縁部２０４お
よび２０６に沿った距離を表している。軸３０２は前方のスライダ縁部２００に
沿った距離を表している。軸３０４は圧力振幅を表している。サイド・レール２
１０および２１２の前方の支持面２１８はそれぞれ、スライダ前縁部２００の後
部に適度な正圧領域３０６および３０８を生成する。亜大気圧キャビティ２３６
は領域３１０で亜大気圧を生成する。サイド・レール２１０および２１２の凹状
ウエスト部２２２は、領域３１２および３１４において実質的に大気圧である。
しかし、凹状ウエスト部２２２はこれにもかかわらず領域３１０内に亜大気圧を
閉じ込める働きをする。サイド・レール２１０および２１２の後方の支持面２２
０は、ウエスト部２２２の凹形状によって領域３１３および３１５で適度な正圧
を生成する。しかし、溝２６０および２６２はそれぞれ高い局部圧力ピーク３１
６および３１８を生成し、ウエスト部２２２に対する圧力の損失を補償し、高い
ロール剛性をもたらす。そればかりでなく、溝２６０および２６２は、ロール剛
性を、サイド・レールに溝部を有さない従来の負圧空気軸受（ＮＰＡＢ）よりも
高いレベルにする。同様に、センター・レール２４０の溝２６４は、後方のスラ
イダ縁部２０２の近くに高い局部圧力ピーク３２０を生成し、それによってピッ
チ剛性が高くなる。
【００３２】 したがって、凹状ウエスト部２２２（図２に示されている）は２つの主要な機
能を有している。第１に、凹状ウエスト部２２２によって溝２６０および２６２
を加圧し、図４に示されている高いピーク圧力３１６および３１８を生成するこ
とができる。第２に、凹状ウエスト部２２２は、正の頂部曲率を有するスライダ
の場合に大きなスティクション力を生成する、図３に示されているスライダの「
腹部」位置でのメニスカスの形成を防止する。
【００３３】 図２に示されているスライダ１１０の模擬された支持剛性を、サイド・レール
に収束溝部も凹状ウエスト部も形成されていない図５に示されているスライダ４
００の模擬された支持剛性と比較した。スライダ４００は、前縁部４０２と、後
縁部４０４と、サイド・レール４０６および４０８と、キャビティ・ダム４１０
と、センター・レール４１２とを有している。センター・レール４１２は、後縁
部４０４の近くに位置する収束溝部４１４および４１６を有している。
【００３４】 表１には、ディスクの内径、中央の直径、および外径における、図５に示され
ているスライダ４００の垂直剛性、ロール剛性、およびピッチ剛性が示されてい
る。
【表１】
【００３５】 表２には、ディスクの内径、中央の直径、および外径における、図２に示され
ているスライダ１１０の垂直剛性、ロール剛性、およびピッチ剛性が示されてい
る。
【表２】
【００３６】 表１と表２を比較すると、サイドレールに収束溝部を付加したときにロール剛
性がディスクの内径で２３％高くなり、外径で１２０％高くなることがわかる。
さらに、２つのスライダの垂直剛性およびピッチ剛性は同等である。
【００３７】 さらに、収束溝部２６０、２６２、および２６４によってそれぞれの支持面の
表面積が小さくなり、それにより、ディスクの回転が停止した後でスライダ１１
０が後方に傾いた場合にディスクの潤滑油によってこれらの領域に沿って生成さ
れるメニスカス力が弱くなる。動作時に、ディスク・ドライブ１００（図１に示
されている）への電力がオフにされると、ディスク１０７の回転速度は零になる
。ディスク１０７の慣性およびスピンドル・モータの巻線の後方電磁力（ＥＭＦ
）によって、ディスク１０７は、すべての残りのエネルギーが散逸するまでわず
かに前後に振動する。ある動作条件の下では、ディスク１０７が後方に回転する
と、スライダ１１０が最も後方のパッド２８４〜２８５を中心として後方に傾き
、後方の支持面２２０およびセンター・レール支持面２４２がディスク面に接触
する可能性がある。これらの支持面の表面積が小さくなると共に、溝部２６０、
２６２、および２６４が付加されているため、スライダが後方に傾いた場合のデ
ィスク面とのスティクションが低減する。
【００３８】 生成されるメニスカス力が弱くなると共に、（たとえば、図２に示されている
）スライダ１１０の形状によってディスク面とのスティクションが低減するため
、スライダ・ランディング・ゾーン１１（図１に示されている）にテクスチャが
ほとんどまたはまったくないディスク面と共にスライダ１１０を使用することが
できる。ランディング・ゾーンがより滑らかになることによって、スライダ１１
０は、ディスク面から離れ、０．５マイクロインチよりも小さな高さで浮動する
ことができる。もはや、ランディング・ゾーン１１１に粗なテクスチャがなくて
も、スティクションを低減させることができる。従来のディスク・ドライブで使
用される粗なテクスチャは、他の点では、スライダの浮動高さを、ランディング
・ゾーン内のテクスチャ粗さと少なくとも同程度の高さに制限し、スライダが滑
らかなユーザ・データ領域と粗にテクスチャ加工されたランディング・ゾーンと
の間で移動することを可能にする。
【００３９】 図６は、ディスク１０７とスライダ１１０の概略的な断面図であり、ディスク
１０７は、内径１２４の近くに、従来の粗にテクスチャ加工されたランディング
