JP2003513465A - ウエハ加工用装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 本発明は、複数の製造ユニット（２）および測定ユニット（３）ならびにウエハの搬送のための搬送システムを有するウエハの加工のための装置に関するものである。搬送制御ユニット（９）は、搬送システムに配置されており、装置の利用状況を検査するための手段およびウエハの加工順序を保存するための手段を有している。制御命令は、これらパラメータに基づいて、搬送制御ユニット（９）において生成され、ウエハの搬送の進行を制御するために、搬送システムに出力されることができる。

Description

【発明の詳細な説明】

本発明は、請求項１の上位概念に基づくウエハの加工のための装置に関するも
のである。

【０００１】 このような装置は、異なる製造プロセス（Fertigungsprozessen）を行う多数
の製造ユニットを備えている。これらの製造プロセスは、特に、エッチングプロ
セス、湿式化学法、拡散プロセス、および、例えばＣＭＰ法（化学機械研磨）の
ような多様な洗浄法がある。１つまたは複数の製造ユニットは、これらプロセス
のそれぞれのために設けられており、製造プロセスの様々な製造工程は、これら
ユニットで行われる。

【０００２】 加えて、このような装置は、多数の測定ユニットを備えている。製造プロセス
の１つまたは複数の製造工程の加工品質は、測定ユニットで検査される。

【０００３】 全製造プロセスは、厳しい純度条件に支配されているため、製造ユニットおよ
び測定ユニットは、クリーンルームまたはクリーンルームのシステム内に配置さ
れている。

【０００４】 ウエハは、事前に決定されたロットの大きさでケースとして構成されたコンテ
ナで、搬送システムを介して、個々の製造ユニットへ搬入される。ウエハの加工
後、ケースの搬出も、搬送システムを介して行われる。

【０００５】 搬送システムは、多数のコンベアを有するコンベアシステムが典型的である。
コンベアは、例えば、ホイールコンベアの形状で構成されている。この場合、ウ
エハの入ったケースは、ホイールコンベア上を搬送される。あるいは、コンベア
システムは、チェーンコンベア（Stetigfoerdern）、トロリコンベア（Haengefo
erdern）、または同様のものからも構成することができる。

【０００６】 このような装置を操作するために、通常、材料配列システムが備えられている
。ウエハは、この材料配列システムによって、倉庫または同様のところから、特
定の数で取り出され、ロットに集結される。個々の加工工程を含む作業計画は、
個々のロットのために設置され、装置を介して個々の製造ユニットおよび測定ユ
ニットへ通過する時にウエハに行われる。加えて、個々のウエハに対する優先順
位は、材料配列システムを介して与えられる。異なるロットのウエハのための特
定の加工順序は、この優先順位決定に基づいて、結果として出される。

【０００７】 最後に、ウエハは、材料配列システムを介して、搬送システムへと搬入される
。ウエハの入ったコンテナは、この搬送システムを介して、個々の製造ユニット
および測定ユニットに搬入される。このとき、搬送システムのコンテナは、所定
のロットに関する搬送依頼が読み込まれる。搬送依頼は、特に、個々のコンテナ
のための目的地を含んでいる。このとき、目的地は、製造ユニットおよび測定ユ
ニットから構成されている。

【０００８】 コンテナは、これらの搬送依頼によって、個々の目的地へと搬入される。ここ
で不都合なのは、このとき、搬送システムは、度々不均等に積載されていること
である。特に、かなりの数のコンベアが過重積載されている場合が度々生じると
、そのコンベア上に存在するコンテナに対して、望ましくない待機時間（Wartez
eiten）が生じる。装置を通るウエハの通過時間は、このような待機時間によっ
て、かなり長くなる。このことは、特に、ウエハの製造経費の望ましくない上昇
にも繋がる。

【０００９】 本発明の課題は、導入部分で言及された形態の装置を、ウエハの通過時間が、
装置でのウエハ加工時に、できる限り短いように構成することである。

【００１０】 本課題を解決するために、請求項１の特徴を挙げる。本発明の好ましい実施形
態および有効な更なる構造は、従属請求項に記載されている。

【００１１】 本発明によると、搬送制御ユニットは、搬送システムに割り当てられている。
この制御ユニットは、装置の利用状況を認識するための手段と、ウエハの加工順
序を保存するための手段を備えている。

