JP2003500655A - 集積回路無線検査装置及び検査方法 - Google Patents

集積回路無線検査装置及び検査方法

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Abstract

(57)【要約】 マイクロ電子回路を検査するためのシステムは、マイクロ電子回路をマウントするためのテストベッドと、テストベッド上にマウントされたマイクロ電子回路に信号を供給するための信号源を含む。このシステムは更に、テストベッド上にマウントされたマイクロ電子回路からの電磁応答信号を無線で受信するための検査プローブを含む。より好ましい形態においては、電磁応答信号は無線周波数信号である。この検査システムは更に電磁応答信号を分析するための、検査プローブに接続されたコンピュータを含む。検査システム上の検査するための集積回路は、検査回路に供給された前もって決定された信号に応じて電磁放射線を放出する検査回路部を有する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】 （発明の背景） 本発明は、半導体集積回路のようなマイクロ電子回路の検査に関する。
【０００２】 半導体集積マイクロ電子回路を含む電子回路は、製造工程の途中及び製造後に
検査される。この検査は、回路が正確に製造され適切に機能することを実証する
。
【０００３】 検査回路は時々集積回路の設計に含まれる。これらの検査回路は、分かってい
る入力に対して個々の応答を生成するために設計される。更に、検査ポイントは
、検査中に回路内における信号がモニターされるような回路内に設置される。
【０００４】 電気経路はモニターされた信号が検査されるように、検査回路と検査ポイント
に供給される。更に、ある環境において、特定の機能が検査されるように、回路
内の検査回路もしくは個々のポイントに対して特定の分かっている検査入力を供
給するためにテスターが必要とされる。
【０００５】 これら入力経路及び出力経路のそれぞれが、一般には外部検査装置が接続され
た接触ポイントを必要とする。そのような接触ポイントはそれぞれ検査プローブ
が取り付けられる集積回路上のパッド（ダイステージでの検査のため）及び外部
ピン（パッケージング後の検査のため）を含む。
【０００６】 導電性経路あるいはトレース（信号配線）は、それが生成される回路上のポイ
ントから接触パッド及び／あるいはピンが供給できるポイントまで観察される信
号を伝導する集積回路に設計される。一般に、これらの接触パッドは集積回路の
周辺部に設置される。トレース（信号配線）もまた、回路内の接触パッドから個
々のポイントまでの検査信号入力のための経路を供給するのに必要とされる。
【０００７】 規則的なデバイス入力に対する入力信号の供給、及び規則的なデバイス出力に
おける出力信号の観察によるデバイス全体の検査のみにテスターが必要とされる
際、デバイス検査能力に対するパッケージ化されたデバイス内の集積回路上のパ
ッドあるいはピンのような接触ポイントは容易に利用できる。テスターはそのよ
うな検査を遂行するためデバイスの規則的な信号入力及び信号出力ポイントに容
易に接触できる。しかし、このテスターは規則的なデバイス入力及び出力よりも
他のポイントを観察するために必要とされる。検査接触が望まれる付加的なポイ
ントそれぞれは付加的な接触パッド、ピン、及び観察される回路ポイントから接
触パッドまでの付加的なトレース（信号配線）を必要とする。
【０００８】 １つあるいは複数の付加的な接触ポイント、及びその接触ポイントから検査さ
れる回路ポイントまでのトレース（信号配線）は集積回路の設計を煩雑にする。
設計者は時々検査能力と効率的な設計との間で決定を強いられる。例えば、検査
接触を供給するための集積回路上の付加的な接触パッドのための充分な空間がな
いかもしれない。あるいは、パッケージ上の利用できるピンがないかもしれない
。他の環境においては、回路内のポイントから接触パッドまでの導電性経路は回
路設計の他の態様の邪魔になる。
【０００９】 マイクロ電子デバイスの検査が一度完了したら、検査回路と検査回路に対する
電気的な接続は通常は何の役にも立たない。しかし、これらはデバイス内のスペ
ースを占拠し続ける。集積回路上で、入力のためのパッドと、検査回路のための
出力ピンは、有用なチップの「正味の空間（不動産）」を浪費してしまう。更に
、物理的な規模はしばしばパッケージ化されたチップ上に含まれている入力及び
出力ピンの数を制限してしまう。検査のみに必要とされるパッケージ化されたデ