・ゾーン１１１と滑らかなユーザ・データ領域４５０とを有している。テクスチ
ャ加工されたランディング・ゾーン１１１は、ユーザ・データ領域４５０の滑ら
かな表面を越える高さ４５４を有する粗さを有している。したがって、スライダ
１１０が滑らかなユーザ・データ領域４５０と粗なランディング・ゾーン１１１
との間で移動するには、少なくとも高さ４５４と同じ浮動高さ４５６を有さなけ
ればならない。
【００４０】 上述のように、たとえば図２に示されているスライダ１１０の幾何形状により
、図７に示されている、テクスチャが少なく、場合によっては滑らかなランディ
ング・ゾーンを有するディスクと共にスライダ１１０を使用することができる。
図７において、ランディング・ゾーン１１１は滑らかであり、テクスチャはほと
んどまたはまったくない。したがって、スライダ１１０の浮動高さ４５８に対す
る制限は、ランディング・ゾーン１１１の粗さとは無関係になる。ディスク面上
にもはやテクスチャが必要とされないので、ディスクを従来のアルミニウム基板
だけでなくガラス基板のようなより安価で滑らかな基板で作ることができる。デ
ィスク面からテクスチャを除去することによって、ディスクの製造も簡略化され
かつ迅速化され、製造コストをさらに削減することができる。
【００４１】 図８は、本発明の他の実施形態によるスライダ５００の底面図である。スライ
ダ５００は、サイド・レール５０２および５０４と、キャビティ・ダム５０６と
、センター・レール５０８と、分割されたキャビティ部５１０Ａおよび５１０Ｂ
とを有している。サイド・レール５０２および５０４とキャビティ・ダム５０６
は、図２の実施形態に示されているサイド・レールおよびキャビティ・ダムに類
似している。サイド・レール５０２および５０４は凹状ウエスト部５１２と収束
溝部５１４とを含んでいる。センター・レール５０８は細長く、後方のスライダ
縁部５１１からキャビティ・ダム５０６まで延びている。センター・レール５０
８は、凸状のセンター・レール支持面５１６と、前方の段状面５１８と、収束溝
部５２０とを含んでいる。図８に示されている実施形態では、前方の段状面５１
８はセンター・パッドの支持面５１６からキャビティ・ダム５０６まで延びてい
る。前方の支持面５１８は、キャビティ・ダム５０６と同一平面上に位置し、か
つキャビティ・ダム５０６に連続しており、キャビティ・ダム５０６は、サイド
・レール５０２および５０４とセンター・レール５０８とによって形成された支
持面に対して凹んでいる。
【００４２】 図９は、本発明の他の実施形態によるスライダ６００の底面図である。図８で
用いられたのと同じ参照符号は、同じまたは同様な要素に使用されている。スラ
イダ６００は、スライダ５００（図８に示されている）に類似しているが、一部
がキャビティ・ダム５０６上に形成され一部が矩形部５２２上に形成された前方
のセンター・レール支持面５３０を含んでいる。前方のセンター・レールの支持
面５３０は、キャビティ・ダム５０６に対して凸状に形成されており、サイド・
レール５０２および５０４の前方および後方の支持面５３２および５３４と同一
平面上に位置すると共に、センター・レールの支持面５１６と同一平面上に位置
している。前方のセンター・レールの支持面５３０は、前方のスライダ縁部５１
３の近くの加圧を高め、しかも収束溝部５２０を加圧する凹状段状面５１８を維
持している。他の形状を使用してもよい。
【００４３】 本発明を好ましい実施形態を参照して説明したが、当業者には、本発明の趣旨
および範囲から逸脱せずに形態および詳細を変更できることが認識されよう。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明が有用なディスク・ドライブの斜視図である。
【図２】 本発明の一実施形態による、ディスクの表面から見た、図１に示されているス
ライダの底面図である。
【図３】 図２に示されているスライダの概略的な側面図である。
【図４】 図２に示されているスライダの支持面に沿った圧力プロファイルを示す三次元
図である。
【図５】 サイド・レール内に形成された収束溝部または凹状ウェスト部を有さないスラ
イダの底面斜視図である。
【図６】 粗にテクスチャ加工された従来のランディング・ゾーンおよび滑らかなユーザ
・データ領域を有するディスクとスライダとの組合せの概略的な断面図である。
【図７】 滑らかなランディング・ゾーンおよび滑らかなユーザ・データ領域を有するデ
ィスクとスライダとの組合せの概略的な断面図である。
【図８】 本発明の他の実施形態による細長いセンター・レールを有するスライダの底面
図である。
【図９】 本発明の他の実施形態による、細長いセンター・レールと凸状の前方のセンタ
ー・パッドとを有するスライダの底面図である。
───────────────────────────────────────────────────── 【要約の続き】 ２、５１２）からの流体流に対して開放された前方の溝 端部と、非拡散溝側壁（２６８）と、流体流に対して閉 鎖されており、それぞれの後方の支持面（２２０）の局 部領域の前方に位置する後方の溝端部（２７０）とを有 している。