【００１２】 制御命令は、装置の利用状況およびウエハの加工順序に応じて、搬送制御ユニ
ットで生成され、ウエハの搬送の進行（Ablauf）を制御するために、搬送システ
ムに出力できる。

【００１３】 本発明の主旨は、搬送制御ユニットを介するウエハの搬送が、迅速かつ柔軟に
、装置の利用状況に調節できることである。特に、搬送システムの個々の構成要
素の利用状況を認識するための手段を備え、この手段は、例えば、センサによっ
て形成されている。

【００１４】 どの搬送経路が現在過重積載されており、どの搬送経路がまだ搬送能力を有し
ているかが、これをもとに、搬送制御ユニットで認識される。これに加えて、個
々の製造ユニットおよび測定ユニットの現在の過積載の範囲が検出される。

【００１５】 この情報は、制御命令を生成するために、ウエハがこの制御命令に基づいて、
装置の搬送および加工能力を最適に利用して個々の目的地へ搬入されることによ
り、搬送制御ユニットで使用される。

【００１６】 特に、制御命令は、現在の搬送および加工能力に適合された搬送依頼が生成さ
れるように、構成される。

【００１７】 この場合、ウエハの入った個々のコンテナのための搬送依頼も、部分搬送依頼
に区分されているのが好ましい。これにより、装置を通過する間に特定のコンテ
ナへウエハが結合することは中止される。むしろ、ウエハは、現在の加工状態に
適合されて、できる限り直接、待機時間はなく、それぞれに好適な製造ユニット
または測定ユニットに搬入されるように搬送制御ユニットを介して、グループ分
けされる。

【００１８】 これに加えて、好適な搬送経路の選択は、搬送制御ユニットで、ウエハのため
にそれぞれ行われる。このとき、搬送システムの特に過重積載された部分経路は
迂回される。

【００１９】 このようにして、ウエハが装置を通過する時間は大変短く保たれる。

【００２０】 本発明を、以下に、図に基づいて説明する。

【００２１】 図１は、加工場所の配列を有する半導体製品の製造のための装置の図式的に示
す図である。図２は、図１に基づく装置の、進行制御のための構成要素のブロッ
ク図である。

【００２２】 図１に、ウエハの加工のための装置を図式的に示す。装置は、多数の加工場所
１を備えている。ここでは、１つまたは複数の製造ユニット２または測定ユニッ
ト３は、加工場所１に備えられている。

【００２３】 製造ユニット２は、ウエハの加工のために必要な製造プロセスにおいて、異な
る製造工程を行うために使用される。この製造プロセスは、特に、エッチングプ
ロセス、湿式化学法、拡散プロセスおよび洗浄法を含んでいる。１つまたは複数
の製造ユニット２は、個々の製造プロセスのために、行われるべき製造工程の数
に応じて備えられている。

【００２４】 測定ユニット３は、個々の製造ユニット２で行われる製造工程の加工品質を検
査するために使用される。

【００２５】 個々の製造ユニット２および測定ユニット３を有する加工場所１は、クリーン
ルーム４に配置されており、搬送システムを介して相互に接続されている。ある
いは、加工場所１は、クリーンルーム４のシステムを介して配置されていてもよ
い。

【００２６】 搬送システムは、複数のコンベア５ａを有するコンベアシステム５を備えてい
る。コンベアシステム５は、ウエハを個々の加工場所１へ搬入する。加工場所１
は、ウエハの搬入と搬出のために、図示されていない積み降ろし場所を備えてい
る。ウエハは、このときコンテナ６で搬送される。このコンテナ６は、ケースと
して構成されていることが好ましい。コンベア５ａは、ホイールコンベア、チェ
ーンコンベアまたは同様のものから構成することもできる。ウエハの引き渡しの
ために引き渡し場所または同様のところは、コンベア５ａの間にある。搬送シス
テムは、加えて、図示していない保存部システムを備えている。この保存部シス
テムは、クリーンルームに配置された複数の保存部を備えている。これら保存部
は、特に、保管場所として構成することができる。ウエハの入ったコンテナ６は
、これらの保存部に一時的に保管される。例えば、個々の製造ユニット２で不正
確に加工されたウエハを含むコンテナ６は、そこで一時的に保管される。これら
は、適切な時機に、後工程のために保存部から取り出され、特定の製造ユニット
２に搬入される。