バイス上のピンは、末端のユーザーによる意図的な目的のための集積回路の操作
に関係する他の目的に使用できるピンに置き換えられる。
【００１０】 （発明の概要） 本発明の目的は、電子回路を検査するための改善されたシステムを供給するこ
とである。
【００１１】 本発明の目的は、改善された検査能力を有する集積回路を供給することである
。
【００１２】 本発明の目的は、マイクロ電子回路の改善された検査方法を供給することであ
る。 本発明の目的は、回路上で空間を最小に使用する電子回路の検査方法を供給す
ることである。
【００１３】 本発明の目的は、集積回路上の接触パッドの特別な検査を必要としない集積回
路を検査する方法及び検査するための装置を供給することである。
【００１４】 本発明の目的は、余分な入力及び出力ピンを必要としないマイクロ電子デバイ
スの改善された検査能力を供給することである。
【００１５】 本発明によるマイクロ電子回路を検査するためのシステムは、マイクロ電子回
路をマウントするためのテストベッドと、テストベッド上のマウントされたマイ
クロ電子回路に対して信号を供給する信号源とを含む。この検査システムは更に
マイクロ電子回路からの電磁応答信号を受信するための検査プローブを含む。よ
り好ましい形態においては、電磁応答信号は無線周波数信号である。このシステ
ムは更に受信した信号を分析するための検査プローブに接続されたコンピュータ
を含む。
【００１６】 本発明による検査能力から構成される集積回路回路は、検査回路に対して供給
された前もって決定された信号に応じて電磁放射線を放出する検査回路部を含む
。
【００１７】 集積回路と回路が集積された検査するための装置との組合せは本発明により構
成されている。この組合せは検査回路部を組み入れている集積回路を含む。集積
回路の検査回路部は、検査回路内で最初の電気的効果が発生されるように構成さ
れる。検査回路部は電磁放射線を放出する。その組合せの検査デバイスは、集積
回路の検査回路部により放出された電磁放射線を検出するための電磁放射線受信
器と、受信器により検出された電磁放射線を分析する分析器とを含む。 本発明による半導体集積回路の検査方法は、集積回路が電磁放射線を放出する
原因となる、集積回路に対して前もって決定された信号を供給することを含む。
電磁受信器は集積回路により放出された電磁放射線を検出する。受信器により検
出された電磁放射線はコンピュータ分析器により分析される。
【００１８】 （好ましい実施形態の詳細な説明） 図１は、集積回路やマイクロ電子回路デバイスの検査のためのシステムを示す
。このシステムはマイクロ電子回路をマウントするためのテストベッド２０（図
１には示されていない）を含む。テストベッドは表面２２を含む。表面２２は他
の方向が可能ではあるが、実質的には水平がよい。表面２２は脚２４のような支
持機構によって支持されるのがよい。
【００１９】 テストベッド２０は、信号源と信号分析器に電気的に接続されている。信号源
と信号分析器は、プログラムされた電子マイクロコンピュータのような１つのコ
ンピュータ３０でもよい。テストベッド２０とコンピュータ３０の間の接続を以
下に記述する。
【００２０】 図１に示した装置によって検査されるマイクロ電子デバイスは、図２に示すよ
うにパッケージ化されたデバイス４０の形でもよいし、図５に示すダイのような
裸のダイでもよい。パッケージ化される付加的なタイプはまた工業上で使用され
、検査されるマイクロ電子回路を含むかもしれない。そのような他のパッケージ
化技術でパッケージ化されたデバイスもまた図１に示したシステム上で検査され
る。
【００２１】 パッケージ化されたデバイス４０はいくつかのピン４２−４４を含む。各々の
ピンは、デバイス４０とマイクロ電子回路の特定の部位との接続を提供する。こ
れらの接続は決まった方法で提供される。例えば、ピン４２はデバイス４０によ
って処理される信号を受信するための入力ピンとなる。ピン４４はデバイスがピ
ン４２で受信した入力信号を処理した出力を生成する出力ピンとなる。
【００２２】 テストベッド２０は検査されるデバイスを受け入れまたはマウントする機構を
含んでいる。デバイスを受け入れる機構の性質は検査されるデバイスの性質に依
存する。そのような機構は慣習的な構造で、マイクロ電子回路の技術分野ではよ
く知られているものである。
【００２３】 デバイス４０のようなパッケージ化されたマイクロ電子デバイスを受け入れる
代表的な機構にはテストベッド２０の表面２２のレセプタクル２６（図３）があ
る。レセプタクル２６は、デバイス４０のピン４２−４４の対応する１つを各々
受け入れるいくつかのソケット２７−２９を持つ（図２）。例えば、信号入力ソ
ケット２７はデバイス入力ピン４２を受け入れるように位置付けられ、信号出力
ソケット２９はデバイス出力ピン４４を受け入れるように位置付けられる。テス
トベッドと検査されるマイクロ電子デバイスの他の形との間の電気的接触を提供
するための別の接続タイプが慣習的に利用できることは、当業者に認識されるで
あろう。
【００２４】 検査システムは、マイクロ電子デバイスがテストベッド２０にマウントされる
ときに、そのマイクロ電子デバイス４０に信号を供給する機構を含む。機構はコ
ンピュータ３０の信号源を含む（図１）。
【００２５】 多くのアプリケーションで、デバイスの検査手順の少なくとも１つに、デバイ
スの通常の信号入力ピンに分かっている入力信号を供給し、デバイスからの出力
を分析することを含む。そのような検査のために、検査信号がデバイス入力ピン
４２に供給される。そのような検査信号はデバイス４０が規則的な操作中に受信
する入力を擬似する。信号源配線３２はコンピュータ信号源３０からテストベッ
ド２０へ検査信号を伝導する。テストベッド２０のテストベッド入力配線３３（
図３）はデバイス４０がテストベッドにマウントされたときにそのデバイス４０
の入力ピン４２に検査信号を伝導する。
【００２６】 図３で最もよく示しているように、テストベッド２０で信号源配線３２は内部
テストベッド入力配線３３と接続されている。テストベッド入力配線３３はレセ
プタクル２６の入力ソケット２７と接続している。このように、デバイス４０が
レセプタクル２６に挿入されると、信号はコンピュータ３０から信号源配線３２
、テストベッド入力配線３３，そして信号入力ソケット２７を通ってデバイス入
力ピン４２に伝導される。
【００２７】 戻り信号経路がデバイス出力ピン４４から信号分析コンピュータ３０に提供さ
れる。そのような戻り信号経路は、コンピュータ３０にデバイス４０が信号源配
線３２を通ってデバイス入力ピン４２に供給された信号を処理するときのデバイ
ス４０の出力を分析させる。
【００２８】 戻り信号経路は出力配線３４と内部テストベッド出力配線３５によって提供さ
れる。内部テストベッド出力配線３５は、レセプタクル２６で信号出力ソケット
２９と接続される。信号出力配線３４は内部テストベッド出力配線３５をコンピ
ュータ３０に接続する。
【００２９】 本発明によれば、デバイス出力ピン４４のところ以外のデバイス４０の部位の
信号を分析することができる。例えば、デバイス入力ピン４２とデバイス出力ピ
ン４４の間の回路の部位から分析のための応答が得られる。従来の技術と比較し
て、この分析は検査装置とデバイス４０のマイクロ電子回路との間の物理的接触
なしに実行できる。
【００３０】 電磁応答信号がデバイス４０内の電子回路の部位から伝導され、放射され、ま
たは放出される。これらの電磁応答信号は、デバイスに供給される特定の検査信
号に応答して放出される。検査信号は検査信号源配線３２を通ってデバイス４０
の入力ピン４２に供給される。
【００３１】 本発明の１つの特徴によれば、検査回路部はマイクロ電子デバイス４０の回路
の一部として組み立てられる。検査回路部は図６に示す検査プローブ５０の受信
部５４によって検出される電気的効果を生成する。例えば、検査回路部は電磁放
射線をマイクロ電子デバイス４０で伝達される特定の信号に対応して放出する。
【００３２】 図５は、デバイス４０に含まれる半導体集積回路すなわちダイ６０の代表を示
している。本技術分野の慣習として、ダイ６０は回路６２といくつかの接触パッ
ド６４を含む。導電性リードやトレース（信号配線）６６がパッド６４で回路６
２と接続する。パッドは外部の配線のための接触点を提供する。例えば、第１の
パッド６４ａは回路６２に対する信号入力のための接触パッドである。デバイス
入力配線やピン４２はその第１のパッド６４ａに接触する。第２のパッド６４ｂ
は回路６２からの信号出力のための接触パッドである。デバイス出力ピン４４は
この第２の接触パッド６４ｂと接触する。
【００３３】 回路６２は検査回路部７０を含む。検査回路部７０は、それに供給される特定
の電気的効果や信号に対応して電磁放射線を放出する。例えば、検査回路部７０
は、回路６２の周辺部における特定の条件に対応して特定の電磁放射線を放出す
る。検査システムのプローブ５０（図１）は、検査回路部７０によって放出され
る電磁放射線を検出する。
【００３４】 当業者に認識及び理解されているように、移動する電荷（電流）は磁場を形成
する。移動する磁場は電圧を持った電場を形成し、これは電流を上昇させる。こ
の２つの現象は、デバイス４０のダイ６０の検査回路部７０において、電気信号
や電気的効果が検査プローブ５０と無線で通信できるようにする。
【００３５】 マイクロ電子回路６２の検査回路部７０は、電気信号をそれらの信号に対応し
た電磁放射線に変換する。１つの形態として電磁放射線に無線周波数放射線があ
る。例えば、回路６２の第１の電気信号の情報は検査回路部７０で生成される無
線周波数（ＲＦ）キャリア波上に変調される。もし検査回路部７０が信号をＲＦ
キャリア上に変調または符号化するならば、変調は周波数変調か拡散スペクトラ
ム符号化である。
【００３６】 他の実施形態においては、赤外線が情報を運ぶために使用される。検査回路部
７０のオンチップ赤外線生成器（図示なし）が赤外線ビーム上に検査情報を符号
化するのに使用される。更に別の実施形態では、情報を伝えるために１つ以上の
オンチップレーザー（図示なし）が組み込まれる。情報はオンチップレーザーに
よって放出されるコヒーレントな光学的放射線（光）上に変調または符号化され
る。オンチップレーザーは検査回路部７０の一部である。
【００３７】 検査プローブ５０は、テストベッド２０上にマウントされたマイクロ電子デバ
イス４０の検査回路部７０によって放出される電磁応答信号を受信または検出す
る。検査プローブ５０は送出された放射線を検出するためにマイクロ電子デバイ
ス４０の近くに置かれる。図４に示すように、プローブ５０は、マイクロ電子デ
バイス４０がテストベッド２０のレセプタクル２６にマウントされるとき、マイ
クロ電子デバイス４０の上方に位置するようになる（同様に図７参照）。
【００３８】 プローブ５０によって検出された応答信号は、プローブ５０からコンピュータ
３０に電気的検査応答接続５８を通って導かれる。
【００３９】 コンピュータ３０はプローブ５０によって受信された応答信号を分析する。こ
の応答信号の分析はデバイス４０の回路が適切に操作していることを判断するの
に役立つ。コンピュータ３０によって実行される特別な分析手順は、分析すべき
特定の機能に依存する。マイクロ電子回路の検査に精通しているものは、そのよ
うな分析プログラムに精通している。
【００４０】 図６に示すように、検査プローブ５０は電磁受信器５４を含む。電磁受信器５
４は検査プローブ５０の底に含まれており、テストベッド２０の最上表面２２の
レセプタクル２６にデバイス４０がマウントされたときに、デバイス４０と極め
て接近するところまで持っていくことができる。
【００４１】 検査プローブ５０の受信器５４は、受信器５４によって受信した信号を処理す
るためのある信号処理回路を付加的に含む。信号処理回路はまた受信器５４と分
離していてもよい。導管５７は受信器５４から電気検査応答接続５８までの信号
経路を提供する。
【００４２】 プローブ５０上の受信器５４は、検査回路部７０によって放出されるＲＦ信号
を検出する。次に、受信器５４は検出したＲＦ信号から情報を復調または復号す
る。符号化や変調は、検査回路部７０によって放出されるＲＦ信号を検査プロー
ブ５０の受信器５４によって識別させ、そして背後のノイズから識別させる。更
に、拡散スペクトラム符号化で可能なようなユニークな符号化を使用することで
、１つのデバイス４０に含まれる複数の検査回路部７０からの信号をプローブ５
０が分離して検出できるようにする。
【００４３】 簡略化した実施形態において、当業者は、電磁応答信号を供給するために、検
査回路部７０の電流がプローブ５０の受信器５４に誘導的に接続されることが分
かるであろう。同様に、検査回路部７０の電圧は、電磁応答信号を供給するため
にプローブ５０の受信器５４に容量的に接続される。
【００４４】 これらの電気的原理は、情報が検査回路部７０から検査プローブ５０に無線的
に転送されることを許容する。検査回路部７０からの情報のこのような無線通信
は、検査の１つの目的のためにダイ６０上に分離したパッドを提供する必要性を
なくした。ダイ６０上のそのようなパッドの必要性を取り除くことは、パッケー
ジ化されたデバイス４０の対応する接触ピンの必要性をも取り除いた。更に、検
査回路部が回路６２の関心のある点かその近くに通常は位置するため、検査プロ
ーブの接触点に拡張的な導電性経路やリードの必要性がなくなった。
【００４５】 検査プローブ５０の受信器５４が回路６２の検査回路部７０にどれだけ接近す
るかは、受信器５４が検査回路部７０によって伝導される信号を正確に検出して
復号できる距離の機能である。好ましくは、プローブ５０の受信器５４がアンテ
ナや増幅装置なしに検査回路部７０によって放出される放射線を検出するのに、
検査回路部７０に充分に接近したところにプローブ５０が位置するようにする。
【００４６】 信号が検査回路部７０から受信器５４に誘導的に接続される実施形態において
は、検査回路部７０と受信器５４との間の空間が充分に狭く、検査回路部７０の
電流の変化に対応して受信器５４に電磁インダクタンスが出現する。検査回路部
７０と受信器５４が充分に接近して、容量的に接続された実施形態では、回路間
で電圧が容量的に接続される。
【００４７】 検査プローブ５０の受信器５４にとって、検査回路部７０によって放出される
無線周波数信号を正確に受信するためには、テストベッド２０上にデバイス４０
がマウントされるとき、受信器５４が検査回路部７０から１０ｃｍ以内になるよ
うに検査プローブ５０を位置する。
【００４８】 好ましくは、検査プローブ５０はテストベッド２０の表面の上を水平に移動で
き、受信器５４がマイクロ電子デバイス４０のダイ６０の検査回路部７０の直上
に位置するのがよい。図７を参照すると、テストベッド２０のレセプタクル２６
にマウントされたマイクロ電子デバイス４０の直上に検査プローブ５０が位置し
ていることが示されている。
【００４９】 検査プローブ５０とデバイス４０の間の垂直方向の空間は、検査プローブ５０
の底面にある受信器５４がマイクロ電子デバイス４０に含まれるダイ６０の検査
回路部７０から１０ｃｍ以内あるようにする。
【００５０】 パッケージ化されたデバイス４０のパッケージ素材は、検査回路部７０を含む
ダイ６０を覆う厚さがある。更に、プローブ５０の端の保護カバーやパッケージ
化は受信器５４を覆う素材の厚さを追加する。これら２つの素材の厚さは各々お
よそ１／２ｃｍである。したがって、検査プローブ５０の端とパッケージデバイ
ス４０の最上表面との間の空間８０は、検査回路部７０と受信器５４との間の空
間より小さい。空間８０は検査回路部７０と受信器５４との間の空間よりおよそ
１ｃｍ小さい。
【００５１】 もし受信器５４が検査回路部７０の直上に位置すると、空間８０は１０ｃｍよ
り小さく、受信器５４の表面を覆っているパッケージ化素材とデバイス４０上の
パッケージ化素材の厚さより小さい。受信器５４と検査回路部７０の間を１０ｃ
ｍ以下にするために、プローブ５０とデバイス４０の最上表面の間の空間８０は
９ｃｍより小さくなる。
【００５２】 好ましくは、空間８０は、検査プローブ５０と検査プローブ５０の特定の受信
器５４がデバイス４０の３ｃｍ以内になるようにする。検査プローブ５０の受信
器５４は、デバイス４０の中の回路６０上にある検査回路部７０の３ｃｍ以内に
位置することが特に望ましい。
【００５３】 理想的には、検査プローブは検査回路部７０とプローブ受信器５４の間の空間
がおよそ１ｃｍになるように位置する。そのような間隔をあけることは検査プロ
ーブ５０がパッケージ化されたマイクロ電子デバイス４０の表面に仮想的にまた
は実際に接触することを要求する。
【００５４】 １０ｃｍ以上に間隔が拡がると、検査プローブ受信器５４は、信号または検査
回路部７０以外の源から発生した他の電磁放射を感知し、処理するという可能性
がある。更に、より大きい間隔では、信号対雑音比はより小さくなる。低い信号
対雑音比は、受信器５４が検査回路部７０によって伝送または放出される情報を
正しく復号化することを妨げる。
【００５５】 多くのアプリケーションにおいて、検査回路部７０とプローブ５０上の受信器
５４の間の間隔がより広ければ、検査回路部７０に供給されなければならない電
力は、より大きくなる。したがって、設計は、検査プローブ５０が持ってこられ
ることができる近さ及び検査中の装置４０の電力消費の間で選択が必要である。
【００５６】 当業者は、伝送位置からの異方性の放射が、伝送位置からの距離の立方の逆数
（１／ｒ３）という累乗関係を与えると認識するであろう。このように、同じ電
力レベルを受信する受信器５４に対して、受信器５４が検査回路部７０から２ｃ
ｍであるときに検査回路部７０に供給される電力は、受信器５４が検査回路部７
０から１ｃｍであるときの８倍の供給電力でなければならない。しかし、当業者
はまた、伝送している検査回路部７０及び、受信器５４の近接した各々の電気導
管が受信電力関数に影響を及ぼすと認識するであろう。したがって、装置４０の
中のダイ６０の回路６２、検査回路部７０、及び受信器５４の各々の異なる設計
は、異なる電力受信関数を与える。したがって、検査回路部７０及び周囲の回路
６２の各々の設計は、その組合せのために特定の電力伝送に必要な条件を識別す
るために試験所のテストが必要となる。
【００５７】 検査回路部７０の放射または送信セグメントに対する多くの特定の設計が、用
いられる。検査回路部７０の送信セグメントは、ＲＦ発振器であってもよい。図
８ａは、検査回路部７０の放射セグメントとして使用されるＮＰＮハートリー発
振器を示す。ＮＰＮハートリー発振器は、例えば回路６２のようなマイクロ電子
回路に設計するのが簡単でかつ容易である。
【００５８】 図８ｂは、また、検査回路部７０の放射セグメントで用いられるＮＰＮコルピ
ッツ発振器を示す。ＮＰＮコルピッツ発振器は、１０ＭＨｚを超える発振周波数
が要求される回路に特に有益である。ハートリー及びコルピッツ発振器は、回路
デザインに取り込まれることができる他の発振器と同様に、従来技術において公
知である。
【００５９】 受信器５４において用いられる簡単な検知器／復調器を、図9に示してある。
受信器５４の検知器／復調器は、検査回路部７０の対応するセグメントの発振器
の周波数に同調してある。図９に示される検知器／復調器や他の検知器／復調器
もまた、当業者によって公知である。
【００６０】 検査回路部７０の送信セグメントの発振器が作動する固有の周波数は、アプリ
ケーション及び検査プローブ５０の受信器５４に検査回路部分７０から送られる
信号の性質に依存する。
【００６１】 検査回路部の送信セグメントは、少しの電力で用いられ、大きさにおいて小さ
い。これらの特徴は、それらに直ちにマイクロ電子装置の回路設計に適合するの
を可能にする。
【００６２】 上記したように、特定のアプリケーションは、単一の集積回路のダイ６０に複
数の検査回路部７０を含む。検査回路部の各々の追加的な送信器セグメントまた
は各々の異なる検査回路部は、僅かに異なる伝送周波数を使用することができる
。特に有益な取り合わせは、コード化された展開スペクトル信号を使用すること
である。検査されている回路の各々の送信セグメントは、それ自身の固有のコー
ド化を有することができる。回路の異なる部分の多様な検査回路部７０により、
検査システムプローブ５０が装置の多数の部分を観察するために回路を走査する
ことができる。本発明によれば、回路の装置６０に余分の配線を含むことなく、
この走査は行うことができる。
【００６３】 特定のアプリケーションにおいて、特別な検査信号を装置の通常の入力端末以
外からマイクロ電子装置４０に入力することが望ましい場合もある。この種のア
プリケーションにおいて、検査プローブ５０は、更に、電磁送信器（図示せず）
を含むことができる。この種の電磁送信器は、受信器回路５４と集積化すること
ができる。電磁送信器は、ダイ６０の検査回路部分７０に電磁放射、例えば無線
周波数信号を送信させることができる。この種のアプリケーションにおいて、検
査回路部７０も、電磁受信器を含む。このように、本実施形態において、検査回
路部７０は、電磁送信セグメント及び電磁受信セグメントを含む。プローブレシ
ーバ５４も、電磁送信セグメント及び電磁受信セグメントを含む。異なる変調周
波数または展開スペクトル符号化が、レシーバ５４の送信セグメント及び、試験
回路部７０の送信セグメントによって使われることができる。この種の異なる周
波数または符号化によって、レシーバ５４及び試験回路部７０の送信セグメント
が同時に作動することができる。
【００６４】 検査回路部７０は、多くの異なるマイクロ電子装置で使われることができる「
マクロ」として設計されることができる。このように、同じ検査回路部の設計が
繰り返し使われることができ、多数のマイクロ電子装置の設計コストを減らすこ
とができる。
【００６５】 半導体検査の当業者は、また、半導体装置が上記した検査システムを使用して
パッケージする前に検査されることができると認識する。パッケージ前の検査が
実行されることになっているときに、テストベッド２０は裸の型、例えばダイ６
０（図６）に対応するように設計されている。検査信号は、プローブで装置入力
パッド、例えばダイ６０のパッド６４ａに接触させることによってダイの入力位
置に印加されることができる。
【００６６】 当業者は、また、テストベッドは、異なる種類のパッケージの装置に対応する
ために更に変更されることができると認識する。このように、装置はそれらのパ
ッケージの種類を気にせずに検査されることができる。
【００６７】 ここで記載されているシステム、マイクロ電子装置及び方法は、チップの周辺
部に導電性リード線あるいはトレース（信号配線）が含まれることを必要とせず
に、そして、テストだけのために使われる追加的なピンを必要とせずに、マイク
ロ電子装置内部の回路を無線プロービングすることを可能にする。
【００６８】 上記の説明に示されるように、当業者は、従来技術において様々な特定の実施
形態や装置を設計することが可能である。例えば、マイクロ電子装置から試験装
置への電磁送信の他の形が開発されてもよく、試験回路部の送信セグメント及び
受信器の他の特定の実施形態が設計されてもよく、またテストベッドの他の形が
構成されてもよい。このように、上記の説明は、典型的なものを対象にしていて
、これによって制限されるものではない。
【図面の簡単な説明】
【図１】 マイクロ電子デバイスを検査するための本発明を組み入れているシステムの遠
近図である。
【図２】 図１に示された検査システムを使用し検査するのに適するマイクロ電子デバイ
スの側面図である。
【図３】 図１に示された検査システムが含まれているテストベッドの平面図である。
【図４】 図２に示されたマイクロ電子デバイス及び図１の検査システム部の遠近図であ
る。
【図５】 本発明の特徴を組み入れ、図２に示されたマイクロ電子デバイスが含まれてい
る集積回路の平坦図である。
【図６】 図６は、本発明の特徴を組み入れている検査装置プローブの遠近図である。
【図７】 図７は、テストベッド上のマイクロ電子デバイスと請求項１の検査システムの
一部の側面図である。
【図８】 本発明の特徴に係る図５に示された集積回路を組み入れられた電磁送信器の回
路図である。
【図９】 図９は、本発明の特徴に係る図６に示されたプローブを組み入れられた受信器
の回路図である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ウォーリー、 ケネス エス． アメリカ合衆国 91679 カリフォルニア 州 ポートラ ヒルズ シャドー オーク ドライブ 19262 (72)発明者 ジョンストン、 ジェイムズ ダブリュ ー． アメリカ合衆国 92688 カリフォルニア 州 ランチョ サンタ マルガリータ ヴ ィア ソラノ 11 (72)発明者 ヘンダーソン、 ピー． マイケル アメリカ合衆国 92782 カリフォルニア 州 タスティン バトラー ウェイ 12450 (72)発明者 アンドルーズ、 ウォーナー ビー．、 ジュニア アメリカ合衆国 80302 コロラド州 ボ ールダー スィックスティーンス ストリ ート 754 (72)発明者 シアン、 ジョナサン アイ． アメリカ合衆国 92129 カリフォルニア 州 サンディエゴ ドルムース ロード 12501 (72)発明者 へイル、 ケリー エイチ． アメリカ合衆国 92656 カリフォルニア 州 アリソ ヴィエホ カンカン ４ Ｆターム(参考） 2G132 AA18 AB01 AF11 AK07 AL01 5F038 DT10 DT15 EZ20

Claims (29)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 信号をマイクロ電子回路に印加するための信号源と、 テストベッドにマウントされた前記マイクロ電子回路からの電磁応答信号を無
    線で受信するための検査プローブ とからなることを特徴とするマイクロ電子回路検査システム。
  2. 【請求項２】 前記電磁応答信号が無線周波数信号からなることを特徴と
    する請求項１に記載のシステム。
  3. 【請求項３】 前記電磁応答信号が赤外線信号からなることを特徴とする請
    求項１に記載のシステム。
  4. 【請求項４】 前記電磁応答信号がコヒーレント光信号からなることを特徴
    とする請求項１に記載のシステム。
  5. 【請求項５】 前記プローブより受信される前記電磁応答信号を分析するた
    めの前記プローブに接続されたコンピュータを更に有することを特徴とする請求
    項１に記載のシステム。
  6. 【請求項６】 前記プローブより受信される前記無線周波数応答信号を分析
    するための前記プローブに接続されたコンピュータを更に有することを特徴とす
    る請求項２に記載のシステム。
  7. 【請求項７】 前記信号源が前記マイクロ電子回路に更に無線で前記プロー
    ブにより電磁検査信号を送信することを特徴とする請求項１に記載のシステム。
  8. 【請求項８】 予め定められた信号に応答して電磁放射を放出するために構
    成される検査部を含む集積回路と、 前記信号が前記集積回路に電磁放射を放出させるように、予め定められた信号
    を前記集積回路に印加するための信号源と、 前記集積回路によって放出される電磁放射を検出するために構成される電磁受
    信器と、前記集積回路によって放出される前記電磁放射を分析するための前記電
    磁受信器に接続されたコンピュータ とからなることを特徴とする集積回路検査装置。
  9. 【請求項９】 前記電磁放射が無線周波数放射であることを特徴とする請求
    項８に記載の集積回路検査装置。
  10. 【請求項１０】 前記電磁放射が赤外線放射であることを特徴とする請求項
    ８に記載の装置。
  11. 【請求項１１】 前記電磁放射がコヒーレント光放射であることを特徴とす
    る請求項８に記載の装置。
  12. 【請求項１２】 印加される予め定められた信号に応答して電磁放射を放出
    する検査回路部を備えることを特徴とする検査用集積回路。
  13. 【請求項１３】 電磁放射が無線周波数放射であることを特徴とする請求項
    １２に記載の集積回路。
  14. 【請求項１４】 前記電磁放射が赤外線放射であることを特徴とする請求項
    １２に記載の装置。
  15. 【請求項１５】 前記電磁放射がコヒーレント光放射であることを特徴と
    する請求項１２に記載の装置。
  16. 【請求項１６】 電気的効果がまず発生した後、電磁放射を放射する検査回
    路部を備える集積回路と、 前記集積回路の前記検査回路部によって発される電磁放射を検出するための電
    磁受信器、前記受信器によって検出した電磁放射を分析するための分析装置とを
    備える前記集積回路の検査装置 とからなることを特徴とする組合せ。
  17. 【請求項１７】 前記分析装置が、前記検査回路部が正しく作動しているか
    どうか決定するために、検出された前記電磁放射を分析することを特徴とする請
    求項１６に記載の組合せ。
  18. 【請求項１８】 前記電磁放射が無線周波数放射であることを特徴とする請
    求項１７に記載の組合せ。
  19. 【請求項１９】 前記電磁放射が赤外線放射であることを特徴とする請求項
    １７に記載の組合せ。
  20. 【請求項２０】 前記電磁放射がコヒーレント光放射であることを特徴とす
    る請求項１７に記載の組合せ。
  21. 【請求項２１】 集積回路に電磁放射を発させるために予め定められた信号
    を集積回路に印加するステップと、 前記集積回路より放出される前記電磁放射を無線で検出するステップ とからなることを特徴とする半導体集積回路の検査方法。
  22. 【請求項２２】 前記集積回路により放出される前記電磁放射が無線周波数
    放射であることを特徴とする請求項２１に記載の検査方法。
  23. 【請求項２３】 無線で前記電磁放射を検出する前記ステップが、前記集積
    回路の近くに電磁受信器を配置することを特徴とする請求項２２に記載の検査方
    法。
  24. 【請求項２４】 無線で前記電磁放射を検出する前記ステップが、前記集積
    回路の１０ｃｍの範囲内で電磁受信器を配置することを特徴とする請求項２２に
    記載の検査方法。
  25. 【請求項２５】 無線で前記電磁放射を検出する前記ステップが、前記集積
    回路の３ｃｍに電磁受信器を配置することを特徴とする請求項２２に記載の検査
    方法。
  26. 【請求項２６】 前記予め定められた信号を印加する前記ステップより前に
    、前記電子回路が、前記検査回路部の前記検査回路部に印加される予め定められ
    た信号に応答して電磁放射を放出する検査回路部を含むように前記電子回路を設
    計するステップを更に有することを特徴とする請求項２１に記載の検査方法。
  27. 【請求項２７】 プログラムされた電子コンピュータにより前記無線で検出
    された電磁放射を分析するステップを更に有することを特徴とする請求項２１に
    記載の方法。
  28. 【請求項２８】 前記集積回路によって放出される前記電磁放射が赤外線放
    射であることを特徴とする請求項２１に記載の検査方法。
  29. 【請求項２９】 前記集積回路によって放出される前記電磁放射がコヒーレ
    ント光放射であることを特徴とする請求項２１に記載の検査方法。
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