Claims (19)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 ディスク・ヘッド・スライダであって、 キャビティ・ダムと、 前記キャビティ・ダムの後方に位置しており、キャビティ・フロアを有する亜
    大気圧キャビティと、 前記亜大気圧キャビティの周りに配設されており、各レールが、内側のレール
    縁部から外側のレール縁部まで測定されたレール幅と、前方の支持面と、後方の
    支持面と、前記前方の支持面と前記後方の支持面との間に延びる凹状領域とを有
    しており、前記凹状領域が、前記レール幅にわたって、前記支持面に対して凹み
    、前記キャビティ・フロアに対して凸状に形成されている第１および第２の細長
    いキャビティと、 それぞれ前記第１および第２のレールの前記後方の支持面に設けられており、
    各溝が、前記それぞれの凹状領域からの流体流に対して開放された前方の溝端部
    と、非拡散溝側壁と、前記流体流に対して閉鎖されており、前記それぞれの後方
    の支持面の局部領域の前方に位置する後方の溝端部とを有する第１および第２の
    収束溝とを備えているディスク・ヘッド・スライダ。
  2. 【請求項２】 前方のスライダ縁部と、 後方のスライダ縁部と、 前記前方のスライダ縁部から前記後方のスライダ縁部まで測定された長さと、 前記前方のスライダ縁部と前記後方のスライダ縁部との間にピークを有する、
    前記スライダ長さに沿った前記支持面における正の頂部曲率とをさらに備えてお
    り、 前記第１および第２のレールの前記凹状領域は、前記スライダ長さに沿って前
    記ピークに位置している、請求項１に記載のディスク・ヘッド・スライダ。
  3. 【請求項３】 前記第１および第２の収束溝はそれぞれ、溝床部を備えてお
    り、前記溝床部は、それぞれ前記第１および第２のレールの前記凹状領域と同一
    平面上に位置すると共に、前記凹状領域に連続している、請求項１に記載のディ
    スク・ヘッド・スライダ。
  4. 【請求項４】 前記キャビティ・ダム、前記溝床部、および前記凹状領域は
    、前記前方の支持面および前記後方の支持面に対して０．１ミクロンから０．５
    ミクロンだけ凹んでおり、前記亜大気圧キャビティは前記前方の支持面および前
    記後方の支持面に対して１ミクロンから３ミクロンだけ凹んでいる、請求項３に
    記載のディスク・ヘッド・スライダ。
  5. 【請求項５】 前記亜大気圧キャビティは、前記第１および第２のレールの
    前記内側の縁部が前記前方の支持面、前記凹状領域、および前記後方の支持面に
    沿って延びるときに、前記キャビティ・ダムと前記第１および第２のレールの前
    記内側の縁部とによって形成される形状を有している、請求項１に記載のディス
    ク・ヘッド・スライダ。
  6. 【請求項６】 前方のスライダ縁部と、後方のスライダ縁部と、前記前方の
    スライダ縁部から前記後方のスライダ縁部まで測定された長さとをさらに備えて
    おり、 前記非拡散溝の側壁は、互いに溝幅だけ間隔を置いて配置されており、 前記それぞれの後方の支持面の局部領域は、前記スライダ長さに沿って測定さ
    れた、少なくとも前記溝幅と同じである領域長さを有している、請求項１に記載
    のディスク・ヘッド・スライダ。
  7. 【請求項７】 前記第１および第２のレールの前記前方の支持面および前記
    後方の支持面の各々から突き出る少なくとも１つの凸状のパッドをさらに備えて
    いる、請求項１に記載のディスク・ヘッド・スライダ。
  8. 【請求項８】 前方のスライダ縁部と、 後方のスライダ縁部と、 前記第１のレールと前記第２のレールとの間に位置しており、亜大気圧キャビ
    ティの後方に位置する第１のセンター・レールの支持面と、第１のセンター・レ
    ールの支持面内に凹状に形成された第３の収束溝とを備えると共に、前記亜大気
    圧キャビティからの流体流に対して開放された前方の溝端部と、非収束溝側壁と
    、前記流体流に対して閉鎖されており前記第１のセンター・レールの支持面の局
    部領域の前方に位置する非拡散溝側壁とを備えるセンター・レールとをさらに備
    えており、 前記第１および第２のレールが、前記後方のスライダ縁部に達する前に終わっ
    ている、請求項１に記載のディスク・ヘッド・スライダ。
  9. 【請求項９】 前記センター・レールは、前記キャビティ・ダムから、前記
    スライダ本体の、前記第１および第２のレールの前記後方の支持面を越えた位置
    まで延びており、それによって前記亜大気圧キャビティが２つの部分に分割され
    、前記センター・レールは、前記亜大気圧キャビティに対して凸状に形成され、
    かつ前記第１のセンター・レールの支持面に対して凹んでおり、前記第３の収束
    溝から前方に延びる前方の段状面をさらに備えている、請求項８に記載のディス
    ク・ヘッド・スライダ。
  10. 【請求項１０】 前記センター・レールは、少なくとも部分的に前記キャビ
    ティ・ダム内に形成され、前記第１のセンター・レールの支持面と同一平面上に
    位置する第２のセンター・レールの支持面をさらに備えており、前記前方の段状
    面は、前記第２のセンター・レールの支持面の後縁部から前記第１のセンター・
    レールの支持面の前縁部まで延びている、請求項９に記載のディスク・ヘッド・
    スライダ。
  11. 【請求項１１】 ディスク・ドライブ・アセンブリであって、 ハウジングと、 前記ハウジング内の中心軸の周りで回転することができ、テクスチャ加工され
    ていないデータ領域およびランディング領域を有する記録面を備えているディス
    クと、 前記ハウジング内に取り付けられたアクチュエータと、 前記アクチュエータによって前記記録面の上方に支持されるスライダとを備え
    ており、前記スライダは、 キャビティ・ダムと、 前記キャビティ・ダムの後方に位置し、キャビティ・フロアを有する亜大気
    圧キャビティと、 前記亜大気圧キャビティの周りに配設されており、各レールが、内側のレー
    ル縁部から外側のレール縁部まで測定されたレール幅と、前方の支持面と、後方
    の支持面と、前記前方の支持面と前記後方の支持面との間に延びる凹状領域とを
    有しており、凹状領域が、前記レール幅にわたって、前記支持面に対して凹み、
    前記キャビティ・フロアに対して凸状に形成されている第１および第２の細長い
    レールと、 それぞれ前記第１および第２のレールの前記後方の支持面に設けられており
    、各溝が、前記それぞれの凹状領域からの流体流に対して開放された前方の溝端
    部と、非拡散溝側壁と、前記流体流に対して閉鎖されており、前記それぞれの後
    方の支持面の局部領域の前方に位置する後方の溝端部とを有する第１および第２
    の収束溝とを備えているディスク・ドライブ・アセンブリ。
  12. 【請求項１２】 前記スライダは、 前方のスライダ縁部と、 後方のスライダ縁部と、 前記前方のスライダ縁部から前記後方のスライダ縁部まで測定された長さと、 前記前方のスライダ縁部と前記後方のスライダ縁部との間にピークを有する、
    前記スライダ長さに沿った前記支持面における正の頂部曲率とをさらに備えてお
    り、 前記第１および第２のレールの前記凹状領域は、前記スライダ長さに沿って前
    記ピークに位置している、請求項１１に記載のディスク・ドライブ・アセンブリ
    。
  13. 【請求項１３】 前記第１および第２の収束溝はそれぞれ、溝床部を備えて
    おり、前記溝床部は、それぞれ前記第１および第２のレールの前記凹状領域と同
    一平面上に位置すると共に、前記凹状領域に連続している、請求項１１に記載の
    ディスク・ドライブ・アセンブリ。
  14. 【請求項１４】 前記キャビティ・ダム、前記溝床部、および前記凹状領域
    は、前記前方の支持面および前記後方の支持面に対して０．１ミクロンから０．
    ５ミクロンだけ凹んでおり、前記亜大気圧キャビティは前記前方の支持面および
    前記後方の支持面に対して１ミクロンから３ミクロンだけ凹んでいる、請求項１
    ３に記載のディスク・ドライブ・アセンブリ。
  15. 【請求項１５】 前記亜大気圧キャビティは、前記第１および第２のレール
    の前記内側の縁部が前記前方の支持面、前記凹状領域、および前記後方の支持面
    に沿って延びるときに、前記キャビティ・ダムと前記第１および第２のレールの
    前記内側の縁部とによって形成される形状を有している、請求項１１に記載のデ
    ィスク・ドライブ・アセンブリ。
  16. 【請求項１６】 前記スライダは、前方のスライダ縁部と、後方のスライダ
    縁部と、前記前方のスライダ縁部から前記後方のスライダ縁部まで測定された長
    さとをさらに備えており、 前記非拡散溝の側壁は、互いに溝幅だけ間隔を置いて配置されており、 前記それぞれの後方の支持面の局部領域は、前記スライダ長さに沿って測定さ
    れた、少なくとも前記溝幅と同じである領域長さを有している、請求項１１に記
    載のディスク・ドライブ・アセンブリ。
  17. 【請求項１７】 前記スライダは、前記第１および第２のレールの前記前方
    の支持面および前記後方の支持面の各々から突き出る少なくとも１つの凸状のパ
    ッドをさらに備えている、請求項１１に記載のディスク・ドライブ・アセンブリ
    。
  18. 【請求項１８】 前記スライダは、 前方のスライダ縁部と、 後方のスライダ縁部と、 前記第１のレールと前記第２のレールとの間に位置し、前記後方のスライダ縁
    部に位置するセンター・レールであって、センターの支持面と、前記センターの
    支持面内に凹状に形成された第３の収束溝とを備えると共に、前記亜大気圧キャ
    ビティからの流体流に対して開放された前方の溝端部と、非収束溝側壁と、前記
    流体流に対して閉鎖されており前記センターの支持面の局部領域の前方に位置す
    る非拡散溝側壁とを備えるセンター・レールとをさらに備えており、 前記第１および第２のレールが、前記後方のスライダ縁部に達する前に終わっ
    ている、請求項１１に記載のディスク・ドライブ・アセンブリ。
  19. 【請求項１９】 ディスク・ドライブ・アセンブリであって、 中心軸の周りで回転することができ、テクスチャ加工されていないデータ領域
    およびランディング領域を有するディスクと、 前記ディスクの上方に支持されており、収束溝および凹状ウエスト領域手段を
    備えた細長いレールを有しており、それにより、前記ディスクがスライダの下方
    で前記中心軸の周りで回転するときに前記スライダと前記ディスクとの間に流体
    軸受を生成すると共に、前記スライダが前記ランディング・ゾーン内で休止して
    いるときに前記スライダ手段と前記ディスクとの間のスティクションを低減させ
    るスライダ手段とを備えているディスク・ドライブ・アセンブリ。
JP2001542320A 1999-12-02 2000-12-01 スティクションを低減させる凹状、溝状のレールを有するディスク・ヘッド・スライダ Expired - Fee Related JP3787090B2 (ja)