【００２７】 前記の実施例では、ウエハの搬送は、搬送システムを介して、完全自動で、ま
た、全く作業員を導入することなく行われる。あるいは、ウエハの搬送は、部分
的に手作業でも行うことができる。

【００２８】 図２は、ウエハの加工のための装置を進行制御するためのブロック図を示す。
中央製造計画および制御システム７は、製造ガイドシステム８と接続されている
。製造ユニット２と測定ユニット３とを有する個々の加工場所１は、製造ガイド
システム８と接続されている。加えて、搬送制御ユニット９は、製造ガイドシス
テム８と接続されている。また、コンベア技術制御装置１０は、搬送制御ユニッ
ト９と接続されている。このコンベア技術制御装置１０は、搬送システムのコン
ベアシステム５と接続されている。

【００２９】 上述した装置の構成要素は、少なくとも１つの計算ユニットをそれぞれ備えて
いる。個々の構成要素間の端子は、これら構成要素の個々の計算ユニット間の双
方向データ配線としてそれぞれ構成されている。

【００３０】 製造計画および制御システム７は、全装置に対する能力調査および需要調査の
ために使用される。個々の製造ユニット２および測定ユニット３におけるウエハ
の加工のための能力と需要は、数日から週の規模での期間のために事前に計画さ
れる。このために特に好適な特定の加工工程の割り当ては、製造ユニット２およ
び測定ユニット３のために、この計画に基づいて行われる。加えて、ウエハの加
工のための製造命令および作業計画は、製造計画および制御システム７で生成さ
れる。

【００３１】 製造ガイドシステム８において、加工プロセスの始めに、複数のウエハは、ロ
ットに集結される。このとき、ロットのウエハは、始めに収納されている。この
ため、対応するウエハは、製造ガイドシステム８を介して倉庫から取り出され、
手動または機械的にコンテナ６に収納される。

【００３２】 個々の作業計画および製造命令は、製造計画および制御システム７から、製造
ガイドシステム８に読み込まれて保存され、そして管理される。

【００３３】 相当する基準値は、作業計画および製造命令に基づいて、製造ガイドシステム
８から、個々の製造ユニット２および測定ユニット３に読み込まれる。これらユ
ニットの現在の状態は、個々の製造ユニット２および測定ユニット３から、製造
ガイドシステム８にそれぞれ通報される。特に、個々の製造ユニット２および測
定ユニット３における個々のウエハの現在の加工状態も、製造ガイドシステム８
に読み込まれる。

【００３４】 すべてのこの情報は、製造ガイドシステム８で連続して登録される。このこと
により、ウエハの現在の加工状態、ならびに、製造ユニット２および測定ユニッ
ト３の利用状況は、製造ガイドシステム８で使用することができる。

【００３５】 このデータに基づいて、装置のウエハに関する生産能力は、製造ガイドシステ
ム８において認識され、製造計画および制御システム７が推測される。

【００３６】 加えて、個々のウエハまたはロットの加工のための優先順位決定は、製造ガイ
ドシステム８のデータに基づいて行われる。このとき、計画は、一般的に時間範
囲（Zeithorizont）内で、数分から時間まで変化する。ウエハの優先順位決定は
、このとき、特にその加工状態に依存している。

【００３７】 搬送制御ユニット９は、全搬送システムの制御のために使用される。このため
に、個々の製造ユニット２、測定ユニット３、および特に搬送システムの構成要
素の利用状況は、搬送制御ユニット９で、連続して認識される。制御命令は、パ
ラメータおよびウエハの加工状態に応じて、搬送制御ユニット９で生成される。
ウエハの搬送の進行は、この命令に応じて行われる。制御は、ほとんど遅滞時間
なく、または最大でも数秒の反応時間で行われることが好ましい。

【００３８】 ウエハの加工状態および加工順序は、製造ガイドシステム８から搬送制御ユニ
ット９に読み込まれる。ウエハの加工順序は、製造ガイドシステム８における優
先順位の授与によって事前に設定されている。ウエハに対する搬送依頼は、この
優先順位に応じて、製造ガイドシステム８で生成され、搬送制御ユニット９に読
み込まれる。これらの搬送依頼は、ウエハの入ったロットにそれぞれ関係してい
ることが好ましい。個々の製造ユニット２および測定ユニット３の利用状況は、
製造ガイドシステム８で認識され、同様に、搬送制御ユニット９に読み込まれる
。

【００３９】 センサのシステムは、装置（特に搬送システム）の更なる構成要素の利用状況
を認識するために備えられており、その出力信号は、搬送制御ユニット９に読み
込まれる。

【００４０】 センサは、このとき特に、バーコード読取装置から構成されている。バーコー
ドは、一方では個々のコンテナ６に、他方では直接ウエハに配置されており、こ
のバーコード読取装置によって認識される。コンテナ６およびウエハは、これら
のバーコードに基づいて、一義的に識別可能である。

【００４１】 従って、ウエハの識別自体は、特に必要不可欠である。なぜなら、異なるロッ
トのウエハは、製造ユニット２および測定ユニット３でのウエハの加工の間、１
つのコンテナ６へ入れられることがあるからである。その場合、ウエハが、装置
を通過する時に、その加工状態に適切に追随するようにできるためには、コンテ
ナ６の識別だけではもはや十分ではない。

【００４２】 バーコード読取装置は、搬送システムの個々のコンベア５ａに十分な数で配置
されている。加えて、バーコード読取装置は、コンベア５ａの間の引き渡し場所
にも配置されている。最後に、バーコード読取装置に加えて、例えば光電子遮蔽
装置または同様のもののような更なるセンサも、備えることができる。このセン
サによって、監視経路によってコンテナ６の通過は、その都度認識される。

【００４３】 コンベア技術制御装置１０は、搬送制御ユニット９に接続されており、搬送シ
ステムの駆動素子を制御するための基本的には１つまたは複数の計算ユニットを
備えている。駆動素子は、特にモーターおよび供給装置（Geber）から構成され
ている。搬送システムの構成要素、特に個々のコンベア５ａは、この駆動素子に
よって駆動される。コンベア技術制御装置１０の稼動は、制御命令を介して制御
されている。この制御命令は、搬送制御ユニット９からコンベア技術制御装置１
０に読み込まれる。反対に、コンベア技術制御装置１０の制御パラメータ、特に
、搬送システムの個々の構成要素の稼動状態および最終的なエラーメッセージは
、コンベア技術制御装置１０によって搬送制御ユニット９に読み込まれる。

【００４４】 コンベア技術制御装置の出力信号は、搬送制御ユニット９で特に、搬送システ
ムの個々の構成要素の積載を認識するために使用される。このために、搬送シス
テムの構成要素、特に、コンベア５ａの上に存在しており、ウエハの入ったコン
テナ６の数が、検出される。

【００４５】 上記から、コンテナ６によるコンベア５ａの占有率（Belegungsdichte）が算
出される。特に、個々のコンベア５ａが過重積載されているかどうかが検査され
る。これにより、コンテナ停滞が生じることもある。加えて、搬送システムの個
々の構成要素の使用可能性、特に、個々のコンベア５ａは機能能力があるかどう
かについて検出される。

【００４６】 コンベア技術制御装置１０のための制御命令は、センサシステムによって得ら
れた情報および製造ガイドシステム８に読み込まれたデータから、搬送制御ユニ
ット９で生成される。まず、１つのロットだけ、あるいは複数のロットのウエハ
がコンテナ６に存在するかどうかが、搬送制御ユニット９で評価される。後者の
場合、製造ガイドシステム８でコンテナ６のために生成された搬送依頼は、搬送
制御ユニット９に変更されずに引き継がれるのではなく、好適な部分搬送依頼に
分割される。従って、異なる部分搬送依頼が割り当てられたウエハは、別々のコ
ンテナ６で、好適な製造ユニット２または測定ユニット３に応じて搬入される。
このため、ウエハは、好適な場所、特に、引き渡し場所または特別な積み替え装
置において、好適なコンテナ６に積み替えられる。

【００４７】 搬送依頼または部分搬送依頼は、搬送制御ユニット９からコンベア技術制御装
置１０に出力される制御命令の部分を構成する。

【００４８】 さらに続けて、搬送制御ユニット９に保存された情報に基づいて、搬送される
べきコンテナ６への好適な目的地およびコンテナ６への好適な搬送経路が検査さ
れる。これらは、同様に、搬送制御ユニット９から出力される制御命令の構成部
分である。

【００４９】 目的地の選択は、ウエハの加工状態に応じて行われる。コンテナ６のウエハの
加工状態によって、製造ユニット２または測定ユニット３が現在空いている加工
能力を有している場合、好適な製造ユニット２または測定ユニット３は、目的地
として定義される。しかし、該当する製造ユニット２または測定ユニット３が、
現在過重積載されているまたは全く稼動していない場合、これら製造ユニット２
または測定ユニット３が再び使用できるようになったらすぐ、コンテナ６をこれ
らに迅速に搬入できるように、これら測定ユニット３または製造ユニット２ので
きるだけ近くに目的地が決定される。コンテナ６は、保存部に一時的に保管され
ていることが効果的である。この保存部は、それぞれの製造ユニット２または測
定ユニット３のできるだけ近くにある。

【００５０】 空いている搬送能力を有する搬送システムのこのような構成要素を介してのみ
目的地に近づいていくように、搬送制御ユニット９で、各搬送経路が決定されて
いる。特に、搬送経路は、過積載された、または稼動していないコンベア５ａを
迂回するような方法で選択される。

【図面の簡単な説明】

【図１】 加工場所の配列を有する半導体製品の製造のための装置の図式である。

【図２】 図１の装置の、進行制御のための構成要素のブロック図である。

【手続補正書】特許協力条約第３４条補正の翻訳文提出書

【提出日】平成１３年１１月２９日（２００１．１１．２９）

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】特許請求の範囲

【補正方法】変更

【補正の内容】

【特許請求の範囲】

【請求項２５】 上記搬送制御システムは（９）は、少なくとも１つの計算機ユニットを備えて い ることを特徴とする請求項１〜２４の何れか１項に記載の装置。

【手続補正書】

【提出日】平成１４年４月２５日（２００２．４．２５）

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】特許請求の範囲

【補正方法】変更

【補正の内容】

【特許請求の範囲】

Claims (28)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数の製造ユニットおよび測定ユニットならびにウエハの搬送のための搬送シ
   ステムを有するウエハ加工用装置であって、 搬送制御ユニット（９）は、上記搬送システムに配置されており、上記装置の
   利用状況を検出するための手段および上記ウエハの加工順序を保存するための手
   段を有しており、 制御命令は、上記装置の利用状況および上記ウエハの加工順序に応じて、上記
   搬送制御ユニット（９）で生成され、上記ウエハの搬送の進行を制御するために
   、上記搬送システムに出力されることができることを特徴とする装置。
2. 【請求項２】 上記搬送システムは、複数のコンベア（５ａ）を有するコンベアシステム（５
   ）を備え、上記ウエハは、コンテナ（６）で上記コンベア（５ａ）上を搬送され
   ることを特徴とする請求項１に記載の装置。
3. 【請求項３】 上記コンテナ（６）は、１つのロットまたは複数のロットのウエハを収容して
   いることを特徴とする請求項２に記載の装置。
4. 【請求項４】 上記コンテナ（６）は、バーコードを貼り付けられていることを特徴とする請
   求項２または３に記載の装置。
5. 【請求項５】 上記ウエハは、バーコードを貼り付けられていることを特徴とする請求項２〜
   ４の何れか１項に記載の装置。
6. 【請求項６】 上記搬送システムの上記装置の利用状況を検出するための手段は、センサによ
   って形成されていることを特徴とする請求項１〜５の何れか1項に記載の装置。
7. 【請求項７】 上記センサは、上記コンテナ（６）および／または個々のウエハの識別が実行
   されるバーコード読取装置によって形成されていることを特徴とする請求項６に
   記載の装置。
8. 【請求項８】 上記センサは、光電子遮蔽装置または同様のものから形成されていることを特
   徴とする請求項６に記載の装置。
9. 【請求項９】 上記センサは、上記搬送システムに配置されていることを特徴とする請求項６
   〜８の何れか１項に記載の装置。
10. 【請求項１０】 上記搬送制御ユニット（９）は、製造ガイドシステム（８）に接続されており
    、個々のロットの上記ウエハの加工状態は、上記製造ガイドシステム（８）に連
    続して登録されることを特徴とする請求項１〜９の何れか１項に記載の装置。
11. 【請求項１１】 個々の製造ユニット（２）および測定ユニット（３）の利用状況は、上記製造
    ガイドシステム（８）によって上記搬送制御ユニット（９）に読み込まれ、そこ
    に保存されることを特徴とする請求項１０に記載の装置。
12. 【請求項１２】 異なるロットの上記ウエハの加工状態は、上記製造ガイドシステム（８）に記
    録され、上記ウエハの加工順序は、それに応じて連続して決定されることを特徴
    とする請求項１１に記載の装置。
13. 【請求項１３】 上記ウエハの上記加工状態および加工順序は、上記製造ガイドシステム（８）
    によって上記搬送制御ユニット（９）に読み込まれることを特徴とする請求項１
    ２に記載の装置。
14. 【請求項１４】 上記ウエハの上記加工順序は、個々のコンテナ（６）またはロットのための搬
    送依頼の形式で、上記搬送制御ユニット（９）に読み込まれることを特徴とする
    請求項１３に記載の装置。
15. 【請求項１５】 優先順位は、上記製造ガイドシステム（８）によって、上記ウエハのロットに
    割り当てられていることを特徴とする請求項１３または１４に記載の装置。
16. 【請求項１６】 上記搬送システムは、上記搬送制御ユニット（９）に接続されているコンベア
    技術制御装置（１０）を備えていることを特徴とする請求項１〜１５の何れか１
    項に記載の装置。
17. 【請求項１７】 上記搬送システムの構成要素を駆動するためのモーターおよび供給装置は、上
    記コンベア技術制御装置（１０）を用いて制御されることを特徴とする請求項１
    ６に記載の装置。
18. 【請求項１８】 上記搬送システムの個々の構成要素のエラーメッセージは、上記コンベア技術
    制御装置（１０）から、上記搬送制御ユニット（９）に読み込まれることを特徴
    とする請求項１７に記載の装置。
19. 【請求項１９】 上記搬送制御ユニット（９）で生成された上記制御命令は、上記コンベア技術
    制御装置（１０）に読み込まれることを特徴とする請求項１７または１８に記載
    の装置。
20. 【請求項２０】 上記搬送システムの個々の構成要素上に位置する上記ウエハの数は、上記セン
    サによって登録され、上記搬送制御ユニット（９）で保存されることを特徴とす
    る請求項２〜１９の何れか１項に記載の装置。
21. 【請求項２１】 上記搬送システムの個々の構成要素に関する、コンテナ（６）による占有率は
    、上記センサを用いて測定され、上記搬送制御ユニット（９）で保存されること
    を特徴とする請求項２０に記載の装置。
22. 【請求項２２】 搬送依頼は、上記搬送制御ユニット（９）で、部分搬送依頼に分解（zerlegt
    ）されることを特徴とする請求項１４〜２１の何れか１項に記載の装置。
23. 【請求項２３】 上記部分搬送依頼への分解は、相当する上記ウエハの加工状態に応じて行われ
    ることを特徴とする請求項２２に記載の装置。
24. 【請求項２４】 搬送経路は、上記個々の搬送依頼または上記部分搬送依頼のために、上記搬送
    制御ユニット（９）によって定義され、上記制御命令の構成部分として出力され
    ることができることを特徴とする請求項２２または２３に記載の装置。
25. 【請求項２５】 上記搬送経路は、上記搬送制御ユニット（９）で、上記ウエハの上記加工状態
    に応じて、および／または上記搬送システムの上記構成要素、上記製造ユニット
    （２）および／または上記測定ユニット（３）の利用状況に応じて、選択される
    ことを特徴とする請求項２４に記載の装置。
26. 【請求項２６】 コンテナ（６）は、測定ユニット（３）が使用可能な作業能力を有する場合に
    は、搬送経路を介して、目的地を構成する上記製造ユニット（２）または上記測
    定ユニット（３）に搬送されることを特徴とする請求項２５に記載の装置。
27. 【請求項２７】 コンテナ（６）は、目的地に存在する製造ユニット（２）または測定ユニット
    （３）が使用可能な作業能力を有しない場合には、搬送経路を介して、上記目的
    地の周辺のバッファへ搬送されることを特徴とする請求項２６に記載の装置。
28. 【請求項２８】 上記搬送制御ユニット（９）は、少なくとも１つの計算機ユニットを備えてい
    ることを特徴とする請求項１〜２７の何れか１項に記載の装置。