KR20060084117A - 반도체 소자 제조용 물류 반송 시스템 및 방법 - Google Patents

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Abstract

복수의 PGV를 사용하여 설비들 사이에서 물류 반송을 행하는 데 있어서 각 PGV 마다 PDA를 설치하여 각 PGV에 의한 물류 반송 상태에 관한 정보를 상위 서버에 저장 및 전달하는 자동 반송 시스템으로 구성되는 반도체 소자 제조용 물류 반송 시스템 및 방법에 관하여 개시한다. 본 발명에 따른 물류 반송 시스템은 복수의 설비들에 관한 정보를 저장 및 송수신하기 위한 설비 중앙 서버와, 상기 설비들 사이에서 물류 반송을 행하기 위한 복수의 반송 장치와, 반송 장치 중앙 서버와, 제어 장치를 포함한다. 상기 각 반송 장치에 의한 물류 반송 상태에 관한 정보를 저장 및 전달하기 위하여 상기 반송 장치 마다 PDA (personal digital assistance)가 각각 설치되어 있다. 상기 반송 장치 중앙 서버는 상기 반송 장치에 설치된 PDA와의 사이에서 상기 반송 장치의 물류 반송에 관한 정보를 송수신하고 상기 설비 중앙 서버와의 사이에서 복수의 설비들 및 반송할 물류에 관한 정보를 송수신한다.
PGV, PDA, 반송 장치 중앙 서버, 물류 반송, 자동화

Description

반도체 소자 제조용 물류 반송 시스템 및 방법{Conveying system and method in manufacturing semiconductor device}
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 반도체 소자 제조용 물류 반송 시스템의 구성을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 반도체 소자 제조용 물류 반송 방법을 설명하기 위한 플로차트이다.
도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 반도체 소자 제조용 물류 반송 방법에 따라 반송 장치들이 설비들 사이에서 디스패칭 가능한 동작 플로우의 예를 도시한 도면이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
100: 반송 시스템, 102: 설비들, 102a: 제1 설비, 102b: 제2 설비, 102c: 제3 설비, 104: 반송 장치, 104a: 제1 반송 장치, 104b: 제2 반송 장치, 104c: 제3 반송 장치, 106: PDA, 110: 설비 중앙 서버, 120: 반송 장치 중앙 서버, 130: 제어 장치.
본 발명은 반도체 소자의 제조 및 테스트를 위하여 설비들 사이에서 웨이퍼를 운송하는 수단으로서 PGV (person guided vehicle)를 이용하는 반도체 소자 제조용 물류 반송 시스템 및 방법에 관한 것이다.
반도체 소자 제조 공정 및 테스트 공정을 위하여 다양한 설비들 사이에서 웨이퍼와 같은 물류를 반송하기 위하여 다양한 자동화 시스템이 구축되어 있다. 통상적으로, 이러한 이러한 자동화 시스템에서 부품 또는 웨이퍼 등과 같은 물류를 각 공정 설비로 공급하거나 또는 생산 완료된 제품의 입고를 위한 이송 작업 등을 수행하기 위하여 AGV (automated guide vehicle)를 이용한다. AGV는 물류 이송 작업을 위해 정해진 제어 프로그램에 따라 동작 및 이동한다.
그러나, 반도체 소자 제조 공정에서 설비간 물류 이동을 위하여 AGV를 이용하는 경우에는 실시간 물량 위치 파악이 어려우며, 물량 운반 도중에 목적지를 변경하는 것이 불가능하다. 또한, AGV의 안전 운행 및 회전 공간 확보를 위하여 넓은 레이아웃(layout) 공간을 요하고, 고가의 장비를 사용함으로써 많은 경비가 소요된다.
본 발명의 목적은 상기한 종래 기술에서의 문제점을 해결하고자 하는 것으로, 반도체 소자 제조 공정에서 절감된 경비에 의해 설비간 효율적인 물류 반송이 가능하고, 물량 위치를 실시간으로 파악할 수 있는 반도체 소자 제조용 반송 시스템을 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 반도체 소자 제조 공정에서 설비간 물량 반송에 소요 되는 비용 및 공간을 절감하고, 실시간 물량 위치 파악이 가능하며, 설비간 물량 반송이 효율적으로 이루어질 수 있는 반도체 소자 제조용 반송 방법을 제공하는 것이다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 반도체 소자 제조용 물류 반송 시스템은 반도체 소자 제조에 필요한 소정 공정을 행하는 복수의 설비들에 관한 정보를 저장 및 송수신하기 위한 설비 중앙 서버와, 상기 설비들 사이에서 물류 반송을 행하기 위한 복수의 반송 장치와, 반송 장치 중앙 서버와, 제어 장치를 포함한다. 상기 각 반송 장치에 의한 물류 반송 상태에 관한 정보를 저장 및 전달하기 위하여 상기 반송 장치 마다 PDA (personal digital assistance)가 각각 설치되어 있다. 상기 반송 장치 중앙 서버는 상기 반송 장치에 설치된 PDA와의 사이에서 상기 반송 장치의 물류 반송에 관한 정보를 송수신하고 상기 설비 중앙 서버와의 사이에서 복수의 설비들 및 반송할 물류에 관한 정보를 송수신한다. 상기 제어 장치는 PC (personal computer)를 통하여 입력된 설비 및 물류에 관한 외부 정보와 상기 설비 중앙 서버 및 반송 장치 중앙 서버를 통하여 입력된 설비 및 물류에 관한 내부 정보에 의거하여 상기 설비들 및 반송 장치들을 제어하기 위한 정보를 출력한다.
상기 다른 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 반도체 소자 제조용 물류 반송 방법에서는 본 발명에 따른 물류 반송 시스템을 이용하여 상기 설비들 사이에서 물류를 반송한다. 즉, 먼저 상기 복수의 설비 중에서 선택되는 제1 설비에 서의 소정 작업이 종료되면 상기 제어 장치에 저장된 설비 및 반송 장치에 관한 정보에 의거하여 상기 반송 장치 중앙 서버에서 상기 복수의 반송 장치 중에서 선택되는 제1 반송 장치를 할당한다. 상기 제1 반송 장치를 제1 설비로 이동시킨다. 상기 제1 설비로부터 물류를 상기 제1 반송 장치로 로딩한다. 상기 제어 장치에 저장된 설비 및 반송 장치에 관한 정보에 의거하여 상기 제1 반송 장치를 상기 복수의 설비 중에서 선택되는 제2 설비로 이동시킨다. 상기 제1 반송 장치로부터 물류를 상기 제2 설비로 언로딩한다. 상기 제1 반송 장치에 설치된 PDA를 통하여 상기 제1 반송 장치의 작업 정보를 상기 반송 장치 중앙 서버에 전송한다. 상기 제어 장치에 저장된 설비 및 반송 장치에 관한 정보에 의거하여 상기 반송 장치 중앙 서버로부터 상기 제1 반송 장치로 오더가 전송되기까지 상기 제1 반송 장치를 대기시킨다.
본 발명에 의하면, 실시간 물량 위치 파악이 가능하고 공간 및 설비 유지비를 절감할 수 있으며, 따라서 반도체 소자 제조 공정에서 경제적이고 효율적인 방법으로 설비간 물류 반송이 가능하다.
다음에, 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 첨부 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 반도체 소자 제조용 물류 반송 시스템의 구성을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 1을 참조하면, 본 발명에 따른 반송 시스템(100)은 반도체 소자 제조에 필요한 소정 공정, 예를 들면 MBT (monitoring burn-in tester) 공정을 행하는 복수의 설비들(102a, 102b, 102c, ... , 이하 "102"로 표시함)에 관한 정보를 저장 및 송수신하기 위한 설비 중앙 서버(110)를 포함한다. 상기 설비들(102)과 상기 설비 중앙 서버(110)와의 사이에서는 설비 제어 및 가동에 관한 정보, 랏(lot)에 관한 정보, 및 설비의 현재 상태 등과 같은 정보들 및 지시들이 상호 송수신된다.
또한, 상기 설비들(102) 사이에서 물류 반송을 행하기 위하여 복수의 반송 장치들(104a, 104b, 104c, ..., 이하 "104"로 표시함)가 구비되어 있다. 상기 각 반송 장치들(104)은 예를 들면 PGV (personal guided vehicle)로 구성될 수 있다. 상기 반송 장치들(104)에는 각각의 반송 장치(104)에 의한 물류 반송 상태에 관한 정보를 저장 및 전달하기 위하여 각각의 반송 장치(104) 마다 PDA (personal digital assistance)(106)이 설치되어 있다.
상기 각 반송 장치(104)에 설치된 PDA(106)는 반송 장치 중앙 서버(120)와 상호 연결되어 있다. 도 1에는 상기 반송 장치 중앙 서버(120)가 PGV 중앙 서버로서 예시되어 있다. 상기 반송 장치 중앙 서버(120)는 상기 반송 장치(104)에 설치된 PDA(106)와의 사이에서 상기 반송 장치(104)의 물류 반송 상태, 물류 이동 지시에 관한 정보 및 지시를 송수신한다. 또한, 상기 반송 장치 중앙 서버(120)는 상기 설비 중앙 서버(110)와의 사이에서 복수의 설비들(102)에 관한 정보, 반송할 물류에 관한 정보, 반송 장치(104)의 현재 상태에 관한 정보, 랙 버퍼(rack buffer)에 관한 정보 등을 송수신한다.
상기 설비 중앙 서버(110) 및 반송 장치 중앙 서버(120)는 각각 제어 장치와 상호 정보 교환 가능하도록 상기 제어 장치(130)에 연결되어 있다. 상기 설비 중앙 서버(110)와 상기 제어 장치(130)와의 사이에서는 랏(lot)에 관한 정보, 설비에 관 한 정보, 설비 제어 정보, 예를 들면 번인(burn-in) 시간과 같은 공정 시간 정보 등이 송수신된다. 그리고, 상기 반송 장치 중앙 서버(120)와 상기 제어 장치(130)와의 사이에서 상기 반송 장치(104)의 물류 반송 상태, 물류 이동 상태, 랙 버퍼 등에 관한 정보 및 지시를 상호 송수신한다.
상기 제어 장치(130)는 PC (personal computer)(140)를 통하여 입력된 설비들(102) 및 물류에 관한 외부 정보와 상기 설비 중앙 서버(110) 및 반송 장치 중앙 서버(120)를 통하여 입력된 설비들(102) 및 물류에 관한 내부 정보에 의거하여 상기 설비들(102) 및 반송 장치들(104)을 제어하기 위한 정보를 상기 설비 중앙 서버(110) 및 반송 장치 중앙 서버(120)로 출력한다. 상기 설비 중앙 서버(110) 및 반송 장치 중앙 서버(120)는 상기 제어 장치(130)로부터 수신된 정보에 의거하여 설비들(102) 중에서 선택되는 해당 설비 및 반송 장치들(104) 중에서 선택되는 해당 반송 장치의 동작을 제어한다.
도 2는 도 1에 나타낸 바와 같은 반송 시스템(100)을 사용한 본 발명에 따른 반도체 소자 제조용 물류 반송 방법을 설명하기 위한 플로차트이다.
도 2를 참조하면, 상기 반송 시스템(100)을 이용하여 상기 설비들(102) 사이에서 물류를 반송하기 위하여, 먼저 상기 복수의 설비들(102) 중에서 선택되는 제1 설비(102a)에서의 소정 작업이 종료되면, 상기 제1 설비(102a)로부터 물류를 반송하기 위하여 상기 제어 장치(130)에 저장된 설비 및 반송 장치에 관한 정보에 의거하여 디스패칭(dispatching)을 실시한다. 즉, 상기 제어 장치(130)에 저장된 설비 및 반송 장치에 관한 정보에 의거하여 상기 반송 장치 중앙 서버(110)에서 상기 복 수의 반송 장치들(104) 중에서 선택되는 하나의 반송 장치, 예를 들면 제1 반송 장치((104a)를 할당한다(단계 212). 이 때, 상기 제어 장치(130)는 상기 복수의 반송 장치들(104)의 현재 상태를 기준으로 하여, 상기 복수의 반송 장치들(104)중에서 가장 신속하고 가장 효율적으로 상기 제1 설비(102a)로부터의 반송을 행할 수 있는 반송 장치를 선택하여 할당한다.
그 후, 상기 할당된 제1 반송 장치(104a)를 상기 복수의 설비들(102) 중에서 선택되는 제1 설비(102a)로 이동시키고(단계 214), 상기 제1 설비(102a)로부터 물류를 상기 제1 반송 장치(104a)로 로딩(loading)한다(단계 216).
상기 로딩이 완료되면, 상기 제어 장치(130)에 저장된 설비 및 반송 장치에 관한 정보에 의거하여 상기 제1 반송 장치(104a)를 상기 복수의 설비들(102) 중에서 선택되는, 반송 작업을 필요로 하는 설비, 예를 들면 제2 설비(102b)로 이동시킨다(단계 218). 이어서, 상기 제1 반송 장치(104a)로부터 물류를 상기 제2 설비(102b)로 언로딩(unloading)한다(단계 220).
그 후, 상기 제1 반송 장치(104a)에 설치된 PDA(106)를 통하여 상기 제1 반송 장치(104a)의 작업 정보, 즉 언로딩 완료 상태를 상기 반송 장치 중앙 서버(120)에 전송한다(단계 222). 그러면 상기 제어 장치(130)에서는 상기 반송 장치 중앙 서버(120)로부터 수신된 정보에 의거하여 상기 제1 설비(102a)에서의 반송 작업에 대하여 트랙아웃(track out) 처리를 자동으로 행한다.
그 후, 상기 제1 반송 장치(104a)는 상기 제어 장치(130)로부터의 후속 오더(order)를 대기한다. 상기 제어 장치(130)에 저장된 설비 및 반송 장치에 관한 정 보에 의거하여 상기 반송 장치 중앙 서버(120)로부터 상기 제1 반송 장치(104a)로 오더가 전송되었는지 판단한 후(단계 224), 상기 제1 반송 장치(104a)로 오더가 전송되었으면 상기 제1 반송 장치(104a)는 전송된 오더 내용에 따라 작업을 진행한다. 상기 제1 반송 장치(104a)로 오더가 전송되지 않았으면 다음 오더가 전송될 때까지 소정의 대기 장소에서 대기한다(단계 228).
도 3은 본 발명에 따른 반도체 소자 제조용 물류 반송 방법에 따라 반송 장치들(104)이 설비들(102) 사이에서 디스패칭 가능한 동작 플로우, 즉 각 설비들(102) 사이에서 상기 반송 장치들(104)에 의해 반송 가능한 물량 반송 플로우(flow)를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 3에서는 복수의 MBT 소터(sorter) 설비들(312a, 312b, 312c, ...)과 복수의 MBT 챔버 설비들(322a, 322b, 322c, ...)과의 사이에서의 반송 장치(104a)에 의해 동작 가능한 반송 플로우를 예시하였다.
본 발명에 따른 반도체 소자 제조용 물류 반송 시스템에서는 복수의 PGV를 사용하여 설비들 사이에서 물류 반송을 행하는 데 있어서 각 PGV 마다 PDA를 설치하여 각 PGV에 의한 물류 반송 상태에 관한 정보를 상위 서버에 저장 및 전달하는 자동 반송 시스템을 구축한다. 본 발명에 따르면, 종래 기술에서의 단점을 극복하여 실시간 물량 위치 파악이 가능하고 공간 및 설비 유지비를 절감할 수 있으며, 따라서 반도체 소자 제조 공정에서 경제적이고 효율적인 방법으로 설비간 물류 반송이 가능하다.
이상, 본 발명을 바람직한 실시예를 들어 상세하게 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않고, 본 발명의 기술적 사상 및 범위 내에서 당 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 여러가지 변형 및 변경이 가능하다.

Claims (4)

  1. 반도체 소자 제조에 필요한 소정 공정을 행하는 복수의 설비들에 관한 정보를 저장 및 송수신하기 위한 설비 중앙 서버와,
    상기 설비들 사이에서 물류 반송을 행하기 위한 복수의 반송 장치와,
    상기 각 반송 장치에 의한 물류 반송 상태에 관한 정보를 저장 및 전달하기 위하여 상기 반송 장치 마다 각각 설치되어 있는 복수의 PDA (personal digital assistance)와,
    상기 반송 장치에 설치된 PDA와의 사이에서 상기 반송 장치의 물류 반송에 관한 정보를 송수신하고 상기 설비 중앙 서버와의 사이에서 복수의 설비들 및 반송할 물류에 관한 정보를 송수신하는 반송 장치 중앙 서버와,
    PC (personal computer)를 통하여 입력된 설비 및 물류에 관한 외부 정보와 상기 설비 중앙 서버 및 반송 장치 중앙 서버를 통하여 입력된 설비 및 물류에 관한 내부 정보에 의거하여 상기 설비들 및 반송 장치들을 제어하기 위한 정보를 출력하는 제어 장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 제조용 물류 반송 시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 반송 장치는 PGV (personal guided vehicle)인 것을 특징으로 하는 반도체 소자 제조용 물류 반송 시스템.
  3. 제1항에 따른 물류 반송 시스템을 이용하여 상기 설비들 사이에서 물류를 반송하기 위한 반도체 소자 제조용 물류 반송 방법에 있어서,
    상기 복수의 설비 중에서 선택되는 제1 설비에서의 소정 작업이 종료되면 상기 제어 장치에 저장된 설비 및 반송 장치에 관한 정보에 의거하여 상기 반송 장치 중앙 서버에서 상기 복수의 반송 장치 중에서 선택되는 제1 반송 장치를 할당하는 단계와,
    상기 제1 반송 장치를 제1 설비로 이동시키는 단계와,
    상기 제1 설비로부터 물류를 상기 제1 반송 장치로 로딩하는 단계와,
    상기 제어 장치에 저장된 설비 및 반송 장치에 관한 정보에 의거하여 상기 제1 반송 장치를 상기 복수의 설비 중에서 선택되는 제2 설비로 이동시키는 단계와,
    상기 제1 반송 장치로부터 물류를 상기 제2 설비로 언로딩하는 단계와,
    상기 제1 반송 장치에 설치된 PDA를 통하여 상기 제1 반송 장치의 작업 정보를 상기 반송 장치 중앙 서버에 전송하는 단계와,
    상기 제어 장치에 저장된 설비 및 반송 장치에 관한 정보에 의거하여 상기 반송 장치 중앙 서버로부터 상기 제1 반송 장치로 오더가 전송되기까지 상기 제1 반송 장치를 대기시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 제조용 물류 반송 방법.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 반송 장치는 PGV (personal guided vehicle)인 것을 특징으로 하는 반도체 소자 제조용 물류 반송 방법.
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