Applications Claiming Priority (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US16879699P 1999-12-02 1999-12-02
US60/168,796 1999-12-02
US09/549,424 US6504682B1 (en) 1999-12-02 2000-04-13 Disc head slider having recessed, channeled rails for reduced stiction
US09/549,424 2000-04-13
PCT/US2000/042450 WO2001041141A2 (en) 1999-12-02 2000-12-01 Disc head slider having recessed, trenched rails for reduced stiction

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2003515869A true JP2003515869A (ja) 2003-05-07
JP3787090B2 JP3787090B2 (ja) 2006-06-21

Family

ID=26864460

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2001542320A Expired - Fee Related JP3787090B2 (ja) 1999-12-02 2000-12-01 スティクションを低減させる凹状、溝状のレールを有するディスク・ヘッド・スライダ

Country Status (5)

Country Link
US (1) US6504682B1 (ja)
JP (1) JP3787090B2 (ja)
DE (1) DE10085239B4 (ja)
GB (1) GB2372874B (ja)
WO (1) WO2001041141A2 (ja)

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005032420A (ja) * 2003-07-08 2005-02-03 Sae Magnetics (Hk) Ltd 超低位浮上高さスライダの設計態様
JP2007080377A (ja) * 2005-09-14 2007-03-29 Hitachi Global Storage Technologies Netherlands Bv 磁気ディスク装置及び磁気ヘッドスライダ
JP2009009687A (ja) * 2007-06-05 2009-01-15 Shinka Jitsugyo Kk ハードディスクドライブ
US7499245B2 (en) 2005-02-02 2009-03-03 Tdk Corporation Magnetic head slider having stepped surfaces
JP2009064557A (ja) * 2008-12-22 2009-03-26 Fujitsu Ltd ディスク装置のヘッドスライダ
US7542238B2 (en) 2004-04-12 2009-06-02 Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. Aerodynamic magnetic head slider and magnetic disk drive
WO2009084282A1 (en) * 2007-12-27 2009-07-09 Kabushiki Kaisha Toshiba Head, head suspension assembly, and disk drive device provided with the same
US7701671B2 (en) 2004-03-31 2010-04-20 Toshiba Storage Device Corporation Head slider for disk apparatus with rail portions

Families Citing this family (29)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7154709B2 (en) * 2000-04-12 2006-12-26 Seagate Technology Llc Slider with recessed pressurization surfaces
US6934122B2 (en) 2000-07-28 2005-08-23 Seagate Technology Llc Disc head slider with sub-ambient pressure cavity bottom surfaces of differing depths
WO2002041318A1 (fr) 2000-11-17 2002-05-23 Fujitsu Limited Patin de tete, unite de disque pourvue de ce patin, et procede de finition hydrofuge de du patin
US7265943B2 (en) * 2002-06-12 2007-09-04 Seagate Technology Llc Air bearing for a head to provide reduced cross-curve sensitivity
US6937440B2 (en) * 2002-07-17 2005-08-30 Seagate Technology Llc Head slider having convergent channel features with side opening
US7023664B2 (en) * 2002-09-12 2006-04-04 Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. Air bearing designs to reduce external van der waals and electrostatic forces
US6989965B2 (en) * 2002-11-07 2006-01-24 Seagate Technology Llc Head slider having tilted protrusions for ramp load-unload applications
US6980399B2 (en) * 2003-10-15 2005-12-27 Seagate Technology Llc Air bearing sliders with a pressure cavity or cavities
US20050099728A1 (en) * 2003-11-10 2005-05-12 Matsushita Electric Industrial Co. Disk drive, head slider, and head supporting device
JP2005182883A (ja) * 2003-12-17 2005-07-07 Fujitsu Ltd ヘッドスライダおよび磁気記憶装置
US7324306B2 (en) * 2004-05-12 2008-01-29 Hitachiglobal Storage Technologies Netherlands Bv System, method, and apparatus for improving the multiple velocity performance and write element protrusion compensation of disk drive sliders
JP4204587B2 (ja) * 2005-12-28 2009-01-07 Ｔｄｋ株式会社 磁気ヘッド装置
JP2007242094A (ja) * 2006-03-06 2007-09-20 Fujitsu Ltd 磁気ヘッド、その製造方法、および磁気ディスク装置
US7760469B2 (en) * 2006-06-23 2010-07-20 Samsung Electronics Co., Ltd. Method and apparatus for an air bearing surface to reduce contamination due to saturation water vapor pressure in a hard disk drive
US7719795B2 (en) * 2006-11-15 2010-05-18 Western Digital (Fremont), Llc Head having a transducer heater and an air bearing surface with a flow-diversion dam and pressure-relief trough disposed upstream of the transducer
US7616405B2 (en) * 2006-11-15 2009-11-10 Western Digital (Fremont), Llc Slider with an air bearing surface having a inter-cavity dam with OD and ID dam surfaces of different heights
US7872833B2 (en) * 2007-04-17 2011-01-18 Western Digital (Fremont) , LLC Head with a transducer overcoat having a trailing air flow dam that is shallowly recessed from an air bearing surface
US7855854B2 (en) * 2007-04-17 2010-12-21 Western Digital (Fremont), Llc Head with an air bearing surface having a shallow recessed trailing air flow dam
US7916426B2 (en) * 2007-11-30 2011-03-29 Western Digital (Fremont), Llc Head with an air bearing surface having left and right leading pressurizing steps, each with short and long regions
US8081400B1 (en) 2008-08-29 2011-12-20 Western Digital (Fremont), Llc Slider with an air-bearing surface including four pressure generating pockets for countering disruptive movement
US8174794B2 (en) * 2008-11-26 2012-05-08 Hitachi Global Storage Technologies, Netherlands B.V. Slider having a lubricant-accumulation barrier including a plurality of lubricant-accumulation-barrier portions
US8169744B2 (en) * 2008-11-26 2012-05-01 Hitachi Global Storage Technologies, Netherlands B.V. Slider having a lubricant-accumulation barrier
US8810968B2 (en) * 2012-12-17 2014-08-19 Seagate Technology Llc Slider with lubricant control features
US9552836B2 (en) * 2013-12-23 2017-01-24 Seagate Technology Llc Slider including one or more fluid pathways, and related apparatuses and methods
US9449630B2 (en) 2014-06-02 2016-09-20 Seagate Technology Llc Sliders having at least two regions on the trailing edge surface
US9165579B1 (en) 2014-09-26 2015-10-20 Western Digital (Fremont), Llc Air bearing area configuration for reducing flying height hump across a stroke
US9940960B2 (en) * 2016-05-24 2018-04-10 Sae Magnetics (Hk) Ltd. Air-bearing design for hydrocarbon and lube pick-up improvements in hard disk drive (HDD)
US10796721B1 (en) 2018-04-10 2020-10-06 Seagate Technology Llc Advanced air bearing slider
US11587583B1 (en) * 2022-02-28 2023-02-21 Western Digital Technologies, Inc. Slider air bearing design with roughened leading edge shallow step for enhanced particle robustness

Family Cites Families (31)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2409571A1 (fr) 1977-11-18 1979-06-15 Cii Honeywell Bull Plate-forme comportant au moins un transducteur magnetique de lecture/ecriture d'un support d'information
US4218715A (en) 1979-03-12 1980-08-19 International Business Machines Corporation Magnetic head slider assembly
JPS5823359A (ja) 1981-07-31 1983-02-12 Toshiba Corp 磁気ヘツド用スライダ
JPS5960760A (ja) * 1982-09-30 1984-04-06 Toshiba Corp 浮動ヘツドスライダ
EP0201587A1 (en) 1984-11-13 1986-11-20 Memorex Corporation Slider with anti-stiction boss
JPS60242548A (ja) 1985-01-21 1985-12-02 Hitachi Ltd 浮動形磁気ヘツド
JPH01211383A (ja) 1988-02-19 1989-08-24 Nec Corp 負圧スライダ
JP2688632B2 (ja) 1988-03-28 1997-12-10 株式会社日立製作所 浮動ヘッドスライダ
JP2668708B2 (ja) 1988-06-20 1997-10-27 株式会社日立製作所 浮動ヘッドスライダ
JP2779529B2 (ja) 1989-10-19 1998-07-23 株式会社日立製作所 浮動ヘッドスライダ
US5128822A (en) 1990-05-25 1992-07-07 Seagate Technology, Inc. Configuration for negative pressure air bearing sliders
US5343343A (en) 1990-05-25 1994-08-30 Seagate Technology, Inc. Air bearing slider with relieved rail ends
US5200868A (en) 1990-05-25 1993-04-06 Seagate Technology, Inc. Negative pressure air bearing slider having an air bearing surface trailing a negative pressure cavity
US5218494A (en) 1990-05-25 1993-06-08 Seagate Technology, Inc. Negative pressure air bearing slider having isolation channels with edge step
US5086360A (en) 1990-09-06 1992-02-04 Applied Magnetics Corporation Constant flying height slider
US5359480A (en) 1992-12-21 1994-10-25 Read-Rite Corporation Magnetic head air bearing slider
JP3478556B2 (ja) 1993-03-18 2003-12-15 松下電器産業株式会社 磁気ヘッドスライダ
US5636086A (en) 1993-05-28 1997-06-03 International Business Machines Corporation Roll insensitive air bearing slider
US5515219A (en) 1993-09-08 1996-05-07 Seagate Technology, Inc. Simplified self-loading head slider
US5532890A (en) 1993-11-10 1996-07-02 International Business Machines Corporation Negative pressure slider with optimized leading pocket for profile control
US5550693A (en) 1994-10-31 1996-08-27 International Business Machines Corporation Air bearing slider having projections that provide minimal actual contact area
US5636085A (en) 1995-03-03 1997-06-03 Iomega Corporation Magnetic read/write head assembly configured with bleed slots passing through rails to stabilize flexible medium while attaining low fly heighs with respect thereto
JP3132981B2 (ja) 1995-05-08 2001-02-05 信越化学工業株式会社 切断砥石
KR970003122A (ko) 1995-06-06 1997-01-28 토마스 에프. 멀베니 근접 기록용 중앙 레일 슬라이더
US5796551A (en) 1996-10-16 1998-08-18 International Business Machines Corporation Landing pads for air bearing sliders and method for making the same
US5761004A (en) 1996-12-02 1998-06-02 International Business Machines Corporation Air bearing slider with offset crossbars to reduce roll
JP2891228B2 (ja) 1997-03-14 1999-05-17 日本電気株式会社 磁気ヘッドスライダ
US5963396A (en) 1997-04-02 1999-10-05 Marburg Technology, Inc. Glide head with an outside active rail
US5953181A (en) 1997-10-17 1999-09-14 Nec Corporation Flying magnetic head slider for a magnetic disk drive
US6188547B1 (en) * 1998-06-04 2001-02-13 Seagate Technology Llc Slider with pressure relief trenches
US6115219A (en) * 1998-11-13 2000-09-05 Iomega Corporation Read write head assembly that has a pair of opposed sliders that each have a transverse slotted rail aligned with a rail in the opposing slider that does not have a transverse slotted rail

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005032420A (ja) * 2003-07-08 2005-02-03 Sae Magnetics (Hk) Ltd 超低位浮上高さスライダの設計態様
US7701671B2 (en) 2004-03-31 2010-04-20 Toshiba Storage Device Corporation Head slider for disk apparatus with rail portions
US7542238B2 (en) 2004-04-12 2009-06-02 Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. Aerodynamic magnetic head slider and magnetic disk drive
US7499245B2 (en) 2005-02-02 2009-03-03 Tdk Corporation Magnetic head slider having stepped surfaces
JP2007080377A (ja) * 2005-09-14 2007-03-29 Hitachi Global Storage Technologies Netherlands Bv 磁気ディスク装置及び磁気ヘッドスライダ
US8270116B2 (en) 2005-09-14 2012-09-18 Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. Magnetic disk drive and magnetic head slider with stabilized flying
JP2009009687A (ja) * 2007-06-05 2009-01-15 Shinka Jitsugyo Kk ハードディスクドライブ
WO2009084282A1 (en) * 2007-12-27 2009-07-09 Kabushiki Kaisha Toshiba Head, head suspension assembly, and disk drive device provided with the same
JP2009064557A (ja) * 2008-12-22 2009-03-26 Fujitsu Ltd ディスク装置のヘッドスライダ

Also Published As

Publication number Publication date
DE10085239B4 (de) 2004-05-13
WO2001041141A2 (en) 2001-06-07
GB0212196D0 (en) 2002-07-03
WO2001041141A3 (en) 2002-07-11
GB2372874A (en) 2002-09-04
GB2372874B (en) 2004-02-11
DE10085239T1 (de) 2002-11-07
JP3787090B2 (ja) 2006-06-21
US6504682B1 (en) 2003-01-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3787090B2 (ja) スティクションを低減させる凹状、溝状のレールを有するディスク・ヘッド・スライダ
US6462909B1 (en) Disc head slider having wear-resistant pads for enhanced damping
US6515831B1 (en) Disc head slider having leading and trailing channeled rails for enhanced damping
US6937440B2 (en) Head slider having convergent channel features with side opening
JP2781467B2 (ja) 空気支持によるディスクヘッドのスライダー
US6490135B1 (en) Disc drive assembly having side rail-channeled air bearing for ramp load-unload applications
US6603639B1 (en) Slider for disc storage system
JP2001503903A (ja) 浮動スティクションを最小にするために表面不連続部を有するディスクヘッド・スライダ
US20020012199A1 (en) Slider for a data storage device with head disc interface for contact starts and stops ("css")
JPH0714337A (ja) 空気軸受スライダ
EP1305802A2 (en) Disk head slider having cavities for increasing contact stiffness and controlling suction center movement
KR20020003902A (ko) 부압 공기 윤활 베어링 슬라이더
US6710976B2 (en) Disk head slider having air bearing pressure relief features
US6680821B2 (en) Slider air bearing surface having improved fly height profile characteristics
JP2803639B2 (ja) 磁気ヘッドスライダ
JP2001344724A (ja) 浮上ヘッドスライダ
US7277255B2 (en) Head slider with positive dynamic pressure generating section
US6958889B2 (en) Slider with a compliant transducer interface
US6606222B1 (en) Convergent channel, trenched disc head slider
US6678119B1 (en) Disc head slider having rails with enclosed depressions
JP4352607B2 (ja) ヘッドスライダおよびこれを用いたディスク記録再生装置
JP3971392B2 (ja) ディスクドライブの空気軸受スライダ
US6510027B1 (en) Disc head slider having highly damped bearing with multiple pressure gradiant-generating pads
US5926344A (en) Floating head slider with concave sides, magnetic disk device with such a slider, and method for controlling air flow in a slider with dust-trapping concave sides
JP2009110618A (ja) ヘッドスライダ

Legal Events

Date Code Title Description
A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20050325

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20050627

A602 Written permission of extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602

Effective date: 20050704

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20050913

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20060224

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20060323

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees