JPH06286824A - 半導体生産ラインにおける自動搬送システム - Google Patents
半導体生産ラインにおける自動搬送システムInfo
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- JPH06286824A JPH06286824A JP5073492A JP7349293A JPH06286824A JP H06286824 A JPH06286824 A JP H06286824A JP 5073492 A JP5073492 A JP 5073492A JP 7349293 A JP7349293 A JP 7349293A JP H06286824 A JPH06286824 A JP H06286824A
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- semiconductor manufacturing
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Abstract
(57)【要約】
【目的】装置の監視をリアルタイムで的確に行え、半導
体製造装置への部材供給が自動化され、フレキシブルな
拡張性を備えるようにする。 【構成】制御ユニット４０Ａは半導体製造装置３０Ａ2
からのマガジン供給要求があると、ストック装置２０Ａ
を制御し、バーコードリーダ９０ＡでマガジンＩＤを読
み取り、コンベヤ６０Ａ1 ，６０Ａ2 および移載機７０
Ａ2 ，８０Ａ2 を制御して、該当するマガジンを自動的
に供給搬送し、あるいはマガジン排出要求があるとコン
ベヤ６０Ａ1 ，６０Ａ2 および移載機７０Ａ2 ，８０Ａ
2 を制御してマガジンを半導体製造装置３０Ａ2 から排
出搬送し、コンピュータ１０は搬送状況を表示しかつ履
歴を記録する。
体製造装置への部材供給が自動化され、フレキシブルな
拡張性を備えるようにする。 【構成】制御ユニット４０Ａは半導体製造装置３０Ａ2
からのマガジン供給要求があると、ストック装置２０Ａ
を制御し、バーコードリーダ９０ＡでマガジンＩＤを読
み取り、コンベヤ６０Ａ1 ，６０Ａ2 および移載機７０
Ａ2 ，８０Ａ2 を制御して、該当するマガジンを自動的
に供給搬送し、あるいはマガジン排出要求があるとコン
ベヤ６０Ａ1 ，６０Ａ2 および移載機７０Ａ2 ，８０Ａ
2 を制御してマガジンを半導体製造装置３０Ａ2 から排
出搬送し、コンピュータ１０は搬送状況を表示しかつ履
歴を記録する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体生産ラインにお
いて特にその後半工程に使用される自動搬送システムに
関する。
いて特にその後半工程に使用される自動搬送システムに
関する。
【０００２】
【従来の技術】これまで、作業者は、部材無しや生産
終了などの装置状況の確認、部材が収納されるマガジ
ンの手作業による交換、手操作による装置起動などを
行っていた。すなわち、人為的作業が占める範囲や工数
が大きいものであった。
終了などの装置状況の確認、部材が収納されるマガジ
ンの手作業による交換、手操作による装置起動などを
行っていた。すなわち、人為的作業が占める範囲や工数
が大きいものであった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】これまでの技術には次
のような問題があった。
のような問題があった。
【０００４】（１）まず、第一に手作業による時間ロス
の問題がある。これには、マガジンの運搬と交換におけ
る時間ロス、作業者が装置を監視することから生じる作
業時間のロス、作業者が生産量を監視することから生じ
る作業時間のロスなどが含まれる。
の問題がある。これには、マガジンの運搬と交換におけ
る時間ロス、作業者が装置を監視することから生じる作
業時間のロス、作業者が生産量を監視することから生じ
る作業時間のロスなどが含まれる。
【０００５】（２）装置状況の確認の遅れやマガジン交
換ミスなどの人為的ミスを起こす可能性が高く、生産性
の低下を招きやすい。
換ミスなどの人為的ミスを起こす可能性が高く、生産性
の低下を招きやすい。
【０００６】（３）装置稼働上の時間ロスの問題があ
る。これには、部材供給などの待ち時間により装置がフ
ル稼働しないことが含まれる。また、装置間の部材の受
け渡しにおける微妙なタイミングのずれや、各装置の生
産能力の相違による部材受け渡しのタイミングのずれな
どが影響している。
る。これには、部材供給などの待ち時間により装置がフ
ル稼働しないことが含まれる。また、装置間の部材の受
け渡しにおける微妙なタイミングのずれや、各装置の生
産能力の相違による部材受け渡しのタイミングのずれな
どが影響している。
【０００７】（４）生産ライン構成の非拡張性という大
きな問題がある。すなわち、生産ライン構成が固定化さ
れていて生産計画の量に応じた柔軟な搬送ラインの拡張
ができない。また、生産品種に応じた単品生産しかでき
なかった。
きな問題がある。すなわち、生産ライン構成が固定化さ
れていて生産計画の量に応じた柔軟な搬送ラインの拡張
ができない。また、生産品種に応じた単品生産しかでき
なかった。
【０００８】（５）マガジンがどの装置にいつ搬送され
使用されたかという履歴内容の記録不足や記録ミスの問
題もあった。
使用されたかという履歴内容の記録不足や記録ミスの問
題もあった。
【０００９】本発明は、このような事情に鑑みて創案さ
れたものであって、上記した従来の問題点である、手作
業による時間ロス，装置稼働上の時間ロス，生産ライン
構成の非拡張性（搬送ラインが延長できない。また、単
品生産しかできない），搬送履歴の記録ミスなどの問題
点の解消を図り、リアルタイムで的確な装置監視が行
え、半導体製造装置に対する部材の自動供給が行え、さ
らに、フレキシブルに拡張可能なライン構築が実現でき
るようにすることを目的とする。
れたものであって、上記した従来の問題点である、手作
業による時間ロス，装置稼働上の時間ロス，生産ライン
構成の非拡張性（搬送ラインが延長できない。また、単
品生産しかできない），搬送履歴の記録ミスなどの問題
点の解消を図り、リアルタイムで的確な装置監視が行
え、半導体製造装置に対する部材の自動供給が行え、さ
らに、フレキシブルに拡張可能なライン構築が実現でき
るようにすることを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明に係る半導体生産
ラインにおける自動搬送システムは、コンピュータと、
制御ユニットと、ストック装置と、コンベヤと、移載機
と、半導体製造装置とから構成され、システム機能とし
て、ストック装置制御機能，コンベヤ制御機能，移載機
制御機能，装置間部材受け渡し制御機能，搬送状況表示
機能，搬送状況履歴管理機能を備えていることを特徴と
するものである。
ラインにおける自動搬送システムは、コンピュータと、
制御ユニットと、ストック装置と、コンベヤと、移載機
と、半導体製造装置とから構成され、システム機能とし
て、ストック装置制御機能，コンベヤ制御機能，移載機
制御機能，装置間部材受け渡し制御機能，搬送状況表示
機能，搬送状況履歴管理機能を備えていることを特徴と
するものである。
【００１１】上記のストック装置制御機能は、マガジン
ＩＤ（例えばマガジンに貼り付けられたバーコード）を
読み取り、ストック装置に対するマガジンの収納，取り
出し動作を行うものである。コンベヤ制御機能は、マガ
ジンの搬送動作を行うものである。移載機制御機能は、
コンベヤ上から半導体製造装置へのマガジンの移載動
作、半導体製造装置からコンベヤ上へのマガジンの移載
動作を行うものである。
ＩＤ（例えばマガジンに貼り付けられたバーコード）を
読み取り、ストック装置に対するマガジンの収納，取り
出し動作を行うものである。コンベヤ制御機能は、マガ
ジンの搬送動作を行うものである。移載機制御機能は、
コンベヤ上から半導体製造装置へのマガジンの移載動
作、半導体製造装置からコンベヤ上へのマガジンの移載
動作を行うものである。
【００１２】装置間部材受け渡し制御機能は、装置間の
マガジンの受け渡しの際に行うマガジン供給要求信号と
マガジン排出要求信号の相互のやりとりをコントロール
するものである。搬送状況表示機能は、搬送アドレス上
のマガジンの流れをモニター画面表示するものであり、
具体的には搬送位置，マガジンＩＤ，年月日時刻，収納
部材の種類などを表示する。搬送状況履歴管理機能は、
マガジンＩＤによる送り先装置への搬送動作を制御し、
マガジンＩＤによる部材種類，年月日時刻，送り元装
置，送り先装置の履歴管理を行うものである。
マガジンの受け渡しの際に行うマガジン供給要求信号と
マガジン排出要求信号の相互のやりとりをコントロール
するものである。搬送状況表示機能は、搬送アドレス上
のマガジンの流れをモニター画面表示するものであり、
具体的には搬送位置，マガジンＩＤ，年月日時刻，収納
部材の種類などを表示する。搬送状況履歴管理機能は、
マガジンＩＤによる送り先装置への搬送動作を制御し、
マガジンＩＤによる部材種類，年月日時刻，送り元装
置，送り先装置の履歴管理を行うものである。
【００１３】
【作用】本発明は以上のように構成してあるので、以下
の作用を発揮する。
の作用を発揮する。
【００１４】各種の動作を作業者の手を介さずに行える
ので、手作業による時間ロスがなくなり、人為的ミスも
なくなるから、時間効率良く正確な搬送および正確な部
材供給・交換が可能となる。また、稼働上のロス時間を
吸収しタイムリーな受け渡しが行え、効率良い搬送が可
能となる。
ので、手作業による時間ロスがなくなり、人為的ミスも
なくなるから、時間効率良く正確な搬送および正確な部
材供給・交換が可能となる。また、稼働上のロス時間を
吸収しタイムリーな受け渡しが行え、効率良い搬送が可
能となる。
【００１５】さらに、フレキシブルな通信データやフレ
キシブルな制御処理を設定することにより、増産に際し
ても、生産ラインの拡張つまり装置台数の増加に伴うコ
ンベヤの延長が可能となり、また、単品生産だけではな
く多品種の混流生産も可能になる。そして、どのマガジ
ンがいつどの装置で使用されたかの履歴データが残せる
ようになった。
キシブルな制御処理を設定することにより、増産に際し
ても、生産ラインの拡張つまり装置台数の増加に伴うコ
ンベヤの延長が可能となり、また、単品生産だけではな
く多品種の混流生産も可能になる。そして、どのマガジ
ンがいつどの装置で使用されたかの履歴データが残せる
ようになった。
【００１６】
【実施例】以下、本発明に係る半導体生産ラインにおけ
る自動搬送システムの一実施例を図面に基づいて詳細に
説明する。
る自動搬送システムの一実施例を図面に基づいて詳細に
説明する。
【００１７】図１はシステム構成図、図２は図１の左側
部分の詳細図、図３は図１の右側部分の詳細図である。
部分の詳細図、図３は図１の右側部分の詳細図である。
【００１８】これらの図において、１０はコンピュータ
（ファクトリコンピュータ）、１１は記憶用ディスク、
Ａは第１製造グループ、Ｂは第２製造グループ、２０
Ａ，２０Ｂはストック装置、３０Ａ1 ，３０Ａ2 …，３
０Ｂ1 ，３０Ｂ2 …は半導体製造装置、４０Ａ，４０Ｂ
は各ストック装置２０Ａ，２０Ｂにそれぞれ付属されて
各グループにおける搬送制御を司る制御ユニット、５０
Ａ1 ，５０Ａ2 ，５０Ｂ1 ，５０Ｂ2 は各半導体製造装
置３０Ａ1 ，３０Ａ2 ，３０Ｂ1 ，３０Ｂ2 にそれぞれ
付属されて半導体製造装置を制御する制御ユニット、６
０Ａ1 ，６０Ａ2，６０Ｂ1 ，６０Ｂ2 は個々の半導体
製造装置に対応して配置されたコンベヤ、７０Ａ1 ，８
０Ａ1 は半導体製造装置３０Ａ1 とコンベヤ６０Ａ1 と
の間の移載機、７０Ａ2 ，８０Ａ2 は半導体製造装置３
０Ａ2 とコンベヤ６０Ａ2 との間の移載機、７０Ｂ1 ，
８０Ｂ1 は半導体製造装置３０Ｂ1 とコンベヤ６０Ｂ1
との間の移載機、７０Ｂ2 は半導体製造装置３０Ｂ2 と
コンベヤ６０Ｂ2 との間の往復式の移載機、９０Ａ，９
０Ｂは各ストック装置２０Ａ，２０Ｂに付属して設けら
れたバーコードリーダである。
（ファクトリコンピュータ）、１１は記憶用ディスク、
Ａは第１製造グループ、Ｂは第２製造グループ、２０
Ａ，２０Ｂはストック装置、３０Ａ1 ，３０Ａ2 …，３
０Ｂ1 ，３０Ｂ2 …は半導体製造装置、４０Ａ，４０Ｂ
は各ストック装置２０Ａ，２０Ｂにそれぞれ付属されて
各グループにおける搬送制御を司る制御ユニット、５０
Ａ1 ，５０Ａ2 ，５０Ｂ1 ，５０Ｂ2 は各半導体製造装
置３０Ａ1 ，３０Ａ2 ，３０Ｂ1 ，３０Ｂ2 にそれぞれ
付属されて半導体製造装置を制御する制御ユニット、６
０Ａ1 ，６０Ａ2，６０Ｂ1 ，６０Ｂ2 は個々の半導体
製造装置に対応して配置されたコンベヤ、７０Ａ1 ，８
０Ａ1 は半導体製造装置３０Ａ1 とコンベヤ６０Ａ1 と
の間の移載機、７０Ａ2 ，８０Ａ2 は半導体製造装置３
０Ａ2 とコンベヤ６０Ａ2 との間の移載機、７０Ｂ1 ，
８０Ｂ1 は半導体製造装置３０Ｂ1 とコンベヤ６０Ｂ1
との間の移載機、７０Ｂ2 は半導体製造装置３０Ｂ2 と
コンベヤ６０Ｂ2 との間の往復式の移載機、９０Ａ，９
０Ｂは各ストック装置２０Ａ，２０Ｂに付属して設けら
れたバーコードリーダである。
【００１９】符号の５０Ａ1 ，５０Ａ2 ，５０Ｂ1 ，５
０Ｂ2 で示す制御ユニットは半導体製造装置を制御する
もので、搬送自体に関しては無関係である。第１製造グ
ループＡにおいてコンベヤ６０Ａ1 ，６０Ａ2 および移
載機７０Ａ1 ，８０Ａ1 ，７０Ａ2 ，８０Ａ2 を制御す
るのはストック装置２０Ａに付属された制御ユニット４
０Ａである。第２製造グループＢにおいても同様であ
る。
０Ｂ2 で示す制御ユニットは半導体製造装置を制御する
もので、搬送自体に関しては無関係である。第１製造グ
ループＡにおいてコンベヤ６０Ａ1 ，６０Ａ2 および移
載機７０Ａ1 ，８０Ａ1 ，７０Ａ2 ，８０Ａ2 を制御す
るのはストック装置２０Ａに付属された制御ユニット４
０Ａである。第２製造グループＢにおいても同様であ
る。
【００２０】なお、図２，図３において、Ｐ1 ，Ｐ3 ，
Ｐ5 ，Ｐ7 はローダ側マガジン位置、Ｐ2 ，Ｐ4 ，
Ｐ6 ，Ｐ8 はアンローダ側マガジン位置、Ｐ5 ′，
Ｐ7 ′はローダ・アンローダ兼用のマガジン位置を示
す。また、Ｑ1 ，Ｑ2 …Ｑn はストック装置内のマガジ
ン収納位置を示し、Ｑ0 はマガジンＩＤ読み取り位置を
示している。
Ｐ5 ，Ｐ7 はローダ側マガジン位置、Ｐ2 ，Ｐ4 ，
Ｐ6 ，Ｐ8 はアンローダ側マガジン位置、Ｐ5 ′，
Ｐ7 ′はローダ・アンローダ兼用のマガジン位置を示
す。また、Ｑ1 ，Ｑ2 …Ｑn はストック装置内のマガジ
ン収納位置を示し、Ｑ0 はマガジンＩＤ読み取り位置を
示している。
【００２１】次に、動作を説明する。通信データＤn が
もつ情報の内容を表１に一覧的にまとめて示す。
もつ情報の内容を表１に一覧的にまとめて示す。
【００２２】
【表１】
【００２３】〔１〕マガジン供給動作 これは、半導体製造装置からマガジン供給の要求があっ
たとき、ストック装置から該当する種類のマガジンを取
り出し、コンベヤで搬送し、移載機により半導体製造装
置にマガジンを送り込む工程である。ここでは、一例と
して半導体製造装置３０Ａ2 にマガジンを供給する場合
の動作を図４のフローチャートに基づいて説明する。
たとき、ストック装置から該当する種類のマガジンを取
り出し、コンベヤで搬送し、移載機により半導体製造装
置にマガジンを送り込む工程である。ここでは、一例と
して半導体製造装置３０Ａ2 にマガジンを供給する場合
の動作を図４のフローチャートに基づいて説明する。
【００２４】半導体製造装置３０Ａ2 の制御ユニット５
０Ａ2 から出力されたマガジン供給要求信号Ｄ1 を制御
ユニット４０Ａが入力し、これをマガジン供給要求の通
信データＤ2 としてコンピュータ１０に送信する。マガ
ジン供給要求の通信データＤ2 を受信したコンピュータ
１０は、半導体製造装置３０Ａ2 の状況の確認を行い、
ストック装置制御の通信データＤ3 を制御ユニット４０
Ａに送信する。この通信データＤ3 を受信した制御ユニ
ット４０Ａは、ストック装置制御の信号Ｄ4 により搬送
動作に必要なストック装置２０Ａを制御する。ストック
装置２０Ａにおける制御ユニット４０Ａは、所要のマガ
ジンを取り出し、バーコードリーダ９０Ａによってマガ
ジンＩＤを読み取り、コンピュータ１０に対してマガジ
ンＩＤの通信データＤ5 を送信する。
０Ａ2 から出力されたマガジン供給要求信号Ｄ1 を制御
ユニット４０Ａが入力し、これをマガジン供給要求の通
信データＤ2 としてコンピュータ１０に送信する。マガ
ジン供給要求の通信データＤ2 を受信したコンピュータ
１０は、半導体製造装置３０Ａ2 の状況の確認を行い、
ストック装置制御の通信データＤ3 を制御ユニット４０
Ａに送信する。この通信データＤ3 を受信した制御ユニ
ット４０Ａは、ストック装置制御の信号Ｄ4 により搬送
動作に必要なストック装置２０Ａを制御する。ストック
装置２０Ａにおける制御ユニット４０Ａは、所要のマガ
ジンを取り出し、バーコードリーダ９０Ａによってマガ
ジンＩＤを読み取り、コンピュータ１０に対してマガジ
ンＩＤの通信データＤ5 を送信する。
【００２５】マガジンＩＤの通信データＤ5 を受信した
コンピュータ１０は、マガジンＩＤをモニター画面にリ
アルタイムに表示するとともに、予め記憶用ディスク１
１に登録されているマガジンＩＤと照合し、搬送すべき
マガジンに収納されている部材の種類を確認してから、
マガジン供給を要求している半導体製造装置３０Ａ2に
そのマガジンを搬送させるための通信データＤ6 （これ
は搬送経路である送り元装置・送り先装置を示すデータ
を含む）を制御ユニット４０Ａに送信する。
コンピュータ１０は、マガジンＩＤをモニター画面にリ
アルタイムに表示するとともに、予め記憶用ディスク１
１に登録されているマガジンＩＤと照合し、搬送すべき
マガジンに収納されている部材の種類を確認してから、
マガジン供給を要求している半導体製造装置３０Ａ2に
そのマガジンを搬送させるための通信データＤ6 （これ
は搬送経路である送り元装置・送り先装置を示すデータ
を含む）を制御ユニット４０Ａに送信する。
【００２６】制御ユニット４０Ａは、信号Ｄ7 をコンベ
ヤ６０Ａ1 ，６０Ａ2 に送信してコンベヤ６０Ａ1 ，６
０Ａ2 を動作させ、マガジンを要求している半導体製造
装置３０Ａ2 の前方の位置Ｐ5 までマガジンを移動させ
る。そして、信号Ｄ8 をローダ側の移載機７０Ａ2 に送
信してそ移載機７０Ａ2 を動作させ、マガジンを半導体
製造装置３０Ａ2 に積み込み、その積み込み位置Ｐ7 の
データをマガジンＩＤとともに記憶用ディスク１１に記
録し、マガジン供給動作を完了する。
ヤ６０Ａ1 ，６０Ａ2 に送信してコンベヤ６０Ａ1 ，６
０Ａ2 を動作させ、マガジンを要求している半導体製造
装置３０Ａ2 の前方の位置Ｐ5 までマガジンを移動させ
る。そして、信号Ｄ8 をローダ側の移載機７０Ａ2 に送
信してそ移載機７０Ａ2 を動作させ、マガジンを半導体
製造装置３０Ａ2 に積み込み、その積み込み位置Ｐ7 の
データをマガジンＩＤとともに記憶用ディスク１１に記
録し、マガジン供給動作を完了する。
【００２７】〔２〕マガジン排出動作 これは、半導体製造装置からマガジン排出の要求があっ
たとき、その半導体製造装置から処理済み部材を収納し
ているマガジンを取り出し、コンベヤで次の搬送先であ
る半導体製造装置またはストック装置にそのマガジンを
送り込む工程である。ここでは、一例として半導体製造
装置３０Ａ2 からマガジンを排出する場合の動作を図５
のフローチャートに基づいて説明する。
たとき、その半導体製造装置から処理済み部材を収納し
ているマガジンを取り出し、コンベヤで次の搬送先であ
る半導体製造装置またはストック装置にそのマガジンを
送り込む工程である。ここでは、一例として半導体製造
装置３０Ａ2 からマガジンを排出する場合の動作を図５
のフローチャートに基づいて説明する。
【００２８】半導体製造装置３０Ａ2 の制御ユニット５
０Ａ2 から出力されたマガジン排出要求信号Ｄ11を制御
ユニット４０Ａが入力し、これをマガジン排出要求の通
信データＤ12としてコンピュータ１０に送信する。マガ
ジン排出要求の通信データＤ12を受信したコンピュータ
１０は、半導体製造装置３０Ａ2 の状況の確認を行い、
マガジンの排出要求をしている半導体製造装置３０Ａ2
からマガジンを搬送させるための通信データＤ13（搬送
経路である送り元装置・送り先装置を示すデータを含
む）を制御ユニット４０Ａに送信する。このデータＤ13
を受信した制御ユニット４０Ａは、搬送動作に必要なス
トック装置２０Ａとコンベヤ６０Ａ2 と移載機７０
Ａ2 ，８０Ａ2 を制御する。
０Ａ2 から出力されたマガジン排出要求信号Ｄ11を制御
ユニット４０Ａが入力し、これをマガジン排出要求の通
信データＤ12としてコンピュータ１０に送信する。マガ
ジン排出要求の通信データＤ12を受信したコンピュータ
１０は、半導体製造装置３０Ａ2 の状況の確認を行い、
マガジンの排出要求をしている半導体製造装置３０Ａ2
からマガジンを搬送させるための通信データＤ13（搬送
経路である送り元装置・送り先装置を示すデータを含
む）を制御ユニット４０Ａに送信する。このデータＤ13
を受信した制御ユニット４０Ａは、搬送動作に必要なス
トック装置２０Ａとコンベヤ６０Ａ2 と移載機７０
Ａ2 ，８０Ａ2 を制御する。
【００２９】制御ユニット４０Ａは、信号Ｄ14をアンロ
ーダ側の移載機８０Ａ2 に送信し、その移載機８０Ａ2
を動作させて、半導体製造装置３０Ａ2 内の位置Ｐ8 に
ある処理済み部材を収納したマガジンをコンベヤ６０Ａ
2 上の位置Ｐ6 に取り出す。
ーダ側の移載機８０Ａ2 に送信し、その移載機８０Ａ2
を動作させて、半導体製造装置３０Ａ2 内の位置Ｐ8 に
ある処理済み部材を収納したマガジンをコンベヤ６０Ａ
2 上の位置Ｐ6 に取り出す。
【００３０】そして、信号Ｄ15をコンベヤ６０Ａ2 に送
信し、コンベヤ６０Ａ2 を動作させて次の搬送先である
半導体製造装置（３０Ｂ1 や３０Ｂ2 など）またはスト
ック装置２０Ｂへ移動する。
信し、コンベヤ６０Ａ2 を動作させて次の搬送先である
半導体製造装置（３０Ｂ1 や３０Ｂ2 など）またはスト
ック装置２０Ｂへ移動する。
【００３１】制御ユニット４０Ａは、同時に、信号Ｄ16
をローダ側の移載機７０Ａ2 に送信し、その移載機７０
Ａ2 を動作させて、部材が取り出され空になったマガジ
ンを位置Ｐ5 まで取り出し、次に、信号Ｄ17をコンベヤ
６０Ａ2 に送信し、コンベヤ６０Ａ2 を動作させてアン
ローダ側の移載機８０Ａ2 の下の位置Ｐ6 まで移動し、
次いで、信号Ｄ18をアンローダ側の移載機８０Ａ2 に送
信し、その移載機８０Ａ2 を動作させて部材が空になっ
ているマガジンを半導体製造装置３０Ａ2 に積み込み、
その積み込み位置Ｐ8 のデータをマガジンＩＤとともに
記憶用ディスク１１に記録し、マガジン排出動作を完了
する。
をローダ側の移載機７０Ａ2 に送信し、その移載機７０
Ａ2 を動作させて、部材が取り出され空になったマガジ
ンを位置Ｐ5 まで取り出し、次に、信号Ｄ17をコンベヤ
６０Ａ2 に送信し、コンベヤ６０Ａ2 を動作させてアン
ローダ側の移載機８０Ａ2 の下の位置Ｐ6 まで移動し、
次いで、信号Ｄ18をアンローダ側の移載機８０Ａ2 に送
信し、その移載機８０Ａ2 を動作させて部材が空になっ
ているマガジンを半導体製造装置３０Ａ2 に積み込み、
その積み込み位置Ｐ8 のデータをマガジンＩＤとともに
記憶用ディスク１１に記録し、マガジン排出動作を完了
する。
【００３２】〔３〕搬送トラブル発生時の動作 マガジン供給動作またはマガジン排出動作の実行中に搬
送経路上のトラブルが発生したときの動作を図６のフロ
ーチャートに基づいて説明する。
送経路上のトラブルが発生したときの動作を図６のフロ
ーチャートに基づいて説明する。
【００３３】トラブルを起こした部分（コンベヤ６０Ａ
1 ，６０Ａ2 または移載機７０Ａ2，８０Ａ2 またはス
トック装置２０Ｂなど）からエラー信号Ｄ21が制御ユニ
ット４０Ａに出力される。このエラー信号Ｄ21を入力し
た制御ユニット４０Ａは、搬送トラブルの通信データＤ
22としてコンピュータ１０に送信する。搬送トラブルの
通信データＤ22を受信したコンピュータ１０は、半導体
製造装置３０Ａ2 およびその周辺の状況の確認を行い、
エラー警告の表示を行い、記憶用ディスク１１に格納し
ているデータの中からエラーコードを検索し、照合でき
ればエラーの内容およびそのエラーの処置方法をモニタ
ー画面に表示し、エラー発生時の年月日，時刻とエラー
内容を記憶用ディスク１１に記録する。そのときエラー
内容がライン全体もしくは一部に影響を与えるものであ
るならば、直ちに搬送停止制御を行う通信データＤ23を
制御ユニット４０Ａに送信する。制御ユニット４０Ａ
は、ストック装置２０Ａを停止するとともに、エラーを
起こした部分に搬送停止信号Ｄ24を送信し、そのエラー
を起こしたストック装置２０Ｂなどの動作を停止させ
る。
1 ，６０Ａ2 または移載機７０Ａ2，８０Ａ2 またはス
トック装置２０Ｂなど）からエラー信号Ｄ21が制御ユニ
ット４０Ａに出力される。このエラー信号Ｄ21を入力し
た制御ユニット４０Ａは、搬送トラブルの通信データＤ
22としてコンピュータ１０に送信する。搬送トラブルの
通信データＤ22を受信したコンピュータ１０は、半導体
製造装置３０Ａ2 およびその周辺の状況の確認を行い、
エラー警告の表示を行い、記憶用ディスク１１に格納し
ているデータの中からエラーコードを検索し、照合でき
ればエラーの内容およびそのエラーの処置方法をモニタ
ー画面に表示し、エラー発生時の年月日，時刻とエラー
内容を記憶用ディスク１１に記録する。そのときエラー
内容がライン全体もしくは一部に影響を与えるものであ
るならば、直ちに搬送停止制御を行う通信データＤ23を
制御ユニット４０Ａに送信する。制御ユニット４０Ａ
は、ストック装置２０Ａを停止するとともに、エラーを
起こした部分に搬送停止信号Ｄ24を送信し、そのエラー
を起こしたストック装置２０Ｂなどの動作を停止させ
る。
【００３４】なお、適時に、記憶用ディスク１１に記録
されているマガジンＩＤ，マガジン搬送履歴データ，エ
ラーデータなどを検索することにより、コンピュータ１
０のモニター画面でそれらを確認し、それらを生産計画
に利用することができる。
されているマガジンＩＤ，マガジン搬送履歴データ，エ
ラーデータなどを検索することにより、コンピュータ１
０のモニター画面でそれらを確認し、それらを生産計画
に利用することができる。
【００３５】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、常時、
各部から通信データを収集しリアルタイムかつ的確な搬
送監視を行い、搬送状況に最適な制御内容を通信指示す
ることができるので、これまでの人為的ミスをなくすこ
とができる。また、マガジンＩＤを用いてマガジンをど
の半導体製造装置またはストック装置へ搬送するかを指
示し、搬送経路を示す通信データを受けて所定の装置へ
マガジンを自動供給することができる。したがって、手
作業による時間ロス，装置稼働上の時間ロス，生産ライ
ン構成の非拡張性，搬送履歴の記録ミスの問題点を解消
できる。そして、部材の搬送が自動化されて作業者の削
減・省人化が図れ、それによって製品の低コスト化や品
質向上を図ることができる。また、コンピュータにより
生産ラインの拡張が容易となり、部材の使用履歴データ
を残せるようになるので生産管理が容易になる。
各部から通信データを収集しリアルタイムかつ的確な搬
送監視を行い、搬送状況に最適な制御内容を通信指示す
ることができるので、これまでの人為的ミスをなくすこ
とができる。また、マガジンＩＤを用いてマガジンをど
の半導体製造装置またはストック装置へ搬送するかを指
示し、搬送経路を示す通信データを受けて所定の装置へ
マガジンを自動供給することができる。したがって、手
作業による時間ロス，装置稼働上の時間ロス，生産ライ
ン構成の非拡張性，搬送履歴の記録ミスの問題点を解消
できる。そして、部材の搬送が自動化されて作業者の削
減・省人化が図れ、それによって製品の低コスト化や品
質向上を図ることができる。また、コンピュータにより
生産ラインの拡張が容易となり、部材の使用履歴データ
を残せるようになるので生産管理が容易になる。
【図１】本発明の一実施例に係る半導体生産ラインにお
ける自動搬送システムの構成図である。
ける自動搬送システムの構成図である。
【図２】図１における左側部分の詳細図である。
【図３】図１における右側部分の詳細図である。
【図４】実施例においてマガジン供給動作を示すフロー
チャートである。
チャートである。
【図５】実施例においてマガジン排出動作を示すフロー
チャートである。
チャートである。
【図６】実施例においてトラブルが発生したときの処理
の動作を示すフローチャートである。
の動作を示すフローチャートである。
１０……コンピュータ １１……記憶用ディスク ２０Ａ……ストック装置 ３０Ａ1 ，３０Ａ2 ……半導体製造装置 ４０Ａ……制御ユニット ６０Ａ1 ，６０Ａ2 ……コンベヤ ７０Ａ1 ，７０Ａ2 ……移載機 ８０Ａ1 ，８０Ａ2 ……移載機 ９０Ａ……バーコードリーダ
【手続補正書】
【提出日】平成５年４月９日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正内容】
【書類名】 明細書
【発明の名称】 半導体生産ラインにおける自動搬
送システム
送システム
【特許請求の範囲】
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体生産ラインにお
いて特にその後半工程に使用される自動搬送システムに
関する。
いて特にその後半工程に使用される自動搬送システムに
関する。
【０００２】
【従来の技術】これまで、作業者は、部材無しや生産
終了などの装置状況の確認、部材が収納されるマガジ
ンの手作業による交換、手操作による装置起動などを
行っていた。すなわち、人為的作業が占める範囲や工数
が大きいものであった。
終了などの装置状況の確認、部材が収納されるマガジ
ンの手作業による交換、手操作による装置起動などを
行っていた。すなわち、人為的作業が占める範囲や工数
が大きいものであった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】これまでの技術には次
のような問題があった。
のような問題があった。
【０００４】（１）まず、第一に手作業による時間ロス
の問題がある。これには、マガジンの運搬と交換におけ
る時間ロス、作業者が装置を監視することから生じる作
業時間のロス、作業者が生産量を監視することから生じ
る作業時間のロスなどが含まれる。
の問題がある。これには、マガジンの運搬と交換におけ
る時間ロス、作業者が装置を監視することから生じる作
業時間のロス、作業者が生産量を監視することから生じ
る作業時間のロスなどが含まれる。
【０００５】（２）装置状況の確認の遅れやマガジン交
換ミスなどの人為的ミスを起こす可能性が高く、生産性
の低下を招きやすい。
換ミスなどの人為的ミスを起こす可能性が高く、生産性
の低下を招きやすい。
【０００６】（３）装置稼働上の時間ロスの問題があ
る。これには、部材供給などの待ち時間により装置がフ
ル稼働しないことが含まれる。また、装置間の部材の受
け渡しにおける微妙なタイミングのずれや、各装置の生
産能力の相違による部材受け渡しのタイミングのずれな
どが影響している。
る。これには、部材供給などの待ち時間により装置がフ
ル稼働しないことが含まれる。また、装置間の部材の受
け渡しにおける微妙なタイミングのずれや、各装置の生
産能力の相違による部材受け渡しのタイミングのずれな
どが影響している。
【０００７】（４）生産ライン構成の非拡張性という大
きな問題がある。すなわち、生産ライン構成が固定化さ
れていて生産計画の量に応じた柔軟な搬送ラインの拡張
ができない。また、生産品種に応じた単品生産しかでき
なかった。
きな問題がある。すなわち、生産ライン構成が固定化さ
れていて生産計画の量に応じた柔軟な搬送ラインの拡張
ができない。また、生産品種に応じた単品生産しかでき
なかった。
【０００８】（５）マガジンがどの装置にいつ搬送され
使用されたかという履歴内容の記録不足や記録ミスの問
題もあった。
使用されたかという履歴内容の記録不足や記録ミスの問
題もあった。
【０００９】本発明は、このような事情に鑑みて創案さ
れたものであって、上記した従来の問題点である、手作
業による時間ロス，装置稼働上の時間ロス，生産ライン
構成の非拡張性（搬送ラインが延長できない。また、単
品生産しかできない），搬送履歴の記録ミスなどの問題
点の解消を図り、リアルタイムで的確な装置監視が行
え、半導体製造装置に対する部材の自動供給が行え、さ
らに、フレキシブルに拡張可能なライン構築が実現でき
るようにすることを目的とする。
れたものであって、上記した従来の問題点である、手作
業による時間ロス，装置稼働上の時間ロス，生産ライン
構成の非拡張性（搬送ラインが延長できない。また、単
品生産しかできない），搬送履歴の記録ミスなどの問題
点の解消を図り、リアルタイムで的確な装置監視が行
え、半導体製造装置に対する部材の自動供給が行え、さ
らに、フレキシブルに拡張可能なライン構築が実現でき
るようにすることを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明に係る第一の半導
体生産ラインにおける自動搬送システムは、コンピュー
タと、制御ユニットと、ストック装置と、コンベヤと、
移載機と、半導体製造装置とから構成され、システム機
能として、ストック装置制御機能，コンベヤ制御機能，
移載機制御機能，装置間部材受け渡し制御機能，搬送状
況表示機能，搬送状況履歴管理機能を備えていることを
特徴とするものである。
体生産ラインにおける自動搬送システムは、コンピュー
タと、制御ユニットと、ストック装置と、コンベヤと、
移載機と、半導体製造装置とから構成され、システム機
能として、ストック装置制御機能，コンベヤ制御機能，
移載機制御機能，装置間部材受け渡し制御機能，搬送状
況表示機能，搬送状況履歴管理機能を備えていることを
特徴とするものである。
【００１１】上記のストック装置制御機能は、マガジン
ＩＤ（例えばマガジンに貼り付けられたバーコード）を
読み取り、ストック装置に対するマガジンの収納，取り
出し動作を行うものである。コンベヤ制御機能は、マガ
ジンの搬送動作を行うものである。移載機制御機能は、
コンベヤ上から半導体製造装置へのマガジンの移載動
作、半導体製造装置からコンベヤ上へのマガジンの移載
動作を行うものである。
ＩＤ（例えばマガジンに貼り付けられたバーコード）を
読み取り、ストック装置に対するマガジンの収納，取り
出し動作を行うものである。コンベヤ制御機能は、マガ
ジンの搬送動作を行うものである。移載機制御機能は、
コンベヤ上から半導体製造装置へのマガジンの移載動
作、半導体製造装置からコンベヤ上へのマガジンの移載
動作を行うものである。
【００１２】装置間部材受け渡し制御機能は、装置間の
マガジンの受け渡しの際に行うマガジン供給要求信号と
マガジン排出要求信号の相互のやりとりをコントロール
するものである。搬送状況表示機能は、搬送アドレス上
のマガジンの流れをモニター画面表示するものであり、
具体的には搬送位置，マガジンＩＤ，年月日時刻，収納
部材の種類などを表示する。搬送状況履歴管理機能は、
マガジンＩＤによる送り先装置への搬送動作を制御し、
マガジンＩＤによる部材種類，年月日時刻，送り元装
置，送り先装置の履歴管理を行うものである。
マガジンの受け渡しの際に行うマガジン供給要求信号と
マガジン排出要求信号の相互のやりとりをコントロール
するものである。搬送状況表示機能は、搬送アドレス上
のマガジンの流れをモニター画面表示するものであり、
具体的には搬送位置，マガジンＩＤ，年月日時刻，収納
部材の種類などを表示する。搬送状況履歴管理機能は、
マガジンＩＤによる送り先装置への搬送動作を制御し、
マガジンＩＤによる部材種類，年月日時刻，送り元装
置，送り先装置の履歴管理を行うものである。
【００１３】また、本発明に係る第二の半導体生産ライ
ンにおける自動搬送システムは、ストック装置と、コン
ベヤと、移載機と、半導体製造装置とから構成される製
造グループを複数有し、これらの製造グループは、コン
ピュータに接続される第１製造グループと、この第１製
造グループに各々接続される他の製造グループからなっ
ていることを特徴とするものである。
ンにおける自動搬送システムは、ストック装置と、コン
ベヤと、移載機と、半導体製造装置とから構成される製
造グループを複数有し、これらの製造グループは、コン
ピュータに接続される第１製造グループと、この第１製
造グループに各々接続される他の製造グループからなっ
ていることを特徴とするものである。
【００１４】
【作用】本発明は以上のように構成してあるので、以下
の作用を発揮する。
の作用を発揮する。
【００１５】まず、第一の半導体生産ラインにおける自
動搬送システムの場合には、各種の動作を作業者の手を
介さずに行えるので、手作業による時間ロスがなくな
り、人為的ミスもなくなるから、時間効率良く正確な搬
送および正確な部材供給・交換が可能となる。また、稼
働上のロス時間を吸収しタイムリーな受け渡しが行え、
効率良い搬送が可能となる。
動搬送システムの場合には、各種の動作を作業者の手を
介さずに行えるので、手作業による時間ロスがなくな
り、人為的ミスもなくなるから、時間効率良く正確な搬
送および正確な部材供給・交換が可能となる。また、稼
働上のロス時間を吸収しタイムリーな受け渡しが行え、
効率良い搬送が可能となる。
【００１６】特に、第二の半導体生産ラインにおける自
動搬送システムの場合には、フレキシブルな通信データ
やフレキシブルな制御処理を設定することにより、増産
に際しても、生産ラインの拡張つまり装置台数の増加に
伴うコンベヤの延長が可能となり、また、単品生産だけ
ではなく多品種の混流生産も可能になる。そして、どの
マガジンがいつどの装置で使用されたかの履歴データが
残せるようになった。
動搬送システムの場合には、フレキシブルな通信データ
やフレキシブルな制御処理を設定することにより、増産
に際しても、生産ラインの拡張つまり装置台数の増加に
伴うコンベヤの延長が可能となり、また、単品生産だけ
ではなく多品種の混流生産も可能になる。そして、どの
マガジンがいつどの装置で使用されたかの履歴データが
残せるようになった。
【００１７】
【実施例】以下、本発明に係る半導体生産ラインにおけ
る自動搬送システムの一実施例を図面に基づいて詳細に
説明する。
る自動搬送システムの一実施例を図面に基づいて詳細に
説明する。
【００１８】図１はシステム構成図、図２は図１の左側
部分の詳細図、図３は図１の右側部分の詳細図である。
部分の詳細図、図３は図１の右側部分の詳細図である。
【００１９】これらの図において、１０はコンピュータ
（ファクトリコンピュータ）、１１は記憶用ディスク、
Ａは第１製造グループ、Ｂは第２製造グループ、２０
Ａ，２０Ｂはストック装置、３０Ａ1 ，３０Ａ2 …，３
０Ｂ1 ，３０Ｂ2 …は半導体製造装置、４０Ａ，４０Ｂ
は各ストック装置２０Ａ，２０Ｂにそれぞれ付属されて
各グループにおける搬送制御を司る制御ユニット、５０
Ａ1 ，５０Ａ2 ，５０Ｂ1 ，５０Ｂ2 は各半導体製造装
置３０Ａ1 ，３０Ａ2 ，３０Ｂ1 ，３０Ｂ2 にそれぞれ
付属されて半導体製造装置を制御する制御ユニット、６
０Ａ1 ，６０Ａ2，６０Ｂ1 ，６０Ｂ2 は個々の半導体
製造装置に対応して配置されたコンベヤ、７０Ａ1 ，８
０Ａ1 は半導体製造装置３０Ａ1 とコンベヤ６０Ａ1 と
の間の移載機、７０Ａ2 ，８０Ａ2 は半導体製造装置３
０Ａ2 とコンベヤ６０Ａ2 との間の移載機、７０Ｂ1 ，
８０Ｂ1 は半導体製造装置３０Ｂ1 とコンベヤ６０Ｂ1
との間の移載機、７０Ｂ2 は半導体製造装置３０Ｂ2 と
コンベヤ６０Ｂ2 との間の往復式の移載機、９０Ａ，９
０Ｂは各ストック装置２０Ａ，２０Ｂに付属して設けら
れたバーコードリーダである。
（ファクトリコンピュータ）、１１は記憶用ディスク、
Ａは第１製造グループ、Ｂは第２製造グループ、２０
Ａ，２０Ｂはストック装置、３０Ａ1 ，３０Ａ2 …，３
０Ｂ1 ，３０Ｂ2 …は半導体製造装置、４０Ａ，４０Ｂ
は各ストック装置２０Ａ，２０Ｂにそれぞれ付属されて
各グループにおける搬送制御を司る制御ユニット、５０
Ａ1 ，５０Ａ2 ，５０Ｂ1 ，５０Ｂ2 は各半導体製造装
置３０Ａ1 ，３０Ａ2 ，３０Ｂ1 ，３０Ｂ2 にそれぞれ
付属されて半導体製造装置を制御する制御ユニット、６
０Ａ1 ，６０Ａ2，６０Ｂ1 ，６０Ｂ2 は個々の半導体
製造装置に対応して配置されたコンベヤ、７０Ａ1 ，８
０Ａ1 は半導体製造装置３０Ａ1 とコンベヤ６０Ａ1 と
の間の移載機、７０Ａ2 ，８０Ａ2 は半導体製造装置３
０Ａ2 とコンベヤ６０Ａ2 との間の移載機、７０Ｂ1 ，
８０Ｂ1 は半導体製造装置３０Ｂ1 とコンベヤ６０Ｂ1
との間の移載機、７０Ｂ2 は半導体製造装置３０Ｂ2 と
コンベヤ６０Ｂ2 との間の往復式の移載機、９０Ａ，９
０Ｂは各ストック装置２０Ａ，２０Ｂに付属して設けら
れたバーコードリーダである。
【００２０】符号の５０Ａ1 ，５０Ａ2 ，５０Ｂ1 ，５
０Ｂ2 で示す制御ユニットは半導体製造装置を制御する
もので、搬送自体に関しては無関係である。第１製造グ
ループＡにおいてコンベヤ６０Ａ1 ，６０Ａ2 および移
載機７０Ａ1 ，８０Ａ1 ，７０Ａ2 ，８０Ａ2 を制御す
るのはストック装置２０Ａに付属された制御ユニット４
０Ａである。第２製造グループＢにおいても同様であ
る。
０Ｂ2 で示す制御ユニットは半導体製造装置を制御する
もので、搬送自体に関しては無関係である。第１製造グ
ループＡにおいてコンベヤ６０Ａ1 ，６０Ａ2 および移
載機７０Ａ1 ，８０Ａ1 ，７０Ａ2 ，８０Ａ2 を制御す
るのはストック装置２０Ａに付属された制御ユニット４
０Ａである。第２製造グループＢにおいても同様であ
る。
【００２１】第１製造グループＡにおけるストック装置
２０Ａの制御ユニット４０Ａはコンピュータ１０に直接
に接続されている。第２接続グループＢにおけるストッ
ク装置２０Ｂの制御ユニット４０Ｂは第１製造グループ
Ａの制御ユニット４０Ａを介して間接的にコンピュータ
１０に接続されている。これ以外にも第３，第４の製造
グループを設けるときは、それぞれの制御ユニットを第
１製造グループＡの制御ユニット４０Ａを介して間接的
にコンピュータ１０に接続するものとする。
２０Ａの制御ユニット４０Ａはコンピュータ１０に直接
に接続されている。第２接続グループＢにおけるストッ
ク装置２０Ｂの制御ユニット４０Ｂは第１製造グループ
Ａの制御ユニット４０Ａを介して間接的にコンピュータ
１０に接続されている。これ以外にも第３，第４の製造
グループを設けるときは、それぞれの制御ユニットを第
１製造グループＡの制御ユニット４０Ａを介して間接的
にコンピュータ１０に接続するものとする。
【００２２】なお、図２，図３において、Ｐ1 ，Ｐ3 ，
Ｐ5 ，Ｐ7 はローダ側マガジン位置、Ｐ2 ，Ｐ4 ，
Ｐ6 ，Ｐ8 はアンローダ側マガジン位置、Ｐ5 ′，
Ｐ7 ′はローダ・アンローダ兼用のマガジン位置を示
す。また、Ｑ1 ，Ｑ2 …Ｑn はストック装置内のマガジ
ン収納位置を示し、Ｑ0 はマガジンＩＤ読み取り位置を
示している。
Ｐ5 ，Ｐ7 はローダ側マガジン位置、Ｐ2 ，Ｐ4 ，
Ｐ6 ，Ｐ8 はアンローダ側マガジン位置、Ｐ5 ′，
Ｐ7 ′はローダ・アンローダ兼用のマガジン位置を示
す。また、Ｑ1 ，Ｑ2 …Ｑn はストック装置内のマガジ
ン収納位置を示し、Ｑ0 はマガジンＩＤ読み取り位置を
示している。
【００２３】次に、動作を説明する。通信データＤn が
もつ情報の内容を表１に一覧的にまとめて示す。
もつ情報の内容を表１に一覧的にまとめて示す。
【００２４】
【表１】
【００２５】〔１〕マガジン供給動作 これは、半導体製造装置からマガジン供給の要求があっ
たとき、ストック装置から該当する種類のマガジンを取
り出し、コンベヤで搬送し、移載機により半導体製造装
置にマガジンを送り込む工程である。ここでは、一例と
して半導体製造装置３０Ａ2 にマガジンを供給する場合
の動作を図４のフローチャートに基づいて説明する。
たとき、ストック装置から該当する種類のマガジンを取
り出し、コンベヤで搬送し、移載機により半導体製造装
置にマガジンを送り込む工程である。ここでは、一例と
して半導体製造装置３０Ａ2 にマガジンを供給する場合
の動作を図４のフローチャートに基づいて説明する。
【００２６】半導体製造装置３０Ａ2 の制御ユニット５
０Ａ2 から出力されたマガジン供給要求信号Ｄ1 を制御
ユニット４０Ａが入力し、これをマガジン供給要求の通
信データＤ2 としてコンピュータ１０に送信する。マガ
ジン供給要求の通信データＤ2 を受信したコンピュータ
１０は、半導体製造装置３０Ａ2 の状況の確認を行い、
ストック装置制御の通信データＤ3 を制御ユニット４０
Ａに送信する。この通信データＤ3 を受信した制御ユニ
ット４０Ａは、ストック装置制御の信号Ｄ4 により搬送
動作に必要なストック装置２０Ａを制御する。ストック
装置２０Ａにおける制御ユニット４０Ａは、所要のマガ
ジンを取り出し、バーコードリーダ９０Ａによってマガ
ジンＩＤを読み取り、コンピュータ１０に対してマガジ
ンＩＤの通信データＤ5 を送信する。
０Ａ2 から出力されたマガジン供給要求信号Ｄ1 を制御
ユニット４０Ａが入力し、これをマガジン供給要求の通
信データＤ2 としてコンピュータ１０に送信する。マガ
ジン供給要求の通信データＤ2 を受信したコンピュータ
１０は、半導体製造装置３０Ａ2 の状況の確認を行い、
ストック装置制御の通信データＤ3 を制御ユニット４０
Ａに送信する。この通信データＤ3 を受信した制御ユニ
ット４０Ａは、ストック装置制御の信号Ｄ4 により搬送
動作に必要なストック装置２０Ａを制御する。ストック
装置２０Ａにおける制御ユニット４０Ａは、所要のマガ
ジンを取り出し、バーコードリーダ９０Ａによってマガ
ジンＩＤを読み取り、コンピュータ１０に対してマガジ
ンＩＤの通信データＤ5 を送信する。
【００２７】マガジンＩＤの通信データＤ5 を受信した
コンピュータ１０は、マガジンＩＤをモニター画面にリ
アルタイムに表示するとともに、予め記憶用ディスク１
１に登録されているマガジンＩＤと照合し、搬送すべき
マガジンに収納されている部材の種類を確認してから、
マガジン供給を要求している半導体製造装置３０Ａ2に
そのマガジンを搬送させるための通信データＤ6 （これ
は搬送経路である送り元装置・送り先装置を示すデータ
を含む）を制御ユニット４０Ａに送信する。
コンピュータ１０は、マガジンＩＤをモニター画面にリ
アルタイムに表示するとともに、予め記憶用ディスク１
１に登録されているマガジンＩＤと照合し、搬送すべき
マガジンに収納されている部材の種類を確認してから、
マガジン供給を要求している半導体製造装置３０Ａ2に
そのマガジンを搬送させるための通信データＤ6 （これ
は搬送経路である送り元装置・送り先装置を示すデータ
を含む）を制御ユニット４０Ａに送信する。
【００２８】制御ユニット４０Ａは、信号Ｄ7 をコンベ
ヤ６０Ａ1 ，６０Ａ2 に送信してコンベヤ６０Ａ1 ，６
０Ａ2 を動作させ、マガジンを要求している半導体製造
装置３０Ａ2 の前方の位置Ｐ5 までマガジンを移動させ
る。そして、信号Ｄ8 をローダ側の移載機７０Ａ2 に送
信してその移載機７０Ａ2 を動作させ、マガジンを半導
体製造装置３０Ａ2 に積み込み、その積み込み位置Ｐ7
のデータをマガジンＩＤとともに記憶用ディスク１１に
記録し、マガジン供給動作を完了する。
ヤ６０Ａ1 ，６０Ａ2 に送信してコンベヤ６０Ａ1 ，６
０Ａ2 を動作させ、マガジンを要求している半導体製造
装置３０Ａ2 の前方の位置Ｐ5 までマガジンを移動させ
る。そして、信号Ｄ8 をローダ側の移載機７０Ａ2 に送
信してその移載機７０Ａ2 を動作させ、マガジンを半導
体製造装置３０Ａ2 に積み込み、その積み込み位置Ｐ7
のデータをマガジンＩＤとともに記憶用ディスク１１に
記録し、マガジン供給動作を完了する。
【００２９】〔２〕マガジン排出動作 これは、半導体製造装置からマガジン排出の要求があっ
たとき、その半導体製造装置から処理済み部材を収納し
ているマガジンを取り出し、コンベヤで次の搬送先であ
る半導体製造装置またはストック装置にそのマガジンを
送り込む工程である。ここでは、一例として半導体製造
装置３０Ａ2 からマガジンを排出する場合の動作を図５
のフローチャートに基づいて説明する。
たとき、その半導体製造装置から処理済み部材を収納し
ているマガジンを取り出し、コンベヤで次の搬送先であ
る半導体製造装置またはストック装置にそのマガジンを
送り込む工程である。ここでは、一例として半導体製造
装置３０Ａ2 からマガジンを排出する場合の動作を図５
のフローチャートに基づいて説明する。
【００３０】半導体製造装置３０Ａ2 の制御ユニット５
０Ａ2 から出力されたマガジン排出要求信号Ｄ11を制御
ユニット４０Ａが入力し、これをマガジン排出要求の通
信データＤ12としてコンピュータ１０に送信する。マガ
ジン排出要求の通信データＤ12を受信したコンピュータ
１０は、半導体製造装置３０Ａ2 の状況の確認を行い、
マガジンの排出要求をしている半導体製造装置３０Ａ2
からマガジンを搬送させるための通信データＤ13（搬送
経路である送り元装置・送り先装置を示すデータを含
む）を制御ユニット４０Ａに送信する。このデータＤ13
を受信した制御ユニット４０Ａは、搬送動作に必要なス
トック装置２０Ａとコンベヤ６０Ａ2 と移載機７０
Ａ2 ，８０Ａ2 を制御する。
０Ａ2 から出力されたマガジン排出要求信号Ｄ11を制御
ユニット４０Ａが入力し、これをマガジン排出要求の通
信データＤ12としてコンピュータ１０に送信する。マガ
ジン排出要求の通信データＤ12を受信したコンピュータ
１０は、半導体製造装置３０Ａ2 の状況の確認を行い、
マガジンの排出要求をしている半導体製造装置３０Ａ2
からマガジンを搬送させるための通信データＤ13（搬送
経路である送り元装置・送り先装置を示すデータを含
む）を制御ユニット４０Ａに送信する。このデータＤ13
を受信した制御ユニット４０Ａは、搬送動作に必要なス
トック装置２０Ａとコンベヤ６０Ａ2 と移載機７０
Ａ2 ，８０Ａ2 を制御する。
【００３１】制御ユニット４０Ａは、信号Ｄ14をアンロ
ーダ側の移載機８０Ａ2 に送信し、その移載機８０Ａ2
を動作させて、半導体製造装置３０Ａ2 内の位置Ｐ8 に
ある処理済み部材を収納したマガジンをコンベヤ６０Ａ
2 上の位置Ｐ6 に取り出す。
ーダ側の移載機８０Ａ2 に送信し、その移載機８０Ａ2
を動作させて、半導体製造装置３０Ａ2 内の位置Ｐ8 に
ある処理済み部材を収納したマガジンをコンベヤ６０Ａ
2 上の位置Ｐ6 に取り出す。
【００３２】そして、信号Ｄ15をコンベヤ６０Ａ2 に送
信し、コンベヤ６０Ａ2 を動作させて次の搬送先である
半導体製造装置（３０Ｂ1 や３０Ｂ2 など）またはスト
ック装置２０Ｂへ移動する。
信し、コンベヤ６０Ａ2 を動作させて次の搬送先である
半導体製造装置（３０Ｂ1 や３０Ｂ2 など）またはスト
ック装置２０Ｂへ移動する。
【００３３】制御ユニット４０Ａは、同時に、信号Ｄ16
をローダ側の移載機７０Ａ2 に送信し、その移載機７０
Ａ2 を動作させて、部材が取り出され空になったマガジ
ンを位置Ｐ5 まで取り出し、次に、信号Ｄ17をコンベヤ
６０Ａ2 に送信し、コンベヤ６０Ａ2 を動作させてアン
ローダ側の移載機８０Ａ2 の下の位置Ｐ6 まで移動し、
次いで、信号Ｄ18をアンローダ側の移載機８０Ａ2 に送
信し、その移載機８０Ａ2 を動作させて部材が空になっ
ているマガジンを半導体製造装置３０Ａ2 に積み込み、
その積み込み位置Ｐ8 のデータをマガジンＩＤとともに
記憶用ディスク１１に記録し、マガジン排出動作を完了
する。
をローダ側の移載機７０Ａ2 に送信し、その移載機７０
Ａ2 を動作させて、部材が取り出され空になったマガジ
ンを位置Ｐ5 まで取り出し、次に、信号Ｄ17をコンベヤ
６０Ａ2 に送信し、コンベヤ６０Ａ2 を動作させてアン
ローダ側の移載機８０Ａ2 の下の位置Ｐ6 まで移動し、
次いで、信号Ｄ18をアンローダ側の移載機８０Ａ2 に送
信し、その移載機８０Ａ2 を動作させて部材が空になっ
ているマガジンを半導体製造装置３０Ａ2 に積み込み、
その積み込み位置Ｐ8 のデータをマガジンＩＤとともに
記憶用ディスク１１に記録し、マガジン排出動作を完了
する。
【００３４】〔３〕搬送トラブル発生時の動作 マガジン供給動作またはマガジン排出動作の実行中に搬
送経路上のトラブルが発生したときの動作を図６のフロ
ーチャートに基づいて説明する。
送経路上のトラブルが発生したときの動作を図６のフロ
ーチャートに基づいて説明する。
【００３５】トラブルを起こした部分（コンベヤ６０Ａ
1 ，６０Ａ2 または移載機７０Ａ2，８０Ａ2 またはス
トック装置２０Ｂなど）からエラー信号Ｄ21が制御ユニ
ット４０Ａに出力される。このエラー信号Ｄ21を入力し
た制御ユニット４０Ａは、搬送トラブルの通信データＤ
22としてコンピュータ１０に送信する。搬送トラブルの
通信データＤ22を受信したコンピュータ１０は、半導体
製造装置３０Ａ2 およびその周辺の状況の確認を行い、
エラー警告の表示を行い、記憶用ディスク１１に格納し
ているデータの中からエラーコードを検索し、照合でき
ればエラーの内容およびそのエラーの処置方法をモニタ
ー画面に表示し、エラー発生時の年月日，時刻とエラー
内容を記憶用ディスク１１に記録する。そのときエラー
内容がライン全体もしくは一部に影響を与えるものであ
るならば、直ちに搬送停止制御を行う通信データＤ23を
制御ユニット４０Ａに送信する。制御ユニット４０Ａ
は、ストック装置２０Ａを停止するとともに、エラーを
起こした部分に搬送停止信号Ｄ24を送信し、そのエラー
を起こしたストック装置２０Ｂなどの動作を停止させ
る。
1 ，６０Ａ2 または移載機７０Ａ2，８０Ａ2 またはス
トック装置２０Ｂなど）からエラー信号Ｄ21が制御ユニ
ット４０Ａに出力される。このエラー信号Ｄ21を入力し
た制御ユニット４０Ａは、搬送トラブルの通信データＤ
22としてコンピュータ１０に送信する。搬送トラブルの
通信データＤ22を受信したコンピュータ１０は、半導体
製造装置３０Ａ2 およびその周辺の状況の確認を行い、
エラー警告の表示を行い、記憶用ディスク１１に格納し
ているデータの中からエラーコードを検索し、照合でき
ればエラーの内容およびそのエラーの処置方法をモニタ
ー画面に表示し、エラー発生時の年月日，時刻とエラー
内容を記憶用ディスク１１に記録する。そのときエラー
内容がライン全体もしくは一部に影響を与えるものであ
るならば、直ちに搬送停止制御を行う通信データＤ23を
制御ユニット４０Ａに送信する。制御ユニット４０Ａ
は、ストック装置２０Ａを停止するとともに、エラーを
起こした部分に搬送停止信号Ｄ24を送信し、そのエラー
を起こしたストック装置２０Ｂなどの動作を停止させ
る。
【００３６】さて、以上の動作説明においては第１製造
グループＡのストック装置２０Ａに付属の制御ユニット
４０Ａを中心にして説明してきたが、第２製造グループ
Ｂでの各部の制御を行う場合には、そのストック装置２
０Ｂに付属の制御ユニット４０Ｂが制御ユニット４０Ａ
を介してコンピュータ１０から指令を受けることにより
制御されるものである。図示はしないが第３，第４の製
造グループがあるときも同様である。これにより、生産
ラインの拡張つまり製造グループの増設に伴うフレキシ
ブルな対応と多品種の混流生産への対応が容易となるの
である。
グループＡのストック装置２０Ａに付属の制御ユニット
４０Ａを中心にして説明してきたが、第２製造グループ
Ｂでの各部の制御を行う場合には、そのストック装置２
０Ｂに付属の制御ユニット４０Ｂが制御ユニット４０Ａ
を介してコンピュータ１０から指令を受けることにより
制御されるものである。図示はしないが第３，第４の製
造グループがあるときも同様である。これにより、生産
ラインの拡張つまり製造グループの増設に伴うフレキシ
ブルな対応と多品種の混流生産への対応が容易となるの
である。
【００３７】なお、適時に、記憶用ディスク１１に記録
されているマガジンＩＤ，マガジン搬送履歴データ，エ
ラーデータなどを検索することにより、コンピュータ１
０のモニター画面でそれらを確認し、それらを生産計画
に利用することができる。
されているマガジンＩＤ，マガジン搬送履歴データ，エ
ラーデータなどを検索することにより、コンピュータ１
０のモニター画面でそれらを確認し、それらを生産計画
に利用することができる。
【００３８】
【発明の効果】以上のように、本第一発明によれば、常
時、各部から通信データを収集しリアルタイムかつ的確
な搬送監視を行い、搬送状況に最適な制御内容を通信指
示することができるので、これまでの人為的ミスをなく
すことができる。また、マガジンＩＤを用いてマガジン
をどの半導体製造装置またはストック装置へ搬送するか
を指示し、搬送経路を示す通信データを受けて所定の装
置へマガジンを自動供給することができる。したがっ
て、手作業による時間ロス，装置稼働上の時間ロス，生
産ライン構成の非拡張性，搬送履歴の記録ミスの問題点
を解消できる。そして、部材の搬送が自動化されて作業
者の削減・省人化が図れ、それによって製品の低コスト
化や品質向上を図ることができる。
時、各部から通信データを収集しリアルタイムかつ的確
な搬送監視を行い、搬送状況に最適な制御内容を通信指
示することができるので、これまでの人為的ミスをなく
すことができる。また、マガジンＩＤを用いてマガジン
をどの半導体製造装置またはストック装置へ搬送するか
を指示し、搬送経路を示す通信データを受けて所定の装
置へマガジンを自動供給することができる。したがっ
て、手作業による時間ロス，装置稼働上の時間ロス，生
産ライン構成の非拡張性，搬送履歴の記録ミスの問題点
を解消できる。そして、部材の搬送が自動化されて作業
者の削減・省人化が図れ、それによって製品の低コスト
化や品質向上を図ることができる。
【００３９】特に、本第二発明によれば、生産ラインの
拡張が容易になるとともに、多品種の混流生産にも容易
に対応できるようになり、どのマガジンがいつどの装置
で使用されたかの履歴データを残せるようになるので生
産管理が容易になる。
拡張が容易になるとともに、多品種の混流生産にも容易
に対応できるようになり、どのマガジンがいつどの装置
で使用されたかの履歴データを残せるようになるので生
産管理が容易になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例に係る半導体生産ラインにお
ける自動搬送システムの構成図である。
ける自動搬送システムの構成図である。
【図２】図１における左側部分の詳細図である。
【図３】図１における右側部分の詳細図である。
【図４】実施例においてマガジン供給動作を示すフロー
チャートである。
チャートである。
【図５】実施例においてマガジン排出動作を示すフロー
チャートである。
チャートである。
【図６】実施例においてトラブルが発生したときの処理
の動作を示すフローチャートである。
の動作を示すフローチャートである。
【符号の説明】 １０……コンピュータ １１……記憶用ディスク ２０Ａ，２０Ｂ……ストック装置 ３０Ａ1 ，３０Ａ2 ……半導体製造装置３０Ｂ 1 ，３０Ｂ 2 ……半導体製造装置 ４０Ａ，４０Ｂ……制御ユニット ６０Ａ1 ，６０Ａ2 ……コンベヤ６０Ｂ 1 ，６０Ｂ 2 ……コンベヤ ７０Ａ1 ，７０Ａ2 ……移載機７０Ｂ 1 ，７０Ｂ 2 ……移載機 ８０Ａ1 ，８０Ａ2 ……移載機８０Ｂ 1 ……移載機 ９０Ａ，９０Ｂ……バーコードリーダ
Claims (1)
- 【請求項１】 コンピュータと、制御ユニットと、スト
ック装置と、コンベヤと、移載機と、半導体製造装置と
から構成され、 システム機能として、ストック装置制御機能，コンベヤ
制御機能，移載機制御機能，装置間部材受け渡し制御機
能，搬送状況表示機能，搬送状況履歴管理機能を備えて
いることを特徴とする半導体生産ラインにおける自動搬
送システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5073492A JPH06286824A (ja) | 1993-03-31 | 1993-03-31 | 半導体生産ラインにおける自動搬送システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5073492A JPH06286824A (ja) | 1993-03-31 | 1993-03-31 | 半導体生産ラインにおける自動搬送システム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06286824A true JPH06286824A (ja) | 1994-10-11 |
Family
ID=13519827
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5073492A Pending JPH06286824A (ja) | 1993-03-31 | 1993-03-31 | 半導体生産ラインにおける自動搬送システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06286824A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11214278A (ja) * | 1998-01-14 | 1999-08-06 | Samsung Electronics Co Ltd | 半導体製造設備管理システムの設備ユニット状態管理方法 |
| GB2351161A (en) * | 1999-05-20 | 2000-12-20 | Hyundai Electronics Ind | Transporting semiconductor wafers in a factory automation system |
| WO2001033610A2 (de) * | 1999-10-29 | 2001-05-10 | Infineon Technologies Ag | Anlage zur bearbeitung von wafern |
| WO2001033611A2 (de) * | 1999-10-29 | 2001-05-10 | Infineon Technologies Ag | Anlage zur bearbeitung von wafern |
| KR100790817B1 (ko) * | 2006-12-06 | 2008-01-03 | 삼성전자주식회사 | 반도체 제조관리 시스템 |
| CN104261032A (zh) * | 2014-08-04 | 2015-01-07 | 珠海格力电器股份有限公司 | 全自动扫描码垛装置及方法 |
-
1993
- 1993-03-31 JP JP5073492A patent/JPH06286824A/ja active Pending
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11214278A (ja) * | 1998-01-14 | 1999-08-06 | Samsung Electronics Co Ltd | 半導体製造設備管理システムの設備ユニット状態管理方法 |
| GB2351161A (en) * | 1999-05-20 | 2000-12-20 | Hyundai Electronics Ind | Transporting semiconductor wafers in a factory automation system |
| US6516238B1 (en) | 1999-05-20 | 2003-02-04 | Hyundai Electronics Industries Co., Ltd. | Semiconductor factory automation system and method for transporting semiconductor wafers |
| GB2351161B (en) * | 1999-05-20 | 2003-08-13 | Hyundai Electronics Ind | Semiconductor factory automation system and method for transporting semiconductor wafers |
| WO2001033610A2 (de) * | 1999-10-29 | 2001-05-10 | Infineon Technologies Ag | Anlage zur bearbeitung von wafern |
| WO2001033611A2 (de) * | 1999-10-29 | 2001-05-10 | Infineon Technologies Ag | Anlage zur bearbeitung von wafern |
| WO2001033610A3 (de) * | 1999-10-29 | 2001-09-20 | Infineon Technologies Ag | Anlage zur bearbeitung von wafern |
| WO2001033611A3 (de) * | 1999-10-29 | 2001-09-27 | Infineon Technologies Ag | Anlage zur bearbeitung von wafern |
| US6594546B2 (en) | 1999-10-29 | 2003-07-15 | Infineon Technologies Ag | Plant for processing wafers |
| US6887358B2 (en) | 1999-10-29 | 2005-05-03 | Infineon Technologies Ag | Installation for processing wafers |
| KR100790817B1 (ko) * | 2006-12-06 | 2008-01-03 | 삼성전자주식회사 | 반도체 제조관리 시스템 |
| CN104261032A (zh) * | 2014-08-04 | 2015-01-07 | 珠海格力电器股份有限公司 | 全自动扫描码垛装置及方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |